JPH0562381A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH0562381A JPH0562381A JP22025691A JP22025691A JPH0562381A JP H0562381 A JPH0562381 A JP H0562381A JP 22025691 A JP22025691 A JP 22025691A JP 22025691 A JP22025691 A JP 22025691A JP H0562381 A JPH0562381 A JP H0562381A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- substrate
- magnetic sensor
- head base
- head
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は磁気センサ自体に磁気シールド性を
もたせることにより、従来の場合のように磁気シールド
ケース等を使用せずに外部からの漏洩磁束をシールドで
きるようにした磁気センサを提供することを目的とす
る。 【構成】 ＭＲ素子等の磁気感応素子２１を電気絶縁層
２２を介して、磁気シールド性を有する基板２３に取り
付けることにより、磁気センサＳ1，Ｓ2を構成した。
もたせることにより、従来の場合のように磁気シールド
ケース等を使用せずに外部からの漏洩磁束をシールドで
きるようにした磁気センサを提供することを目的とす
る。 【構成】 ＭＲ素子等の磁気感応素子２１を電気絶縁層
２２を介して、磁気シールド性を有する基板２３に取り
付けることにより、磁気センサＳ1，Ｓ2を構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はディスクドライブ装置の
位置検出手段等に使用して好適な磁気センサに関するも
のである。
位置検出手段等に使用して好適な磁気センサに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ディスクドライブ装置にはヘッド素子移
動方式として回転型とリニア型とがあり、リニア型のも
のはヘッド基台をリニアに移動させることによってヘッ
ド素子をディスクの半径方向に変位させる。そして、こ
のヘッド基台移動手段の駆動源としてリニアモータを用
いたものが運動伝達系の簡略化等より提案されている。
動方式として回転型とリニア型とがあり、リニア型のも
のはヘッド基台をリニアに移動させることによってヘッ
ド素子をディスクの半径方向に変位させる。そして、こ
のヘッド基台移動手段の駆動源としてリニアモータを用
いたものが運動伝達系の簡略化等より提案されている。
【０００３】一方、ヘッド基台の位置を検出する位置検
出手段として光スケールと光センサを用いたものが提案
されているが、光スケールのスリット孔は単一光源によ
る露光処理で作られるため全ての位置で同一形状に形成
されず測定精度に一定の限界がある。そのため、本出願
人は高密度トラック化の要請に応えられる測定精度を得
るため磁気スケールと磁気センサを用いることを考え
た。磁気スケール（以下マグネスケールという）は単一
の磁気ヘッドの近接位置に磁性材を配置し、この磁性材
を一定速度で移動して着磁することによって作るため全
ての位置で正確な着磁パターンが得られる。
出手段として光スケールと光センサを用いたものが提案
されているが、光スケールのスリット孔は単一光源によ
る露光処理で作られるため全ての位置で同一形状に形成
されず測定精度に一定の限界がある。そのため、本出願
人は高密度トラック化の要請に応えられる測定精度を得
るため磁気スケールと磁気センサを用いることを考え
た。磁気スケール（以下マグネスケールという）は単一
の磁気ヘッドの近接位置に磁性材を配置し、この磁性材
を一定速度で移動して着磁することによって作るため全
ての位置で正確な着磁パターンが得られる。
【０００４】また、磁気センサはＭＲ素子等の磁気感応
素子をガラスの基板上に取り付けることにより形成され
ている。
素子をガラスの基板上に取り付けることにより形成され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のガラ
