JPH0626263U - 薄板用支持容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを水平に支持し、ウエハ導入又は導出
の際の発塵を抑える。 【構成】 ウエハを多段に支持すべく多数のリブ片１５
Ａを配設した支持用リブ１５を並列に相対向して備えた
半導体ウエハ用キャリアボックス１０である。支持用リ
ブ１５を、導入出口１２Ａ側に位置する導入部２０と、
奥側に位置する整合部２１とを有し、導入部２０のリブ
片１５Ａを、ウエハ１１の導入又は導出が容易なよう
に、肉薄に成形してリブ片間隔を広くし、整合部２２の
リブ片を、ウエハ１１が挿入された状態で水平に精度よ
く支持し得るように、肉厚に成形してリブ片間隔を狭く
した。整合部２１は、少なくともウエハ１１の重心位置
よりも導入出口１２Ａ側まで設けた方がよい。リブ片１
５Ａに支持用ベッド部３４を設けてもよい。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウエハ等の薄板を複数枚等間隔をおいて多段に収納支持し、 保管、運搬、洗浄、エッチング及び乾燥等の処理を複数枚まとめて行う薄板用支 持容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

薄板を複数枚同時に収納支持して保管、洗浄、エッチング等の処理を行う薄板 用支持容器としては、例えば薄板として半導体ウエハを用いた半導体ウエハ用キ ャリアボックス１が知られている。この半導体ウエハ用キャリアボックス１を図 ２に基づいて説明する。図２は半導体ウエハ用キャリアボックス１の対向する一 対の側板の一方のみを内側から示す一部破断斜視図である。

【０００３】 半導体ウエハ用キャリアボックス１は、一方を開口して構成され、ウエハ７（ 図４参照）を導入及び導出するウエハ導入出口２Ａを有する筐体２と、この筐体 ２の互いに対向した２枚の側板３の内側面にそれぞれ多段に設けられ、複数枚の ウエハ７を並列にかつ多段に収納支持する支持用リブ５とから概略構成されてい る。

【０００４】 各支持用リブ５は、側板３に一定間隔をおいて並列に設けられた多数のリブ片 ５Ａから構成されている。このリブ片５Ａは断面形状を肉薄に成形され、隣り合 うリブ片５Ａの間隔を大きく取ってある。

【０００５】 各支持用リブ５の最奥部には互いに内側へ向け湾曲させて成形された最奥支持 部５Ｂが設けられ、挿入されたウエハ７の挿入限度を規制し位置決めをするよう になっている。

【０００６】 筐体２の一側面（図２中の左側面）には、この筐体２を縦（内部に挿入された ウエハ７を水平に支持する状態）に置いたときに、内部に挿入されたウエハ７が 水平になるように筐体２を支持する水平支持板部６が設けられている。

【０００７】 以上の構成の従来の半導体ウエハ用キャリアボックス１にあっては、複数のウ エハ７を並列にかつ多段に支持して、これら複数のウエハ７をボックス１ごと洗 浄液に浸ける洗浄処理等を行う。

【０００８】 そして、この半導体ウエハ用キャリアボックス１へのウエハ７の導入及び導出 に際しては、自動ウエハ移載機（図示せず）が使用される。この自動ウエハ移載 機としては、半導体ウエハ用キャリアボックス１内へウエハ７を挿入するローダ （図示せず）及びキャリアボックス１内からウエハ７を挿出するアンローダ（図 示せず）が用いられる。

【０００９】 一方、近年の半導体産業の著しい技術革新により、ＩＣの微細加工が可能とな り、ますます集積度が高まった。それに伴い、塵埃の発生が問題になってきた。 このため、発塵の原因となるものが制限されるようになり、自動ウエハ移載機に おいても、従来の移載方式から、ウエハ７を半導体ウエハ用キャリアボックス１ から一枚ずつロボットで出し入れする方式に変ってきた。

【００１０】 このロボットは、図３に示すフォーク８を有し、このフォーク８を半導体ウエ ハ用キャリアボックス１に収納された隣り合う２つのウエハ７の間に挿入して上 側に位置するウエハ７を僅かに持上げ、外部に導出する。また、フォーク８を多 段に配設して複数枚のウエハ７を同時に導入、導出するものもある。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、前述のような半導体ウエハ用キャリアボックス１では、成形時の収 縮、離型等を考慮して余裕を持たせた寸法に設定されているため、各リブ片５Ａ の間隔、対向する各支持用リブ５の間隔はウエハ７の寸法に比べて大きく設定さ れている。さらに、各支持用リブ５の間隔は、ウエハ導入出口２Ａに向けて徐々 に広がったテーパ状に成形されている。このため、ウエハ７は半導体ウエハ用キ ャリアボックス１に挿入支持された状態で前後左右に移動できるようになってお り、仮に前後、左右に移動すると、図４に示すように、移動方向に傾いて水平度 が悪くなる。そして、ウエハ７が傾いて水平度が悪くなると、隣り合うウエハ７ 間の隙間寸法が不均一になり、フォーク８をウエハ７の間に挿入する際に、フォ ーク８がウエハ７に接触して発塵したり、ウエハ７を支持して導出する際にウエ ハ７とリブ片５Ａとが互いに接触し擦りながら移動して発塵したりすることがあ る。そして、この発塵がウエハ７の歩留り率の低下の原因になるという問題点が ある。

【００１２】 本考案は以上の問題点に鑑みなされたもので、ウエハを水平に正確に支持して 導入又は導出の際の発塵を抑えることができる薄板用支持容器を提供することを 目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

本考案は前記課題を解決するために、薄板を多段にかつ等間隔に支持すべく多 数のリブ片を多段に配設した支持用リブを並列に相対向して備え、一方の開口部 が前記薄板を導入又は導出させる導入出口となる薄板用支持容器において、 前記支持用リブを、前記導入出口側に位置する導入部と、奥側に位置する整合 部とから構成し、前記導入部のリブ片を、前記薄板の導入又は導出が容易なよう に、肉薄に成形してリブ片間隔を広くし、前記整合部のリブ片を、前記薄板が挿 入された状態で水平に精度よく支持し得るように、肉厚に成形してリブ片間隔を 狭くしたことを特徴とする。

【００１４】 前記整合部を、前記薄板を安定して支持し得るように、少なくとも薄板の重心位 置よりも導入出口側まで設けることが望ましい。

【００１５】 また、前記リブ片を、前記薄板の導入又は導出が容易なように、その全長に亘 って肉薄に成形してリブ片間隔を広くすると共に、当該リブ片に、挿入された薄 板を水平に支持する支持用ベッド部を設けてもよい。

【００１６】

【作用】

前記構成により、導入部のリブ片を肉薄に成形してリブ片間隔を広くすること で、薄板の導入又は導出が容易になり、薄板と支持容器とが摩擦することがなく なる。また、整合部のリブ片を肉厚に成形してリブ片間隔を狭くすることで薄板 のずれる範囲が制限され、薄板を最奥まで挿入した状態で薄板の収納時の水平精 度が向上する。この水平精度の向上で、薄板を導出すべくフォークを薄板間に挿 入するときにこのフォークが薄板に接触することがなくなる。この結果、発塵に よる問題を解消することができる。

【００１７】 整合部を、支持容器内に挿入した薄板の重心位置よりも導入出口側まで設ける ことで、薄板を水平に安定して支持することができ、フォークを薄板間に接触す ることなく確実に挿入することができる。

【００１８】 また、リブ片全体を肉薄に成形してリブ片間隔を広くすると共に、このリブ片 に支持用ベッド部を設けることで、薄板の導入又は導出が容易になると共に、支 持用ベッド部によって薄板を水平に安定して支持することができる。

【００１９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。本考案の薄板用支持容 器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶板等の薄板を複数枚並列に支持する容 器である。以下、薄板として半導体ウエハを、薄板用支持容器として半導体ウエ ハ用キャリアボックスを用いた場合を例に説明する。

