JPH01192005A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH01192005A JPH01192005A JP1817488A JP1817488A JPH01192005A JP H01192005 A JPH01192005 A JP H01192005A JP 1817488 A JP1817488 A JP 1817488A JP 1817488 A JP1817488 A JP 1817488A JP H01192005 A JPH01192005 A JP H01192005A
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- JP
- Japan
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- thin film
- gap length
- magnetic pole
- bonding agent
- film coil
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 62
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
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- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の１
本発明は下部磁極上に導体コイルパターンやギャップス
ペーサ薄膜等を形成し、さらに上部磁極を接着させる薄
膜磁気ヘッドに関するものである。
ペーサ薄膜等を形成し、さらに上部磁極を接着させる薄
膜磁気ヘッドに関するものである。
砲未Δ皮直
従来、この種の磁気ヘッドにおいては、下部磁極と上部
磁極の接着においては接着剤にてなる接着層の形成につ
いて、特に考慮された構造をもたず、ただ上下の磁極で
ある二手面間にそのまま接着剤をはさみこんだ構造であ
った。
磁極の接着においては接着剤にてなる接着層の形成につ
いて、特に考慮された構造をもたず、ただ上下の磁極で
ある二手面間にそのまま接着剤をはさみこんだ構造であ
った。
その−例を公表されている論文、ＩＢＭ Ｊ、ＲＥＳ。
ＤＥＶＥＬＯＰ、 ＶＯＬ、３０ Ｎ０３ ＭＡＹ １
９８８″ＤｅＳｉｇｎ ａｎｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ
ｏｆ ａ ｍａｇｎｅｔｌｃ ｆｏｒ ａ ｈｉｇｈ
−ｄｅｎｓｉｔｙｔａｐｅ ｄｒｉｖｅ”より引用し、
第３図（ａ）、 （ｂ） に示す。第３図（ａ）、
（ｂ）はストラックの誘導型薄膜ヘッドの例を示し、（
ａ）は記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、（ｂ
）は記録媒体摺動面に垂直な方向より見た断面図である
。第３図（ａ）、 （ｂ）において１は薄膜コイル、２
は下部磁極、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は今問
題にしている接着剤層、６は上部磁極の隣接トラック間
分離用ガラスである。
９８８″ＤｅＳｉｇｎ ａｎｄｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ
ｏｆ ａ ｍａｇｎｅｔｌｃ ｆｏｒ ａ ｈｉｇｈ
−ｄｅｎｓｉｔｙｔａｐｅ ｄｒｉｖｅ”より引用し、
第３図（ａ）、 （ｂ） に示す。第３図（ａ）、
（ｂ）はストラックの誘導型薄膜ヘッドの例を示し、（
ａ）は記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、（ｂ
）は記録媒体摺動面に垂直な方向より見た断面図である
。第３図（ａ）、 （ｂ）において１は薄膜コイル、２
は下部磁極、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は今問
題にしている接着剤層、６は上部磁極の隣接トラック間
分離用ガラスである。
この従来例においては第３図（ａ）、 （ｂ）から明ら
かなように、接着剤層５は下部磁極２の上に形成された
コイル１．アルミナ層４から成る平面と、上部磁極３．
ガラス６からなる平面との間に層状に一様に形成されて
いるにすぎない。
かなように、接着剤層５は下部磁極２の上に形成された
コイル１．アルミナ層４から成る平面と、上部磁極３．
ガラス６からなる平面との間に層状に一様に形成されて
いるにすぎない。
Ｏｆ ” ；
上述した第３図（ａ）、 （ｂ）の従来例においては、
磁気ギャップ長は下部磁極２と上部磁極３の間隔すなわ
ち、薄膜コイル１と接着剤層５の各々の膜厚寸法の和と
なっている。このうち、薄膜コイル１は通常スパッタリ
ングないしは蒸着により形成されるため、その厚さの精
度は現状の技術によっても容易に±０．Ｏ１μｍに達す
ることができるが、他方接着剤層５の厚さについては、
単に塗布されたままで使用されることから容易に想像さ
れるように±０．１μｍの精度ですら再現性良く形成す
ることが困難である。このため、従来例においては薄膜
コイル１の厚さと接着剤層５の厚さの和で表される磁気
ギャップ長の精度がいかにしても±０．１μｍより小さ
くすることができない。ところが、現在のように高密度
の短波長記録においては磁気ギャップ長が０．３μｍ程
度の必要がある。このように磁気ギャップ長が０．３μ
ｍ程度の磁気ヘッドにおいては、磁気ギャップ長の精度
が±０．０３μｍ以下であることが要求される。しかる
に、従来例として示した磁気ヘッドにおいては、上述し
たように磁気ギャップ長の精度が±０．１μｍより小さ
くはできないことから従来例の構造の磁気ヘッドは現在
必要とされる短波長記録には不適であることが分かる。
磁気ギャップ長は下部磁極２と上部磁極３の間隔すなわ
ち、薄膜コイル１と接着剤層５の各々の膜厚寸法の和と
なっている。このうち、薄膜コイル１は通常スパッタリ
