JPH056984A - 一次元イメージセンサ - Google Patents
一次元イメージセンサInfo
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- JPH056984A JPH056984A JP3155027A JP15502791A JPH056984A JP H056984 A JPH056984 A JP H056984A JP 3155027 A JP3155027 A JP 3155027A JP 15502791 A JP15502791 A JP 15502791A JP H056984 A JPH056984 A JP H056984A
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- bonding
- chip
- image sensor
- dimensional image
- bonding pad
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- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
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- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
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- H10W72/932—Plan-view shape, i.e. in top view
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/941—Dispositions of bond pads
- H10W72/944—Dispositions of multiple bond pads
- H10W72/9445—Top-view layouts, e.g. mirror arrays
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/951—Materials of bond pads
Landscapes
- Facsimile Heads (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】一次元イメージセンサにおいて、チップ内の無
効領域を減らすため、ボンディングパッドを集中配置し
ても組立上問題とならない構成を提供する。 【構成】図1に示す様にボンディングパッド列をチップ
の両端に集中配置し、しかもそのボンディングパッドと
接続するボンディングステッチ列をボンディングパッド
の両側に配置し、ボンディングパッドとボンディングス
テッチ間の接続が片側のボンディングステッチに集中す
ることなく、両側のボンディングステッチにほぼ均等に
なる様にする。 【効果】ボンディングステッチピッチP2 の1/2まで
ボンディングパッドピッチP1 を狭めることができ、P
2 の制限によるP1 の増大を防止でき、結果としてチッ
プサイズの最小化に効果を有する。
効領域を減らすため、ボンディングパッドを集中配置し
ても組立上問題とならない構成を提供する。 【構成】図1に示す様にボンディングパッド列をチップ
の両端に集中配置し、しかもそのボンディングパッドと
接続するボンディングステッチ列をボンディングパッド
の両側に配置し、ボンディングパッドとボンディングス
テッチ間の接続が片側のボンディングステッチに集中す
ることなく、両側のボンディングステッチにほぼ均等に
なる様にする。 【効果】ボンディングステッチピッチP2 の1/2まで
ボンディングパッドピッチP1 を狭めることができ、P
2 の制限によるP1 の増大を防止でき、結果としてチッ
プサイズの最小化に効果を有する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一次元イメージセンサに
関し、特にそのボンディングパッドのレイアウト、及び
ボンディングステッチの配置に関する。
関し、特にそのボンディングパッドのレイアウト、及び
ボンディングステッチの配置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の一次元イメージセンサのチップ
(半導体基板)内配置及びボンディングワイヤー配置を
図3に示す。図3よりわかる様に、一次元イメージセン
サのチップ内においては一列に配置された光電変換素子
を含む回路領域2をチップの長手方向の中心に配置し、
ボンディングパッド4は、チップ内の長手方向の周辺部
に集中的に配置している(例えば、特開平2−6527
8)。
(半導体基板)内配置及びボンディングワイヤー配置を
図3に示す。図3よりわかる様に、一次元イメージセン
サのチップ内においては一列に配置された光電変換素子
を含む回路領域2をチップの長手方向の中心に配置し、
ボンディングパッド4は、チップ内の長手方向の周辺部
に集中的に配置している(例えば、特開平2−6527
8)。
【0003】この様なチップ内配置は、一次元イメージ
センサにおいては回路領域2が細長く、例えば300μ
m×30,000μmの様な領域をしめているため、ボ
ンディングパッドを回路領域の周囲に作ると回路領域の
周りにかなりの無効領域ができてしまう。このため、チ
ップ内に無効領域をできるだけ作らない様にボンディン
グパッド4をチップ1の両端に集中配置して、回路領域
2の周囲の無効領域6をできるだけ少くしている。
センサにおいては回路領域2が細長く、例えば300μ
m×30,000μmの様な領域をしめているため、ボ
ンディングパッドを回路領域の周囲に作ると回路領域の
周りにかなりの無効領域ができてしまう。このため、チ
ップ内に無効領域をできるだけ作らない様にボンディン
グパッド4をチップ1の両端に集中配置して、回路領域
2の周囲の無効領域6をできるだけ少くしている。
【0004】これに対し、図3における無効領域6をさ
らに少くした他の従来例が図4に示すものである。この
例では、ボンディングパッド4を列状に配置し、パッケ
ージ上のボンディングステッチ3をチップ1の一方の側
