JPH0327353B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0327353B2 JPH0327353B2 JP58225915A JP22591583A JPH0327353B2 JP H0327353 B2 JPH0327353 B2 JP H0327353B2 JP 58225915 A JP58225915 A JP 58225915A JP 22591583 A JP22591583 A JP 22591583A JP H0327353 B2 JPH0327353 B2 JP H0327353B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- chip
- electronic component
- degree
- type electronic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はチツプ型電子部品を吸着し移載、実装
する場合に正常な姿勢で吸着しているか否かを検
出する装置に関するものである。
する場合に正常な姿勢で吸着しているか否かを検
出する装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来のチツプ型電子部品をノズルにて真空吸着
した場合の検出方法は、第1図にその具体構成を
示すように、真空発生器につながる管1を2つに
分岐し、管2、及び3にて空気式ブリツジ回路を
構成し、一方をノズル4、一方を絞り弁5を通じ
て大気に開放する。ノズル4にチツプ型電子部品
6が吸着されると、管2側の真空度が高くなり、
管2と3の間に設けられているマグネツトのフロ
ート7が管2の方に吸上げられる。このとき、こ
のフロートの近傍に設けられているリードスイツ
チ8と9のON、OFFの状態が入れ替り、チツプ
型電子部品6が正常に吸着されているという出力
を発生する。10,11は、管路の空気流量を調
整するオリフイスである。
した場合の検出方法は、第1図にその具体構成を
示すように、真空発生器につながる管1を2つに
分岐し、管2、及び3にて空気式ブリツジ回路を
構成し、一方をノズル4、一方を絞り弁5を通じ
て大気に開放する。ノズル4にチツプ型電子部品
6が吸着されると、管2側の真空度が高くなり、
管2と3の間に設けられているマグネツトのフロ
ート7が管2の方に吸上げられる。このとき、こ
のフロートの近傍に設けられているリードスイツ
チ8と9のON、OFFの状態が入れ替り、チツプ
型電子部品6が正常に吸着されているという出力
を発生する。10,11は、管路の空気流量を調
整するオリフイスである。
しかしながら上記のような構成では、第2図〜
第3図に示すように、チツプ型電子部品により検
出が不可能な場合が発生する。第2図は角型のチ
ツプ型電子部品6′を吸着した例であり、aは正
常な姿勢でノズル4に吸着されている。bはチツ
プ型電子部品6′が横向きに吸着された状態で、
ノズル4と、チツプ型電子部品6′の間にはすき
ま12ができる。第2図c,d,eは円筒型のチ
ツプ型電子部品6″をノズル4に吸着した例であ
り、cは正常吸着の状態で、ノズル4とチツプ型
電子部品6″との間にすきま12′ができる。dは
チツプ型電子部品6″が立てに吸着された状態で
すきまは発生しない。eは斜めに吸着された状態
ですきま12″ができる。第3図に第2図のa,
b,c,d,eの各々の状態での真空度を示す。
縦軸が真空度を示す。真空度13の部分が第2図
のa、真空度14が第2図のb、真空度15が第
2図のd、真空度16が同c、真空度17が同e
の状態である。
第3図に示すように、チツプ型電子部品により検
出が不可能な場合が発生する。第2図は角型のチ
ツプ型電子部品6′を吸着した例であり、aは正
常な姿勢でノズル4に吸着されている。bはチツ
プ型電子部品6′が横向きに吸着された状態で、
ノズル4と、チツプ型電子部品6′の間にはすき
ま12ができる。第2図c,d,eは円筒型のチ
ツプ型電子部品6″をノズル4に吸着した例であ
り、cは正常吸着の状態で、ノズル4とチツプ型
電子部品6″との間にすきま12′ができる。dは
チツプ型電子部品6″が立てに吸着された状態で
すきまは発生しない。eは斜めに吸着された状態
ですきま12″ができる。第3図に第2図のa,
b,c,d,eの各々の状態での真空度を示す。
縦軸が真空度を示す。真空度13の部分が第2図
のa、真空度14が第2図のb、真空度15が第
2図のd、真空度16が同c、真空度17が同e
の状態である。
前記、従来例においては、真空度が一定のレベ
ルに達したか否のみを判断しているので、このよ
うな様々の状態を判断できないという欠点を有し
ていた。
ルに達したか否のみを判断しているので、このよ
うな様々の状態を判断できないという欠点を有し
ていた。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、ノズルとチツプ型電
子部品の形状と、また吸着された姿勢により発生
するすきまと真空度の関係を求め、正常、異常の
吸着状態を判定する検出方法を提供するものであ
る。
子部品の形状と、また吸着された姿勢により発生
するすきまと真空度の関係を求め、正常、異常の
吸着状態を判定する検出方法を提供するものであ
る。
発明の構成
本発明は真空度に比例した出力電圧を発生する
圧力センサーと、所定の真空度に対応する電圧と
前記圧力センサにより発生した出力電圧の電圧値
を比較する複数のコンパレータとを備え、これら
各コンパレータの所定の真空度に対応する電圧
を、電子部品の吸着状態に対応した値に設定し、
かつ真空発生器とこの真空発生器に接続されたノ
ズルとの間に前記圧力センサーを設けたものであ
り様々な形状のチツプ型電子部品の吸着の有無や
姿勢の状態を判断することができるという特有の
効果を有する。
圧力センサーと、所定の真空度に対応する電圧と
前記圧力センサにより発生した出力電圧の電圧値
を比較する複数のコンパレータとを備え、これら
各コンパレータの所定の真空度に対応する電圧
を、電子部品の吸着状態に対応した値に設定し、
かつ真空発生器とこの真空発生器に接続されたノ
ズルとの間に前記圧力センサーを設けたものであ
り様々な形状のチツプ型電子部品の吸着の有無や
姿勢の状態を判断することができるという特有の
効果を有する。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について説明する。第5
図は本発明の実施例における構成図であり、管1
8は真空発生器(図示せず)とノズル4につなが
つている。圧力センサー19は、絶対真空を封入
したチエンバ20が設けられたピエゾ抵抗形圧力
センサーで真空度に正比例したリニア出力電圧が
得られる。21はアンプで出力電圧を増幅する。
22,23,24は各々コンパレータで、アンプ
21よりの電圧と、あらかじめ第4図に示した各
状態での真空度に対応した電圧、例えば、真空度
13と14のしきい値に対応する電圧E1、真空
度15と16のしきい値に対応する電圧E2、真
空度17と18のしきい値に対応する電圧E3と
の比較を行うものであり、どのコンパレータの出
力がONになつているかにより、チツプ型電子部
品6の吸着状態の判断が可能となる。25は空気
流量調整用オリフイス、26,27,28はコン
パレータの設定電圧値調整用のボリユウムであ
る。
図は本発明の実施例における構成図であり、管1
8は真空発生器(図示せず)とノズル4につなが
つている。圧力センサー19は、絶対真空を封入
したチエンバ20が設けられたピエゾ抵抗形圧力
センサーで真空度に正比例したリニア出力電圧が
得られる。21はアンプで出力電圧を増幅する。
22,23,24は各々コンパレータで、アンプ
21よりの電圧と、あらかじめ第4図に示した各
状態での真空度に対応した電圧、例えば、真空度
13と14のしきい値に対応する電圧E1、真空
度15と16のしきい値に対応する電圧E2、真
空度17と18のしきい値に対応する電圧E3と
の比較を行うものであり、どのコンパレータの出
力がONになつているかにより、チツプ型電子部
品6の吸着状態の判断が可能となる。25は空気
流量調整用オリフイス、26,27,28はコン
パレータの設定電圧値調整用のボリユウムであ
る。
第6図は本実施例の概略図であり、ブロツク2
9にノズル4、圧力センサー19、及び管18さ
らにノズル4から流入するゴミを除去するフイル
タ30を組み込んでいる。第5図のアンプ21と
コンパレータ22,23,24及びボリユーム2
6,27,28が第6図基板31に組み込まれて
いる。
9にノズル4、圧力センサー19、及び管18さ
らにノズル4から流入するゴミを除去するフイル
タ30を組み込んでいる。第5図のアンプ21と
コンパレータ22,23,24及びボリユーム2
6,27,28が第6図基板31に組み込まれて
いる。
発明の効果
以上のように本発明は、真空度に比例した出力
電圧を発生する圧力センサーと、真空度に対応し
て設定された電圧と、圧力センサーの出力電圧を
比較するコンパレータを複数個設けることによ
り、種々の形状のチツプ型電子部品の吸着の有
無、姿勢の状態を判断することができ、チツプ型
電子部品の移載装置や実装機に適用することによ
りその実用的効果は大なるものがある。
電圧を発生する圧力センサーと、真空度に対応し
て設定された電圧と、圧力センサーの出力電圧を
比較するコンパレータを複数個設けることによ
り、種々の形状のチツプ型電子部品の吸着の有
無、姿勢の状態を判断することができ、チツプ型
電子部品の移載装置や実装機に適用することによ
りその実用的効果は大なるものがある。
第1図は従来の検出装置の構成図、第2図a,
bは角型のチツプ型電子部品の吸着状態を示す
図、第2図c,d,eは円筒型のチツプ型電子部
品の吸着状態を示す図、第3図は各チツプ型電子
部品の吸着状態と真空度との関係図、第4図は本
発明の一実施例の構成図、第5図は同実施例の概
略見取図である。 4……ノズル、6′……角型のチツプ型電子部
品、6″……円筒型のチツプ型電子部品、13,
14,15,16,17……真空度、19……圧
力センサー、22,23,24……コンパレー
タ。
bは角型のチツプ型電子部品の吸着状態を示す
図、第2図c,d,eは円筒型のチツプ型電子部
品の吸着状態を示す図、第3図は各チツプ型電子
部品の吸着状態と真空度との関係図、第4図は本
発明の一実施例の構成図、第5図は同実施例の概
略見取図である。 4……ノズル、6′……角型のチツプ型電子部
品、6″……円筒型のチツプ型電子部品、13,
14,15,16,17……真空度、19……圧
力センサー、22,23,24……コンパレー
タ。
Claims (1)
- 1 電子部品をノズルの先端にて真空吸着し、こ
の電子部品の吸着状態を検出する装置であつて、
真空度に比例した出力電圧を発生する圧力センサ
ーと、所定の真空度に対応する電圧と前記圧力セ
