JPH0566286B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、酸化し易い材料、例えば銅または銅
合金などからなるワークを不活性ガス雰囲気中で
加熱してキユア（乾燥）する場合に用いる新規の
キユア用ワーク収納箱に関する。

［従来の技術］ 例えば、ポリミドフイルムに銅箔リードを接着
したワーク、基板に銅箔を着けたワーク、銅より
なるリードフレームに接着剤にてペレツトを着け
たワークなどをキユア炉でキユアする場合には、
酸化を防止するため及びそれ以降の工程、例えば
ワイヤボンデイングへ移つた時にキユア時に発生
したガスがボンデイング面に付着していて悪い影
響を与えるのを防止するために、キユア炉内を窒
素ガスなどの不活性ガス雰囲気にし、この不活性
ガス雰囲気のキユア炉内にワークを流している。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来技術は、キユア炉内に不活性ガスを流
すので、多量の不活性ガスを必要とすると共に、
ワークの周囲が充分な不活性ガス雰囲気にならな
いという問題があつた。

本発明の目的は、少量の不活性ガスでワーク周
囲を充分に不活性ガス雰囲気にすることができる
キユア用ワーク収納箱を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、上方が開口しワーク
を収納する収納本体と、この収納本体の上方の開
口を覆うように収納本体に取付けられる蓋と、前
記収納本体または前記蓋のいずれか一方または両
方に取付けられ、前記収納本体内に不活性ガスを
供給及び排出するガス供給弁及びガス排出弁とか
ら構成することにより解決される。

［作用］ ワークを収納本体に収納し、蓋を収納本体に取
付け、このワーク収納箱を加熱体上に載置する。
そして、ガス供給弁より不活性ガスをワーク収納
箱内に供給し、またガス排出弁よりワーク収納箱
内のガスを排気する。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明す
る。本実施例は、銅よりなるリードフレーム１に
接着剤２にてペレツト３を着けたワーク４に適用
した場合を示すが、勿論他の種類のワークにも適
用できる。

ワーク４を収納する収納本体５は、上方に開口
５ａを有し、底面にワーク４の外周より小さな加
熱用穴５ｂが設けられている。また収納本体５の
底面にはワーク４を保持する保持用ばね６が設け
られている。収納本体５の開口５ａは着脱自在な
蓋７で覆われている。この蓋７は蝶番などで一端
を収納本体５に取付けてもよい。蓋７には、ガス
供給弁８とガス排出弁９が取付けられている。ガ
ス供給弁８の内部には、常時閉じており、外部よ
り供給される不活性ガスのガス圧で開く開閉弁を
有する。またガス排出弁９の内部には、常時閉じ
ており、収納本体５の内部のガス圧によつて開く
開閉弁を有する。

次にかかる構成よりなるキユア用ワーク収納箱
１０作用について説明する。収納本体５の保持用
ばね６にワーク４を保持させ、その後蓋７を収納
本体５にかぶせる。次にワーク４を入れたキユア
用ワーク収納箱１０を加熱体１１上に位置決め載
置する。前記加熱体１１としては、例えばマイク
ロウエブを放射するマグネトロンを用いる。続い
て不活性ガスを供給するガス供給チヤツク１２及
びガス吸引チヤツク１３を支持する保持体１４を
下降させ、ガス供給チヤツク１２、ガス吸引チヤ
ツク１３をガス供給弁８、ガス排出弁９にそれぞ
れ連結する。これにより、ガス供給チヤツク１２
より供給される不活性ガスのガス圧でガス供給弁
８の開閉弁が開き、キユア用ワーク収納箱１０内
に不活性ガスが供給される。またガス吸引チヤツ
ク１３の吸引力でガス排出弁９の開閉弁が開き、
キユア用ワーク収納箱１０内のガスはガス吸引チ
ヤツク１３より外部に排出される。

前記のように加熱体１１上にキユア用ワーク収
納箱１０を載置すると、加熱体１１の放射熱が収
納本体５の加熱用穴５ｂを通つてワーク４に供給
される。これにより、ワーク４は約300〜500℃に
加熱されてキユアされる。ワーク４をキユアする
と、接着剤２からガスが発生する。このガスは、
前記したようにガス供給チヤツク１２からガス供
給弁８を通してキユア用ワーク収納箱１０内に不
活性ガスが供給され、ガス排出弁９からガス吸引
チヤツク１３を通して外部に排出されることによ
り除去される。

このように、ワーク４は不活性ガス雰囲気中で
加熱されてキユアされるので、ワーク４の酸化が
防止される。また不活性ガスは小さな容積である
キユア用ワーク収納箱１０内に供給されるので、
不活性ガスは少量でよく、また充分にワーク４周
囲が不活性ガス雰囲気となる。

なお、上記実施例においては、収納本体５に加
熱用穴５ｂを設けたが、加熱用穴５ｂは設けな
く、収納本体５を加熱することによつてワーク４
をキユアするようにしてもよい。しかし、加熱用
穴５ｂを設けると、加熱体１１の熱が直接ワーク
４に加えられるので、熱効率の点では優れてい
る。またガス供給弁８及びガス排出弁９は、共に
蓋７に取付けたが、収納本体５に取付けてもよ
く、また一方を蓋７に、他方を収納本体５に取付
けてもよい。

