JPH0560242B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0560242B2 JPH0560242B2 JP60107591A JP10759185A JPH0560242B2 JP H0560242 B2 JPH0560242 B2 JP H0560242B2 JP 60107591 A JP60107591 A JP 60107591A JP 10759185 A JP10759185 A JP 10759185A JP H0560242 B2 JPH0560242 B2 JP H0560242B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- recording
- thin films
- magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/18—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being compounds
- H01F10/20—Ferrites
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Compounds Of Iron (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁性薄膜に係り、より詳細には、膜面
に垂直方向に優れた磁気異方性を有し、垂直磁気
記録媒体として好適な磁性薄膜に関するものであ
る。
に垂直方向に優れた磁気異方性を有し、垂直磁気
記録媒体として好適な磁性薄膜に関するものであ
る。
（従来の技術及び問題点）
現在、磁化記録方式としては、塗布型及び蒸着
型磁気記録媒体に用いた面内磁化記録方式が一般
に採用されている。この方式は記録すべき情報を
磁気記録媒体の表面平面内で磁気ヘツドにより面
内方向に磁化させ、記録させるものであるが、平
面内での磁化記録であるため、その記録密度には
原理的に限界がある。
型磁気記録媒体に用いた面内磁化記録方式が一般
に採用されている。この方式は記録すべき情報を
磁気記録媒体の表面平面内で磁気ヘツドにより面
内方向に磁化させ、記録させるものであるが、平
面内での磁化記録であるため、その記録密度には
原理的に限界がある。
一方、これに対し、原理的に記録密度のより高
密度化が可能である垂直磁化記録方式が精力的に
開発されている。この方式は垂直ヘツドと垂直磁
気異方性をもつ媒体とを組合わせることにより超
高密度の記録を可能にしようとするものであり、
特に記録媒体として用いる磁性薄膜の研究が盛ん
に行われている。
密度化が可能である垂直磁化記録方式が精力的に
開発されている。この方式は垂直ヘツドと垂直磁
気異方性をもつ媒体とを組合わせることにより超
高密度の記録を可能にしようとするものであり、
特に記録媒体として用いる磁性薄膜の研究が盛ん
に行われている。
上記垂直磁化記録方式に用いる記録媒体として
代表的な磁性薄膜としては、Co−Cr系合金薄膜
やBaフエライト薄膜などがある。しかし、前者
のCo−Cr系合金からなる薄膜は、比較的高価な
元素であるCoやCrを含むために高価となり、ま
た原材料としてのこれらの元素の供給に不安定性
があるという問題がある。一方、Baフエライト
薄膜では垂直磁気異方性と密接な関係のある高配
向性結晶をつくる際に薄膜作製条件が厳しく、基
板を500℃以上に加熱する必要がある等のため、
製法上複雑で、かつ、基板材料に制約があり、
PET等の安価な樹脂基板の使用が不可能である。
代表的な磁性薄膜としては、Co−Cr系合金薄膜
やBaフエライト薄膜などがある。しかし、前者
のCo−Cr系合金からなる薄膜は、比較的高価な
元素であるCoやCrを含むために高価となり、ま
た原材料としてのこれらの元素の供給に不安定性
があるという問題がある。一方、Baフエライト
薄膜では垂直磁気異方性と密接な関係のある高配
向性結晶をつくる際に薄膜作製条件が厳しく、基
板を500℃以上に加熱する必要がある等のため、
製法上複雑で、かつ、基板材料に制約があり、
PET等の安価な樹脂基板の使用が不可能である。
このように、Co−Cr系合金薄膜やBaフエライ
ト薄膜では記録媒体として工業的な問題を多くか
かえており、新規な材質の記録媒体の早期開発が
強く望まれているのが現状である。
ト薄膜では記録媒体として工業的な問題を多くか
かえており、新規な材質の記録媒体の早期開発が
強く望まれているのが現状である。
（発明の目的）
本発明は、前述の従来技術の欠点を解消して上
記要請に応えるべくなされたものであつて、材料
費が安価で容易に作製でき、しかも垂直磁気異方
性の優れた磁性薄膜を提供することを目的とする
ものである。
記要請に応えるべくなされたものであつて、材料
費が安価で容易に作製でき、しかも垂直磁気異方
性の優れた磁性薄膜を提供することを目的とする
ものである。
（発明の構成）
上記目的達成のため、本発明者等は、まず、上
記従来の垂直磁気異方性薄膜の欠点が作製条件の
厳しさ及び高価な材料の使用の点に起因する事実
に鑑み、これらの欠点を解消するために鉄酸化物
を主原料とし、これに第３元素を添加することに
よつて併わせて垂直磁気異方性の優れた磁性薄膜
を見い出すべく、基礎実験を試みた。
記従来の垂直磁気異方性薄膜の欠点が作製条件の
厳しさ及び高価な材料の使用の点に起因する事実
に鑑み、これらの欠点を解消するために鉄酸化物
を主原料とし、これに第３元素を添加することに
よつて併わせて垂直磁気異方性の優れた磁性薄膜
を見い出すべく、基礎実験を試みた。
すなわち、試料として鉄酸化物に錫（Sn）、ゲ
ルマニウム（Ge）を含む組成のものを一例とし
てRF2種スパツタ法で作製した。なお、ターゲツ
トはGe、Feシート、GeO2、SnO2、SnO、Fe2
O3、焼結ペレツトのうち１〜３種類のシート又
はペレツトをFe2O3又はFeからなるターゲツトの
上に乗せた複合ターゲツトを用い、組成変化は複
