JPH0566870B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0566870B2 JPH0566870B2 JP11436387A JP11436387A JPH0566870B2 JP H0566870 B2 JPH0566870 B2 JP H0566870B2 JP 11436387 A JP11436387 A JP 11436387A JP 11436387 A JP11436387 A JP 11436387A JP H0566870 B2 JPH0566870 B2 JP H0566870B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- thermal head
- substrate
- resistance value
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 241000483466 Xanthium strumarium var. canadense Species 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/345—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads characterised by the arrangement of resistors or conductors
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(a) 産業上の利用分野
この発明は、サーマルヘツドの製造方法に関す
る。
る。
(b) 従来の技術
熱転写型や感熱紙型のプリンタに使用されるサ
ーマルヘツドを製造する場合、先ず絶縁基板上に
各種電極と発熱抵抗体を形成してサーマルヘツド
原板を製造し、この原板をサーマルヘツド単体に
対応する領域ごとに分断することによつて個々の
サーマルヘツドを製造している。
ーマルヘツドを製造する場合、先ず絶縁基板上に
各種電極と発熱抵抗体を形成してサーマルヘツド
原板を製造し、この原板をサーマルヘツド単体に
対応する領域ごとに分断することによつて個々の
サーマルヘツドを製造している。
このようにサーマルヘツド原板から個々のサー
マルヘツドを分断した際、各サーマルヘツドの切
断面にバリ、カケなどが発生し、プリンタなどに
組み込まれた際熱転写リボンの走行に支障をきた
し印字品質に悪影響を与える場合があつた。そこ
で従来はこれを改善する一方法としてサーマルヘ
ツド原板から各サーマルヘツドを分断する際、予
め外形寸法を大きめに分断し、その後基板の端面
を研削工具によつて所定量研削して仕上げるとい
う方法を採用している。
マルヘツドを分断した際、各サーマルヘツドの切
断面にバリ、カケなどが発生し、プリンタなどに
組み込まれた際熱転写リボンの走行に支障をきた
し印字品質に悪影響を与える場合があつた。そこ
で従来はこれを改善する一方法としてサーマルヘ
ツド原板から各サーマルヘツドを分断する際、予
め外形寸法を大きめに分断し、その後基板の端面
を研削工具によつて所定量研削して仕上げるとい
う方法を採用している。
第2図Aは分断された単一のサーマルヘツドの
縦断面を表していて、たとえば研削加工前の基板
1の端面はDであり、この端面をCに示す位置ま
で一定量研削することによつて基板端面のバリ、
カケなどの修正と外形寸法の修正を行つている。
縦断面を表していて、たとえば研削加工前の基板
1の端面はDであり、この端面をCに示す位置ま
で一定量研削することによつて基板端面のバリ、
カケなどの修正と外形寸法の修正を行つている。
(c) 発明が解決しようとする問題点
このような従来のサーマルヘツドの製造方法に
おいては、基板端面を研削加工する際、基板の外
形端面を基準として行われるが、基準とされる外
形端面にバリやカケが存在するため、この影響な
どによつて修正後の外形寸法にバラツキが生じ
る。また、例えば砥石車を研磨材とすれば、砥石
の目づまりなどの表面状態により研削性能が大き
く変動し、定寸定速送りでは表面状態による研削
量の違いを砥石車の送り量にフイードバツクでき
ず、仕上がり面の品質を高めることができない。
なお、第2図AにおいてA−Bに示した電極パタ
ーンを基準として研削量を制御すれば、外形寸法
の精度を高めることができるが、そのためには光
学的測定を行わなければならず、測定と研削を同
時に行うことができず、製造効率が低下するとい
う問題があつた。
おいては、基板端面を研削加工する際、基板の外
形端面を基準として行われるが、基準とされる外
形端面にバリやカケが存在するため、この影響な