に集中して配置している。この従来例ではたしかに無効
領域は減ってはいるがボンディングパッド4を1列に並
べたことにより、チップ長Lが長くなってしまってい
る。無効領域をなくしたことによりチップ幅Wは減少す
るが、逆にチップ長Lが長くなってしまいあまり有効性
はない。
らに少くした他の従来例が図4に示すものである。この
例では、ボンディングパッド4を列状に配置し、パッケ
ージ上のボンディングステッチ3をチップ1の一方の側
に集中して配置している。この従来例ではたしかに無効
領域は減ってはいるがボンディングパッド4を1列に並
べたことにより、チップ長Lが長くなってしまってい
る。無効領域をなくしたことによりチップ幅Wは減少す
るが、逆にチップ長Lが長くなってしまいあまり有効性
はない。
【0005】図4において、それぞれのボンディングパ
ッド4の間隔dをもっと狭めればチップ長Lの増加を押
えることができるが、現状ではボンディングステッチ3
の間隔S1,幅S2によりパッドピッチが制限をうける
ためそれはできない。具体的数値を述べればボンディン
グパッド幅d2 は通常10μm程度であり、かつまたボ
ンディングパッド間隔d1 は25μm程度まで狭めるこ
とが可能であるため、ボンディングパッドは125μm
ピッチで配置することが可能である。これに対し、ボン
ディングステッチ幅S2 は160μm程度、ボンディン
グステッチ間隔S1 は90μm程度必要であるため、ボ
ンディングステッチ3のピッチは250μm必要とな
る。
ッド4の間隔dをもっと狭めればチップ長Lの増加を押
えることができるが、現状ではボンディングステッチ3
の間隔S1,幅S2によりパッドピッチが制限をうける
ためそれはできない。具体的数値を述べればボンディン
グパッド幅d2 は通常10μm程度であり、かつまたボ
ンディングパッド間隔d1 は25μm程度まで狭めるこ
とが可能であるため、ボンディングパッドは125μm
ピッチで配置することが可能である。これに対し、ボン
ディングステッチ幅S2 は160μm程度、ボンディン
グステッチ間隔S1 は90μm程度必要であるため、ボ
ンディングステッチ3のピッチは250μm必要とな
る。
【0006】このため、図4に示す様に、ボンディング
ステッチ3とボンディングパッド4とのピッチに差が存
在するため、その間を接続するボンディングワイヤー5
のワイヤー長が長くなりすぎ、接続できない場合が発生
する。これを防止するために、現状ではボンディングス
テッチ3のピッチに対応して、ボンディングパッド4の
間隔を広げている。このため、チップの長さLを十分短
かくできないのが現状である。
ステッチ3とボンディングパッド4とのピッチに差が存
在するため、その間を接続するボンディングワイヤー5
のワイヤー長が長くなりすぎ、接続できない場合が発生
する。これを防止するために、現状ではボンディングス
テッチ3のピッチに対応して、ボンディングパッド4の
間隔を広げている。このため、チップの長さLを十分短
かくできないのが現状である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上述べて来た様に、
従来の一次元イメージセンサのボンディングパッド配置
及び、ボンディングステッチ配置ではチップ内の無効領
域を十分に減らすことができず、チップ内無効領域を完
全に無くすことは不可能であった。
従来の一次元イメージセンサのボンディングパッド配置
及び、ボンディングステッチ配置ではチップ内の無効領
域を十分に減らすことができず、チップ内無効領域を完
全に無くすことは不可能であった。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、長手方
向の中央部に感光素子を含む回路領域を有し、その両端
に複数のボンディングパッドを有するボンディングパッ
ド領域を備えた半導体基板と、この半導体基板を載置
し、複数のボンディングステッチを有するパッケージと
を備え、このパッケージ側のボンディングステッチは半
導体基板の両側にほぼ均等になる様に配置されている一
次元イメージセンサを得る。
向の中央部に感光素子を含む回路領域を有し、その両端
に複数のボンディングパッドを有するボンディングパッ
ド領域を備えた半導体基板と、この半導体基板を載置
し、複数のボンディングステッチを有するパッケージと
を備え、このパッケージ側のボンディングステッチは半
導体基板の両側にほぼ均等になる様に配置されている一
次元イメージセンサを得る。
【0009】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0010】図1は本発明による一次元イメージセンサ
の一実施例を示す部分平面図である。半導体基板(チッ
プ)1の中央には一列に配置された多数の光電変換素子
を含む回路領域2を有し、その両端には一列に配置され
たボンディングパッド4を有している。チップ1の端部
両側にはボンディングステッチ3−1〜3−16を有し
ている。ボンディングパッド4はaj (j=1,〜1
2)からなるパッドの奇数番目のものa1 ,a3 ,a5
は図1における左下側に配置されるボンディングステッ
チ3−11,3−12,3−13の列にそれぞれワイヤ
ー5を用いて接続されている。一方偶数番目のボンディ
ングパッドa2 ,a4 ,a6 は図1における左上に配置
されるボンディングステッチ3−1,3−2,3−3の
列にそれぞれワイヤー5を用いて接続されている。
の一実施例を示す部分平面図である。半導体基板(チッ
プ)1の中央には一列に配置された多数の光電変換素子
を含む回路領域2を有し、その両端には一列に配置され
たボンディングパッド4を有している。チップ1の端部
両側にはボンディングステッチ3−1〜3−16を有し
ている。ボンディングパッド4はaj (j=1,〜1
2)からなるパッドの奇数番目のものa1 ,a3 ,a5
は図1における左下側に配置されるボンディングステッ
チ3−11,3−12,3−13の列にそれぞれワイヤ
ー5を用いて接続されている。一方偶数番目のボンディ
ングパッドa2 ,a4 ,a6 は図1における左上に配置
されるボンディングステッチ3−1,3−2,3−3の
列にそれぞれワイヤー5を用いて接続されている。
【0011】チップ1の右側端部のボンディングパッド