合ターゲツトの組み合わせによつて変化させた。
試料作製の一例はアルゴン圧2Pa、電極電圧
1.5KVで水冷されたパイレツクスガラスを基板に
用いた。
ルマニウム（Ge）を含む組成のものを一例とし
てRF2種スパツタ法で作製した。なお、ターゲツ
トはGe、Feシート、GeO2、SnO2、SnO、Fe2
O3、焼結ペレツトのうち１〜３種類のシート又
はペレツトをFe2O3又はFeからなるターゲツトの
上に乗せた複合ターゲツトを用い、組成変化は複
合ターゲツトの組み合わせによつて変化させた。
試料作製の一例はアルゴン圧2Pa、電極電圧
1.5KVで水冷されたパイレツクスガラスを基板に
用いた。
得られた試料の磁性薄膜は、Fe0
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 鉄（Fe）、酸素（Ｏ）及びＭ（但し、Ｍは錫
及びゲルマニウムのうち１種又は２種）からなる
下記の組成を有し、垂直異方性磁界が2.5KO¨e以
上で、膜面に垂直方向に優れた磁気異方性を有す
る磁性薄膜。 記 FexOyMz 但し、ｘ，ｙ及びｚは各々原子割合で 0.25≦ｘ≦0.6 0.3≦ｙ≦0.6 0.005≦ｚ≦0.3 とする。 ２ 鉄（Fe）、酸素（Ｏ）及びＭ（但し、Ｍは錫
及びゲルマニウムのうちの１種又は２種）からな
る下記の組成を有し、1emu／c.c.以上の飽和磁化
を有する垂直磁化磁性薄膜。 記 FexOyMz 但し、ｘ，ｙ及びｚは各々原子割合で 0.25≦ｘ≦0.53 0.35≦ｙ≦0.6 0.015≦ｚ≦0.25 とする。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10759185A JPS61265808A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 鉄酸化物系垂直磁気異方性薄膜 |
| DE19863616492 DE3616492A1 (de) | 1985-05-20 | 1986-05-16 | Orthogonal magnetisierter anisotroper duenner film auf eisen-sauerstoff-basis |
| US06/863,909 US4764436A (en) | 1985-05-20 | 1986-05-16 | Iron-oxygen based perpendicular magnetized anisotropic thin film |
| NL8601273A NL193333C (nl) | 1985-05-20 | 1986-05-20 | Magnetische dunne film. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10759185A JPS61265808A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 鉄酸化物系垂直磁気異方性薄膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265808A JPS61265808A (ja) | 1986-11-25 |
| JPH0560242B2 true JPH0560242B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=14463034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10759185A Granted JPS61265808A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 鉄酸化物系垂直磁気異方性薄膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61265808A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5389370B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2014-01-15 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 強磁性薄膜材料とその製造方法 |
| JP7153555B2 (ja) * | 2018-08-01 | 2022-10-14 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 複合鉄酸化物薄膜およびその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3228659A1 (de) * | 1982-07-31 | 1984-02-02 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Verfahren zur herstellung von cobalt-epitaxial-beschichteten eisenoxiden fuer die magnetaufzeichnung |
| JPS59147422A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-23 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁性層の形成方法 |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP10759185A patent/JPS61265808A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61265808A (ja) | 1986-11-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |