JPH0566731B2 - - Google Patents
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- JPH0566731B2 JPH0566731B2 JP59244803A JP24480384A JPH0566731B2 JP H0566731 B2 JPH0566731 B2 JP H0566731B2 JP 59244803 A JP59244803 A JP 59244803A JP 24480384 A JP24480384 A JP 24480384A JP H0566731 B2 JPH0566731 B2 JP H0566731B2
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- Japan
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- capillary
- standard
- distance
- data
- bonding
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07521—Aligning
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、ワイヤボンデイング方法に関する。
近年、多用なボンデイング条件に対応するため
にボンデイングキヤピラリ（以下、単にキヤピラ
リと記す。）の上下駆動をデイジタル制御した所
謂デイジタルボンダーが開発されている。デイジ
タルボンダーの利点は、従来のカム式ボンダーで
は不可能であつたキヤピラリの上下移動距離の伸
縮が可能となり、ボンデイング時のワイヤールー
プ形状を制御できることにある。第６図は、デイ
ジタルボンダーでのキヤピラリの標準的な移動軌
跡を示す説明図である。原点Ａにあるキヤピラリ
は、高速度で降下しＢ点に達する。次に、低速度
でペレツト面に達した後ペレツト面にボールを圧
着する。次いで、所定のボンデイング時間が経過
したところで、キヤピラリはＤ点に向かつて上昇
しながら第２ボンデイング点に向かい移動する。
この時のキヤピラリの上昇距離（HCD）は、第１
ボンデイング点と第２ボンデイング点の水平距離
（第７図中のXY→）と所謂ループ高さ(l)から必要
とされるワイヤー量lCDを予測して決定される。
従つて、水平距離XY→がΔXYだけ長くなる場合
は、ワイヤー量も第７図に示す如く、lCD′と長く
なりキヤピラリの上昇距離も第６図に示す如く、
HCD′と長くする必要がある。キヤピラリは、Ｄ
点に達すると再び降下し、以下第２ボンデイング
処理（ステイツチボンデイング）後原点Ｇに移動
し、ボンデイング線の架設を完了する。このよう
なキヤピラリの動作軌跡中最も重要な軌跡は、
XY→の距離に応じて移動距離を変化させる必要の
ある部分、即ちＣ→Ｄ（Ｃ→D′）、Ｄ→Ｅ（Ｄ→
E′）、の軌跡の部分である。従来のデイジタルボ
ンダーは、移動距離の変化には対応できている
が、移動速度については考慮されておらず第８図
に示すように、移動距離がＣ→ＤからＣ→D′と
長い場合でも同一時間で移動させようとする。換
言すると、移動距離が変化するとキヤピラリの加
速度も変化している。
にボンデイングキヤピラリ（以下、単にキヤピラ
リと記す。）の上下駆動をデイジタル制御した所
謂デイジタルボンダーが開発されている。デイジ
タルボンダーの利点は、従来のカム式ボンダーで
は不可能であつたキヤピラリの上下移動距離の伸
縮が可能となり、ボンデイング時のワイヤールー
プ形状を制御できることにある。第６図は、デイ
ジタルボンダーでのキヤピラリの標準的な移動軌
跡を示す説明図である。原点Ａにあるキヤピラリ
は、高速度で降下しＢ点に達する。次に、低速度
でペレツト面に達した後ペレツト面にボールを圧
着する。次いで、所定のボンデイング時間が経過
したところで、キヤピラリはＤ点に向かつて上昇
しながら第２ボンデイング点に向かい移動する。
この時のキヤピラリの上昇距離（HCD）は、第１
ボンデイング点と第２ボンデイング点の水平距離
（第７図中のXY→）と所謂ループ高さ(l)から必要
とされるワイヤー量lCDを予測して決定される。
従つて、水平距離XY→がΔXYだけ長くなる場合
は、ワイヤー量も第７図に示す如く、lCD′と長く
なりキヤピラリの上昇距離も第６図に示す如く、
HCD′と長くする必要がある。キヤピラリは、Ｄ
点に達すると再び降下し、以下第２ボンデイング