a7 〜a12も同様に奇数番目のものは上側のボンディン
グステッチ3−4,3−5,3−6の列に、偶数番目の
ものは下側のそれにそれぞれ接続されている。
a7 〜a12も同様に奇数番目のものは上側のボンディン
グステッチ3−4,3−5,3−6の列に、偶数番目の
ものは下側のそれにそれぞれ接続されている。
【0012】この様に偶数番目のボンディングパッドと
奇数番目のボンディングパッドとそれぞれ接続されるボ
ンディングステッチの存在する領域をチップ1の上下に
分けることにより、ボンディングパッド4の列にピッチ
P1 に対し、ボンディングステッチP2 を2倍にして
も、十分問題なくワイヤー5での接続が可能となる。す
なわち、ボンディングステッチのピッチP2 を250μ
mにしたままでボンディングパッドのピッチP1 を12
5μmまで狭めることが可能となる。
奇数番目のボンディングパッドとそれぞれ接続されるボ
ンディングステッチの存在する領域をチップ1の上下に
分けることにより、ボンディングパッド4の列にピッチ
P1 に対し、ボンディングステッチP2 を2倍にして
も、十分問題なくワイヤー5での接続が可能となる。す
なわち、ボンディングステッチのピッチP2 を250μ
mにしたままでボンディングパッドのピッチP1 を12
5μmまで狭めることが可能となる。
【0013】このことは従来例である図4で説明した様
に、ボンディングステッチのピッチP2 に対応してボン
ディングパッドのピッチP1 を広げる必要がなくなるこ
とを意味し、チップサイズ縮小に効果が大である。
に、ボンディングステッチのピッチP2 に対応してボン
ディングパッドのピッチP1 を広げる必要がなくなるこ
とを意味し、チップサイズ縮小に効果が大である。
【0014】次に図2に本発明の他の実施例を示す。こ
の実施例ではボンディングパッド4を一列に配置するの
ではなく、ジグザグ状に配置することにより、図1の一
実施例に比べ、さらに、ボンディングパッド4の近辺の
チップ1の無効領域を減らしている。
の実施例ではボンディングパッド4を一列に配置するの
ではなく、ジグザグ状に配置することにより、図1の一
実施例に比べ、さらに、ボンディングパッド4の近辺の
チップ1の無効領域を減らしている。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、一次
元イメージセンサのボンディングパッドをチップの周辺
に集中配置しても、そのボンディングパッドと接続され
るボンディングステッチ列をボンディングパッド列の両
側に設けることにより、ボンディングステッチピッチP
2 の1/2までボンディングパッドピッチP1 を狭める
ことができ、チップサイズの増大を防止する効果を有す
る。
元イメージセンサのボンディングパッドをチップの周辺
に集中配置しても、そのボンディングパッドと接続され
るボンディングステッチ列をボンディングパッド列の両
側に設けることにより、ボンディングステッチピッチP
2 の1/2までボンディングパッドピッチP1 を狭める
ことができ、チップサイズの増大を防止する効果を有す
る。
【図1】本発明の一実施例を示す部分平面図
【図2】本発明の他の実施例を示す部分平面図
【図3】従来例を示す部分平面図
【図4】他の従来例を示す部分平面図
1 チップ
2 回路領域
3,3−1〜3−6,3−11〜3−16 ボンディ
ングステッチ 4 ボンディングパッド 5 ボンディングワイヤー
ングステッチ 4 ボンディングパッド 5 ボンディングワイヤー
Claims (4)
- 【請求項1】 長手方向の両端にボンディングパッド領
域を有し、これらボンディングパッド領域間に感光素子
を含む素子領域を有する半導体基板と、前記半導体基板
を載置し、複数のボンディングステッチを有するパッケ
ージと、前記ボンディングパッド領域のボンディングパ
ッドと前記パッケージ上のボンディングステッチとを接
続するボンディングワイヤーとを含み、前記パッケージ
上のボンディングステッチは前記ボンディング領域の両
側にほぼ均等に有することを特徴とする一次元イメージ
センサ。 - 【請求項2】 前記ボンディングパッド領域のボンディ
ングパッドは列状をなして配置され、交互に前記半導体
基板の異なる側の前記パッケージ上のボンディングステ
ッチに前記ボンディングワイヤーを用いて接続している
ことを特徴とする請求項1記載の一次元イメージセン
サ。 - 【請求項3】 前記ボンディングパッド領域の前記一列
に配置されたボンディングパッドの列はジグザグ状にな
っていることを特徴とする請求項2記載の一次元イメー
ジセンサ。 - 【請求項4】 前記ジグザグ状に配置されたボンディン
グパッドは互いに隣接する辺が前記半導体基板の外形辺
に対して45°傾むいていることを特徴とする請求項3
記載の一次元イメージセンサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3155027A JP2710174B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 一次元イメージセンサ |
| DE69210314T DE69210314T2 (de) | 1991-06-27 | 1992-06-29 | Zeilenförmiger Bildaufnahmesensor |
| US07/905,865 US5220210A (en) | 1991-06-27 | 1992-06-29 | Linear image sensor |
| EP92111004A EP0520516B1 (en) | 1991-06-27 | 1992-06-29 | Linear image sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3155027A JP2710174B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 一次元イメージセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH056984A true JPH056984A (ja) | 1993-01-14 |