ンサーにより発生した出力電圧の電圧値を比較す
る複数のコンパレータとを備え、これらの各コン
パレータの所定の真空度に対応する電圧を、電子
部品の吸着状態に対応した値に設定し、かつ真空
発生器とこの真空発生器に接続されたノズルとの
間に前記圧力センサーを設けた吸着検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58225915A JPS60118481A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 吸着検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58225915A JPS60118481A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 吸着検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60118481A JPS60118481A (ja) | 1985-06-25 |
| JPH0327353B2 true JPH0327353B2 (ja) | 1991-04-15 |
Family
ID=16836875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58225915A Granted JPS60118481A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 吸着検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60118481A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2629738B2 (ja) * | 1987-09-29 | 1997-07-16 | 松下電器産業株式会社 | 部品吸着検出装置 |
| JPH0727119Y2 (ja) * | 1987-10-23 | 1995-06-21 | 豊田合成株式会社 | 残材吸着装置 |
| DE69225486T2 (de) * | 1991-09-09 | 1999-01-07 | Smc K.K., Tokio/Tokyo | Gerät zur funktionsüberwachung eines sauggreifers und verfahren zur einstellung des druckniveaus für die funktionsüberwachung eines saugreifers |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134056A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP58225915A patent/JPS60118481A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60118481A (ja) | 1985-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100599373B1 (ko) | 진공흡착장치 및 흡착확인센서 | |
| CN209068682U (zh) | 一种三恒系统新风机的滤网更换报警装置 | |
| CN207096098U (zh) | 一种高精度红外检漏仪 | |
| JPH0327353B2 (ja) | ||
| CN201259887Y (zh) | 丢失芯片的检测装置 | |
| US20040251344A1 (en) | Pressure sensing system | |
| CN205941108U (zh) | 气体采样预处理装置 | |
| JP2695754B2 (ja) | エアーフィルタのリーク検査方法 | |
| CN210003576U (zh) | 一种滤网检测设备和风机系统 | |
| JPH0572067A (ja) | 圧力値設定方法 | |
| JPS58216A (ja) | 空気清浄機の風速制御方式 | |
| CN105466714A (zh) | 空气滤清器的试验装置 | |
| JPH0526704A (ja) | 差圧測定装置および差圧測定方法 | |
| JP3075878B2 (ja) | 空気調和機 | |
| JPH03232513A (ja) | エアーフィルタの寿命検知装置 | |
| CN110681268A (zh) | 一种气体净化膜接触角动态检测系统及方法 | |
| JPH0278926A (ja) | 圧力検出装置 | |
| JPH10213533A (ja) | 粒子濃度計測装置 | |
| JP2546958Y2 (ja) | 吸引式煙検出装置 | |
| JPS6314612B2 (ja) | ||
| JPH05307690A (ja) | サンプリング管式煙感知装置 | |
| JPS63127146A (ja) | ノイズ防止装置を備えた接触帯電式粉塵計 | |
| JPS6238215A (ja) | フイルタの目詰り検知装置 | |
| JP2824857B2 (ja) | 微粒子計測システムの誤差補正方式 | |
| KR200327413Y1 (ko) | 진공도 측정장치의 보호 구조 |