JPH0568100B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はキヤリアテープに設けられたリードに
単体のバンプ又はペレツトに設けられたバンプを
ボンデイングするテープボンダにおけるリード検
出装置に関する。

［従来の技術］ 従来、テープボンデイング方法として、例えば
特公昭57−53974号公報、特公昭62−27735号公
報、特公昭62−55298号公報等に示すように、キ
ヤリアテープのリードにペレツトのバンプをボン
デイングするもの、また特公昭62−31819号公報、
特公昭62−34142号公報等に示すように、キヤリ
ヤテープのリードにバンプ単体をボンデイングす
るものが知られている。

ところで、かかるテープボンデイング方法にお
けるリードの位置検出は、ボンドガイドに位置決
めされたリードの上方に配設されたカメラでリー
ド表面の反射光を検出している。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、リード表面の反射光を検出す
るので、リード表面の平担度、曲がり、面状態等
が検出に影響し、リードの位置を正確に検出する
ことが困難であつた。

本発明の目的は、リードの位置を高精度で検出
することができるテープボンダにおけるリード検
出装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ボンドガイドに位置決めされたキ
ヤリアテープのリードの上方に配設されたカメラ
と、前記リードを上方より照明する照明手段と、
前記リードの下方に進退自在に設けられた反射鏡
とを備えた構成にすることにより解決される。

［作用］ 上方よりリードに照射された光はリード部分が
遮断され、リードの下方に配設した反射光にはリ
ードの影が写る。このリードの影をカメラで検出
するので、リードの位置は高精度で検出できる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明す
る。ポリイミドフイルム等よりなるキヤリアテー
プ１には多数のリード２が順に設けられており、
このキヤリアテープ１は図示しない供給リールよ
りボンドガイド３に導かれ、図示しない巻取りリ
ールに巻取られるようになつている。ボンドガイ
ド３の上方には、図示しない駆動手段で上下(Z)方
向及び水平（Ｘ、Ｙ）方向に移動させられるボン
ドツール４が配設されており、このボンドツール
４はボンドガイド３の中央に設けられたボンド窓
３ａに挿入されるようになつている。

またボンドガイド３のボンド窓３ａの上方に
は、キヤリアテープ１のリード２の位置を検出す
るためのリード検出用カメラ５が配設されてい
る。リード検出用カメラ５には下端にそれぞれハ
ーフミラー６が取付けられており、ハーフミラー
６の側方には落射照明７が取付けられている。

前記ボンドガイド３の下方にはボンドステージ
１０が配設されており、このボンドステージ１０
は、図示しない駆動手段で水平（Ｘ、Ｙ）方向、
上下(Z)方向及び回転（θ）方向に移動させられる
ようになつている。ボンドステージ１０は上端に
真空チヤツク１１を有し、バンプ１２が形成され
たガラス等の基板１３は真空チヤツク１１により
吸着保持されるようになつている。またリード２
と基板１３の間には上面に反射鏡１４を有する反
射鏡ホルダ１５が進退自在に設けられている。

次に作用についてについて説明する。ボンドツ
ール４はリード検出用カメラ５の下方から逃げた
状態にある。また反射鏡１４はボンドガイド３の
下方に位置した状態にある。この状態で、キヤリ
アテープ１が送られ、ボンデイングされるリード
２がボンド窓３ａに位置決めされると、まずリー
ド検出用カメラ５でリード２の位置ずれが検出さ
れ、この検出結果は図示しない演算装置に記憶さ
れる。

この場合、落射照明７の光はハーフミラー６に
よつてリード２に照射される。このリード２に照
射された光はリード２部分が遮断され、リード２
の下方に配設した反射鏡１４にはリード２の影が
写る。このリード２の影をリード検出用カメラ５
で検出するので、リード２の位置は高精度で検出
できる。また演算装置に記憶されたリード２の位
置検出結果は、次の２つのいずれかの方法によつ
て処理される。第１の方法は、リード２の位置ず
れを補正するようにキヤリアテープ１がボンドガ
イド３と共にXY方向に移動させられる。第２の
方法は、リード２の位置ずれを加味して後記する
ようにボンドステージ１０を移動させる。

前記のようにリード２の位置を検出後、反射鏡
ホルダ１５は水平面内を回動又は直線的に移動し
てリード２の下方より逃げる。次にボンドステー
ジ１０がXY方向に移動させられ、ボンデイング
されるバンプ１２がリード２と整合される。この
場合、前記のようにリード２の位置ずれが第１の
方法によつて処理されている場合には、ボンデイ
ングされるバンプ１２が正規に位置するリード２
の下方に位置するようにボンドステージ１０は移
動させられる。またリード２の位置ずれが第２の
方法によつて処理される場合には、リード２の位
置ずれを加味してボンデイングされるバンプ１２
が実際のリード２の下方に位置するようにボンド
ステージ１０は移動させられる。

前記のようにリード２とバンプ１２とが整合さ
せられた後、ボンドステージ１０は上昇し、バン
プ１２がリード２に当接させられる。またボンド
ツール４がXY方向に移動及び下降してリード２
をバンプ１２に押付け、バンプ１２をリード２に
ボンデイングする。その後、ボンドツール４は上
昇及びXY方向に移動し、またボンドステージ１
０は下降する。

次にキヤリアテープ１は一定ピツチ送られ、次
にボンデイングされるリード２がボンド窓３ａの
下方に位置決めされる。また反射鏡ホルダ１５が
移動して反射鏡１４がリード２の下方に配設され
る。以後、前記した動作を繰返してリード２にバ
ンプ１２が順次ボンデイングされる。

なお、上記実施例においては、リード２にバン
プ１２単体をボンデイングする場合について説明
したが、ペレツト、即ちペレツトに設けられたバ
ンプをボンデイングする場合にも同様に適用でき
ることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、反射鏡に写つたリードの影をカメラで検出す
るので、リードの位置は高精度で検出できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面概略図で
ある。 １：キヤリアテープ、２：リード、３：ボンド
ガイド、５：リード検出用カメラ、７：落射照
明、１４：反射鏡。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ボンドガイドに位置決めされたキヤリアテー
   プのリードの上方に配設されたカメラと、前記リ
   ードを上方より照明する照明手段と、前記リード
   の下方に進退自在に設けられた反射鏡とを備えた
   テープボンダにおけるリード検出装置。