JPS6142417B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6142417B2 JPS6142417B2 JP51122785A JP12278576A JPS6142417B2 JP S6142417 B2 JPS6142417 B2 JP S6142417B2 JP 51122785 A JP51122785 A JP 51122785A JP 12278576 A JP12278576 A JP 12278576A JP S6142417 B2 JPS6142417 B2 JP S6142417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- ratio
- bonding wire
- movement
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ワイヤボンダーに関する。
半導体装置の製作等に使用されている従来のワ
イヤボンダーにおけるXYテーブルは、パルスモ
ータ、DCモータ等によつて駆動され、手動操作
によつて十字動するものである。
イヤボンダーにおけるXYテーブルは、パルスモ
ータ、DCモータ等によつて駆動され、手動操作
によつて十字動するものである。
しかしながら、この種のXYテーブルは、走行
距離によつて移動時間が異なつてくるため、XY
テーブルを斜め方向に移動させる場合には、Ｘお
よびＹ方向の移動時間が異なり、XYテーブルが
移動する際、その動きは一直線ではなく複雑な曲
線を描くことになる。そのため、本来ボンデイン
グワイヤは、パツド電極からリードへ一直線に張
る必要があるのに、キヤピラリは蛇行して動くの
でボンデイングワイヤは右へ左へと曲がりながら
張られ、ボンデイングワイヤ形状の不良を発生す
る原因となつている。また、ボンデイングワイヤ
の長さが異なればXYテーブルがパツド電極から
リードへ移動する時間が異なつてくるので、ボン
デイングワイヤの長さの違いによりキヤピラリの
上下動とXYテーブルの走行との関係が異なつて
しまい、ボンデイングワイヤ形状がその長さによ
つて違うものとなり、ボンデイングワイヤ形状の
安定化が損なわれる。
距離によつて移動時間が異なつてくるため、XY
テーブルを斜め方向に移動させる場合には、Ｘお
よびＹ方向の移動時間が異なり、XYテーブルが
移動する際、その動きは一直線ではなく複雑な曲
線を描くことになる。そのため、本来ボンデイン
グワイヤは、パツド電極からリードへ一直線に張
る必要があるのに、キヤピラリは蛇行して動くの
でボンデイングワイヤは右へ左へと曲がりながら
張られ、ボンデイングワイヤ形状の不良を発生す
る原因となつている。また、ボンデイングワイヤ
の長さが異なればXYテーブルがパツド電極から
リードへ移動する時間が異なつてくるので、ボン
デイングワイヤの長さの違いによりキヤピラリの
上下動とXYテーブルの走行との関係が異なつて
しまい、ボンデイングワイヤ形状がその長さによ
つて違うものとなり、ボンデイングワイヤ形状の
安定化が損なわれる。
それゆえ、本発明の目的は、XYテーブルを一
直線に走行させボンデイングワイヤ形状を安定化
させ、ボンデイング作業にともなうデバイスの製
品歩留まりの低下を防止したワイヤボンダーを提
供することにある。
直線に走行させボンデイングワイヤ形状を安定化
させ、ボンデイング作業にともなうデバイスの製
品歩留まりの低下を防止したワイヤボンダーを提
供することにある。
このような目的を達成するため、本発明におい
ては、XYテーブルを構成するＸテーブルとＹテ
ーブルの加速度比、最高速度比が、Ｘ方向及びＹ
方向へそれぞれ移動すべき距離の比にほぼ等しく
なるように制御される。
ては、XYテーブルを構成するＸテーブルとＹテ
ーブルの加速度比、最高速度比が、Ｘ方向及びＹ
方向へそれぞれ移動すべき距離の比にほぼ等しく
なるように制御される。
各テーブルは、例えばDCモータで駆動される
ことにより、その移動速度Ｖが第１図に示す様に
制御される。すなわち、移動開始から時間t1まで
の間は加速度αで加速しながら移動し、その後時
間t2までの間は最高速度Vmaxで移動し、時間t2
以降は加速度βで減速しながら移動し、時間t3に
停止する。この場合、テーブルの移動距離は、上
記α、Vmax、β及び時間軸Ｔで囲まれた面積Ｓ
によつて表わされる。
ことにより、その移動速度Ｖが第１図に示す様に
制御される。すなわち、移動開始から時間t1まで
の間は加速度αで加速しながら移動し、その後時
間t2までの間は最高速度Vmaxで移動し、時間t2
以降は加速度βで減速しながら移動し、時間t3に
停止する。この場合、テーブルの移動距離は、上
記α、Vmax、β及び時間軸Ｔで囲まれた面積Ｓ
によつて表わされる。
本発明によれば、例えば、Ｘ方向への移動距離
Sxが長く、Ｙ方向への移動距離Syが短い場合に
は、Ｘテーブルの移動速度Vxを第２図に示す様
に速度制御し、Ｙテーブルの移動速度Vyを第３
図に示す様に速度制御する。すなわち、両テーブ
ルの加速度比（αｘ／αｙ・βｘ／βｙ）及び最高速度
比 （Ｖｘｍａｘ／Ｖｙｍａｘ）が、それぞれ移動距離比（
Ｓｘ／Ｓｙ）と等し くされる。その結果、、ある時間ｔにおける両テ
ーブルの速度比（Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ））は、次式(1
)〜(3)に示す 様に、移動開始から停止まで移動距離比（Ｓｘ／Ｓｙ＝ Ｋ）と等しなる。
Sxが長く、Ｙ方向への移動距離Syが短い場合に
は、Ｘテーブルの移動速度Vxを第２図に示す様
に速度制御し、Ｙテーブルの移動速度Vyを第３
図に示す様に速度制御する。すなわち、両テーブ
ルの加速度比（αｘ／αｙ・βｘ／βｙ）及び最高速度