ングないしは蒸着により形成されるため、その厚さの精
度は現状の技術によっても容易に±０．Ｏ１μｍに達す
ることができるが、他方接着剤層５の厚さについては、
単に塗布されたままで使用されることから容易に想像さ
れるように±０．１μｍの精度ですら再現性良く形成す
ることが困難である。このため、従来例においては薄膜
コイル１の厚さと接着剤層５の厚さの和で表される磁気
ギャップ長の精度がいかにしても±０．１μｍより小さ
くすることができない。ところが、現在のように高密度
の短波長記録においては磁気ギャップ長が０．３μｍ程
度の必要がある。このように磁気ギャップ長が０．３μ
ｍ程度の磁気ヘッドにおいては、磁気ギャップ長の精度
が±０．０３μｍ以下であることが要求される。しかる
に、従来例として示した磁気ヘッドにおいては、上述し
たように磁気ギャップ長の精度が±０．１μｍより小さ
くはできないことから従来例の構造の磁気ヘッドは現在
必要とされる短波長記録には不適であることが分かる。
； ゛ こ
の本発明の薄膜磁気ヘッドは、上述した従来の薄膜磁気
ヘッドの磁気ギャップ長の精度が悪いという欠点にかん
がみ、磁気ギャップ長を規定する上に、精度の悪い接着
剤層の厚さが磁気ギャップ長の中に含まれないように、
すなわち、磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚さに等しく
なるように構成したものである。勿論、接着剤層を上下
磁極の間から全く無くすことは不可能であるから、本発
明においては、隣接するコイルとコイルの間にスペース
があることを利用し、隣接コイル間スペースのみに接着
剤層を形成し、上下の磁極は接着剤層を介さずに、直接
薄膜コイルと接するように形成されるようにする。
の本発明の薄膜磁気ヘッドは、上述した従来の薄膜磁気
ヘッドの磁気ギャップ長の精度が悪いという欠点にかん
がみ、磁気ギャップ長を規定する上に、精度の悪い接着
剤層の厚さが磁気ギャップ長の中に含まれないように、
すなわち、磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚さに等しく
なるように構成したものである。勿論、接着剤層を上下
磁極の間から全く無くすことは不可能であるから、本発
明においては、隣接するコイルとコイルの間にスペース
があることを利用し、隣接コイル間スペースのみに接着
剤層を形成し、上下の磁極は接着剤層を介さずに、直接
薄膜コイルと接するように形成されるようにする。
作１−
上述の様な構成をとることにより、上下の磁極は薄膜コ
イルをはさんで対峙し、磁気ギャップ長に薄膜コイルの
厚さに等しくなる。前述したように、薄膜コイルの厚さ
はスパッタ法などにより±０．０１μｍの精度で実現さ
れるから、したがって、本発明の磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ長も±０．０１μｍの精度で実現でき、従来例では
不可能であった短波長記録に必要な０．３μｍ程度の磁
気ギャップ長をもつ磁気ヘッドが実現できる。
イルをはさんで対峙し、磁気ギャップ長に薄膜コイルの
厚さに等しくなる。前述したように、薄膜コイルの厚さ
はスパッタ法などにより±０．０１μｍの精度で実現さ
れるから、したがって、本発明の磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ長も±０．０１μｍの精度で実現でき、従来例では
不可能であった短波長記録に必要な０．３μｍ程度の磁
気ギャップ長をもつ磁気ヘッドが実現できる。
実」１例−
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。第１図（ａ）は記録
媒体摺動面方向から見た断面図であり、（ｂ）は記録媒
体摺動面に垂直な方向からみた断面図である。第１図（
ａ）、 （ｂ）において１は薄膜コイル、２は下部磁極
、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は接着剤層、６は
上部磁極間のトラック間分離用ガラスである。第１図（
ａ）において、接着剤層５が隣りあう薄膜コイル１の間
のスペースにのみ形成されるようにしたことが本発明と
第３図（ａ）、 （ｂ）の従来例差である。このことに
より、本発明においては、接着剤層５の厚さと無関係に
、薄膜コイル１の厚さだけにより磁気ギャップ長の大き
さが決定されるようになっている。
媒体摺動面方向から見た断面図であり、（ｂ）は記録媒
体摺動面に垂直な方向からみた断面図である。第１図（
ａ）、 （ｂ）において１は薄膜コイル、２は下部磁極
、３は上部磁極、４はアルミナ膜、５は接着剤層、６は
上部磁極間のトラック間分離用ガラスである。第１図（
ａ）において、接着剤層５が隣りあう薄膜コイル１の間
のスペースにのみ形成されるようにしたことが本発明と
第３図（ａ）、 （ｂ）の従来例差である。このことに
より、本発明においては、接着剤層５の厚さと無関係に
、薄膜コイル１の厚さだけにより磁気ギャップ長の大き
さが決定されるようになっている。
次に第２図は本発明の別の実施例を示す。第２図（ａ）
は記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、第２図（
ｂ）は記録媒体摺動面に垂直な方向からみた断面図であ
る。第２図（ａ）、 （ｂ）において、番号１〜６の示
すものは、第１図（ａ）、 （ｂ）に同じであるが、こ
の実施例においては接着剤層５が、上部磁極３．ガラス
６と接するだけではなく、下部磁極２にも食い込んで接
しており、このため第１図の例にくらべてより接着強度
が強いという利点がある。
は記録媒体摺動面方向から見た断面図であり、第２図（
ｂ）は記録媒体摺動面に垂直な方向からみた断面図であ
る。第２図（ａ）、 （ｂ）において、番号１〜６の示
すものは、第１図（ａ）、 （ｂ）に同じであるが、こ
の実施例においては接着剤層５が、上部磁極３．ガラス
６と接するだけではなく、下部磁極２にも食い込んで接