処理（ステイツチボンデイング）後原点Ｇに移動
し、ボンデイング線の架設を完了する。このよう
なキヤピラリの動作軌跡中最も重要な軌跡は、
XY→の距離に応じて移動距離を変化させる必要の
ある部分、即ちＣ→Ｄ（Ｃ→D′）、Ｄ→Ｅ（Ｄ→
E′）、の軌跡の部分である。従来のデイジタルボ
ンダーは、移動距離の変化には対応できている
が、移動速度については考慮されておらず第８図
に示すように、移動距離がＣ→ＤからＣ→D′と
長い場合でも同一時間で移動させようとする。換
言すると、移動距離が変化するとキヤピラリの加
速度も変化している。
このような従来のワイヤボンデイング方法で
は、キヤピラリの移動距離により加速度が異なる
ため、キヤピラリの振動状態もその都度変化す
る。その結果、所定のボンデイング強度やワイヤ
ループ形状を得ることができず、良好なボンデイ
ング処理を施しことができない。
は、キヤピラリの移動距離により加速度が異なる
ため、キヤピラリの振動状態もその都度変化す
る。その結果、所定のボンデイング強度やワイヤ
ループ形状を得ることができず、良好なボンデイ
ング処理を施しことができない。
本発明は、キヤピラリの駆動を小さくして良好
なボンデイング処理を施すことができるワイヤボ
ンデイング方法を提供することをその目的とする
ものである。
なボンデイング処理を施すことができるワイヤボ
ンデイング方法を提供することをその目的とする
ものである。
本発明は、予め標準の加速度特性を設定してお
き、キヤピラリの移動距離に応じて標準の加速度
特性と同じ加速度特性でキヤピラリを移動させる
ようにしたことにより、キヤピラリの振動を小さ
くして良好なボンデイング処理を施すことができ
るワイヤボンデイング方法である。
き、キヤピラリの移動距離に応じて標準の加速度
特性と同じ加速度特性でキヤピラリを移動させる
ようにしたことにより、キヤピラリの振動を小さ
くして良好なボンデイング処理を施すことができ
るワイヤボンデイング方法である。
以下、本発明の一実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は、本発明方法にて使用するワイヤボン
デイング装置の概略構成を示す説明図である。図
中１は、中央演算装置である。中央演算装置１に
は、メモリ部２から所定の信号が供給されるるよ
うになつている。メモリ部２には、標準軌跡デー
タ２ａ、移動距離(l)データ2c、目標位置
（TARG）データ2d、偏差値（HEN）データ2e、
目標更新データ（Δli）2f、が記載されている。
中央演算装置１の出力は、モータ３に取付けられ
たタコジエネレイタ７の出力と共にサーボアンプ
５に供給されるようになつている。サーボアンプ
５は、キヤピラリ６を駆動するモータ３に接続さ
れている。モータ回転角に比例したパルス列は、
回転式パルスエンコーダ７を介してパルスカウン
タ８に供給されるようになつている。パルスカウ
ンタ８は、所定の信号を中央演算処理１に出力す
るようになつている。つまりこのワイヤボンデイ
ング装置１０では、キヤピラリ６の上下移動方向
は、モータ３の回転方向で抑制され、移動距離は
モータ３の回転角度に比例するようになつてい
る。
デイング装置の概略構成を示す説明図である。図
中１は、中央演算装置である。中央演算装置１に
は、メモリ部２から所定の信号が供給されるるよ
うになつている。メモリ部２には、標準軌跡デー
タ２ａ、移動距離(l)データ2c、目標位置
（TARG）データ2d、偏差値（HEN）データ2e、
目標更新データ（Δli）2f、が記載されている。
中央演算装置１の出力は、モータ３に取付けられ
たタコジエネレイタ７の出力と共にサーボアンプ
５に供給されるようになつている。サーボアンプ
５は、キヤピラリ６を駆動するモータ３に接続さ
れている。モータ回転角に比例したパルス列は、
回転式パルスエンコーダ７を介してパルスカウン
タ８に供給されるようになつている。パルスカウ
ンタ８は、所定の信号を中央演算処理１に出力す
るようになつている。つまりこのワイヤボンデイ
ング装置１０では、キヤピラリ６の上下移動方向
は、モータ３の回転方向で抑制され、移動距離は
モータ３の回転角度に比例するようになつてい
る。
而して、キヤピラリ６は、次のような原理によ
て駆動する。モータ３への電力は、サーボアンプ
５によつて供給され、タコジエネレイタ４は、モ
ータ３の回転速度に比例した電圧を発生する。回
転式パルスエンコーダ７は、モータ３の回転方向
と回転角度に比例したパルスを発生する。タコジ
エネレイタ４からの電圧出力は、サーボアンプ５