比 （Ｖｘｍａｘ／Ｖｙｍａｘ）が、それぞれ移動距離比（
Ｓｘ／Ｓｙ）と等し くされる。その結果、、ある時間ｔにおける両テ
ーブルの速度比（Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ））は、次式(1
)〜(3)に示す 様に、移動開始から停止まで移動距離比（Ｓｘ／Ｓｙ＝ Ｋ）と等しなる。
Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ）＝αｘ・ｔ／αｙ・ｔ＝αｘ
／αｙ＝Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（０＜ｔ＜t1） … …(1) Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ）＝Ｖｘｍａｘ／Ｖｙｍａｘ＝
Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（t1＜ｔ＜t2）……(2) Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ）＝βｘ・ｔ／βｙ・ｔ＝βｘ
／βｙ＝Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（t2＜ｔ＜t3） … …(3) 従つて、ある時間ｔにおけるＸテーブルの移動
距離Sx（ｔ）とＹテーブルの移動距離Sy（ｔ）
との間には次式(4)の関係が生じる。
／αｙ＝Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（０＜ｔ＜t1） … …(1) Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ）＝Ｖｘｍａｘ／Ｖｙｍａｘ＝
Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（t1＜ｔ＜t2）……(2) Ｖｘ（ｔ）／Ｖｙ（ｔ）＝βｘ・ｔ／βｙ・ｔ＝βｘ
／βｙ＝Ｓｘ／Ｓｙ＝Ｋ（t2＜ｔ＜t3） … …(3) 従つて、ある時間ｔにおけるＸテーブルの移動
距離Sx（ｔ）とＹテーブルの移動距離Sy（ｔ）
との間には次式(4)の関係が生じる。
Sx（ｔ）
＝∫ｔ ｐVx（ｔ）dt＝∫ｔ ｐKVy（ｔ）dt
＝Ｋ∫ｔ ｐVy（ｔ）dt＝KSy（ｔ）……(4)
すなわち、両テーブルの移動距離比は、移動開
始から停止まで常に一定（Ｓｘ（ｔ）／Ｓｙ（ｔ）＝Ｋ
）となる。
始から停止まで常に一定（Ｓｘ（ｔ）／Ｓｙ（ｔ）＝Ｋ
）となる。
従つて、XYテーブルによる斜め方向への移動を
直線移動とすることができる。
直線移動とすることができる。
従つて、この様なXYテーブルを有する本発明
のワイヤボンダは、第１ボンドから第２ボンドま
でのボンデイングワイヤを直線状に張ることがで
きる。
のワイヤボンダは、第１ボンドから第２ボンドま
でのボンデイングワイヤを直線状に張ることがで
きる。
以下、本発明にかかるワイヤボンダーにおける
XYテーブルの速度制御および位置決め制御を第
４図〜第５図に示すブロツク図を参照しながら詳
述する。
XYテーブルの速度制御および位置決め制御を第
４図〜第５図に示すブロツク図を参照しながら詳
述する。
第４図は、Ｘ方向について上記速度制御を行う
ための一実施例ブロツク図を示すもので、同図に
示す記号は下記の通りである。
ための一実施例ブロツク図を示すもので、同図に
示す記号は下記の通りである。
X0：XYテーブルがＸ方向に移動する最長距離
（パツド電極―リード間のＸ方向最長離間距
離） X1：XYテーブルがＸ方向に移動すべき距離
（指令移動距離） Vmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向最高
移動速度 αmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向加速
度 βmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向減速
度 Ｇ（Ｓ）：指令速度V0を受けて、この速度に
テーブルを制御するための制御回路 Ｘ１／Ｘ０：入力値を比例係数（X1／X0）倍して出力
す るための演算部 １／Ｓ：加速度、減速度から現在の指令速度V0を求 めるための積分器 この様に、上記実施例によれば、Vmax，α
max及びβmaxが、指令移動距離X1に比例して指
令速度V0に変換され、この速度に追従してテー
ブルが移動される。この様な制御をＹ方向につい
ても行うことにより、XYテーブルを斜めに動か
す場合、その動きを一直線にすることができる。
加減速の切換は、あらかじめ切換時間を設定する
かあるいはまたX0と実際の移動量との比によつ
て設定することにより電気的なスイツチング機構
をもつて行なう。
（パツド電極―リード間のＸ方向最長離間距
離） X1：XYテーブルがＸ方向に移動すべき距離
（指令移動距離） Vmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向最高
移動速度 αmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向加速
度 βmax：指令移動距離がX0のときのＸ方向減速
度 Ｇ（Ｓ）：指令速度V0を受けて、この速度に
テーブルを制御するための制御回路 Ｘ１／Ｘ０：入力値を比例係数（X1／X0）倍して出力
す るための演算部 １／Ｓ：加速度、減速度から現在の指令速度V0を求 めるための積分器 この様に、上記実施例によれば、Vmax，α
max及びβmaxが、指令移動距離X1に比例して指
令速度V0に変換され、この速度に追従してテー
ブルが移動される。この様な制御をＹ方向につい
ても行うことにより、XYテーブルを斜めに動か