しており、このため第１図の例にくらべてより接着強度
が強いという利点がある。
光ｊ坏と祢呈−
以上説明したように、本発明は上下磁極の接着剤を隣接
するコイルとコイルの間のスペースにのみ形成すること
により、従来は磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚さと接
着剤の厚さの和であり、そのため磁気ギャップ長の精度
が低かったのに対し、磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚
さだけで決まるようにしたため、磁気ギャップ長の精度
を著しく高め信頼性向上が図れる効果をもたらした。
するコイルとコイルの間のスペースにのみ形成すること
により、従来は磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚さと接
着剤の厚さの和であり、そのため磁気ギャップ長の精度
が低かったのに対し、磁気ギャップ長が薄膜コイルの厚
さだけで決まるようにしたため、磁気ギャップ長の精度
を著しく高め信頼性向上が図れる効果をもたらした。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの第１の例を示す断面
図であり、第２図は本発明の第２の実施例を示す断面図
である。第３図は従来例を示す断面図である。いずれの
図においても、（ａ）は記録媒体摺動面方向から見た断
面図であり、（ｂ）は記録媒体摺動面に垂直な方向から
みた断面図である。 番号１〜６は、第１図〜第３図に共通であり、１・・・
薄膜コイル、２・・・下部磁極、３・・・上部磁極、４
・・・アルミナ膜、５・・・接着剤、θ・・・ガラスで
ある。 工］ 図 本葉ｑ゛ン砲例
図であり、第２図は本発明の第２の実施例を示す断面図
である。第３図は従来例を示す断面図である。いずれの
図においても、（ａ）は記録媒体摺動面方向から見た断
面図であり、（ｂ）は記録媒体摺動面に垂直な方向から
みた断面図である。 番号１〜６は、第１図〜第３図に共通であり、１・・・
薄膜コイル、２・・・下部磁極、３・・・上部磁極、４
・・・アルミナ膜、５・・・接着剤、θ・・・ガラスで
ある。 工］ 図 本葉ｑ゛ン砲例
Claims (1)
- 強磁性体基板を下部磁極とし、その上面に導体薄膜又は
磁気抵抗素子を形成し、更にその上部に強磁性体基板に
よって形成した上部磁極を接着剤により接着した構造の
薄膜磁気ヘッドにおいて、上記導体薄膜又は磁気抵抗素
子と上部磁極との間には接着剤がなく、隣接した導体薄
膜同士の間又は、磁気抵抗素子と磁気抵抗素子の間に接
着剤用溝を形成し、そこに接着剤を充填したことを特徴
とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1817488A JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1817488A JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01192005A true JPH01192005A (ja) | 1989-08-02 |
| JPH0555922B2 JPH0555922B2 (ja) | 1993-08-18 |
Family
ID=11964249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1817488A Granted JPH01192005A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01192005A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220106A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Tokyo Electric Co Ltd | 垂直磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS626419A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-13 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62285211A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-11 | Olympus Optical Co Ltd | 垂直磁化型薄膜ヘツド |
-
1988
- 1988-01-28 JP JP1817488A patent/JPH01192005A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220106A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Tokyo Electric Co Ltd | 垂直磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS626419A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-13 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド |
| JPS62285211A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-11 | Olympus Optical Co Ltd | 垂直磁化型薄膜ヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555922B2 (ja) | 1993-08-18 |
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