どによつて修正後の外形寸法にバラツキが生じ
る。また、例えば砥石車を研磨材とすれば、砥石
の目づまりなどの表面状態により研削性能が大き
く変動し、定寸定速送りでは表面状態による研削
量の違いを砥石車の送り量にフイードバツクでき
ず、仕上がり面の品質を高めることができない。
なお、第2図AにおいてA−Bに示した電極パタ
ーンを基準として研削量を制御すれば、外形寸法
の精度を高めることができるが、そのためには光
学的測定を行わなければならず、測定と研削を同
時に行うことができず、製造効率が低下するとい
う問題があつた。
この発明の目的は、導体パターンを基準として
研削量を制御し、しかも測定と研削を同時に行え
るようにして製造効率を高めたサーマルヘツドの
製造方法を提供することにある。
研削量を制御し、しかも測定と研削を同時に行え
るようにして製造効率を高めたサーマルヘツドの
製造方法を提供することにある。
(d) 問題点を解決するための手段
この発明のサーマルヘツドの製造方法は、サー
マルヘツドの基板上で発熱部と、この発熱部近傍
の基板端部との間に検査用導体膜を設け、導電性
の研削工具により上記発熱部近傍の基板端面を内
方へ研削しつつ、上記検査用導体膜と上記研削工
具間の電気抵抗値を測定し、この抵抗値が予め定
めた値に達したとき研削を終了することを特徴と
している。
マルヘツドの基板上で発熱部と、この発熱部近傍
の基板端部との間に検査用導体膜を設け、導電性
の研削工具により上記発熱部近傍の基板端面を内
方へ研削しつつ、上記検査用導体膜と上記研削工
具間の電気抵抗値を測定し、この抵抗値が予め定
めた値に達したとき研削を終了することを特徴と
している。
(e) 作用
この発明のサーマルヘツドの製造方法において
はサーマルヘツドの基板上で発熱部と、この発熱
部近傍の基板端部との間に検査用導体膜を設けた
ことにより、導電性の研削工具により上記発熱部
近傍の基板端面を内方へ研削していくことによつ
て、上記検査用導体膜の面積が変化し、これにと
もない研削工具と検査用導体膜間の電気抵抗値が
変化する。したがつてこの抵抗値が予め定めた値
に達したとき研削を終了することによつて、検査
用導体膜を基準とした所定位置まで研削を行うこ
とができる。
はサーマルヘツドの基板上で発熱部と、この発熱
部近傍の基板端部との間に検査用導体膜を設けた
ことにより、導電性の研削工具により上記発熱部
近傍の基板端面を内方へ研削していくことによつ
て、上記検査用導体膜の面積が変化し、これにと
もない研削工具と検査用導体膜間の電気抵抗値が
変化する。したがつてこの抵抗値が予め定めた値
に達したとき研削を終了することによつて、検査
用導体膜を基準とした所定位置まで研削を行うこ
とができる。
(f) 実施例
第1図はこの発明の実施例であるサーマルヘツ
ドの製造方法の概念図である。図において1はサ
ーマルヘツドの基板であり、この上面に検査用電
極10および他の電極が形成されており基板1の
研削すべき端面に砥石車22が当接されて、端面
の研削が行われる。検出部20は検査用電極10
と砥石車22間の電気抵抗値を検出する回路であ
り、制御部21は検出部20の出力信号に応じて
砥石車22の移動制御を行う。
ドの製造方法の概念図である。図において1はサ
ーマルヘツドの基板であり、この上面に検査用電
極10および他の電極が形成されており基板1の
研削すべき端面に砥石車22が当接されて、端面
の研削が行われる。検出部20は検査用電極10
と砥石車22間の電気抵抗値を検出する回路であ
り、制御部21は検出部20の出力信号に応じて
砥石車22の移動制御を行う。
第3図、第4図は上記サーマルヘツドの構造を
表す図であり、第3図の上部に縦断面、下部に平
面を表している。また第4図は研削加工される側
の端面付近の縦断面を詳細に表している。第4図
において1はアルミナセラミクスなどの絶縁性基
板であり、基板1の端部付近に蒲鉾状のグレーズ
層2が形成されていて、基板1およびグレーズ層
2の上部に抵抗体層3,4が形成され、その上部
金属層5,6および7が形成され、さらにその表
面に保護膜8が全面に被覆されている。第3図に
示すように金属層6は複数の抵抗体層3を共通に
接続するコモン電極として用いられ、金属層5は
コモン電極6との間で抵抗体層3に対して駆動信
号を供給するリード電極として用いられる。さら
に抵抗体層4とその上部の金属層7は発熱部近傍
の基板端部と発熱部との間にパターン化されてい
て検査用電極として用いられ、基板の他端に外部
接続用端子7aとして引き出されている。このよ
うなサーマルヘツドは次のようにして製造する。
先ず、原板上にグレーズ2をスクリーン印刷し焼
成した後、全面に抵抗体層とAlなどの金属膜を