に直接負帰還され、独立したサーボループが構成
される。パルスカウンタ８は、パルスエンコーダ
７から送られるパルス列をその回転方向を弁別し
ながらカウントする。中央演算装置１は、所定の
時間間隔でパルスカウンタ８の内容を読込み、前
回のカウント値との差を求め、この差をメモリ部
２内の旧現在位置データ２ｃ（以下、EXPTと記
す。）に加（減）算することにより、キヤピラリ
６の新規現在位置とする。一方、目標位置データ
２ｄには、キヤピライ６の目標位置データ（以
下、TARGと記す。）が格納されており、中央演
算装置１はこのTARGと前記新EXPTとの差を
求め、これを偏差値（以下、HENと記す。）とし
てメモリ部２に格納する。そして、中央演算装置
１は、HEN＝TARG−EXPT＝０となるように
HENに応じたアナログ出力を所定の演算により
求め、これをサーボアンプ５に出力する。従つ
て、キヤピラリ６が停止状態にある場合は、
TARG≒EXPTとなつており、キヤピラリ５を
移動させたい場合はTARGを変化させれば良い
ことになる。なお、移動距離を始めとして上述し
た全てのデータ、即ちTARG、EXPT、HEN等
の単位は長さの単位ではなくパルスエンコーダ７
の発する単位パルス当たりのキヤピラリ変位を最
小分解能としたパルス数である。
て駆動する。モータ３への電力は、サーボアンプ
５によつて供給され、タコジエネレイタ４は、モ
ータ３の回転速度に比例した電圧を発生する。回
転式パルスエンコーダ７は、モータ３の回転方向
と回転角度に比例したパルスを発生する。タコジ
エネレイタ４からの電圧出力は、サーボアンプ５
に直接負帰還され、独立したサーボループが構成
される。パルスカウンタ８は、パルスエンコーダ
７から送られるパルス列をその回転方向を弁別し
ながらカウントする。中央演算装置１は、所定の
時間間隔でパルスカウンタ８の内容を読込み、前
回のカウント値との差を求め、この差をメモリ部
２内の旧現在位置データ２ｃ（以下、EXPTと記
す。）に加（減）算することにより、キヤピラリ
６の新規現在位置とする。一方、目標位置データ
２ｄには、キヤピライ６の目標位置データ（以
下、TARGと記す。）が格納されており、中央演
算装置１はこのTARGと前記新EXPTとの差を
求め、これを偏差値（以下、HENと記す。）とし
てメモリ部２に格納する。そして、中央演算装置
１は、HEN＝TARG−EXPT＝０となるように
HENに応じたアナログ出力を所定の演算により
求め、これをサーボアンプ５に出力する。従つ
て、キヤピラリ６が停止状態にある場合は、
TARG≒EXPTとなつており、キヤピラリ５を
移動させたい場合はTARGを変化させれば良い
ことになる。なお、移動距離を始めとして上述し
た全てのデータ、即ちTARG、EXPT、HEN等
の単位は長さの単位ではなくパルスエンコーダ７
の発する単位パルス当たりのキヤピラリ変位を最
小分解能としたパルス数である。
次にキヤピラリ６を所定距離ｌだけ移動する場
合を第２図を参照して説明する。移動距離ｌは、
メモリ部２に与えられているものとする。中央演
算装置１は、メモリ部２の移動距離データ２ｂで
与えられた移動距離ｌから、目標位置の更新回数
ｎを後述の方法で算出し、更新毎の更新パルス数
Δli（ｉ＝１〜ｎ）を求め、目標更新データとして
第２図に示す如く目標更新データ２ｆに格納す
る。通常、キヤピラリ６の移動軌跡は、第３図に
示す如く、始点と終点付近が滑らかな例えばサイ
クロイダル曲線のような関数ｆ(t)で制御され、
Δliはこの関数にもとずいて計算される。第４図
は、簡単のために上述の関数としてキヤピラリ６
の速度変化を三角波とした場合を表わしている。
従つて、Δliの計算結果は次式を満足する。
合を第２図を参照して説明する。移動距離ｌは、
メモリ部２に与えられているものとする。中央演
算装置１は、メモリ部２の移動距離データ２ｂで
与えられた移動距離ｌから、目標位置の更新回数
ｎを後述の方法で算出し、更新毎の更新パルス数
Δli（ｉ＝１〜ｎ）を求め、目標更新データとして
第２図に示す如く目標更新データ２ｆに格納す
る。通常、キヤピラリ６の移動軌跡は、第３図に
示す如く、始点と終点付近が滑らかな例えばサイ
クロイダル曲線のような関数ｆ(t)で制御され、
Δliはこの関数にもとずいて計算される。第４図
は、簡単のために上述の関数としてキヤピラリ６
の速度変化を三角波とした場合を表わしている。
従つて、Δliの計算結果は次式を満足する。
ｌ＝o
〓i=1
Δli，｜Δli−Δli-1｜
＝ｋ（加速度）
