JPH0467783B2 - - Google Patents
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- JPH0467783B2 JPH0467783B2 JP16603486A JP16603486A JPH0467783B2 JP H0467783 B2 JPH0467783 B2 JP H0467783B2 JP 16603486 A JP16603486 A JP 16603486A JP 16603486 A JP16603486 A JP 16603486A JP H0467783 B2 JPH0467783 B2 JP H0467783B2
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- Japan
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- solid device
- lead
- lead frame
- bonding
- film carrier
- Prior art date
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はフイルムキヤリアから打抜かれた固形
デバイスの外部リードをリードフレーム又は基板
のリード接合部に接合する外部リード接合方法に
関する。
デバイスの外部リードをリードフレーム又は基板
のリード接合部に接合する外部リード接合方法に
関する。
[従来の技術]
外部リード接合装置は、第8図に示すように、
両側帯にスプロケツト穴1aを備えたフイルムキ
ヤリア1に外部リード2aによつて支えられた固
形デバイス2をパンチングにより打抜き、第9図
に示すリードフレーム3又は第10図に示す基板
4のリード接合部3a又は4aに外部リード2a
を位置合わせして載置し、第11図及び第12図
に示すように、外部リード2aとリード接合部3
aとをボンデイングによつて接合する工程を全自
動で行うものである。以下、リードフレームとい
う場合はリードフレーム3及び基板4の両方を指
す。
両側帯にスプロケツト穴1aを備えたフイルムキ
ヤリア1に外部リード2aによつて支えられた固
形デバイス2をパンチングにより打抜き、第9図
に示すリードフレーム3又は第10図に示す基板
4のリード接合部3a又は4aに外部リード2a
を位置合わせして載置し、第11図及び第12図
に示すように、外部リード2aとリード接合部3
aとをボンデイングによつて接合する工程を全自
動で行うものである。以下、リードフレームとい
う場合はリードフレーム3及び基板4の両方を指
す。
従来用いられてきた外部リード接合装置は2つ
の方式に大別される。第1の方式は、フイルムキ
ヤリアとリードフレームを上下に重ねて配置し、
フイルムキヤリア上の固形デバイスを打抜くと同
時にその上方にあるリードフレームにそのまま熱
圧着する方式であり、他の第2の方式は、フイル
ムキヤリアとリードフレームを並行に配置し、フ
イルムキヤリア上の固形デバイスを打抜き、この
固形デバイスを真空吸着ヘツドで吸着してリード
フレーム上へ移送載置し、しかる後、別置のボン
デイング装置によつて接合する方式である。本発
明はこの第2の方式を対象としている。
の方式に大別される。第1の方式は、フイルムキ
ヤリアとリードフレームを上下に重ねて配置し、
フイルムキヤリア上の固形デバイスを打抜くと同
時にその上方にあるリードフレームにそのまま熱
圧着する方式であり、他の第2の方式は、フイル
ムキヤリアとリードフレームを並行に配置し、フ
イルムキヤリア上の固形デバイスを打抜き、この
固形デバイスを真空吸着ヘツドで吸着してリード
フレーム上へ移送載置し、しかる後、別置のボン
デイング装置によつて接合する方式である。本発
明はこの第2の方式を対象としている。
前記打抜かれた固形デバイスはリードフレーム
上に正しく位置決めするために、固形デバイスの
外部リードの位置ずれをカメラで認識する必要が
ある。このため、従来は打抜かれた固形デバイス
の外部リードに直接光を照射し、外部リードの表
面から反射させた映像をカメラでとらえている。
上に正しく位置決めするために、固形デバイスの
外部リードの位置ずれをカメラで認識する必要が
ある。このため、従来は打抜かれた固形デバイス
の外部リードに直接光を照射し、外部リードの表
面から反射させた映像をカメラでとらえている。
[発明が解決しようとする問題点]
固形デバイス2の外部リード2aはパンチング
による切断で姿勢が変化し易いため、直接に照射
した光をその表面から反射させた映像をカメラで
