JPH0558528B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0558528B2 JPH0558528B2 JP5986187A JP5986187A JPH0558528B2 JP H0558528 B2 JPH0558528 B2 JP H0558528B2 JP 5986187 A JP5986187 A JP 5986187A JP 5986187 A JP5986187 A JP 5986187A JP H0558528 B2 JPH0558528 B2 JP H0558528B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- objective lens
- image observation
- projecting
- observation
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は視野全体が鮮明にみえるように工夫さ
れた新規の光切断式顕微鏡に関するものである。
れた新規の光切断式顕微鏡に関するものである。
〔従来の技術〕および〔発明が解決しようとする
問題点〕 従来、光切断方式の光学像は垂線に対して左右
対称に配置された光帯投射用対物レンズおよび交
切曲線観際用対物レンズによつて光切断による断
面像をみるものであつた。このため、物体像の周
辺個所が像観察用対物レンズ（本願の第２対物レ
ンズと交切曲線観察用対物レンズに相当する）の
焦点距離からはずれて視野全体に亘つて鮮明にみ
ることができない欠陥があつた。
問題点〕 従来、光切断方式の光学像は垂線に対して左右
対称に配置された光帯投射用対物レンズおよび交
切曲線観際用対物レンズによつて光切断による断
面像をみるものであつた。このため、物体像の周
辺個所が像観察用対物レンズ（本願の第２対物レ
ンズと交切曲線観察用対物レンズに相当する）の
焦点距離からはずれて視野全体に亘つて鮮明にみ
ることができない欠陥があつた。
本発明は像観察用第１対物レンズ１を備えた第
１光軸２と、光帯投射用対物レンズ３を備えた第
２光軸４と交切曲線観察用対物レンズ５を備えた
第３光軸６とを被観察面７上に於て会合する状態
で有し、第１光軸２に於て像観察用第１対物レン
ズ１より上の個所に変向用半透明鏡８を、また第
３光軸６に変向用反射鏡９を夫々これ等変向用半
透鏡８および変向用反射鏡９が第３光軸６を第１
光軸２に合体させる状態として設けられ、当該合
体光軸１０上に像観察用第２対物レンズ１１を設
けられると共に同合体光軸１０に於て第２対物レ
ンズ１１より上の個所に接眼レンズ１２を、また
第２光軸４に於て光帯投射用対物レンズ３より上
の個所に光帯投射用光学系１３を夫々装備したこ
とを特徴とする光切断式顕微鏡を提供しこれによ
り上記の欠陥を解消するものである。
１光軸２と、光帯投射用対物レンズ３を備えた第
２光軸４と交切曲線観察用対物レンズ５を備えた
第３光軸６とを被観察面７上に於て会合する状態
で有し、第１光軸２に於て像観察用第１対物レン
ズ１より上の個所に変向用半透明鏡８を、また第
３光軸６に変向用反射鏡９を夫々これ等変向用半
透鏡８および変向用反射鏡９が第３光軸６を第１
光軸２に合体させる状態として設けられ、当該合
体光軸１０上に像観察用第２対物レンズ１１を設
けられると共に同合体光軸１０に於て第２対物レ
ンズ１１より上の個所に接眼レンズ１２を、また
第２光軸４に於て光帯投射用対物レンズ３より上
の個所に光帯投射用光学系１３を夫々装備したこ
とを特徴とする光切断式顕微鏡を提供しこれによ
り上記の欠陥を解消するものである。
図に示す実施例は像観察用第１対物レンズ１を
備えた第１光軸２と、光帯投射用対物レンズ３を
備えた第２光軸４と、交切曲線観察用対物レンズ
５を備えた第３光軸６とを被観察面７に於て会合
する状態で有し、第１光軸２に於て像観察用第１
対物レンズ１より上の個所に変向用半透鏡８を、
また第３光軸６に変向用反射鏡９を夫々これ等変
向用半透鏡８および変向用反射鏡９が第３光軸６
を第１光軸２に合体させる状態として設けられ、
当該合体光軸１０上に像観察用第２対物レンズ１
１を設けられると共に同合体光軸１０に於て第２
対物レンズ１１より上の個所に、接眼レンズ１２
を備えた観察用光学系１４とカメラ撮影用光学系
１５とランプ１６および基準スリツト１７を備え
た基準スリツト投射用光学系１８とを夫々設け、
更に第２光軸４に於て光帯投射用レンズ３より上
の個所にランプ１９および細線スリツト板２０を
備えた光帯投射用光学系１３を設けたものであ
る。
備えた第１光軸２と、光帯投射用対物レンズ３を
備えた第２光軸４と、交切曲線観察用対物レンズ
５を備えた第３光軸６とを被観察面７に於て会合
する状態で有し、第１光軸２に於て像観察用第１
対物レンズ１より上の個所に変向用半透鏡８を、
また第３光軸６に変向用反射鏡９を夫々これ等変
向用半透鏡８および変向用反射鏡９が第３光軸６
を第１光軸２に合体させる状態として設けられ、
当該合体光軸１０上に像観察用第２対物レンズ１
１を設けられると共に同合体光軸１０に於て第２
対物レンズ１１より上の個所に、接眼レンズ１２
を備えた観察用光学系１４とカメラ撮影用光学系
１５とランプ１６および基準スリツト１７を備え
た基準スリツト投射用光学系１８とを夫々設け、
更に第２光軸４に於て光帯投射用レンズ３より上
の個所にランプ１９および細線スリツト板２０を
備えた光帯投射用光学系１３を設けたものであ
る。
尚、本発明は基準スリツト投射用光学系１８、
カメラ撮影用光学系１５を装備しないで実施する
ことも可能である。また実施例の説明および図中
では分かり切つた所要のレンズ、プリズム、鏡、
視野照明装置および計測機械装置等は省略してい
る。
カメラ撮影用光学系１５を装備しないで実施する
ことも可能である。また実施例の説明および図中
