JPH0570933A - 細棒状蒸着用素材の製造方法 - Google Patents
細棒状蒸着用素材の製造方法Info
- Publication number
- JPH0570933A JPH0570933A JP5515391A JP5515391A JPH0570933A JP H0570933 A JPH0570933 A JP H0570933A JP 5515391 A JP5515391 A JP 5515391A JP 5515391 A JP5515391 A JP 5515391A JP H0570933 A JPH0570933 A JP H0570933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- shaped
- vapor deposition
- vacuum
- shaped intermediate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 塑性加工工程数を低減して、材料歩留りを大
幅に向上すると共に、低コスト及び高品質の細棒状蒸着
用素材を製造する。 【構成】 真空中に立設された筒状の鋳型内にその上方
から高純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固
化し、棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間
圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造す
る。
幅に向上すると共に、低コスト及び高品質の細棒状蒸着
用素材を製造する。 【構成】 真空中に立設された筒状の鋳型内にその上方
から高純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固
化し、棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間
圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、フィルム表面
に、電子ビームによる蒸着法によって薄膜を形成する際
に用いられる細棒状蒸着用素材を製造する製造方法に関
する。
に、電子ビームによる蒸着法によって薄膜を形成する際
に用いられる細棒状蒸着用素材を製造する製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、情報記録体としてのＶＴＲ，Ｄ
ＡＴ用磁気テープ，あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
等のプラスチックフィルム上に、Ｎｉ基合金やＣｏ基合
金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により薄膜
として付着している。この場合、Ｎｉ基合金やＣｏ基合
金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、ある
いはペレットの形態で素材として用いられている。そし
て、細棒状素材の製造方法としては、従来、不純物の混
入を防止するために、真空中で溶解・精錬を行い、耐火
物を表面にライニングしたインゴットケースによってイ
ンゴットとして鋳造した後に、分塊鍛造などの一次加工
（粗加工）及び仕上鍛造，圧延などの二次加工（仕上加
工）を施して、所定の最終製品形状を得ているものが知
られている。
ＡＴ用磁気テープ，あるいはコンピュータ用のフロッピ
ーディスク等はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
等のプラスチックフィルム上に、Ｎｉ基合金やＣｏ基合
金等を、例えば、電子ビームによる蒸着法等により薄膜
として付着している。この場合、Ｎｉ基合金やＣｏ基合
金は、板や棒状の形態で素材として用いられるか、ある
いはペレットの形態で素材として用いられている。そし
て、細棒状素材の製造方法としては、従来、不純物の混
入を防止するために、真空中で溶解・精錬を行い、耐火
物を表面にライニングしたインゴットケースによってイ
ンゴットとして鋳造した後に、分塊鍛造などの一次加工
（粗加工）及び仕上鍛造，圧延などの二次加工（仕上加
工）を施して、所定の最終製品形状を得ているものが知
られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の素材の製造方法にあっては、以下の問題がある。す
なわち、１）一般的に、蒸着用の金属及び合金は高純度
のため加工性に難点が多く、塑性加工で製品を得ようと
する場合所望の製品が得にくい、２）純金属及び合金の
塑性加工は、一般的には熱間で行われるため、繰り返し
行われる高温加熱の際に、素材がガスを吸収したり、素
材が酸化されることにより、高価な金属の損失が多くな
る、３）塑性加工による工程数の増加、及び材料歩留り
の低下が原因でコスト高となる。
来の素材の製造方法にあっては、以下の問題がある。す
なわち、１）一般的に、蒸着用の金属及び合金は高純度
のため加工性に難点が多く、塑性加工で製品を得ようと
する場合所望の製品が得にくい、２）純金属及び合金の
塑性加工は、一般的には熱間で行われるため、繰り返し
行われる高温加熱の際に、素材がガスを吸収したり、素
材が酸化されることにより、高価な金属の損失が多くな
る、３）塑性加工による工程数の増加、及び材料歩留り
の低下が原因でコスト高となる。
【０００４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、鋳造により直接棒状の中
間材を形成することによって、塑性加工工程数を低減す
ることができて、材料歩留りを大幅に向上させることが
できる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ確
実に得ることができる細棒状蒸着用素材の製造方法を提
供することにある。
で、その目的とするところは、鋳造により直接棒状の中
間材を形成することによって、塑性加工工程数を低減す
ることができて、材料歩留りを大幅に向上させることが
できる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ確
実に得ることができる細棒状蒸着用素材の製造方法を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の細棒状蒸着用素材の製造方法は、真空中で
溶解・精錬した高純度の金属あるいは合金を、真空中で
立設された筒状の鋳型内に該鋳型の上方から供給し、棒
状の中間材を鋳造した後、該棒状の中間材を熱間圧延に
よって所定断面形状まで加工するものである。
に、本発明の細棒状蒸着用素材の製造方法は、真空中で
溶解・精錬した高純度の金属あるいは合金を、真空中で
立設された筒状の鋳型内に該鋳型の上方から供給し、棒
状の中間材を鋳造した後、該棒状の中間材を熱間圧延に
よって所定断面形状まで加工するものである。
【０００６】
【作用】本発明の細棒状蒸着用素材の製造方法にあって
は、真空中に立設された筒状の鋳型内にその上方から高
純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固化し、
棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間圧延加
工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造する。
は、真空中に立設された筒状の鋳型内にその上方から高
純度の金属あるいは合金の溶湯を供給して冷却固化し、
棒状の中間材を得た後、この棒状の中間材に熱間圧延加
工を施して所定寸法の細棒状蒸着用素材を製造する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を説明する。
【０００８】まず、一般的な真空溶解炉によって高純度
の金属あるいは合金（例えば純Ｃｏ，Ｃｏ−２０％Ｎ
ｉ，Ｃｏ−１０％Ｃｒ，Ｃｏ−１５％Ｃｒ，Ｃｏ−２０
％Ｃｒ，Ｃｏ−３０％Ｃｒ，純Ｎｉなど）を溶解・精錬
した後、この高純度の金属あるいは合金の溶湯を、真空
中で、立設された円筒状の鋳型内にその上方から供給す
る。そして、鋳型内に供給された溶湯が冷却固化する
と、鋳型内から鋳造品を取り出す。この場合、鋳型内の
鋳造品は、冷却固化により収縮しているから、円滑に抜
き出すことができる。
の金属あるいは合金（例えば純Ｃｏ，Ｃｏ−２０％Ｎ
ｉ，Ｃｏ−１０％Ｃｒ，Ｃｏ−１５％Ｃｒ，Ｃｏ−２０
％Ｃｒ，Ｃｏ−３０％Ｃｒ，純Ｎｉなど）を溶解・精錬
した後、この高純度の金属あるいは合金の溶湯を、真空
中で、立設された円筒状の鋳型内にその上方から供給す
る。そして、鋳型内に供給された溶湯が冷却固化する
と、鋳型内から鋳造品を取り出す。この場合、鋳型内の
鋳造品は、冷却固化により収縮しているから、円滑に抜
き出すことができる。
【０００９】次いで、上述のようにして得られた鋳造品
（棒状の中間材）を熱間溝ロールによって圧延する。こ
の場合の圧延条件は、加工温度６００〜１１００℃，加
工度（断面減少率：１−ａ／Ａ，Ａは加工前の断面積，
ａは加工後の断面積）７５％以上に設定されている。そ
の理由は、まず、前提となる対象素材として純Ｃｏ，Ｃ
ｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０〜３０％Ｃｒ，純Ｎｉを想
定した場合、加工温度が１１００゜Ｃ以上では表面酸化
が著しく、酸化ロスが生じる上に、熱間加工時の酸化皮
膜の巻き込み等が発生し品質に悪影響を与える一方、６
００゜Ｃ以下ではインゴット内部に引巣が生じた場合、
この巣の圧着が不完全になり蒸着特性に悪影響を及ぼす
からであり、かつ上記加工温度６００〜１１００゜Ｃに
おいて加工した場合でも加工率が７５％未満の場合、イ
ンゴットの引巣の圧着が不充分になるため、７５％以上
の加工率が望ましい。
（棒状の中間材）を熱間溝ロールによって圧延する。こ
の場合の圧延条件は、加工温度６００〜１１００℃，加
工度（断面減少率：１−ａ／Ａ，Ａは加工前の断面積，
ａは加工後の断面積）７５％以上に設定されている。そ
の理由は、まず、前提となる対象素材として純Ｃｏ，Ｃ
ｏ−２０％Ｎｉ，Ｃｏ−１０〜３０％Ｃｒ，純Ｎｉを想
定した場合、加工温度が１１００゜Ｃ以上では表面酸化
が著しく、酸化ロスが生じる上に、熱間加工時の酸化皮
膜の巻き込み等が発生し品質に悪影響を与える一方、６
００゜Ｃ以下ではインゴット内部に引巣が生じた場合、
この巣の圧着が不完全になり蒸着特性に悪影響を及ぼす
からであり、かつ上記加工温度６００〜１１００゜Ｃに
おいて加工した場合でも加工率が７５％未満の場合、イ
ンゴットの引巣の圧着が不充分になるため、７５％以上
の加工率が望ましい。
【００１０】この結果、上記棒状の中間材の内部に残る
巣がつぶされて完全に圧着し均一な材質でかつ所定断面
形状の圧延品が得られる。続いてこの圧延品を研磨等に
より酸化皮膜を除去し蒸着用素材が得られる。また、使
用条件により、この細棒をプレス等で切断してペレット
状にして使用する。
巣がつぶされて完全に圧着し均一な材質でかつ所定断面
形状の圧延品が得られる。続いてこの圧延品を研磨等に
より酸化皮膜を除去し蒸着用素材が得られる。また、使
用条件により、この細棒をプレス等で切断してペレット
状にして使用する。
【００１１】なお、上記実施例においては、円筒状の鋳
型４を用いて説明したが、これに限らず、角筒状やその
他の断面形状の鋳型を用いてもよい。
型４を用いて説明したが、これに限らず、角筒状やその
他の断面形状の鋳型を用いてもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の細棒状蒸
着用素材の製造方法は、真空中で溶解・精錬した高純度
の金属あるいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型
内に該鋳型の上方から供給し、棒状の中間材を鋳造した
後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形状ま
で加工するものであるから、真空中に立設された筒状の
鋳型内にその上方から高純度の金属あるいは合金の溶湯
を供給して冷却固化し、棒状の中間材を得た後、この棒
状の中間材に熱間圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸
着用素材を製造することにより、塑性加工工程数を低減
することができて、材料歩留りを大幅に向上させること
ができる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ
確実に得ることができる。
着用素材の製造方法は、真空中で溶解・精錬した高純度
の金属あるいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型
内に該鋳型の上方から供給し、棒状の中間材を鋳造した
後、該棒状の中間材を熱間圧延によって所定断面形状ま
で加工するものであるから、真空中に立設された筒状の
鋳型内にその上方から高純度の金属あるいは合金の溶湯
を供給して冷却固化し、棒状の中間材を得た後、この棒
状の中間材に熱間圧延加工を施して所定寸法の細棒状蒸
着用素材を製造することにより、塑性加工工程数を低減
することができて、材料歩留りを大幅に向上させること
ができる上に、低コスト及び高品質の製品を円滑にかつ
確実に得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 昭文 埼玉県桶川市上日出谷1230番地 三菱マテ リアル株式会社桶川第一製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 真空中で溶解・精錬した高純度の金属あ
るいは合金を、真空中で立設された筒状の鋳型内に該鋳
型の上方から供給し、棒状の中間材を鋳造した後、該棒