見た場合、明るさのムラが生じやすく、その位置
を自動認識しようとすると認識エラーを起こすこ
とが多い。
による切断で姿勢が変化し易いため、直接に照射
した光をその表面から反射させた映像をカメラで
見た場合、明るさのムラが生じやすく、その位置
を自動認識しようとすると認識エラーを起こすこ
とが多い。
本発明の目的は、高精度の位置決めを行うこと
ができる外部リード接合方法を提供することにあ
る。
ができる外部リード接合方法を提供することにあ
る。
[問題点を解決するための手段]
上記従来技術の問題点は、真空吸着ヘツドに保
持された固形デバイスを下方から透過するように
カメラに投光し、この透過による外部リードの影
の映像をカメラでとらえ、これを認識部で処理し
てリードフレームの位置との相対的な位置ずれを
演算し、これを固形デバイスの移送用XY方向移
動テーブルの移動制御系へフイードバツクして固
形デバイスをリードフレームの所定位置に位置決
めすることにより解決される。
持された固形デバイスを下方から透過するように
カメラに投光し、この透過による外部リードの影
の映像をカメラでとらえ、これを認識部で処理し
てリードフレームの位置との相対的な位置ずれを
演算し、これを固形デバイスの移送用XY方向移
動テーブルの移動制御系へフイードバツクして固
形デバイスをリードフレームの所定位置に位置決
めすることにより解決される。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図乃至第7図に
従つて説明する。第1図乃至第3図に示すよう
に、本装置は、本体10とその上面に設けられた
制御筐体11とにより枠体を構成している。本体
10の内部にはフイルムキヤリア1の供給収納装
置12が設けられている。
従つて説明する。第1図乃至第3図に示すよう
に、本装置は、本体10とその上面に設けられた
制御筐体11とにより枠体を構成している。本体
10の内部にはフイルムキヤリア1の供給収納装
置12が設けられている。
フイルムキヤリア1の供給収納装置12の供給
側には本体10に回転可能に支持された供給リー
ル14があり、収納側には巻き取りリール15が
ある。これらこの供給リール14及び巻き取りリ
ール15はそれぞれ図示しない同期モータによつ
て回転させられる。前記供給リール14には、フ
イルムキヤリア1と、巻き取り時に固形デバイス
2が重なり合つて破損したりするのを防止するス
ペーサテープ16が一緒に巻かれている。
側には本体10に回転可能に支持された供給リー
ル14があり、収納側には巻き取りリール15が
ある。これらこの供給リール14及び巻き取りリ
ール15はそれぞれ図示しない同期モータによつ
て回転させられる。前記供給リール14には、フ
イルムキヤリア1と、巻き取り時に固形デバイス
2が重なり合つて破損したりするのを防止するス
ペーサテープ16が一緒に巻かれている。
本体10の上面には供給収納装置12から送ら
れたフイルムキヤリア1を定寸送りする定寸送り
装置20が設けられている。定寸送り装置20
は、供給リール14から繰り出されたフイルムキ
ヤリア1の進行経路上にあつて、本体10の上面
に設けられた支持台21に回転可能に支持された
2個一対のスプロケツト22,23と、図示しな
いベルト伝動手段によりこの2つのスプロケツト
22,23を同期回転させる図示しないスプロケ
ツト回転同期モータとを備えており、フイルムキ
ヤリア1のスプロケツト穴1a(第8図参照)に
スプロケツト22,23の外周に設けられた歯が
係合してスプロケツト回転同期モータの定角間欠
回転によりフイルムキヤリア1を定寸づつ順送り
することができる。
れたフイルムキヤリア1を定寸送りする定寸送り
装置20が設けられている。定寸送り装置20
は、供給リール14から繰り出されたフイルムキ
ヤリア1の進行経路上にあつて、本体10の上面
に設けられた支持台21に回転可能に支持された
2個一対のスプロケツト22,23と、図示しな
いベルト伝動手段によりこの2つのスプロケツト
22,23を同期回転させる図示しないスプロケ
ツト回転同期モータとを備えており、フイルムキ
ヤリア1のスプロケツト穴1a(第8図参照)に
スプロケツト22,23の外周に設けられた歯が
係合してスプロケツト回転同期モータの定角間欠
回転によりフイルムキヤリア1を定寸づつ順送り
することができる。
また本体10の上面にはフイルムキヤリア1上
の固形デバイス2を打抜くパンチユニツト30が
前記定寸送り装置20に併設されて設けられてい
る。パンチユニツト30は、スプロケツト22と
23を結ぶフイルムキヤリア1の定寸送り経路に
沿つて設けられ、フイルムキヤリア1をクランプ