この計算を終了すると、中央演算装置１は、所
定の目標値更新時間Ｔの間隔で目標更新データ
Δliを目標更新データ2fからｉ＝１より順次読み
だし、これをTARGに加えていく。（ここで、移
動距離ｌ及び更新データΔliは、移動方向を含ん
だデータである。）そして、時間nTの経過時点で
TARGの更新を終え、以後EXPT≒TARGとな
るのを待ち、キヤピラリ６の移動完了とする。こ
のようにしてキヤピラリ６を所望の軌跡で移動さ
せることができる。
定の目標値更新時間Ｔの間隔で目標更新データ
Δliを目標更新データ2fからｉ＝１より順次読み
だし、これをTARGに加えていく。（ここで、移
動距離ｌ及び更新データΔliは、移動方向を含ん
だデータである。）そして、時間nTの経過時点で
TARGの更新を終え、以後EXPT≒TARGとな
るのを待ち、キヤピラリ６の移動完了とする。こ
のようにしてキヤピラリ６を所望の軌跡で移動さ
せることができる。
次に、加減速度の特性を一定にしてキヤピラリ
６を駆動させる方法を述べる。
６を駆動させる方法を述べる。
中央演算装置１は、メモリ部２に標準移動距離
Ｌと、距離Ｌを移動するのに必要な標準目標更新
回数Ｎと、キヤピラリ移動関数ｆ(t)とを標準軌跡
データとして有している。この標準軌跡のキヤピ
ラリ変位、速度、加速度、の時間変化を第５図Ａ
〜Ｃに実線にて示す。軌跡関数ｆ(t)は、一般には
任意であるが、ここでも簡単のために三角波速度
となつている場合を示している。標準移動距離Ｌ
は、通常はキヤピラリ６の最大移動範囲を意味
し、標準目標更新回数Ｎは、関数ｆ(t)で距離Ｌを
実験的に移動させ、振動その他の要素を測定した
結果で最適値で採用される。移動距離ｌ（＜Ｌ）
の長短に無関係にキヤピラリ６の移動加速度特性
を、標準軌跡データで定まる加速度特性と同様と
することは、移動距離ｌに対するキヤピラリ移動
速度変化を第５図Ｂで破線にて示す如く、標準軌
跡データの速度変化と相似形とすることである。
一方、標準移動距離Ｌと与えられたキヤピラリ移
動距離ｌは、各々第５図Ｂにて実線と破線で示し
たキヤピラリ速度変化の積分値であるから、移動
距離ｌの目標更新回数は次の式で得ることができ
る。
Ｌと、距離Ｌを移動するのに必要な標準目標更新
回数Ｎと、キヤピラリ移動関数ｆ(t)とを標準軌跡
データとして有している。この標準軌跡のキヤピ
ラリ変位、速度、加速度、の時間変化を第５図Ａ
〜Ｃに実線にて示す。軌跡関数ｆ(t)は、一般には
任意であるが、ここでも簡単のために三角波速度
となつている場合を示している。標準移動距離Ｌ
は、通常はキヤピラリ６の最大移動範囲を意味
し、標準目標更新回数Ｎは、関数ｆ(t)で距離Ｌを
実験的に移動させ、振動その他の要素を測定した
結果で最適値で採用される。移動距離ｌ（＜Ｌ）
の長短に無関係にキヤピラリ６の移動加速度特性
を、標準軌跡データで定まる加速度特性と同様と
することは、移動距離ｌに対するキヤピラリ移動
速度変化を第５図Ｂで破線にて示す如く、標準軌
跡データの速度変化と相似形とすることである。
一方、標準移動距離Ｌと与えられたキヤピラリ移
動距離ｌは、各々第５図Ｂにて実線と破線で示し
たキヤピラリ速度変化の積分値であるから、移動
距離ｌの目標更新回数は次の式で得ることができ
る。
ｎ＝√ｌ／Ｌ×Ｎ
以下、上述の式で得られた目標更新回数ｎと、
軌跡関数ｆ(t)と、移動距離ｌから前述した更新パ
ルス数Δli（ｉ＝１〜ｎ）を求め、これに従つて
TARGを更新することにより、常に最適な加速
度特性でキヤピラリ６を移動することができる。
軌跡関数ｆ(t)と、移動距離ｌから前述した更新パ
ルス数Δli（ｉ＝１〜ｎ）を求め、これに従つて
TARGを更新することにより、常に最適な加速
度特性でキヤピラリ６を移動することができる。
なお、本発明は、第６図に示すキヤピラリの移
動軌跡中のどの軌跡かを特定して適用するもので
ないことは勿論である。実際には、全軌跡を単一
の標準軌跡データに従つがて制御することも可能
であるし、各軌跡に対して個別に標準軌跡データ
を設定することも可能である。更に、複数の標準
軌跡データを用意し、各軌跡に任意の標準データ
を選択させることも可能である。
動軌跡中のどの軌跡かを特定して適用するもので
ないことは勿論である。実際には、全軌跡を単一
の標準軌跡データに従つがて制御することも可能
であるし、各軌跡に対して個別に標準軌跡データ
を設定することも可能である。更に、複数の標準
軌跡データを用意し、各軌跡に任意の標準データ
を選択させることも可能である。
以上説明した如く、本発明に係るワイヤボンデ