状の中間材を熱間圧延によって所定断面形状まで加工す
ることを特徴とする細棒状蒸着用素材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055153A JP2874364B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3055153A JP2874364B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0570933A true JPH0570933A (ja) | 1993-03-23 |
| JP2874364B2 JP2874364B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=12990807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3055153A Expired - Lifetime JP2874364B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 細棒状蒸着用素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874364B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199844A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | スパツタリングのタ−ゲツト用クロム合金及びその製造方法 |
| JPS6411967A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Seiko Epson Corp | Sputtering target |
| JPH01108367A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-25 | Seiko Epson Corp | スパッタリング用ターゲットの製造法 |
| JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP3055153A patent/JP2874364B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199844A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-18 | Furukawa Electric Co Ltd:The | スパツタリングのタ−ゲツト用クロム合金及びその製造方法 |
| JPS6411967A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Seiko Epson Corp | Sputtering target |
| JPH01108367A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-25 | Seiko Epson Corp | スパッタリング用ターゲットの製造法 |
| JPH0262110A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-02 | Fujitsu Ltd | 電子回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2874364B2 (ja) | 1999-03-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07252573A (ja) | 靭性に優れたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ−Ｃｕ系合金及びその製造方法 | |
| JP2798842B2 (ja) | 高強度アルミニウム合金圧延板の製造方法 | |
| JPH07118773A (ja) | チタンまたはチタン合金圧延材の製造方法 | |
| JP3161141B2 (ja) | アルミニウム合金薄板の製造方法 | |
| JPH0570933A (ja) | 細棒状蒸着用素材の製造方法 | |
| JP2874365B2 (ja) | 細棒状蒸着用素材の製造方法 | |
| CN116037881A (zh) | 一种铜合金结晶轮近净成形的制造方法 | |
| RU2171312C1 (ru) | Способ изготовления листов и лент из алюминиевых сплавов | |
| JPS5947018B2 (ja) | 磁気録音および再生ヘツド用磁性合金ならびにその製造法 | |
| JP3145766B2 (ja) | ２相系ステンレス鋼の薄板連続鋳造法 | |
| JP2915596B2 (ja) | 極細線の製造方法 | |
| JP3343045B2 (ja) | Ｃｕ−Ｎｉ−Ｆｅ合金磁石の線材又は薄板材の製造方法 | |
| JPS634050A (ja) | 磁気デイスク用アルミニウム合金基板の製造法 | |
| JP3419437B2 (ja) | 黄銅の横型連続鋳造方法および黄銅条の製造方法 | |
| JPS62250146A (ja) | 耐熱アルミニウム粉末冶金合金及びその製造方法 | |
| JPH03294043A (ja) | ベリリウム銅合金の連続鋳造方法 | |
| JPS6233008B2 (ja) | ||
| JPH0585630B2 (ja) | ||
| JPS62107855A (ja) | 蒸着用またはスパッタリングのターゲット用素材の製造法 | |
| JPH07150283A (ja) | アルミニウム合金薄鋳片およびその製造方法 | |
| US1859067A (en) | Method of producing magnetic materials | |
| JPH1053822A (ja) | 磁気スケール用Ｃｕ−Ｎｉ−Ｆｅ合金薄板材の製造方法 | |
| JPS6040922B2 (ja) | チタンの連続鋳造圧延法 | |
| JPH04138842A (ja) | 結晶微細化用合金及びその製造方法 | |
| JPS58197240A (ja) | 溶湯急冷ロ−ル用銅合金 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981215 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 Year of fee payment: 11 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120114 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120114 Year of fee payment: 13 |