【００２０】第１実施例 本実施例の半導体ウエハ用キャリアボックス１０の全体構成は前述した従来の 半導体ウエハ用キャリアボックス１とほぼ同様である。具体的には、図１及び図 ５に示すように、一方を開口して構成し半導体ウエハ１１を導入及び導出するウ エハ導入出口１２Ａを有する筐体１２と、この筐体１２の互いに対向した２枚の 側板１３，１４の内側面にそれぞれ多段に設けられ、複数枚のウエハ１１を並列 にかつ多段に収納支持する支持用リブ１５とから構成されている。

【００２１】 筐体１２は、対向する２つの側板１３，１４を上側連接板１６と下側連接板１ ７とで互いに接続支持して構成されている。この筐体１２は、下側連接板１７側 を下にして縦に載置される。各側板１３，１４の下側には、筐体１２を縦に載置 したときに、内部に支持したウエハ１１が水平になるように筐体２を支持するた めの基準面１８Ａとなる水平支持板部１８が設けられている。ウエハ導入出口１ ２Ａはウエハ１１を導入及び導出する開口部で、円形のウエハの最大直径よりも 多少大きい程度の寸法に設定されている。

【００２２】 支持用リブ１５は、側板１３，１４内側に一定間隔をおいて並列に設けられた 多数のリブ片１５Ａから構成されている。この支持用リブ１５は、ウエハ導入出 口１２Ａ側に位置する導入部２０と、この導入部２０の奥側に位置する整合部２ １と、最奥側に位置しウエハ１１の挿入限度を規制すると共にウエハ１１を奥側 から支持する奥側支持部２２とから構成されている。導入部２０では、ウエハ１ １をボックス内に導入するとき又は導出するときに、その導入又は導出が容易な ように、リブ片１５Ａを従来技術と同じように、肉薄に成形してテーパの角度を 鋭角にしリブ間隔を広くしている（図４参照）。

【００２３】 整合部２１では、図６に示すように、リブ片１５Ａを肉厚に成形してテーパの 角度を鈍角にし、リブ間隔を狭くしている。このリブ片１５Ａの厚さ（テーパ角 ）は、最奥まで挿入されたウエハ１１が基準面１８Ａと平行になるように、設定 されている。即ち、ウエハ１１がボックス内に最奥まで挿入されると、このウエ ハ１１は最大外径点２５，２５（図５参照）と奥側支持部２２，２２の４点で支 持されるが、この４点で支持されたときにウエハ１１が基準面１８Ａと平行にな るように、リブ片１５Ａの上側面の成形位置が設定されている。なお、ウエハ１ １は円形であるので、ウエハ１１の重心に対応する位置は最大外径点２５，２５ になる。

【００２４】 さらに、リブ片１５Ａの下側面は、隣り合う２つのリブ片１５Ａの間隔を狭め てウエハ１１の最大外径部分でこのウエハ１１の左右への移動が規制される程度 に設定されている。さらに、整合部２１は前記最大外径点２５，２５より僅かに ウエハ導入出口１２Ａ側まで設ける。

【００２５】 以上のように構成された半導体ウエハ用キャリアボックス１０にウエハ１１を 挿入するときは、このウエハ１１がフォーク８（図３参照）で水平に支持され、 挿入位置まで移動されてボックス１０内へ挿入される。このときの位置は、整合 部２１のリブ片１５Ａの部分でウエハ１１の最大外径分が接触しない高さに調整 され、ウエハ１１の挿入時にリブ片１５Ａに接触しないようになっている。

【００２６】 この位置を保った状態でウエハ１１がボックス１０内に奥側支持部２２に当接 するまで挿入される。挿入の際には、導入部２０でのリブ片１５Ａの間隔が大き いので、容易に挿入される。ウエハ１１が奥側支持部２２に当接するまで挿入さ れると、フォーク８が僅かに下方へ移動してウエハ１１は整合部２１のリブ片１ ５Ａに載置される。この状態で、ウエハ１１は奥側支持部２２と整合部２１とで 支持され、このウエハ１１の左右方向への移動がリブ片１５Ａの上下側面で、前 後方向への移動が奥側支持部２２でそれぞれ規制され、ウエハ１１は水平度を保 って載置され、各ウエハ１１間の隙間寸法が均一になる。