しながらパンチングツールによつて固形デバイス
2を打抜くパンチングアクチユエータ31と、こ
のパンチングアクチユエータ31を昇降させるた
めにその下方に設けられた直動カムフオロア32
と、これに当接し、昇降せしめるエアシリンダ3
3によつて往復動するリニアカム34とより構成
されている。
の固形デバイス2を打抜くパンチユニツト30が
前記定寸送り装置20に併設されて設けられてい
る。パンチユニツト30は、スプロケツト22と
23を結ぶフイルムキヤリア1の定寸送り経路に
沿つて設けられ、フイルムキヤリア1をクランプ
しながらパンチングツールによつて固形デバイス
2を打抜くパンチングアクチユエータ31と、こ
のパンチングアクチユエータ31を昇降させるた
めにその下方に設けられた直動カムフオロア32
と、これに当接し、昇降せしめるエアシリンダ3
3によつて往復動するリニアカム34とより構成
されている。
また本体10の上面には周知の爪式又はベルト
式搬送手段によつてリードフレーム3を間欠定寸
送りする送り装置35が設けられている。また図
示しないが、送り装置35の供給側と排出側には
それぞれ別置の搬送手段が設けられ、多数のリー
ドフレーム3は自動的に順送りされていくことが
できるようになつている。
式搬送手段によつてリードフレーム3を間欠定寸
送りする送り装置35が設けられている。また図
示しないが、送り装置35の供給側と排出側には
それぞれ別置の搬送手段が設けられ、多数のリー
ドフレーム3は自動的に順送りされていくことが
できるようになつている。
また本体10の上面には、フイルムキヤリア1
から打抜かれた固形デバイス2をリードフレーム
3の所定位置に移送する移送アーム装置40が設
けられている。この移送アーム装置40は第1
図、第2図、第4図、第5図に示すように、本体
10の上面に設けられたフイルムキヤリア1の進
行経路に平行な方向(X方向)に沿つて伸長する
X方向ガイドレール41と、これに沿つて送りモ
ータ42により周知の送りねじ機構を介して送ら
れるX方向移動テーブル43と、X方向移動テー
ブル43上に設けられ、X方向と直交する方向
(Y方向)に沿つて伸長する第1Y方向ガイドレー
ル44と、これに沿つて送りモータ45により同
様の送りねじ機構を介して送られる第1Y方向移
動テーブル46と、第1Y方向移動テーブル46
上に設けられ、同じくY方向に沿つて伸長する第
2Y方向ガイドレール47と、これに沿つて送り
モータ48により送りねじ機構を介して送られる
第2Y方向移動テーブル49と、第2Y方向移動テ
ーブル49上に設けられた昇降レール50と、こ
れに沿つて昇降可能な昇降台51と、これを昇降
させるためのエアシリンダ52によつて往復動す
るリニアカム53と、昇降台51に固定され、Y
方向に沿つて伸長する昇降アーム54と、昇降ア
ーム54の先端に設けられた真空吸着ヘツド55
とよりなる。そして、前述のX及びY方向移動テ
ーブル43,46,49の移動により真空吸着ヘ
ツド55は、パンチユニツト30の真上に進出す
ることが可能で、パンチングツールによつて打抜
かれた固形デバイス2をそのまま吸着して保持す
ることが可能なようになつている。
から打抜かれた固形デバイス2をリードフレーム
3の所定位置に移送する移送アーム装置40が設
けられている。この移送アーム装置40は第1
図、第2図、第4図、第5図に示すように、本体
10の上面に設けられたフイルムキヤリア1の進
行経路に平行な方向(X方向)に沿つて伸長する
X方向ガイドレール41と、これに沿つて送りモ
ータ42により周知の送りねじ機構を介して送ら
れるX方向移動テーブル43と、X方向移動テー
ブル43上に設けられ、X方向と直交する方向
(Y方向)に沿つて伸長する第1Y方向ガイドレー
ル44と、これに沿つて送りモータ45により同
様の送りねじ機構を介して送られる第1Y方向移
動テーブル46と、第1Y方向移動テーブル46
上に設けられ、同じくY方向に沿つて伸長する第
2Y方向ガイドレール47と、これに沿つて送り
モータ48により送りねじ機構を介して送られる
第2Y方向移動テーブル49と、第2Y方向移動テ
ーブル49上に設けられた昇降レール50と、こ
れに沿つて昇降可能な昇降台51と、これを昇降
させるためのエアシリンダ52によつて往復動す
るリニアカム53と、昇降台51に固定され、Y
方向に沿つて伸長する昇降アーム54と、昇降ア
ーム54の先端に設けられた真空吸着ヘツド55
とよりなる。そして、前述のX及びY方向移動テ
ーブル43,46,49の移動により真空吸着ヘ
ツド55は、パンチユニツト30の真上に進出す
ることが可能で、パンチングツールによつて打抜
かれた固形デバイス2をそのまま吸着して保持す
