JPH0564238A - 二次元撮像装置の検査装置 - Google Patents
二次元撮像装置の検査装置Info
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- JPH0564238A JPH0564238A JP3219033A JP21903391A JPH0564238A JP H0564238 A JPH0564238 A JP H0564238A JP 3219033 A JP3219033 A JP 3219033A JP 21903391 A JP21903391 A JP 21903391A JP H0564238 A JPH0564238 A JP H0564238A
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】CCDエリアセンサ1の出力を垂直方向又は水
平方向の各ラインごとに加算する加算器2、及び加算器
2の加算結果を隣接ライン同士で減算する第1減算器3
に加えて、第1減算器3の減算結果を隣接する減算結果
同士で減算する第2減算器5を設け、第2減算器5の減
算結果が所定範囲内であるかどうかを判定する判定器6
を備える。 【効果】CCDエリアセンサ1の転送欠陥による不良を
受光面の周辺部等の出力レベルのうなり等と区別して確
実に検出することができる。
平方向の各ラインごとに加算する加算器2、及び加算器
2の加算結果を隣接ライン同士で減算する第1減算器3
に加えて、第1減算器3の減算結果を隣接する減算結果
同士で減算する第2減算器5を設け、第2減算器5の減
算結果が所定範囲内であるかどうかを判定する判定器6
を備える。 【効果】CCDエリアセンサ1の転送欠陥による不良を
受光面の周辺部等の出力レベルのうなり等と区別して確
実に検出することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、CCDエリアセンサ等
の二次元撮像装置において映像信号に縦方向や横方向の
すじが発生する不良を検出する検査装置に関する。
の二次元撮像装置において映像信号に縦方向や横方向の
すじが発生する不良を検出する検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】二次元撮像装置の代表例としてはCCD
エリアセンサが挙げられる。以下では、CCDエリアセ
ンサを例として説明する。CCDエリアセンサは、受光
面に配置された多数の受光素子の出力を、まず垂直転送
部によって各ラインごとにパラレルに垂直転送し、次に
水平転送部によって順次シリアルに水平転送することに
より映像信号を得るものである。このため、垂直転送部
又は水平転送部において転送欠陥が発生すると、映像信
号に縦方向又は横方向のすじが生じ画像品質を損なうこ
とになる。そこで、CCDエリアセンサの製造工程で
は、このような転送欠陥による不良を効率よくかつ確実
に検出する必要がある。
エリアセンサが挙げられる。以下では、CCDエリアセ
ンサを例として説明する。CCDエリアセンサは、受光
面に配置された多数の受光素子の出力を、まず垂直転送
部によって各ラインごとにパラレルに垂直転送し、次に
水平転送部によって順次シリアルに水平転送することに
より映像信号を得るものである。このため、垂直転送部
又は水平転送部において転送欠陥が発生すると、映像信
号に縦方向又は横方向のすじが生じ画像品質を損なうこ
とになる。そこで、CCDエリアセンサの製造工程で
は、このような転送欠陥による不良を効率よくかつ確実
に検出する必要がある。
【0003】このような転送欠陥を検出する従来のCC
Dエリアセンサの検査装置は、図4に示すように、CC
Dエリアセンサ11が出力した映像信号について、まず
加算器12で垂直方向又は水平方向の各ラインごとに加
算を行い、次に減算器13によってこの各ラインの加算
結果を隣接ライン同士で減算し、さらに最大値・最小値
検出器14でこの減算結果の最大値又は最小値を検出
し、最後に判定器16によって判定を行うことにより転
送欠陥による不良を検出していた。
Dエリアセンサの検査装置は、図4に示すように、CC
Dエリアセンサ11が出力した映像信号について、まず
加算器12で垂直方向又は水平方向の各ラインごとに加
算を行い、次に減算器13によってこの各ラインの加算