【００２７】 ボックス１０内に多段に収納されたウエハ１１を取り出すときは、前記フォー ク８を各ウエハ１１の間に挿入する。このとき、各ウエハ１１は正確に水平支持 されているので、各ウエハ１１間の寸法も均一になっており、フォーク８がウエ ハ１１に接触することがなくなる。フォーク８が奥まで挿入すると、このフォー ク８が僅かに上方へ移動されてウエハ１１を持上げる。そして、フォーク８が外 部へ引出されてウエハ１１が導出される。このとき、フォーク８によるウエハ１ １の上方への移動量は、このウエハ１１の最大外径部分が整合部２１のリブ片１ ５Ａの下側面に接触しない程度に設定される。なお、ウエハ１１の載置位置が多 少ずれて接触したとしても整合部２１は最大外径点２５，２５付近までしか成形 されていないため、整合部２１とウエハ１１とが摩擦する部分は僅かな距離に過 ぎない。

【００２８】 以上のように、本実施例の半導体ウエハ用キャリアボックス１０では、ウエハ １１を正確に水平支持することができるので、ウエハ１１の導入、導出の際に、 各部の接触による発塵を防止することができる。

【００２９】 また、フォーク８を挿入するときにもウエハ１１とフォーク８とが接触するこ とがなくなり、ウエハ１１の破損、作業ラインの停止等の発生を確実に防止する ことができる。

【００３０】第２実施例 本実施例の半導体ウエハ用キャリアボックス３１の全体構成は、前記第１実施 例と同様である。本実施例においては、図７に示すように、支持用リブ３２の構 成を異ならせている。即ち、支持用リブ３２を構成するリブ片３３は全体を肉薄 に成形され、リブ片３３の間隔はその全長に亘って広くしている。そして、図７ に示すように、リブ片３３に、ウエハ１１を水平に支持する支持用ベッド部３４ が設けられている。この支持用ベッド部３４は最大外径点２５，２５の近傍（多 少ウエハ導入出口１２Ａ側）に設けられ、この２つの支持用ベッド部３４と奥側 支持部２２とでウエハ１１が４点支持される。支持用ベッド部３４の大きさは、 最大外径点２５，２５近傍でウエハ１１を支持できればよいため、僅かな幅（リ ブ片１５Ａの長手方向へ幅）に設けても、ある程度大きな幅に設けてもよい。

【００３１】 この支持用ベッド部３４はくさび状に成形され、その上側面が水平になるよう に、かつ対向する２つの支持用ベッド部３４の高さが同一になるようになってい る。さらに、この支持用ベッド部３４の高さは奥側支持部２２の高さと同一にな っている。これにより、ウエハ１１は奥側支持部２２と支持用ベッド部３４とで ４点支持された状態で、多少左右にずれても、水平状態が維持される。

【００３２】 以上の構成により、前記第１実施例と同様の作用、効果を奏することができる 。

【００３３】 なお、前記各実施例では、薄板として半導体ウエハ１１を用いた場合を例に説 明したが、これに限らず、アルミニウム製の記憶ディスクやガラス製の液晶板等 を収納支持する支持容器の場合にも、前記同様の作用、効果を奏することができ る。

【００３４】 また、前記各実施例では、ウエハ１１を奥側支持部２２を含む４点で支持する ように構成したが、この奥側支持部２２を設けずに、互いに平行する部分（第１ 実施例における導入部２０と整合部２１に対応する部分）だけで構成した場合に も、前記同様の作用、効果を奏することができる。この場合、第１実施例では整 合部２１でウエハ１１を４点支持することになる。第２実施例では支持用ベッド 部３４を４ヵ所に設けることになる。これは特に液晶板等の４角形のものを支持 する場合に有効である。

【００３５】 第１実施例では、整合部２１を最大外径点２５，２５より僅かにウエハ導入出 口１２Ａ側まで設けたが、ウエハ導入出口１２Ａ側へ大きく設けてもよい。

【００３６】 また、整合部２１のリブ片１５Ａを肉厚にする部分を、リブ片１５Ａの長手方 向全域に設けたが、最大外径点２５，２５の近傍にだけ設けてもよい。

【００３７】 第２実施例では、くさび状の支持用ベッド部３４を設けたが、図８に示すよう に、突起状の支持用ベッド部３５としてもよい。この場合にも第２実施例同様の 作用、効果を奏することができる。