ることが可能なようになつている。
また本体10の上面には移送アーム装置40の
移送に際し固形デバイス2の位置確認を行う光学
装置60が設けられている。この位置確認用光学
装置60は第1図乃至第3図及び第6図に示すよ
うに、移送アーム装置40によつて移送される固
形デバイス2の真空吸着ヘツド55に吸着された
姿勢での位置ずれ自体を確認する装置と、リード
フレーム3の送り装置35によつて送られるリー
ドフレーム3の基準位置からのずれを確認する装
置とよりなる。前者は、固形デバイス2の移送経
路の真上に設けられたカメラ61と、その真下に
設けられたプリズム62と、プリズム62により
光を屈折させてカメラ61に投光する投光器63
によつて構成され、後者は、リードフレーム3の
搬送経路に沿つて設けられた所定の第1のボンデ
イングステーシヨンの真上に設けられたカメラ7
4と、リードフレーム3に光を反射させてこのカ
メラ64に投光する投光器65によつて構成され
ている。
移送に際し固形デバイス2の位置確認を行う光学
装置60が設けられている。この位置確認用光学
装置60は第1図乃至第3図及び第6図に示すよ
うに、移送アーム装置40によつて移送される固
形デバイス2の真空吸着ヘツド55に吸着された
姿勢での位置ずれ自体を確認する装置と、リード
フレーム3の送り装置35によつて送られるリー
ドフレーム3の基準位置からのずれを確認する装
置とよりなる。前者は、固形デバイス2の移送経
路の真上に設けられたカメラ61と、その真下に
設けられたプリズム62と、プリズム62により
光を屈折させてカメラ61に投光する投光器63
によつて構成され、後者は、リードフレーム3の
搬送経路に沿つて設けられた所定の第1のボンデ
イングステーシヨンの真上に設けられたカメラ7
4と、リードフレーム3に光を反射させてこのカ
メラ64に投光する投光器65によつて構成され
ている。
また本体10の上面にはリードフレーム3上に
移送された固形デバイス2をリードフレーム3の
送り装置35の搬送経路に沿つて設けられたボン
デイングステーシヨンでボンデイングする2つの
第1及び第2のボンデイング装置70,71が設
けられている。ボンデイング装置70,71は、
前述の第1のボンデイングステーシヨンと、これ
に隣接して同様にリードフレーム3の搬送経路上
に設けられた第2のボンデイングステーシヨンに
対しそれぞれ設けられ、周知のボンデイングヘツ
ドから伸長し、かつ昇降するボンデイングアーム
72の先端には、第7図に示すように中央部に逃
げ部73aを備えたボンデイングツール73が固
定されている。このボンデイングツール73は、
固形デバイス2の本体部分をまたぐようにして干
渉を避けながらその対向する2辺に設けられた外
部リード2aのボンデイングを行うことができ、
第1のボンデイングステーシヨンに設けられた第
1のボンデイング装置70では、ボンデイングツ
ール73の逃げ部73aは真空吸着ヘツド55を
も逃げることが可能に設けられ、第2のボンデイ
ングステーシヨンに設けられた第2のボンデイン
グ装置71では、ボンデイングツール73の逃げ
部73aは第1のボンデイング装置70のそれに
対し直交するように設けてある。
移送された固形デバイス2をリードフレーム3の
送り装置35の搬送経路に沿つて設けられたボン
デイングステーシヨンでボンデイングする2つの
第1及び第2のボンデイング装置70,71が設
けられている。ボンデイング装置70,71は、
前述の第1のボンデイングステーシヨンと、これ
に隣接して同様にリードフレーム3の搬送経路上
に設けられた第2のボンデイングステーシヨンに
対しそれぞれ設けられ、周知のボンデイングヘツ
ドから伸長し、かつ昇降するボンデイングアーム
72の先端には、第7図に示すように中央部に逃
げ部73aを備えたボンデイングツール73が固
定されている。このボンデイングツール73は、
固形デバイス2の本体部分をまたぐようにして干
渉を避けながらその対向する2辺に設けられた外
部リード2aのボンデイングを行うことができ、
第1のボンデイングステーシヨンに設けられた第
1のボンデイング装置70では、ボンデイングツ
ール73の逃げ部73aは真空吸着ヘツド55を
も逃げることが可能に設けられ、第2のボンデイ
ングステーシヨンに設けられた第2のボンデイン
グ装置71では、ボンデイングツール73の逃げ
部73aは第1のボンデイング装置70のそれに
対し直交するように設けてある。
次にかかる構成よりなる外部リード接合装置の
作用について説明する。フイルムキヤリア1は供
給リール14から繰り出されると、スプロケツト
22,23によつて定寸送りされる。この時、同