| JP2710174B2 JP2710174B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=15597071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3155027A Expired - Fee Related JP2710174B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-06-27 | 一次元イメージセンサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5220210A (ja) |
| EP (1) | EP0520516B1 (ja) |
| JP (1) | JP2710174B2 (ja) |
| DE (1) | DE69210314T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023105388A (ja) * | 2022-01-19 | 2023-07-31 | セイコーエプソン株式会社 | センサーモジュール |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0568312A3 (en) * | 1992-04-27 | 1993-12-29 | Seiko Instr Inc | Semiconductor device with driver chip and methods of manufacture |
| JP4139051B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2008-08-27 | 富士フイルム株式会社 | リニアイメージセンサチップおよびリニアイメージセンサ |
| JP2002252338A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-09-06 | Canon Inc | 撮像装置及び撮像システム |
| JP2003152014A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-05-23 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
| US6638793B1 (en) * | 2002-03-04 | 2003-10-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Methodology to pack standard staggered bond input-output buffer into linear input-output buffer |
| KR20220165536A (ko) * | 2021-06-08 | 2022-12-15 | 삼성전자주식회사 | 노이즈 방지용 기판 및 그 기판을 포함한 반도체 패키지 |
| CN115172397B (zh) * | 2022-01-19 | 2025-05-30 | 友达光电股份有限公司 | 感测装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58206280A (ja) * | 1982-05-27 | 1983-12-01 | Toshiba Corp | 固体リニアイメ−ジセンサ |
| JPS63211652A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-02 | Nec Corp | 集積回路パツケ−ジ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE68911420T2 (de) * | 1988-08-18 | 1994-05-11 | Seiko Epson Corp | Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung. |
-
1991
- 1991-06-27 JP JP3155027A patent/JP2710174B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-06-29 DE DE69210314T patent/DE69210314T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-29 EP EP92111004A patent/EP0520516B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-29 US US07/905,865 patent/US5220210A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58206280A (ja) * | 1982-05-27 | 1983-12-01 | Toshiba Corp | 固体リニアイメ−ジセンサ |
| JPS63211652A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-02 | Nec Corp | 集積回路パツケ−ジ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023105388A (ja) * | 2022-01-19 | 2023-07-31 | セイコーエプソン株式会社 | センサーモジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0520516B1 (en) | 1996-05-01 |
| DE69210314D1 (de) | 1996-06-05 |
| US5220210A (en) | 1993-06-15 |
| DE69210314T2 (de) | 1996-12-19 |
| EP0520516A1 (en) | 1992-12-30 |
| JP2710174B2 (ja) | 1998-02-10 |
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