結果を隣接ライン同士で減算し、さらに最大値・最小値
検出器14でこの減算結果の最大値又は最小値を検出
し、最後に判定器16によって判定を行うことにより転
送欠陥による不良を検出していた。
【0004】即ち、CCDエリアセンサ11に転送欠陥
が生じていた場合、例えば図2に示すように、CCDエ
リアセンサ11の出力を加算器12でラインごとに加算
すると、欠陥のあるラインでの加算結果のみが90mV
となって、他のラインの100mVよりも減少した値と
なる。そして、この加算結果を隣接するもの同士減算器
13で順次減算すると、欠陥のあるラインの前後の減算
結果が10mV及び−10mVとなって、それぞれ減算
結果の最大値及び最小値となる。従って、この最大値又
は最小値を最大値・最小値検出器14によって検出し、
判定器16によってその絶対値が例えば所定値10mV
以上であるかどうかを判定すれば、CCDエリアセンサ
11の転送欠陥による不良を検出することができる。
が生じていた場合、例えば図2に示すように、CCDエ
リアセンサ11の出力を加算器12でラインごとに加算
すると、欠陥のあるラインでの加算結果のみが90mV
となって、他のラインの100mVよりも減少した値と
なる。そして、この加算結果を隣接するもの同士減算器
13で順次減算すると、欠陥のあるラインの前後の減算
結果が10mV及び−10mVとなって、それぞれ減算
結果の最大値及び最小値となる。従って、この最大値又
は最小値を最大値・最小値検出器14によって検出し、
判定器16によってその絶対値が例えば所定値10mV
以上であるかどうかを判定すれば、CCDエリアセンサ
11の転送欠陥による不良を検出することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、CCDエリ
アセンサ11は、受光面の周辺部等で徐々に出力レベル
が変化するうなりやむらが発生することがある。例えば
図3に示すCCDエリアセンサ11の場合には、加算器
12の加算結果が徐々に図示右側のラインほど減少する
傾向にある。しかし、このように複数のラインに渡って
徐々に発生する出力レベルの変化は、転送部の転送欠陥
によって生じるものではなく画像品質にも大きな影響を
与えることがないため、このCCDエリアセンサ11を
不良とする必要はない。
アセンサ11は、受光面の周辺部等で徐々に出力レベル
が変化するうなりやむらが発生することがある。例えば
図3に示すCCDエリアセンサ11の場合には、加算器
12の加算結果が徐々に図示右側のラインほど減少する
傾向にある。しかし、このように複数のラインに渡って
徐々に発生する出力レベルの変化は、転送部の転送欠陥
によって生じるものではなく画像品質にも大きな影響を
与えることがないため、このCCDエリアセンサ11を
不良とする必要はない。
【0006】ただし、図3に示したCCDエリアセンサ
11を従来の検査装置で検査すると、減算器13の出力
の最大値が12mVに達し、判定器16での所定値を上
記のように10mVとしたのでは、誤検出により不良と
されることになる。また、所定値を12mVより大きな
値としたのでは、図2に示した転送欠陥のあるCCDエ
リアセンサ11の不良が検出できなくなる。
11を従来の検査装置で検査すると、減算器13の出力
の最大値が12mVに達し、判定器16での所定値を上
記のように10mVとしたのでは、誤検出により不良と
されることになる。また、所定値を12mVより大きな
値としたのでは、図2に示した転送欠陥のあるCCDエ
リアセンサ11の不良が検出できなくなる。
【0007】この結果、従来の検査装置は、CCDエリ
アセンサの転送欠陥による不良のみを確実に検出するこ
とができず、この検査によって不良と判定されたものを
目視によって再度検査する必要があるため検査効率が悪
くなるという問題が生じていた。
アセンサの転送欠陥による不良のみを確実に検出するこ
とができず、この検査によって不良と判定されたものを
目視によって再度検査する必要があるため検査効率が悪
くなるという問題が生じていた。
【0008】本発明は、上記事情に鑑み、CCDエリア
センサ等の二次元撮像装置の各ラインの出力について2
回の減算を行うことにより、転送欠陥による不良のみを
確実に検出することができる二次元撮像装置の検査装置
を提供することを目的としている。
センサ等の二次元撮像装置の各ラインの出力について2