期モータはスプロケツト回転同期モータと同期し
て間欠回転し、フイルムキヤリア1に過大なテン
シヨンがかかつたり、逆にたるみが出てしまうの
を防止している。フイルムキヤリア1が定寸送り
されて固形デバイス2がパンチユニツト30のパ
ンチングアクチユエータ31上の所定位置に位置
決めされると、次にエアシリンダ33が動作して
リニアカム34が右側へ移動し、これによつて直
動カムフオロア32が上昇し、パンチングアクチ
ユエータ31の図示しないパンチを押し上げ、周
知の機構によりフイルムキヤリア1をクランプし
て固定した後、パンチングツールによつて固形デ
バイス2を上方に打抜く。この時、固形デバイス
2はパンチングツール上にフイルムキヤリア1よ
り分離されて置かれた状態となる。
作用について説明する。フイルムキヤリア1は供
給リール14から繰り出されると、スプロケツト
22,23によつて定寸送りされる。この時、同
期モータはスプロケツト回転同期モータと同期し
て間欠回転し、フイルムキヤリア1に過大なテン
シヨンがかかつたり、逆にたるみが出てしまうの
を防止している。フイルムキヤリア1が定寸送り
されて固形デバイス2がパンチユニツト30のパ
ンチングアクチユエータ31上の所定位置に位置
決めされると、次にエアシリンダ33が動作して
リニアカム34が右側へ移動し、これによつて直
動カムフオロア32が上昇し、パンチングアクチ
ユエータ31の図示しないパンチを押し上げ、周
知の機構によりフイルムキヤリア1をクランプし
て固定した後、パンチングツールによつて固形デ
バイス2を上方に打抜く。この時、固形デバイス
2はパンチングツール上にフイルムキヤリア1よ
り分離されて置かれた状態となる。
次に送りモータ42,45,48の回転によ
り、XYテーブルが移動して昇降アーム54の先
端に設けられた真空吸着ヘツド55がその固形デ
バイス2の真上に位置決めされる。そして、エア
シリンダ52が動作してリニアカム53が後退す
ると昇降台51が下降し、これによつて昇降アー
ム54も下降して真空吸着ヘツド55が固形デバ
イス2を吸着保持する。この後エアシリンダ52
は逆動作してリニアカム53が前進すると昇降台
51が上昇し、昇降アーム54が固形デバイス2
を保持して上昇する。
り、XYテーブルが移動して昇降アーム54の先
端に設けられた真空吸着ヘツド55がその固形デ
バイス2の真上に位置決めされる。そして、エア
シリンダ52が動作してリニアカム53が後退す
ると昇降台51が下降し、これによつて昇降アー
ム54も下降して真空吸着ヘツド55が固形デバ
イス2を吸着保持する。この後エアシリンダ52
は逆動作してリニアカム53が前進すると昇降台
51が上昇し、昇降アーム54が固形デバイス2
を保持して上昇する。
そして再びXYテーブルが動作して昇降アーム
54を移動させ、固形デバイス2をその位置確認
用光学装置60の下方に位置せしめる。この時、
投光器63から照射された光はプリズム62によ
つて屈折され、固形デバイス2を下方から透過す
るようにカメラ61に投光される。この透過光に
よる映像では、外部リード2a、固形デバイス2
は影として映るため、コントラストが明確にな
り、カメラ61による自動認識のエラーは極めて
発生しにくくなり都合がよい。こうしてカメラ6
1でとらえた映像は図示しない認識部で処理さ
れ、同時に投光器65から照射された光をリード
フレーム3の表面に反射させてカメラ64に投光
することによつて得られたリードフレーム3の映
像も同じ認識部で処理されて、この2つの位置ず
れの認識結果に基づき、そのずれを修正するよう
に送りモータ42,45,48の回転量にフイー
ドバツクされる。そして、その結果、昇降アーム
54は更に移動して固形デバイス2をリードフレ
ーム3の所定位置の真上に正しく位置決めする。
54を移動させ、固形デバイス2をその位置確認
用光学装置60の下方に位置せしめる。この時、
投光器63から照射された光はプリズム62によ
つて屈折され、固形デバイス2を下方から透過す
るようにカメラ61に投光される。この透過光に
よる映像では、外部リード2a、固形デバイス2
は影として映るため、コントラストが明確にな
り、カメラ61による自動認識のエラーは極めて
発生しにくくなり都合がよい。こうしてカメラ6
1でとらえた映像は図示しない認識部で処理さ
れ、同時に投光器65から照射された光をリード
フレーム3の表面に反射させてカメラ64に投光
することによつて得られたリードフレーム3の映
像も同じ認識部で処理されて、この2つの位置ず
れの認識結果に基づき、そのずれを修正するよう
に送りモータ42,45,48の回転量にフイー