スの基板の上に磁気感応素子を取り付けた磁気センサを
リニアモータの近くで使用すると、リニアモータからの
漏洩磁束によって磁気センサが悪影響を受ける。これを
防止するためリニアモータ又は磁気センサを、シールド
ケースで覆うことが考えられるが、このような構成にす
ると構造が複雑になると共に、コストが高くなるという
問題点がある。
スの基板の上に磁気感応素子を取り付けた磁気センサを
リニアモータの近くで使用すると、リニアモータからの
漏洩磁束によって磁気センサが悪影響を受ける。これを
防止するためリニアモータ又は磁気センサを、シールド
ケースで覆うことが考えられるが、このような構成にす
ると構造が複雑になると共に、コストが高くなるという
問題点がある。
【０００６】本発明はシールドケースを使用せずに、リ
ニアモータからの漏洩磁束が磁気センサに悪影響を及ぼ
すのを防ぐことのできる磁気センサを提供することを目
的としてなされたものである。
ニアモータからの漏洩磁束が磁気センサに悪影響を及ぼ
すのを防ぐことのできる磁気センサを提供することを目
的としてなされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】ＭＲ素子等の磁気感応素
子を基板に取り付けることにより構成した磁気センサに
おいて、前記基板を磁気シールド性を有する素材で形成
すると共に、前記基板と磁気感応素子の間は電気絶縁層
を介在させた。
子を基板に取り付けることにより構成した磁気センサに
おいて、前記基板を磁気シールド性を有する素材で形成
すると共に、前記基板と磁気感応素子の間は電気絶縁層
を介在させた。
【０００８】
【作用】リニアモータから発生した漏洩磁束は、磁気セ
ンサの基板でシールドされて、漏洩磁束が磁気感応素子
に悪影響を及ぼすのを防止する。
ンサの基板でシールドされて、漏洩磁束が磁気感応素子
に悪影響を及ぼすのを防止する。
【０００９】また、基板と磁気感応素子の間に介在され
た電気絶縁層が磁気感応素子に加えられた電流が基板側
に漏洩するのを防止する。
た電気絶縁層が磁気感応素子に加えられた電流が基板側
に漏洩するのを防止する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を図面を用いて説明する。
【００１１】図面は本発明の磁気センサＳ1，Ｓ2をヘッ
ド基台移動検出手段に使用した場合を示す。図１〜図３
において、シャーシ１上には磁気記録用のディスクＤが
回転自在に支持され、このディスクＤは図示しないモー
タの回転力によって回転される。又、シャーシ１上には
ヘッド基台２が配置され、このヘッド基台２は下記する
ヘッド基台移動手段Ａによってリニアに移動される。ヘ
ッド基台２には二枚の板バネ３の基端が支持され、この
各板バネ３の先端にはヘッド素子４がそれぞれ固定され
ている。
ド基台移動検出手段に使用した場合を示す。図１〜図３
において、シャーシ１上には磁気記録用のディスクＤが
回転自在に支持され、このディスクＤは図示しないモー
タの回転力によって回転される。又、シャーシ１上には
ヘッド基台２が配置され、このヘッド基台２は下記する
ヘッド基台移動手段Ａによってリニアに移動される。ヘ
ッド基台２には二枚の板バネ３の基端が支持され、この
各板バネ３の先端にはヘッド素子４がそれぞれ固定され
ている。
【００１２】前記ヘッド基台移動手段Ａはシャーシ１に
固定されたレール５を有し、このレール５に案内されて
ヘッド基台２がスライド自在に設けられている。このヘ
ッド基台２の移動でヘッド素子４がディスクＤの半径方
向に移動される。又、ヘッド基台２の左右対称位置には
リニアモータ６がそれぞれ設けられており、各リニアモ
ータ６は固定側と可動側から成る。固定側はシャーシ１
に固定されたヨーク７を有し、このヨーク７は前記レー
ル５と同一方向に長手方向が配置されている。ヨーク７
の長手方向には上板部７ａと下板部７ｂとその中央のセ
ンター部７ｃとが一定間隔で平行に設けられ、上板部７
ａの下面と下板部７ｂの上面には永久磁石８ａ，８ｂが
それぞれ固定されている。
固定されたレール５を有し、このレール５に案内されて
ヘッド基台２がスライド自在に設けられている。このヘ
ッド基台２の移動でヘッド素子４がディスクＤの半径方
向に移動される。又、ヘッド基台２の左右対称位置には