回の減算を行うことにより、転送欠陥による不良のみを
確実に検出することができる二次元撮像装置の検査装置
を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の二次元撮像装置
の検査装置は、二次元撮像装置の出力を垂直方向又は水
平方向の各ラインごとに加算する加算器、該加算器の加
算結果を隣接ライン同士で減算する第1減算器、該第1
減算器の減算結果を隣接する減算結果同士で減算する第
2減算器、及び該第2減算器の減算結果が所定範囲内で
あるかどうかを判定する判定器を備えており、そのこと
により上記目的が達成される。
の検査装置は、二次元撮像装置の出力を垂直方向又は水
平方向の各ラインごとに加算する加算器、該加算器の加
算結果を隣接ライン同士で減算する第1減算器、該第1
減算器の減算結果を隣接する減算結果同士で減算する第
2減算器、及び該第2減算器の減算結果が所定範囲内で
あるかどうかを判定する判定器を備えており、そのこと
により上記目的が達成される。
【0010】
【作用】上記構成に於いて、加算器の加算結果は、CC
Dエリアセンサ等の二次元撮像装置における垂直方向又
は水平方向の各ラインごとの出力を示す。そして、第1
減算器の減算結果は、隣接するライン同士の出力の差を
示し、第2減算器の減算結果は、この出力の差の変化の
程度を示すことになる。
Dエリアセンサ等の二次元撮像装置における垂直方向又
は水平方向の各ラインごとの出力を示す。そして、第1
減算器の減算結果は、隣接するライン同士の出力の差を
示し、第2減算器の減算結果は、この出力の差の変化の
程度を示すことになる。
【0011】従って、例えばCCDエリアセンサの出力
がラインごとに徐々に低下しているような場合には、第
1減算器の減算結果の絶対値はある程度の大きさとなる
が、これらの値同士が比較的近い値となるため、第2減
算器の減算結果の絶対値はいずれも小さな値を示すよう
になる。この結果、CCDエリアセンサの受光面の周辺
部等で徐々に出力レベルが変化するうなりやむらが発生
している場合には、第1減算器の減算結果の絶対値が大
きくても第2減算器の減算結果の絶対値は小さい値とな
るので、判定器が所定範囲を超えた不良であると誤判定
するおそれはない。
がラインごとに徐々に低下しているような場合には、第
1減算器の減算結果の絶対値はある程度の大きさとなる
が、これらの値同士が比較的近い値となるため、第2減
算器の減算結果の絶対値はいずれも小さな値を示すよう
になる。この結果、CCDエリアセンサの受光面の周辺
部等で徐々に出力レベルが変化するうなりやむらが発生
している場合には、第1減算器の減算結果の絶対値が大
きくても第2減算器の減算結果の絶対値は小さい値とな
るので、判定器が所定範囲を超えた不良であると誤判定
するおそれはない。
【0012】また、CCDエリアセンサの特定のライン
の出力のみが低下しているような場合には、第1減算器
の減算結果がこのラインの前後で正負逆の値を示し、こ
れらの差を示す第2減算器の減算結果の絶対値が極めて
大きな値となる。この結果、CCDエリアセンサの特定
のラインに転送欠陥が発生した場合には、第1減算器の
減算結果の絶対値があまり大きくない値であったとして
も、第2減算器の減算結果の絶対値は充分大きな値とな
り、判定器によって確実に所定範囲を超える不良である
と判定することができる。
の出力のみが低下しているような場合には、第1減算器
の減算結果がこのラインの前後で正負逆の値を示し、こ
れらの差を示す第2減算器の減算結果の絶対値が極めて
大きな値となる。この結果、CCDエリアセンサの特定
のラインに転送欠陥が発生した場合には、第1減算器の
減算結果の絶対値があまり大きくない値であったとして
も、第2減算器の減算結果の絶対値は充分大きな値とな
り、判定器によって確実に所定範囲を超える不良である
と判定することができる。
【0013】なお、判定器は、第2減算器の全ての減算
結果について判定を行う必要はなく、第2減算器の減算
結果における絶対値が最大のもののみを検出して、これ
についてのみ判定を行うようにしてもよい。また、第2
減算器は、第1減算器の全ての減算結果について減算を
行う必要はなく、第1減算器の減算結果における絶対値
が最大のもののみを検出して、このラインの前後の減算
結果についてのみ減算を行うようにすることもできる。