ドバツクされる。そして、その結果、昇降アーム
54は更に移動して固形デバイス2をリードフレ
ーム3の所定位置の真上に正しく位置決めする。
位置決めが終ると、次にエアシリンダ52が再
び動作してリニアカム53が後退し、昇降アーム
54が下降して真空吸着ヘツド55が固形デバイ
ス2をリードフレーム3上の所定位置に正しく載
置し、そのままこれを下方に軽く押圧しながら保
持する。そして、この状態で第1のボンデイング
装置70のボンデイングアーム72が周知の機構
によつて下降し、そのボンデイングツール73は
固形デバイス2と真空吸着ヘツド55の両方を逃
げ部73aによつて逃げ、干渉を避けながら固形
デバイス2の対向する2辺に設けられた外部リー
ド2aを同時にリードフレーム3にボンデイング
する。
び動作してリニアカム53が後退し、昇降アーム
54が下降して真空吸着ヘツド55が固形デバイ
ス2をリードフレーム3上の所定位置に正しく載
置し、そのままこれを下方に軽く押圧しながら保
持する。そして、この状態で第1のボンデイング
装置70のボンデイングアーム72が周知の機構
によつて下降し、そのボンデイングツール73は
固形デバイス2と真空吸着ヘツド55の両方を逃
げ部73aによつて逃げ、干渉を避けながら固形
デバイス2の対向する2辺に設けられた外部リー
ド2aを同時にリードフレーム3にボンデイング
する。
この後、ボンデイングアーム72が上昇する
と、真空吸着ヘツド55も固形デバイス2の吸着
を止めて上昇し、再び一連の動作を繰り返すべく
パンチユニツト30の上方へ進出していく。一
方、外部リード2aの半分をボンデイングされた
固形デバイス2は送り装置35によつて間欠送り
されて第2のボンデイングステーシヨンへ送ら
れ、ここで第1のボンデイング装置70と全く同
様に第2のボンデイング装置71によつて他の対
向する2辺の外部リード2aをリードフレーム3
に対し同時にボンデイングされ、ここで外部リー
ド2aの接合が完了する。
と、真空吸着ヘツド55も固形デバイス2の吸着
を止めて上昇し、再び一連の動作を繰り返すべく
パンチユニツト30の上方へ進出していく。一
方、外部リード2aの半分をボンデイングされた
固形デバイス2は送り装置35によつて間欠送り
されて第2のボンデイングステーシヨンへ送ら
れ、ここで第1のボンデイング装置70と全く同
様に第2のボンデイング装置71によつて他の対
向する2辺の外部リード2aをリードフレーム3
に対し同時にボンデイングされ、ここで外部リー
ド2aの接合が完了する。
さて、フイルムキヤリア1はパンチユニツト3
0を通過すると、スプロケツト23を経由してス
ペーサテープ16と共に巻き取りリール15に巻
き取られる。
0を通過すると、スプロケツト23を経由してス
ペーサテープ16と共に巻き取りリール15に巻
き取られる。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、固形デバイスの打抜き後の保持位置とリード
フレームの位置の両方を自動認識して、そこに生
じる相対的な位置ずれの量と方向を演算し、これ
を固形デバイスの移送用XY方向移動テーブルの
移動制御系へフイードバツクして最終位置決めを
行うため、接合位置精度が高い。また固形デバイ
スの保持位置の認識に下方からの透過光を用いる
ことにより、その影を撮影して外部リードの切断
時の状況にかかわらず均一な画像が得られ、自動
認識エラーがなく確実な作業が可能である。
ば、固形デバイスの打抜き後の保持位置とリード
フレームの位置の両方を自動認識して、そこに生
じる相対的な位置ずれの量と方向を演算し、これ
を固形デバイスの移送用XY方向移動テーブルの
移動制御系へフイードバツクして最終位置決めを
行うため、接合位置精度が高い。また固形デバイ
スの保持位置の認識に下方からの透過光を用いる
ことにより、その影を撮影して外部リードの切断
時の状況にかかわらず均一な画像が得られ、自動
認識エラーがなく確実な作業が可能である。
第1図は本発明になる外部リード接合方法の一
実施例を示す正面図、第2図は第1図の右側面
図、第3図は第1図の平面図、第4図は固形デバ
イスの移送部の部分詳細正面図、第5図は第4図
の部分詳細右側面図、第6図は固形デバイス移送
部に設けられた光学的位置認識手段の動作説明
図、第7図はボンデイング時の動作状態図、第8
図はフイルムキヤリアの平面図、第9図はリード
フレームの平面図、第10図は基板の平面図、第
11図はリードフレームに接合された固形デバイ
スの平面図、第12図は基板に接合された固形デ
バイスの平面図及び側面図である。 1……フイルムキヤリア、2……固形デバイ
ス、2a……外部リード、3……リードフレー