リニアモータ６がそれぞれ設けられており、各リニアモ
ータ６は固定側と可動側から成る。固定側はシャーシ１
に固定されたヨーク７を有し、このヨーク７は前記レー
ル５と同一方向に長手方向が配置されている。ヨーク７
の長手方向には上板部７ａと下板部７ｂとその中央のセ
ンター部７ｃとが一定間隔で平行に設けられ、上板部７
ａの下面と下板部７ｂの上面には永久磁石８ａ，８ｂが
それぞれ固定されている。
【００１３】各永久磁石８ａ，８ｂは上下方向に分極さ
れ、上下位置の永久磁石８ａ，８ｂはセンター部７ｃ側
が同じ極性に構成される。そして、左右のリニアモータ
６の左右対称位置の永久磁石８ａ，８ｂはその極性が互
いに反転されている。即ち、この実施例では図３に示す
如く左側の永久磁石８ａ，８ｂのセンター部７ｃ側がＳ
極、右側の永久磁石８ａ，８ｂのセンター部７ｃ側がＮ
極に構成されている。可動側はヘッド基台２に固定され
たコイル部９を有し、この各コイル部９が各センター部
７ｃに挿入されている。
れ、上下位置の永久磁石８ａ，８ｂはセンター部７ｃ側
が同じ極性に構成される。そして、左右のリニアモータ
６の左右対称位置の永久磁石８ａ，８ｂはその極性が互
いに反転されている。即ち、この実施例では図３に示す
如く左側の永久磁石８ａ，８ｂのセンター部７ｃ側がＳ
極、右側の永久磁石８ａ，８ｂのセンター部７ｃ側がＮ
極に構成されている。可動側はヘッド基台２に固定され
たコイル部９を有し、この各コイル部９が各センター部
７ｃに挿入されている。
【００１４】位置検出手段Ｂはマグネスケール１０と磁
気センサＳ1，Ｓ2を有する。マグネスケール１０はレー
ル５の長手方向に形成された溝１１に埋設されている。
マグネスケール１０の製造は磁性材を単一の磁気ヘッド
に対して磁性材を近接して配置し、この磁性材を一定速
度で移動してＳ極とＮ極を交互に着磁することによって
行う。従って、全ての位置で規則正しく着磁され、且
つ、長寸法のマグネスケール１０を製造しても着磁が乱
れることもない。
気センサＳ1，Ｓ2を有する。マグネスケール１０はレー
ル５の長手方向に形成された溝１１に埋設されている。
マグネスケール１０の製造は磁性材を単一の磁気ヘッド
に対して磁性材を近接して配置し、この磁性材を一定速
度で移動してＳ極とＮ極を交互に着磁することによって
行う。従って、全ての位置で規則正しく着磁され、且
つ、長寸法のマグネスケール１０を製造しても着磁が乱
れることもない。
【００１５】前記磁気センサＳ1，Ｓ2は図４に示したよ
うに磁気感応素子としてのＭＲ素子２１を電気絶縁層２
２を介して基板２３に一体的に取り付けることにより形
成されている。
うに磁気感応素子としてのＭＲ素子２１を電気絶縁層２
２を介して基板２３に一体的に取り付けることにより形
成されている。
【００１６】前記基板２３は磁気シールド性を有するパ
ーマロイ等の鉄系素材で形成されている。
ーマロイ等の鉄系素材で形成されている。
【００１７】前記電気絶縁層２２はＭＲ素子２１と同程
度の熱膨張率を有するポリアミドイミドやテフロン等の
合成樹脂により形成されていて、ＭＲ素子２１を接着し
た場合に熱膨張率の相違で容易に両者が容易に剥離する
ことのないようになっている。
度の熱膨張率を有するポリアミドイミドやテフロン等の
合成樹脂により形成されていて、ＭＲ素子２１を接着し
た場合に熱膨張率の相違で容易に両者が容易に剥離する
ことのないようになっている。
【００１８】そして、前記磁気センサＳ1，Ｓ2は基板２
３を前記ヘッド基台２のヘッド素子４と反対側の端面に
設けられた磁気センサ支持部材２４に取り付けられてい
て、ＭＲ素子２１が前記マグネスケール１０に対向して
いる。磁気センサＳ1，Ｓ2はヘッド基台２の移動方向に
一定間隔隔てて２個設けられ、その間隔はマグネスケー
ル１０のＮ極からＳ極までのピッチを着磁間隔と考える
とこの間隔の１／４に設定されている。従って、２つの
磁気センサＳ1，Ｓ2の出力は９０°位相シフトした正弦
波となり、この出力信号は図示しない波形処理回路に導
かれている。この波形処理回路にて目盛信号、移動方向
信号等が形成され、この目盛信号等に基づいてリニアモ
ータ６がフィードバック制御される。又、磁気センサＳ
1，Ｓ2を構成するＭＲ素子２１は電流方向に直交する磁
束が存在するときに電気抵抗値が変化する現象を利用す