結果について判定を行う必要はなく、第2減算器の減算
結果における絶対値が最大のもののみを検出して、これ
についてのみ判定を行うようにしてもよい。また、第2
減算器は、第1減算器の全ての減算結果について減算を
行う必要はなく、第1減算器の減算結果における絶対値
が最大のもののみを検出して、このラインの前後の減算
結果についてのみ減算を行うようにすることもできる。
【0014】
【実施例】本発明を実施例について以下に説明する。
【0015】図1に本発明の一実施例を示す。本実施例
は、CCDエリアセンサの検査装置である。検査対象と
なるCCDエリアセンサ1の出力は、図1に示すよう
に、本実施例の検査装置の加算器2に接続されている。
加算器2は、CCDエリアセンサ1が出力した映像信号
について、垂直方向又は水平方向の各ラインごとに加算
を行い、この加算結果をライン別に出力する回路であ
る。加算器2の出力は、第1減算器3に接続されてい
る。第1減算器3は、加算器2の加算結果を隣接ライン
同士で減算し、この減算結果を順次出力する回路であ
る。第1減算器3の出力は、最大値・最小値検出器4に
接続されている。最大値・最小値検出器4は、第1減算
器3の減算結果のうちの最大値又は最小値を検出する回
路である。
は、CCDエリアセンサの検査装置である。検査対象と
なるCCDエリアセンサ1の出力は、図1に示すよう
に、本実施例の検査装置の加算器2に接続されている。
加算器2は、CCDエリアセンサ1が出力した映像信号
について、垂直方向又は水平方向の各ラインごとに加算
を行い、この加算結果をライン別に出力する回路であ
る。加算器2の出力は、第1減算器3に接続されてい
る。第1減算器3は、加算器2の加算結果を隣接ライン
同士で減算し、この減算結果を順次出力する回路であ
る。第1減算器3の出力は、最大値・最小値検出器4に
接続されている。最大値・最小値検出器4は、第1減算
器3の減算結果のうちの最大値又は最小値を検出する回
路である。
【0016】最大値・最小値検出器4の出力は、第2減
算器5に接続されている。第2減算器5は、最大値・最
小値検出器4が検出した最大値又は最小値とこの前後の
第1減算器3の減算結果との減算を行う回路である。第
2減算器5の出力は、判定器6に接続されている。判定
器6は、第2減算器5の減算結果が所定範囲内かどう
か、即ち減算結果の絶対値が所定値より小さいかどうか
を判断する回路である。そして、第2減算器5の減算結
果の絶対値が所定値以上であると判断した場合に、その
CCDエリアセンサ1が転送欠陥による不良であると判
定する。
算器5に接続されている。第2減算器5は、最大値・最
小値検出器4が検出した最大値又は最小値とこの前後の
第1減算器3の減算結果との減算を行う回路である。第
2減算器5の出力は、判定器6に接続されている。判定
器6は、第2減算器5の減算結果が所定範囲内かどう
か、即ち減算結果の絶対値が所定値より小さいかどうか
を判断する回路である。そして、第2減算器5の減算結
果の絶対値が所定値以上であると判断した場合に、その
CCDエリアセンサ1が転送欠陥による不良であると判
定する。
【0017】上記構成の検査装置の動作を前記図2及び
図3に基づいて説明する。なお、これらの図2及び図3
は、説明を簡単にするためにライン数を大幅に少なく示
している。
図3に基づいて説明する。なお、これらの図2及び図3
は、説明を簡単にするためにライン数を大幅に少なく示
している。
【0018】加算器2の加算結果は、CCDエリアセン
サ1における垂直方向又は水平方向の各ラインごとの出
力を示す。従って、このCCDエリアセンサ1の転送部
に転送欠陥が生じた場合には、例えば図2に示すよう
に、他のラインの加算結果が100mVとなって均一な
出力が得られているにもかかわらず、転送欠陥が生じた
ラインの加算結果だけが90mVとなり出力が減少する
ことになる。また、転送欠陥は発生していないがCCD
エリアセンサ1の出力がラインごとに徐々に低下してい
るような場合には、例えば図3に示すように、各ライン
の加算結果も100mV〜50mVと徐々に減少するこ
とになる。
サ1における垂直方向又は水平方向の各ラインごとの出
力を示す。従って、このCCDエリアセンサ1の転送部
に転送欠陥が生じた場合には、例えば図2に示すよう
に、他のラインの加算結果が100mVとなって均一な