第２図及び第３図はワーク４を連続的にキユア
する場合の一実施例を示す。図示しない駆動モー
タで駆動される駆動軸２０には、平行に２個のス
プロケツトホイール２１が固定されている。駆動
軸２０と平行に従動軸２２が配設されており、こ
の従動軸２２には前記２個のスプロケツトホイー
ル２１に対応して２個のスプロケツトホイール２
３が固定されている。そして、スプロケツトホイ
ール２１と２３にはチエーン２４が掛け渡されて
いる。チエーン２４は上方に立上つた側板２４ａ
を一定ピツチで有する。

スプロケツトホイール２１と２３間で、かつチ
エーン２４の上端部分の上方には、ガス供給チヤ
ツク１２とガス吸引チヤツク１３とよりなる組合
せがチエーン２４に取付けられたキユア用ワーク
収納箱１０と同じピツチで保持体１４に複数組取
付けられている。保持体１４は、図示しない駆動
源によつて矢印Ａ方向に上下動させられる上下動
軸２５に固定されている。またチエーン２４の上
側部分の下面側には加熱体１１が配設され、チエ
ーン２４の下側部分の上面側には収納本体５を冷
却する冷却体２６、例えばエアーブローが配設さ
れている。

収納本体５は両側が下方に下つた側板部を有す
る取付板２７に固定されており、取付板２７の側
板部は前記チエーン２４の側板２４ａにピン２８
で固定されている。

次に作用について説明する。駆動軸２０が駆動
されると、スプロケツトホイール２１を介してチ
エーン２４が矢印Ｂ方向に移動する。前記駆動軸
２０の駆動は、チエーン２４に取付けられた収納
本体５が挿入取出し部Ｃに順次位置し停止するよ
うに間欠的に駆動される。

キユア用ワーク収納箱１０が挿入取出し部Ｃに
位置して停止すると、作業者が蓋７をあけ、キユ
ア用ワーク収納箱１０に収納されているワーク４
を取出し、新しいワーク４をキユア用ワーク収納
箱１０内にセツトし、蓋７を収納本体５にかぶせ
る動作を行う。勿論、この動作は自動取出し及び
自動供給する自動装置を用いた自動で行つてもよ
い。

新しいワーク４を収納したキユア用ワーク収納
箱１０がガス供給チヤツク１２及びガス吸引チヤ
ツク１３の下方に位置すると、上下動軸２５が下
降し、ガス供給チヤツク１２及びガス吸引チヤツ
ク１３がガス供給弁８及びガス排出弁９に連結さ
れ、第１図で説明したと同じ作用によつてキユア
用ワーク収納箱１０内に不活性ガスが供給され、
また加熱体１１で加熱されてワーク４より発生し
たガスが排出される。この動作は、１つのキユア
用ワーク収納箱１０について、ガス供給チヤツク
１２及びガス吸引チヤツク１３よりなる組の数だ
け行われる。

加熱体１１上を通過したキユア用ワーク収納箱
１０は、内部が不活性ガス雰囲気に保たれたまま
冷却体２６で冷却され、挿入取出し部Ｃに送られ
る。キユア用ワーク収納箱１０は冷却体２６で冷
却されるので、ワーク４の取出しに支障をきたさ
ない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、上方が開口しワークを収納する収納本体と、
この収納本体の上方の開口を覆うように収納本体
に取付けられる蓋と、前記収納本体または前記蓋
のいずれか一方または両方に取付けられ、前記収
納本体内に不活性ガスを供給及び排出するガス供
給弁及びガス排出弁とでキユア用ワーク収納箱を
構成してなるので、このキユア用ワーク収納箱を
用いると、少量の不活性ガスでワーク周囲を充分
に不活性ガス雰囲気にすることができる。また酸
化防止については、従来より大きな効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるキユア用ワーク収納箱の
一実施例を示し、ａは蓋を外した平面図、ｂは断
面図、ｃは側面図、第２図は第１図のキユア用ワ
ーク収納箱を連続的にキユアする場合の一実施例
を示す正面断面図、第３図は第２図のＤ−Ｄ線断
面拡大図である。 ４：ワーク、５：収納本体、５ａ：開口、５
ｂ：加熱用穴、７：蓋、８：ガス供給弁、９：ガ
ス排出弁、１０：キユア用ワーク収納箱。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上方が開口しワークを収納する収納本体と、
   この収納本体の上方の開口を覆うように収納本体
   に取付けられる蓋と、前記収納本体または前記蓋
   のいずれか一方または両方に取付けられ、前記収
   納本体内に不活性ガスを供給及び排出するガス供
   給弁及びガス排出弁とからなるキユア用ワーク収
   納箱。 ２ 収納本体の底面には、ワークの外周より小さ
   な加熱用穴が設けられている特許請求の範囲第１
   項記載のキユア用ワーク収納箱。