るもので、この実施例のものは図６に示すｘ方向の磁束
に最も敏感に感応するよう配置されている。従って、Ｘ
方向の外乱が位置読み出しに最も不都合な成分となる。
３を前記ヘッド基台２のヘッド素子４と反対側の端面に
設けられた磁気センサ支持部材２４に取り付けられてい
て、ＭＲ素子２１が前記マグネスケール１０に対向して
いる。磁気センサＳ1，Ｓ2はヘッド基台２の移動方向に
一定間隔隔てて２個設けられ、その間隔はマグネスケー
ル１０のＮ極からＳ極までのピッチを着磁間隔と考える
とこの間隔の１／４に設定されている。従って、２つの
磁気センサＳ1，Ｓ2の出力は９０°位相シフトした正弦
波となり、この出力信号は図示しない波形処理回路に導
かれている。この波形処理回路にて目盛信号、移動方向
信号等が形成され、この目盛信号等に基づいてリニアモ
ータ６がフィードバック制御される。又、磁気センサＳ
1，Ｓ2を構成するＭＲ素子２１は電流方向に直交する磁
束が存在するときに電気抵抗値が変化する現象を利用す
るもので、この実施例のものは図６に示すｘ方向の磁束
に最も敏感に感応するよう配置されている。従って、Ｘ
方向の外乱が位置読み出しに最も不都合な成分となる。
【００１９】以下、上記構成の作用について説明する。
ヘッド基台２が基準位置にある場合に目標のトラックデ
ータが入力されると、図３に示すように各リニアモータ
６のコイル部９に電流が流れる。すると、この電流が永
久磁石８ａ，８ｂ及びヨーク７で形成される磁路内を直
交することによってヘッド基台２に推進力が与えられ
る。このヘッド基台２の移動で各磁気センサＳ1，Ｓ2が
マグネスケール１０上を移動して正弦波をそれぞれ出力
し、この出力信号によって前記リニアモータ６がフィー
ドバック制御される。
ヘッド基台２が基準位置にある場合に目標のトラックデ
ータが入力されると、図３に示すように各リニアモータ
６のコイル部９に電流が流れる。すると、この電流が永
久磁石８ａ，８ｂ及びヨーク７で形成される磁路内を直
交することによってヘッド基台２に推進力が与えられ
る。このヘッド基台２の移動で各磁気センサＳ1，Ｓ2が
マグネスケール１０上を移動して正弦波をそれぞれ出力
し、この出力信号によって前記リニアモータ６がフィー
ドバック制御される。
【００２０】ここで、磁気センサＳ1，Ｓ2に近い下位置
の左右の永久磁石８ｂによる漏洩磁束は図６及び図７に
示すようになる。磁気センサＳ1，Ｓ2の位置におけるｘ
方向の磁界は図６に示すように左右の磁束が反対方向で
キャンセル（相殺）されると共に、ＭＲ素子２１は磁気
シールド性を有する基板２３に取り付けられているの
で、該基板２３により漏洩磁束は遮蔽されて、ＭＲ素子
２１は漏洩磁束による影響を受けない。又、左右の上位
置にある永久磁石８ａの漏洩磁束は下位置のものより弱
いと共に同様に左右の磁束が反対方向となるため悪影響
を及ぼさない。従って、磁気センサＳ1，Ｓ2はマグネス
ケール１０にのみ基づく正確な正弦波信号を出力する。
又、この実施例ではＺ方向の漏洩磁束も図６に示すよう
に反対方向でキャンセルされる。
の左右の永久磁石８ｂによる漏洩磁束は図６及び図７に
示すようになる。磁気センサＳ1，Ｓ2の位置におけるｘ
方向の磁界は図６に示すように左右の磁束が反対方向で
キャンセル（相殺）されると共に、ＭＲ素子２１は磁気
シールド性を有する基板２３に取り付けられているの
で、該基板２３により漏洩磁束は遮蔽されて、ＭＲ素子
２１は漏洩磁束による影響を受けない。又、左右の上位
置にある永久磁石８ａの漏洩磁束は下位置のものより弱
いと共に同様に左右の磁束が反対方向となるため悪影響
を及ぼさない。従って、磁気センサＳ1，Ｓ2はマグネス
ケール１０にのみ基づく正確な正弦波信号を出力する。
又、この実施例ではＺ方向の漏洩磁束も図６に示すよう
に反対方向でキャンセルされる。
【００２１】なお図面に示す実施例では本発明の磁気セ
ンサをディスクドライブ装置のヘッド基台移動検出手段
に使用した場合を示したが、本発明の磁気センサはディ
スクドライブ装置のみでなく、他の分野においても広く
利用できる。
ンサをディスクドライブ装置のヘッド基台移動検出手段
に使用した場合を示したが、本発明の磁気センサはディ
スクドライブ装置のみでなく、他の分野においても広く
利用できる。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明は、磁気感
応素子を電気絶縁層を介して、磁気シールド性を有する
基板に取り付けることにより、磁気センサを構成したの
で、磁気センサ自体が磁気シールド性を有し、従来のよ
うにシールドケース等を使用せずに、磁気感応素子を外
部からの漏洩磁束から保護し、磁気センサとしての性能
を向上させることができる。
応素子を電気絶縁層を介して、磁気シールド性を有する
基板に取り付けることにより、磁気センサを構成したの
で、磁気センサ自体が磁気シールド性を有し、従来のよ
うにシールドケース等を使用せずに、磁気感応素子を外
部からの漏洩磁束から保護し、磁気センサとしての性能
を向上させることができる。
【図１】ディスクドライブ装置の平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線拡大断面図。
【図４】磁気センサの分解斜視図。
【図５】位置検出手段の概略斜視図。
【図６】漏洩磁束の状態を示す図。
【図７】漏洩磁束の状態を示す図。
Ａ…ヘッド基台移動手段、Ｂ…位置検出手段、Ｓ1，Ｓ2
…磁気センサ、１…シャーシ、２…ヘッド基台、４…ヘ
ッド素子、６…リニアモータ、８ａ，８ｂ…永久磁石、
９…コイル部、１０…マグネスケール、２１…ＭＲ素
子、２２…電気絶縁層、２３…基板。
…磁気センサ、１…シャーシ、２…ヘッド基台、４…ヘ
ッド素子、６…リニアモータ、８ａ，８ｂ…永久磁石、
９…コイル部、１０…マグネスケール、２１…ＭＲ素
子、２２…電気絶縁層、２３…基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 吉博 東京都台東区池之端１丁目２番11号 アイ ワ株式会社内 (72)発明者 臼井 卓己 東京都台東区池之端１丁目２番11号 アイ ワ株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気感応素子を基板に取り付けることに
より構成した磁気センサにおいて、 前記基板を磁気シールド性を有する素材で形成すると共
に、前記基板と磁気感応素子の間は電気絶縁層を介在さ
せたことを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22025691A JPH0562381A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22025691A JPH0562381A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562381A true JPH0562381A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16748337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22025691A Pending JPH0562381A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0562381A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734671B2 (en) | 2001-03-07 | 2004-05-11 | Denso Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP22025691A patent/JPH0562381A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734671B2 (en) | 2001-03-07 | 2004-05-11 | Denso Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| US7078238B2 (en) | 2001-03-07 | 2006-07-18 | Denso Corporation | Method for manufacturing magnetic sensor |
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