出力が得られているにもかかわらず、転送欠陥が生じた
ラインの加算結果だけが90mVとなり出力が減少する
ことになる。また、転送欠陥は発生していないがCCD
エリアセンサ1の出力がラインごとに徐々に低下してい
るような場合には、例えば図3に示すように、各ライン
の加算結果も100mV〜50mVと徐々に減少するこ
とになる。
【0019】第1減算器3の減算結果は、隣接するライ
ン同士の出力の差を示す。従って、図2の場合には、他
のライン間の減算結果が0mVであるにもかかわらず、
転送欠陥が生じたラインの前後の減算結果が正負逆の1
0mV及び−10mVとなって減算結果の最大値及び最
小値を示すことになる。また、図3の場合には、各ライ
ン間の減算結果が同一符号でほぼ一定の10mVとな
り、この場合であれば最大値が12mV、最小値が8m
Vの比較的近い値となる。
ン同士の出力の差を示す。従って、図2の場合には、他
のライン間の減算結果が0mVであるにもかかわらず、
転送欠陥が生じたラインの前後の減算結果が正負逆の1
0mV及び−10mVとなって減算結果の最大値及び最
小値を示すことになる。また、図3の場合には、各ライ
ン間の減算結果が同一符号でほぼ一定の10mVとな
り、この場合であれば最大値が12mV、最小値が8m
Vの比較的近い値となる。
【0020】第1減算器3の減算結果から最大値・最小
値検出器4によって最大値又は最小値が検出されると、
第2減算器5によってこの最大値又は最小値とその前後
の第1減算器3の減算結果との減算が行われる。第2減
算器5の減算結果は、第1減算器3の減算結果が示す各
ラインの出力の差における変化の程度を示す。従って、
図2の場合であれば、最大値・最小値検出器4が検出し
た最大値とその次の減算結果との差が20mV[=10
−(−10)]となり、最小値とその前の減算結果との
差も−20mV[=−10−10]となって、いずれも
絶対値の大きい値となる。しかし、図3の場合には、最
大値・最小値検出器4が検出した最大値とその前の減算
結果との差が4mV[=12−8]となり、最小値とそ
の後の減算結果との差も−4mV[=8−12]となっ
て、いずれも絶対値の小さい値となる。
値検出器4によって最大値又は最小値が検出されると、
第2減算器5によってこの最大値又は最小値とその前後
の第1減算器3の減算結果との減算が行われる。第2減
算器5の減算結果は、第1減算器3の減算結果が示す各
ラインの出力の差における変化の程度を示す。従って、
図2の場合であれば、最大値・最小値検出器4が検出し
た最大値とその次の減算結果との差が20mV[=10
−(−10)]となり、最小値とその前の減算結果との
差も−20mV[=−10−10]となって、いずれも
絶対値の大きい値となる。しかし、図3の場合には、最
大値・最小値検出器4が検出した最大値とその前の減算
結果との差が4mV[=12−8]となり、最小値とそ
の後の減算結果との差も−4mV[=8−12]となっ
て、いずれも絶対値の小さい値となる。
【0021】判定器6は、第2減算器5の減算結果の絶
対値が所定値以上となったかどうかを判断することによ
り、CCDエリアセンサ1の転送欠陥による不良を判定
する。即ち、判定器6は、所定値を20mV未満に設定
しておけば、図2の場合の転送欠陥を確実に検出するこ
とができる。また、判定器6の所定値が4mV以下に設
定されない限り、図3に示したうなり等による出力レベ
ルの変化を転送欠陥と誤判定するおそれはない。
対値が所定値以上となったかどうかを判断することによ
り、CCDエリアセンサ1の転送欠陥による不良を判定
する。即ち、判定器6は、所定値を20mV未満に設定
しておけば、図2の場合の転送欠陥を確実に検出するこ
とができる。また、判定器6の所定値が4mV以下に設
定されない限り、図3に示したうなり等による出力レベ
ルの変化を転送欠陥と誤判定するおそれはない。
【0022】この結果、本実施例の検査装置によれば、
判定器6での所定値を4mV〜20mVの間の適当な値
に設定するだけで、余裕を持って転送欠陥のみを確実に
検出することができるようになる。
判定器6での所定値を4mV〜20mVの間の適当な値
に設定するだけで、余裕を持って転送欠陥のみを確実に
検出することができるようになる。
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の二次元撮像装置の検査装置によれば、CCDエリアセ
ンサ等の二次元撮像装置の各ラインの出力について2回
の減算を行うことにより、転送欠陥による不良を受光面
の周辺部等の出力レベルのうなり等と区別して確実に検
出することができるようになる。
の二次元撮像装置の検査装置によれば、CCDエリアセ
ンサ等の二次元撮像装置の各ラインの出力について2回
の減算を行うことにより、転送欠陥による不良を受光面
の周辺部等の出力レベルのうなり等と区別して確実に検
出することができるようになる。
【図1】本発明の一実施例を示すものであって、CCD
エリアセンサの検査装置のブロック図である。
エリアセンサの検査装置のブロック図である。
【図2】CCDエリアセンサに転送欠陥が生じた場合
の、検査装置の各出力を示す図である。
の、検査装置の各出力を示す図である。
【図3】CCDエリアセンサにうなり等がある場合の、
検査装置の各出力を示す図である。
検査装置の各出力を示す図である。
【図4】従来例を示すものであって、CCDエリアセン
サの検査装置のブロック図である。
サの検査装置のブロック図である。
1 CCDエリアセンサ 2 加算器 3 第1減算器 5 第2減算器 6 判定器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 5/335 P 8838−5C
Claims (1)
- 【請求項1】二次元撮像装置の出力を垂直方向又は水平
方向の各ラインごとに加算する加算器、 該加算器の加算結果を隣接ライン同士で減算する第1減
算器、 該第1減算器の減算結果を隣接する減算結果同士で減算
する第2減算器、及び該第2減算器の減算結果が所定範
囲内であるかどうかを判定する判定器を備えている二次
元撮像装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3219033A JP2812457B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 二次元撮像装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3219033A JP2812457B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 二次元撮像装置の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564238A true JPH0564238A (ja) | 1993-03-12 |
| JP2812457B2 JP2812457B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=16729204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3219033A Expired - Fee Related JP2812457B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 二次元撮像装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2812457B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005354670A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法およびカメラシステム |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP3219033A patent/JP2812457B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005354670A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法およびカメラシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2812457B2 (ja) | 1998-10-22 |
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