イング方法によれば、キヤピラリの振動を小さく
して良好なボンデイング処理を施すことができる
ものである。
イング方法によれば、キヤピラリの振動を小さく
して良好なボンデイング処理を施すことができる
ものである。
第１図は、本発明で使用するワイヤボンデイン
グ装置の概略構成を示す説明図、第２図は、更新
毎の更新パルス数を示す説明図、第３図は、キヤ
ピラリ変位と時間との関係を示す説明図、第４図
は、キヤピラリ速度と時間との関係を示す説明
図、第５図Ａは、キヤピラリ変位と時間との関係
を示す説明図、第５図Ｂは、キヤピラリ速度と時
間との関係を示す説明図、第５図Ｃは、キヤピラ
リ加速度と時間との関係を示す説明図、第６図
は、ワイヤボンデイングにおけるキヤピラリの軌
跡を示す説明図、第７図は、キヤピラリの移動に
よつて形成されるワイヤループを示す説明図、第
８図は、キヤピラリの加速度の変化を示す説明図
である。 １……中央演算装置、２……メモリ部、３……
モータ、４……タコジエネレイタ、５……サーボ
アンプ、６……キヤピラリ、７……パルスエンコ
ーダ、８……パルスカウンタ、１０……ワイヤボ
ンデイング装置。
グ装置の概略構成を示す説明図、第２図は、更新
毎の更新パルス数を示す説明図、第３図は、キヤ
ピラリ変位と時間との関係を示す説明図、第４図
は、キヤピラリ速度と時間との関係を示す説明
図、第５図Ａは、キヤピラリ変位と時間との関係
を示す説明図、第５図Ｂは、キヤピラリ速度と時
間との関係を示す説明図、第５図Ｃは、キヤピラ
リ加速度と時間との関係を示す説明図、第６図
は、ワイヤボンデイングにおけるキヤピラリの軌
跡を示す説明図、第７図は、キヤピラリの移動に
よつて形成されるワイヤループを示す説明図、第
８図は、キヤピラリの加速度の変化を示す説明図
である。 １……中央演算装置、２……メモリ部、３……
モータ、４……タコジエネレイタ、５……サーボ
アンプ、６……キヤピラリ、７……パルスエンコ
ーダ、８……パルスカウンタ、１０……ワイヤボ
ンデイング装置。
Claims (1)
- １ 半導体素子の電極部と外部リード間にキヤピ
ラリを移動させてボンデイング線を架設するワイ
ヤボンデイング方法において、予め電極部と外部
リード間を移動するキヤピラリの標準駆動軌跡を
設定しておき、実際の該キヤピラリの駆動軌跡と
前記標準駆動軌跡とを比較して前記標準駆動軌跡
中での該キヤピラリの標準加速度特性と等しい加
速度特性で該キヤピラリを前記実際の駆動軌跡に
沿つて移動させることを特徴とするワイヤボンデ
イング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59244803A JPS61123148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59244803A JPS61123148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61123148A JPS61123148A (ja) | 1986-06-11 |
| JPH0566731B2 true JPH0566731B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=17124171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59244803A Granted JPS61123148A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61123148A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100604307B1 (ko) * | 2000-05-27 | 2006-07-24 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어 본딩 시스템의 속도 프로파일 설계 방법 |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP59244803A patent/JPS61123148A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61123148A (ja) | 1986-06-11 |
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