スパツタリングにより形成し、レジストプロセス
とエツチングプロセスを2度行つて抵抗体層と
Al層をパターン化する。その後、全面に保護膜
をスパツタリングすることによつてサーマルヘツ
ドの原板を製造し、所定のラインで分断すること
によつて個々のサーマルヘツドを得る。
表す図であり、第3図の上部に縦断面、下部に平
面を表している。また第4図は研削加工される側
の端面付近の縦断面を詳細に表している。第4図
において1はアルミナセラミクスなどの絶縁性基
板であり、基板1の端部付近に蒲鉾状のグレーズ
層2が形成されていて、基板1およびグレーズ層
2の上部に抵抗体層3,4が形成され、その上部
金属層5,6および7が形成され、さらにその表
面に保護膜8が全面に被覆されている。第3図に
示すように金属層6は複数の抵抗体層3を共通に
接続するコモン電極として用いられ、金属層5は
コモン電極6との間で抵抗体層3に対して駆動信
号を供給するリード電極として用いられる。さら
に抵抗体層4とその上部の金属層7は発熱部近傍
の基板端部と発熱部との間にパターン化されてい
て検査用電極として用いられ、基板の他端に外部
接続用端子7aとして引き出されている。このよ
うなサーマルヘツドは次のようにして製造する。
先ず、原板上にグレーズ2をスクリーン印刷し焼
成した後、全面に抵抗体層とAlなどの金属膜を
スパツタリングにより形成し、レジストプロセス
とエツチングプロセスを2度行つて抵抗体層と
Al層をパターン化する。その後、全面に保護膜
をスパツタリングすることによつてサーマルヘツ
ドの原板を製造し、所定のラインで分断すること
によつて個々のサーマルヘツドを得る。
その後第1図に示したように基板端面を研削加
工するが、第3図においてL1〜L2までは検査
用電極7と砥石車との導通はなく、砥石車がL2
まで達して検査用電極7と接したとき抵抗値が急
激に減少する。さらに、L3まで削り込むと、砥
石車と検査用電極との接触面積が減少し、これに
ともない抵抗値が急激に上昇する。このように抵
抗値の減少および増大を検出することによつて砥
石車がL1〜L2,L2〜L3あるいはL3より
内方の何れの位置にあるかを判別することがで
き、L2あるいはL3の何れかの位置を端面とし
て仕上げることができる。
工するが、第3図においてL1〜L2までは検査
用電極7と砥石車との導通はなく、砥石車がL2
まで達して検査用電極7と接したとき抵抗値が急
激に減少する。さらに、L3まで削り込むと、砥
石車と検査用電極との接触面積が減少し、これに
ともない抵抗値が急激に上昇する。このように抵
抗値の減少および増大を検出することによつて砥
石車がL1〜L2,L2〜L3あるいはL3より
内方の何れの位置にあるかを判別することがで
き、L2あるいはL3の何れかの位置を端面とし
て仕上げることができる。
なお、基板端面を研削加工する際、第2図Aに
示したように基板の側面を平行に研削加工する場
合に限らず、同図BあるいはCに示すように熱転
写リボンの摺動部分のみについて稜整形を行うこ
とも可能である。
示したように基板の側面を平行に研削加工する場
合に限らず、同図BあるいはCに示すように熱転
写リボンの摺動部分のみについて稜整形を行うこ
とも可能である。
第5図〜第9図は他の実施例にかかるサーマル
ヘツドの電極形状を表している。第5図と第6図
に示す例は発熱部と基板端部との間にテーパー状
の検査用電極7を形成した例であり、この場合も
砥石車による研削位置と抵抗値に対応関係があ
り、この関係を利用してテーパー部分の何れかの
位置を端面として仕上げることができる。第7図
は検査用電極7をコモン電極6と共通接続して一
部兼用した例である。この場合、コモン電極と砥
石車間の抵抗値を測定することによつて第3図に
示した場合と同様に処理を行うことができる。第
8図と第9図はコモン電極の一部に検査用電極7
を付加した例であり、第8図は検査用電極をテー
パー状に形成し、第9図は検査用電極を階段状に
形成した例である。この場合もコモン電極6と砥
石車との抵抗値を測定し、所定の値となつたとき
に研削を終了することによつて所定位置まで研削
加工を行うことができる。
ヘツドの電極形状を表している。第5図と第6図
に示す例は発熱部と基板端部との間にテーパー状
の検査用電極7を形成した例であり、この場合も
砥石車による研削位置と抵抗値に対応関係があ
り、この関係を利用してテーパー部分の何れかの
位置を端面として仕上げることができる。第7図
は検査用電極7をコモン電極6と共通接続して一
部兼用した例である。この場合、コモン電極と砥
石車間の抵抗値を測定することによつて第3図に
示した場合と同様に処理を行うことができる。第
8図と第9図はコモン電極の一部に検査用電極7
を付加した例であり、第8図は検査用電極をテー