ム、3a……リード接合部、30……パンチユニ
ツト、40……移送アーム装置、43……X方向
移動テーブル、46……第1Y方向移動テーブル、
49……第2Y方向移動テーブル、55……真空
吸着ヘツド、60……光学装置、61……カメ
ラ、62……プリズム、63……投光器。
実施例を示す正面図、第2図は第1図の右側面
図、第3図は第1図の平面図、第4図は固形デバ
イスの移送部の部分詳細正面図、第5図は第4図
の部分詳細右側面図、第6図は固形デバイス移送
部に設けられた光学的位置認識手段の動作説明
図、第7図はボンデイング時の動作状態図、第8
図はフイルムキヤリアの平面図、第9図はリード
フレームの平面図、第10図は基板の平面図、第
11図はリードフレームに接合された固形デバイ
スの平面図、第12図は基板に接合された固形デ
バイスの平面図及び側面図である。 1……フイルムキヤリア、2……固形デバイ
ス、2a……外部リード、3……リードフレー
ム、3a……リード接合部、30……パンチユニ
ツト、40……移送アーム装置、43……X方向
移動テーブル、46……第1Y方向移動テーブル、
49……第2Y方向移動テーブル、55……真空
吸着ヘツド、60……光学装置、61……カメ
ラ、62……プリズム、63……投光器。
Claims (1)
- 1 フイルムキヤリアに外部リードによつて支え
られた固形デバイスをパンチングにより打抜き、
この打抜かれた固形デバイスを真空吸着ヘツドで
吸着してリードフレーム上のリード接合部へ移送
載置し、前記外部リードと前記リード接合部とを
接合する外部リード接合方法において、前記真空
吸着ヘツドに保持された固形デバイスを下方から
透過するようにカメラに投光し、この透過による
外部リードの影の映像をカメラでとらえ、これを
認識部で処理してリードフレームの位置との相対
的な位置ずれを演算し、これを固形デバイスの移
送用XY方向移動テーブルの移動制御系へフイー
ドバツクして固形デバイスをリードフレームの所
定位置に位置決めすることを特徴とする外部リー
ド接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16603486A JPS6320847A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 外部リ−ド接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16603486A JPS6320847A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 外部リ−ド接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320847A JPS6320847A (ja) | 1988-01-28 |
| JPH0467783B2 true JPH0467783B2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=15823716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16603486A Granted JPS6320847A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 外部リ−ド接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320847A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2687122B2 (ja) * | 1987-01-26 | 1997-12-08 | 株式会社ジャパンエナジー | 積層型CdTe放射線検出素子 |
| US7071992B2 (en) | 2002-03-04 | 2006-07-04 | Macronix International Co., Ltd. | Methods and apparatus for bridging different video formats |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP16603486A patent/JPS6320847A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6320847A (ja) | 1988-01-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |