JPH056277Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はウエハーの分離取出し装置、更に詳し
くはスライス以降の諸工程で加工上の理由から重
ね合わせたブロツク状ウエハーを一枚ずつ分離せ
しめて取出す装置に関する。

（従来の技術） 従来、この種のウエハー分離取出し装置には、
実公昭62−44534号公報記載の如く、水槽内に収
容し水に浸したブロツク状ウエハーをＵ字形開口
部側に押圧し、その開口部側から吸着装置にて吸
引し、積み重ね方向に対して直角に移動させ二枚
目以降のウエハーの追従を開口部上方の抑制ゲー
トにより行い、一枚ずつ取出していた。

（考案が解決しようとする課題） しかし、表面研磨後のウエハーは密着性が高
く、また水に浸されているためウエハー間に表面
張力が働くことから、上記せる従来技術によると
一枚目のウエハーを取出す際に二枚目以降のウエ
ハーは必然的に追従するものであつたため、何等
ウエハー間の密着防止が図られているものではな
く、スムーズなウエハー分離取出し作業がなされ
ていなかつた。

本考案は、従来技術の有するこのような問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とするとこ
ろは、超音波振動によるキヤビテーシヨン効果で
確実なウエハー間の密着防止を図り、スムーズな
ウエハー分離取出し作業の向上を図ることであ
る。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本考案がなした技術
的手段は、水槽の壁面に超音波発生装置を設けた
ことである。

（作用） 上記せる技術的手段により、超音波発生装置が
水槽内に超音波振動を送り、キヤビテーシヨン効
果により各ウエハー間に間隙を生じせしめる。

そして水槽の開口部に位置する吸着装置が一枚
目のウエハーを吸着し、二枚目との間に間隙が生
じたその一枚目のウエハーのみをウエハー積み重
ね方向に対して直角に移動せしめる。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図に示すウエハー分離取出し装置は、上面
を開口した水槽１の側壁１ａに超音波発生装置２
を設置し、該水槽１内にウエハー押上機構３の押
上部材３ａを収容配設し、前記水槽１の上方に吸
着装置４を設けたものであり、水槽１内には開口
部１ｂ近傍まで水ｘを注入する。

超音波発生装置２は、従来周知のものを用い、
水槽１内の水ｘに強力な超音波ｙ……を伝播せし
めキヤビテーシヨン効果を招くものとする。

尚、超音波発生装置２は、図中、一点鎖線で示
す如く水槽１の底壁１ｃに設けるものとしてもよ
い。

押上部材３ａは、例えば断面略Ｌ字形で、その
下端ウエハー載置面３a′にブロツク状ウエハー５
を載置する。

そして、ウエハー５′……の暑さに応じて前記
押上部材３ａが上昇するようにウエハー押上機構
３を調節する。

また、押上機構３の駆動源はモーター等を用い
るものとする。

ブロツク状ウエハー５は、スライス後の複数枚
のウエハー５′……を積み重ねたもので、その一
枚目（先端）の底面５′ａを水槽１の開口部上縁
１b′より上方に位置せしめ、かつ前記吸着装置４
に当接せしめるようにする。

吸着装置４は、例えば弾性体からなりウエハー
５′に対して水平に設け、内部空間４ａを減圧せ
しめることによりウエハー５′を吸着せしめる。

次に作動について説明すると、水槽１内で押上
部材３ａ上に載置されたブロツク状ウエハー５は
そのウエハー５′の一枚目（先端）を吸着装置４
に当接せしめ、超音波発生装置２を作動せしめる
と、超音波振動によるキヤビテーシヨン効果でブ
ロツク状ウエハー５の各ウエハー５′……間に間
隙を生じさせ、ウエハー５′……同志の密着状態
を解除せしめる。

そして吸着装置４の内部空間４ａを減圧せしめ
て一枚目のウエハー５′のみを吸着し、移動機構
（図示省略）により、ウエハー５′の積み重ね方向
に対し直角に移動（図中の矢印の通り）させて取
出す。

尚、二枚目以降もあらかじめセツトしたウエハ
ー押上機構３により、常にその先端にウエハー
５′を水槽１の開口部上縁１b′上で吸着装置４と
当接する位置にブロツク状ウエハー５を位置せし
めるようにしているため同様な作動により分離取
出しができる。

またこの場合、一枚目（先端）のウエハー５′
のみを分離取出しする際に万が一、二枚目以降の
ウエハー５′が追従しても、水槽１の開口部上縁
１b′のウエハー取出し側１b″に抑止部材６を設け
ているため二枚目以降のウエハー５′の追従が阻
止される。

従つて本実施例にあつては、水槽１内に注入さ
れた水ｘ中にブロツク状ウエハー５の全体が殆ど
浸つている状態であるため、キヤビテーシヨン効
果がブロツク状ウエハー５の全体に及び密着状態
の解除を一層向上せしめるものとなる。

また第２図に示す如く、水槽１′の前面（図中
左側面）にＵ字形開口部１′ａを設け、該開口部
１′ａ側にブロツク状ウエハー５を縦状態に水槽
１′の後方（図中右側）からウエハー押圧機構
３′により押圧し、その先端のウエハー５′に吸着
装置４′を当接せしめて、該吸着装置４′を減圧す
ることにより、先端のウエハー５′を吸着せしめ
て移動機構７により上方にウエハー面に対し平行
移動させて取出すものとしてもよく、開口部１′
ａが側面１′ｂに設けられているため水ｘは図に
示す如く点線位置まで注入し、水槽１′の底壁
１′ｃに超音波発生装置２を設置する。

この場合、ブロツク状ウエハー５はその一部分
のみが水ｘに浸つている状態であるが、キヤビテ
ーシヨン効果により間隙が生じたウエハー５′…
…間には毛細管現象で水が吸い上げられ漏れた状
態となり、ウエハー取出時の水平方向への移動を
防げない。

またこの場合も、二枚目以降のウエハー５′の
追従防止に、開口部１′ａ上方に抑止部材６′を設
けるものとする。

（考案の効果） 本考案は、上記せる如き構成を有するので下記
の効果を奏する。

超音波発生装置からの超音波振動を水槽内に送
り、キヤビテーシヨン効果によりブロツク状ウエ
ハーの各ウエハー間に間隙を生じさせるため、ウ
エハー同志が密着せずウエハー分離取出し作業で
１枚ずつ分離取出しが容易に行え。二枚目以降の
ウエハーの追従作用を誘発しないこととなるので
確実なウエハー間の密着防止が図れることとな
り、かつ結果としてスムーズなウエハー分離取出
し作業の向上を図ることとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ウエハー分離取出し装置の一実
施例を示す縦断正面図、第２図は他の実施例を示
す縦断正面図である。 尚、図中１……水槽、２……超音波発生装置、
４……吸着装置、５……ブロツク状ウエハー、
５′……ウエハー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 開口部を有する水槽内に収容されたブロツク状
   ウエハーを吸着装置によつて一枚ずつ分離せしめ
   て取出すウエハー分離取出し装置において、上記
   水槽の壁面に超音波発生装置を設けたことを特徴
   とするウエハー分離取出し装置。