す場合、その動きを一直線にすることができる。
加減速の切換は、あらかじめ切換時間を設定する
かあるいはまたX0と実際の移動量との比によつ
て設定することにより電気的なスイツチング機構
をもつて行なう。
一方、XYテーブルの位置決め制御は、速度制
御が位置のフイードバツクを行なつていないので
正確な位置決めが期待できないことにより、停止
寸前に位置のフイードバツクによる正確な位置決
めに切り換える必要から、位置のフイードバツク
Ｋによる位置決めに切り換えることにより行な
う。
御が位置のフイードバツクを行なつていないので
正確な位置決めが期待できないことにより、停止
寸前に位置のフイードバツクによる正確な位置決
めに切り換える必要から、位置のフイードバツク
Ｋによる位置決めに切り換えることにより行な
う。
なお、駆動用モータの応答が速く起動停止（加
減速度）がすみやかに行われるような場合には、
Vmaxの制御をするだけで定時間制御を近似的に
行なうことができる。
減速度）がすみやかに行われるような場合には、
Vmaxの制御をするだけで定時間制御を近似的に
行なうことができる。
上述したような定時間制御を行なうXYテーブ
ルを有するワイヤボンダーによれば、パツド電極
（第１ボンド）からリード（第２ボンド）へボン
デイングワイヤが一直線に張ることができ、パツ
ド電極からのボンデイングワイヤがリードの正面
からまつすぐに入り、リードの側面に接当するこ
となくリードの正面にボンドすることができるの
で、ボンデイングワイヤ形状が極めて良好なもの
になり、それにともない製造歩留まりが大幅に向
上する。
ルを有するワイヤボンダーによれば、パツド電極
（第１ボンド）からリード（第２ボンド）へボン
デイングワイヤが一直線に張ることができ、パツ
ド電極からのボンデイングワイヤがリードの正面
からまつすぐに入り、リードの側面に接当するこ
となくリードの正面にボンドすることができるの
で、ボンデイングワイヤ形状が極めて良好なもの
になり、それにともない製造歩留まりが大幅に向
上する。
第１図〜第３図は、本発明にかかるワイヤボン
ダーにおけるXYテーブルの定時間制御を説明す
るための図、第４図は、速度制御を示すブロツク
図、第５図は、位置決め制御を示すブロツク図で
ある。
ダーにおけるXYテーブルの定時間制御を説明す
るための図、第４図は、速度制御を示すブロツク
図、第５図は、位置決め制御を示すブロツク図で
ある。
Claims (1)
- １ Ｘ方向及びＹ方向への移動開始及び終了がほ
ぼ同時に行なわれるとともに、加速度比及び最高
速度比が上記Ｘ方向及びＹ方向へ移動すべき距離
の比にそれぞれほぼ等しくなるように制御される
Ｘテーブル及びＹテーブルを具備してなり、第１
ボンドから第２ボンドまでのボンデイングワイヤ
をほぼ直線状に張るようにしたことを特徴とする
ワイヤボンダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12278576A JPS5348461A (en) | 1976-10-15 | 1976-10-15 | Wire bonder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12278576A JPS5348461A (en) | 1976-10-15 | 1976-10-15 | Wire bonder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5348461A JPS5348461A (en) | 1978-05-01 |
| JPS6142417B2 true JPS6142417B2 (ja) | 1986-09-20 |
Family
ID=14844542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12278576A Granted JPS5348461A (en) | 1976-10-15 | 1976-10-15 | Wire bonder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5348461A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226936A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング方法および装置 |
| JPS61235714A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-21 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | ワ−ク座標系による駆動装置 |
| JPH07104142B2 (ja) * | 1985-09-24 | 1995-11-13 | 株式会社ニコン | ワ−ク座標系による駆動装置 |
| US6286749B1 (en) | 1998-01-23 | 2001-09-11 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | Apparatus for moving a bonding head of a wire bonder in X, Y and Z axial directions |
-
1976
- 1976-10-15 JP JP12278576A patent/JPS5348461A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5348461A (en) | 1978-05-01 |
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