【００３８】 また、支持用ベッド部３４は片側（リブ片１５Ａの上側面）にだけ設けたが、 両側（リブ片１５Ａの対向する上側面と下側面）に設けてもよい。この場合は、 ボックス１０を横にして（ウエハ導入出口１２Ａを上にして）奥側支持部２２側 から各ウエハ１１を押し上げて取り出すときにウエハ１１が振れず、取出しが容 易になる。

【００３９】 また、支持用ベッド部としては、図９に示すように、リブ片３３の最奥部に下 方へ向けて傾斜した形状の支持用ベッド部３６としてもよい。この支持用ベッド 部３６の取り付け位置は、最大外径点２５，２５付近でも全体でもよい。この場 合、支持用ベッド部３６でウエハ１１の下側面が支持されることで、ウエハ１１ の上側がリブ片３３の下側面に近接し、ウエハ１１の左右へのずれが規制され、 ウエハ１１が傾くのを防止することができる。

【００４０】

【考案の効果】

以上詳述したように、本考案の薄板用支持容器によれば、薄板を水平に正確に 支持することができるようになり、薄板の導入又は導出の際に、薄板と容器との 接触等による発塵を抑えることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る半導体ウエハ用キャリアボックス
を示す一部破断斜視図である。

【図２】従来の半導体ウエハ用キャリアボックスを示す
一部破断斜視図である。

【図３】フォークを示す平面図である。

【図４】従来のキャリアボックスにおけるウエハの載置
状態を示す部分断面図である。

【図５】図１の半導体ウエハ用キャリアボックスの横断
面図である。

【図６】第１実施例に係るキャリアボックスにおけるウ
エハの載置状態を示す部分断面図である。

【図７】第２実施例に係るキャリアボックスにおけるウ
エハの載置状態を示す部分断面図である。

【図８】第２実施例の変形例を示す部分断面図である。

【図９】第２実施例の他の変形例を示す部分断面図であ
る。

【符号の説明】

１０…半導体ウエハ用キャリアボックス、１１…半導体
ウエハ、１２…筐体、１２Ａ…ウエハ導入出口、１３，
１４…側板、１５…支持用リブ、１５Ａ…リブ片、１８
…水平支持板部、１８Ａ…基準面、２０…導入部、２１
…整合部、２２…奥側支持部。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄板を多段にかつ等間隔に支持すべく多
   数のリブ片を多段に配設した支持用リブを並列に相対向
   して備え、一方の開口部が前記薄板を導入又は導出させ
   る導入出口となる薄板用支持容器において、 前記支持用リブを、前記導入出口側に位置する導入部
   と、奥側に位置する整合部とから構成し、前記導入部の
   リブ片を、前記薄板の導入又は導出が容易なように、肉
   薄に成形してリブ片間隔を広くし、前記整合部のリブ片
   を、前記薄板が挿入された状態で水平に精度よく支持し
   得るように、肉厚に成形してリブ片間隔を狭くしたこと
   を特徴とする薄板用支持容器。
2. 【請求項２】 前記整合部を、前記薄板を安定して支持
   し得るように、少なくとも前記薄板の重心位置よりも前
   記導入出口側まで設けたことを特徴とする請求項１記載
   の薄板用支持容器。
3. 【請求項３】 薄板を多段にかつ等間隔に支持すべく多
   数のリブ片を多段に配設した支持用リブを並列に相対向
   して備え、一方の開口部が前記薄板を導入又は導出させ
   る導入出口となる薄板用支持容器において、 前記リブ片を、前記薄板の導入又は導出が容易なよう
   に、その全長に亘って肉薄に成形してリブ片間隔を広く
   すると共に、当該リブ片に、挿入された薄板を水平に支
   持する支持用ベッド部を設けたことを特徴とする薄板用
   支持容器。