パー状に形成し、第9図は検査用電極を階段状に
形成した例である。この場合もコモン電極6と砥
石車との抵抗値を測定し、所定の値となつたとき
に研削を終了することによつて所定位置まで研削
加工を行うことができる。
以上の実施例はすべて検査用導体膜として金属
層を用いた例であつたが、その他に抵抗体層を用
いることもできる。第10図と第11図はその場
合の二つの例について表している。第10図上部
の断面図に示すように、通常はエツチングにより
除去する基板端部の抵抗体層4をそのまま残して
おくことにより、研削の進行に伴う抵抗体層の残
量で研削量を検出することができる。したがつて
コモン電極6と砥石車22間の抵抗値を測定しつ
つ研削することにより、所定位置まで研削加工す
ることができる。
層を用いた例であつたが、その他に抵抗体層を用
いることもできる。第10図と第11図はその場
合の二つの例について表している。第10図上部
の断面図に示すように、通常はエツチングにより
除去する基板端部の抵抗体層4をそのまま残して
おくことにより、研削の進行に伴う抵抗体層の残
量で研削量を検出することができる。したがつて
コモン電極6と砥石車22間の抵抗値を測定しつ
つ研削することにより、所定位置まで研削加工す
ることができる。
また第11図に示すように、抵抗体層4をコモ
ン電極6の近傍にパターン化しておくことによ
り、コモン電極と砥石車との導通の有無および抵
抗値の変化により同様に研削量を制御することが
できる。
ン電極6の近傍にパターン化しておくことによ
り、コモン電極と砥石車との導通の有無および抵
抗値の変化により同様に研削量を制御することが
できる。
(g) 発明の効果
以上のようにこの発明によれば、基板上に形成
した導体膜を基準として研削量を制御するため、
外形寸法の精度および仕上がり面の品質を高める
ことができる。さらに光学的測定などを必要とせ
ず研削量を測定しながら加工をできるため、削り
過ぎや削り不足による良品率の悪化および作業時
間の増加を防止することができる。
した導体膜を基準として研削量を制御するため、
外形寸法の精度および仕上がり面の品質を高める
ことができる。さらに光学的測定などを必要とせ
ず研削量を測定しながら加工をできるため、削り
過ぎや削り不足による良品率の悪化および作業時
間の増加を防止することができる。
第1図はこの発明の実施例にかかるサーマルヘ
ツドの製造方法の概念図、第2図A〜Cは研削加
工の例を表す図、第3図と第4図は上記実施例で
用いられるサーマルヘツドの構造を表す図、第5
図〜第11図は他の実施例にかかるサーマルヘツ
ドの構造を表す図である。 1……基板、2……グレーズ層、3……抵抗体
層、4……抵抗体層(検査用導体膜)、5……リ
ード電極、6……コモン電極、7……検査用電
極、8……保護膜。
ツドの製造方法の概念図、第2図A〜Cは研削加
工の例を表す図、第3図と第4図は上記実施例で
用いられるサーマルヘツドの構造を表す図、第5
図〜第11図は他の実施例にかかるサーマルヘツ
ドの構造を表す図である。 1……基板、2……グレーズ層、3……抵抗体
層、4……抵抗体層(検査用導体膜)、5……リ
ード電極、6……コモン電極、7……検査用電
極、8……保護膜。
Claims (1)
- 1 サーマルヘツドの基板上で発熱部と、この発
熱部近傍の基板端部との間に検査用導体膜を設
け、導電性の研削工具により上記発熱部近傍の基
板端面を内方へ研削しつつ、上記検査用導体膜と
上記研削工具間の電気抵抗値を測定し、この抵抗
値が予め定めた値に達したとき研削を終了するこ
とを特徴とするサーマルヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436387A JPS63278868A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | サ−マルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436387A JPS63278868A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | サ−マルヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63278868A JPS63278868A (ja) | 1988-11-16 |