では分かり切つた所要のレンズ、プリズム、鏡、
視野照明装置および計測機械装置等は省略してい
る。
〔作用〕および〔発明の効果〕
本発明は上記のような構成であるので、使用中
に於て光切断による交切曲線（断面像）が鮮明に
みえているのに視野の周辺個所が鮮明にみえてい
ない場合には、像観察用第１対物レンズ１のみを
上下させてピント合せ操作を行つて周辺個所も鮮
明にみえるようにすればよいものであり、このよ
うに像観察用第１対物レンズ１にピント合せ操作
を加えても、像観察用第１対物レンズ１と像観察
用第２対物レンズ１１とが分離されているため交
切曲線観察側の倍率が変らない。従つて、交切曲
線はもちろん視野全体に亘つて鮮明にみることが
できるものであつて、所期の目的を完全に達成す
ることができる優れた効果を奏するものである。
に於て光切断による交切曲線（断面像）が鮮明に
みえているのに視野の周辺個所が鮮明にみえてい
ない場合には、像観察用第１対物レンズ１のみを
上下させてピント合せ操作を行つて周辺個所も鮮
明にみえるようにすればよいものであり、このよ
うに像観察用第１対物レンズ１にピント合せ操作
を加えても、像観察用第１対物レンズ１と像観察
用第２対物レンズ１１とが分離されているため交
切曲線観察側の倍率が変らない。従つて、交切曲
線はもちろん視野全体に亘つて鮮明にみることが
できるものであつて、所期の目的を完全に達成す
ることができる優れた効果を奏するものである。
図は本発明光切断顕微鏡の実施例を示すもので
あつて、第１図は全体の概念図、第２図は光帯が
被観察面に照視されている状態を示す斜視図、第
３図は視野を示す平面図である。 １……像観察用第１対物レンズ、２……第１光
軸、３……光帯投射用対物レンズ、４……第２光
軸、５……交切曲線観察用対物レンズ、６……第
３光軸、７……被観察面、８……変向用半透鏡、
９……変向用反射鏡、１０……合体光軸、１１…
…像観察用第２対物レンズ、１２……接眼レン
ズ、１３……光帯投射用光学系、１４……観察用
光学系、１５……カメラ撮影用光学系、１６……
ランプ、１７……基準スリツト、１８……基準ス
リツト投射用光学系、１９……ランプ、２０……
細線スリツト板。
あつて、第１図は全体の概念図、第２図は光帯が
被観察面に照視されている状態を示す斜視図、第
３図は視野を示す平面図である。 １……像観察用第１対物レンズ、２……第１光
軸、３……光帯投射用対物レンズ、４……第２光
軸、５……交切曲線観察用対物レンズ、６……第
３光軸、７……被観察面、８……変向用半透鏡、
９……変向用反射鏡、１０……合体光軸、１１…
…像観察用第２対物レンズ、１２……接眼レン
ズ、１３……光帯投射用光学系、１４……観察用
光学系、１５……カメラ撮影用光学系、１６……
ランプ、１７……基準スリツト、１８……基準ス
リツト投射用光学系、１９……ランプ、２０……
細線スリツト板。
Claims (1)
- 像観察用第１対物レンズ１を備えた第１光軸２
と、光帯投射用対物レンズ３を備えた第２光軸４
と、交切曲線観察用対物レンズ５を備えた第３光
軸６とを被観察面７上に於て会合する状態で有
し、第１光軸２に於て像観察用第１対物レンズ１
より上の個所に変向用半透鏡８を、また第３光軸
６に変向用反射鏡９を夫々これ等変向用半透鏡８
および変向用反射鏡９が第３光軸６を第１光軸２
に合体させる状態として設けられ、当該合体光軸
１０上に像観察用第２対物レンズ１１を設けられ
ると共に同合体光軸１０に於て第２対物レンズ１
１より上の個所に接眼レンズ１２を、また第２光
軸４に於て光帯投射用対物レンズ３より上の個所
に光帯投射用光学系１３を夫々装備されたことを
特徴とする光切断式顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5986187A JPS63225214A (ja) | 1987-03-14 | 1987-03-14 | 光切断式顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5986187A JPS63225214A (ja) | 1987-03-14 | 1987-03-14 | 光切断式顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63225214A JPS63225214A (ja) | 1988-09-20 |
| JPH0558528B2 true JPH0558528B2 (ja) | 1993-08-26 |
Family
ID=13125381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5986187A Granted JPS63225214A (ja) | 1987-03-14 | 1987-03-14 | 光切断式顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63225214A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2828145B2 (ja) * | 1989-04-14 | 1998-11-25 | 富士通株式会社 | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 |
-
1987
- 1987-03-14 JP JP5986187A patent/JPS63225214A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63225214A (ja) | 1988-09-20 |
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Legal Events
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