JPH01206638A - テープボンダにおけるリード検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はキャリアテープに設けられたリードに単体のバ
ンプ又はペレットに設けられたバンプをポンディングす
るテープボンダにおけるリード検出装置に関する。

［従来の技術］ 従来、テープポンディング方法として、例えば特公昭５
７−５３９７４号公報、特公昭６２−２７７３５号公報
、特公昭６２−５５２９８号公報等に示すように、キャ
リアテープのリードにペレットのバンプをポンディング
するもの、また特公昭６２−３１８１９号公報、特公昭
６２−３４１４２号公報等に示すように、キャリアテー
プのリードにバンプ単体をポンディングするものが知ら
れている。

ところで、かかるテープポンディング方法におけるリー
ドの位置検出は、ボンドガイドに位置決めされたリード
の上方に配設されたカメラでリード表面の反射光を検出
している。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、リード表面の反射光を検出するので、
リード表面の平担度、曲がり、面状態等が検出に影響し
、リードの位置を正確に検出することが困難であった。

本発明の目的は、リードの位置を高精度で検出すること
ができるテープボンダにおけるリード検出装置を提供す
ることにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ボンドガイドに位置決めされたキャリアテ
ープのリードの上方に配設されたカメラと、前記リード
を上方より照明する照明手段と、前記リードの下方に進
退自在に設けられた反射鏡とを備えた構成にすることに
より解決される。

［作用］ 上方よりリードに照射された光はリード部分が遮断され
、リードの下方に配設した反射光にはリードの影が写る
。このリードの影をカメラで検出するので、リードの位
置は高精度で検出できる。

［実施例コ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ポリ
イミドフィルム等よりなるキャリアテープ１には多数の
り−ド２が順に設けられており、このキャリアテープ１
は図示しない供給リールよりボンドガイド３に導かれ、
図示しない巻取リリールに巻取られるようになっている
。ボンドガイド３の上方には、図示しない駆動手段で上
下（Ｚ）方向及び水平（ｘ　、　ｙ）方向に移動させら
れるポンドツール４が配設されており、このポンドツー
ル４はボンドガイド３の中央に設けられたボンド窓３ａ
に挿入されるようになっている。

またボンドガイド３のボンド窓３ａの上方には、キャリ
アテープ１のリード２の位置を検出するためのリード検
出用カメラ５が配設されている。リード検出用カメラ５
には下端にそれぞれハーフミラ−６が取付けられており
、ハーフミラ−６の側方には落射照明７が取付けられて
いる。

前記ボンドガイド３の下方にはボンドステージ１０が配
設されており、このボンドステージ１０は、図示しない
駆動手段で水平（ｘ　、　ｙ）方向、上下（Ｚ、）方向
及び回転（θ）方向に移動させられるようになっている
。ボンドステージ１０は上端に真空チャック１１を有し
、バンプ１２が形成されたガラス等の基板１３は真空チ
ャック１１により吸着保持されるようになっている。ま
たり−ド２と基板１３の間には上面に反射鏡１４を有す
る反射鏡ホルダ１５が進退自在に設けられている。

次に作用についてについて説明する。ポンドツール４は
リード検出用カメラ５の下方から逃げた状態にある。ま
た反射鏡１４はボンドガイド３の下方に位置した状態に
ある。この状態で、キャリアテープ１が送られ、ポンデ
ィングされるリード２がボンド窓３ａに位置決めされる
と、まずリード検出用カメラ５でリード２の位置ずれが
検出され、この検出結果は図示しない演算装置に記憶さ
れる。

この場合、落射照明７の光はハーフミラ−６によってリ
ード２に照射される。このリード２に照射された光はリ
ード２部分が遮断され、リード２の下方に配設した反射
鏡１４にはリード２の影が写る。このリード２の影をリ
ード検出用カメラ５で検出するので、リード２の位置は
高精度で検出できる。また演算装置に記憶されたり−ド
２の位置検出結果は、次の２つのいずれかの方法によっ
て処理される。第１の方法は、リード２の位置ずれを補
正するようにキャリアテープ１がボンドガイド３と共に
ＸＹ力方向移動させられる。第２の方法は、リード２の
位置ずれを加味して後記するようにポンドステージ１０
を移動させる。

前記のようにリード２の位置を検出後、反射鏡ホルダ１
５は水平面内を回動又は直線的に移動してリード２の下
方より逃げる。次にボンドステージ１０がＸＹ力方向移
動させられ、ポンディングされるバンプ１２がリード２
と整合される。この場合、前記のようにリード２の位置
ずれが第１の方法によって処理されている場合には、ポ
ンディングされるバンプ１２が正規に位置するり−ド２
の下方に位置するようにポンドステージ１０は移動させ
られる。またリード２の位置ずれが第２の方法によって
処理される場合には、リード２の位置ずれを加味してポ
ンディングされるバンプ１２が実際のリード２の下方に
位置するようにポンドステージ１０は移動させられる。

前記のようにリード２とバンプ１２とが整合させられた
後、ポンドステージ１０は上昇し、バンプ１２がリード
２に当接させられる。またポンドツール４がＸＹ力方向
移動及び下降してリード２をバンプ１２に押付け、バン
プ１２をリード２にポンディングする。その後、ポンド
ツール４は上■及びＸＹ力方向移動し、またポンドステ
ージ１０は下降する。

次にキャリアテープ１は一定ピッチ送られ、次にポンデ
ィングされるリード２がポンド窓３ａの下方に位置決め
される。また反射鏡ホルダ１５が移動して反射鏡１４が
リード２の下方に配設される。以後、前記した動作を繰
返してリード２にバンプ１２が順次ポンディングされる
。

なお、上記実施例においては、リード２にバンブ１２単
体をポンディングする場合について説明したが、ペレッ
ト、即ちペレットに設けられたバンブをポンディングす
る場合にも同様に適用できることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、反射
鏡に写ったリード□の影をカメラで検出するので、リー
ドの位置は高精度で検出できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面概略図である。 １：キャリアテープ、　　　２；リード、３：ボンドガ
イド、　　５：リード検出用カメラ、７：落射照明、　
　　１４；反射鏡。 代理人　弁理士　１）辺　良　徳

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ボンドガイドに位置決めされたキャリアテープの
   リードの上方に配設されたカメラと、前記リードを上方
   より照明する照明手段と、前記リードの下方に進退自在
   に設けられた反射鏡とを備えたテープボンダにおけるリ
   ード検出装置。