| JPH0566870B2 true JPH0566870B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=14635846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11436387A Granted JPS63278868A (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | サ−マルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63278868A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4793895A (en) * | 1988-01-25 | 1988-12-27 | Ibm Corporation | In situ conductivity monitoring technique for chemical/mechanical planarization endpoint detection |
| JP2818498B2 (ja) * | 1991-03-29 | 1998-10-30 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッド |
| CN106041667A (zh) * | 2016-05-20 | 2016-10-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板及其磨边检测方法、对位方法和装置 |
-
1987
- 1987-05-11 JP JP11436387A patent/JPS63278868A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63278868A (ja) | 1988-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4683646A (en) | Thermal head method of manufacturing | |
| JPS63278868A (ja) | サ−マルヘッドの製造方法 | |
| US6812944B2 (en) | Thermal head | |
| JPWO1996041722A1 (ja) | サーマルヘッドにおける共通電極パターンに対する補助電極層の形成方法 | |
| JP2818498B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| US5701659A (en) | Method of making a thin film thermal printhead | |
| JPH0839852A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS63312169A (ja) | ラインサ−マルプリンタヘッドの製造方法 | |
| JPS6312366B2 (ja) | ||
| JPH0666047B2 (ja) | タブレットとその製造方法 | |
| JP2546120Y2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS6349451A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPS61211055A (ja) | サ−マルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0245595B2 (ja) | ||
| JPH09267502A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH0447370B2 (ja) | ||
| JPS6021263A (ja) | 端面型サ−マルヘッド用基板 | |
| JP2575554B2 (ja) | 端面型サーマルヘッド | |
| JPH03227662A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2599948B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2572948B2 (ja) | 熱印字ヘッドの製造方法 | |
| JPH0630885B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH0720707B2 (ja) | 熱印字ヘッド | |
| JPS63242656A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPS63212559A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |