JPH01274447A - ウェーハ輸送用ケース - Google Patents
ウェーハ輸送用ケースInfo
- Publication number
- JPH01274447A JPH01274447A JP63103473A JP10347388A JPH01274447A JP H01274447 A JPH01274447 A JP H01274447A JP 63103473 A JP63103473 A JP 63103473A JP 10347388 A JP10347388 A JP 10347388A JP H01274447 A JPH01274447 A JP H01274447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- lid
- case
- basket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ウェーハを輸送する際に損壊および汚
染から保護するウェーハ輸送用ケースに関するものであ
る。
染から保護するウェーハ輸送用ケースに関するものであ
る。
半導体ウェーハは、片面が鏡面研磨された状態でケース
に収納されて輸送される。輸送用ケースは、輸送中の振
動等によってウェーハが損壊されない構造でなければな
らない。また、ウェーハの鏡面がケースに接触すると、
ケースを構成しているプラスチック材料の摩耗粉（パー
ティクル）等により汚染されるので、無接触の状態で保
持されなければならない。
に収納されて輸送される。輸送用ケースは、輸送中の振
動等によってウェーハが損壊されない構造でなければな
らない。また、ウェーハの鏡面がケースに接触すると、
ケースを構成しているプラスチック材料の摩耗粉（パー
ティクル）等により汚染されるので、無接触の状態で保
持されなければならない。
従来のウェーハ輸送用ケースとして、多数枚のウェーハ
を平行に立てた状態でかごに収容し、該がこを箱に収容
して蓋をする形式のものが使用されている。かごの側壁
の両内面には複数の隔置リブが対向して設けられていて
、各ウェーハが位置決めされ、蓋の内面にはウェーハ押
さえが設けられていて、蓋をした状態で、各ウェーハが
上下左右に遊動しないように、また隔置リブに接触しな
いように支持される。
を平行に立てた状態でかごに収容し、該がこを箱に収容
して蓋をする形式のものが使用されている。かごの側壁
の両内面には複数の隔置リブが対向して設けられていて
、各ウェーハが位置決めされ、蓋の内面にはウェーハ押
さえが設けられていて、蓋をした状態で、各ウェーハが
上下左右に遊動しないように、また隔置リブに接触しな
いように支持される。
ウェーハ押さえには、多数のウェーハを同時に支持する
鋸状の連続式のものと、個々に押える櫛状の非連続式の
ものがある。連続式のものを使用した場合、ウェーハの
収納枚数が少ないときは、押さえが各ウェーハに均一に
かからなくて、輸送中の振動等によりウェーハが遊動し
て損壊されたり、鏡面が汚染されたりするおそれがある
のに対し、非連続式の場合は、個々に押さえが働くので
うニームの押さえ効果が優れている。
鋸状の連続式のものと、個々に押える櫛状の非連続式の
ものがある。連続式のものを使用した場合、ウェーハの
収納枚数が少ないときは、押さえが各ウェーハに均一に
かからなくて、輸送中の振動等によりウェーハが遊動し
て損壊されたり、鏡面が汚染されたりするおそれがある
のに対し、非連続式の場合は、個々に押さえが働くので
うニームの押さえ効果が優れている。
従来のウェーハ輸送用ケースにおいて、蓋の内面に非連
続式のウェーハ押さえを設けた場合、蓋をするときの位
置決めの問題等により、ウェーハがウェーハ押さえの間
隙に挟まって、支持効果が得られないという問題がある
。
続式のウェーハ押さえを設けた場合、蓋をするときの位
置決めの問題等により、ウェーハがウェーハ押さえの間
隙に挟まって、支持効果が得られないという問題がある
。
本発明は、ウェーハ輸送用ケースにおいて、つニームを
ケース内に確実に支持させることにより、輸送中のウェ
ーハを汚染および損壊から保護することを目的とする。
ケース内に確実に支持させることにより、輸送中のウェ
ーハを汚染および損壊から保護することを目的とする。
本発明の具体例を図面により説明する。本発明のウェー
ハ輸送用ケースは、第１図に示すように、箱上とかご１
と蓋↓で構成されている。
ハ輸送用ケースは、第１図に示すように、箱上とかご１
と蓋↓で構成されている。
第１図（ｂｌに示すように、かご１の上面および底面２
１が開放され、対向する一対の側壁２２．２３が底面２
１側で内方に向けて湾曲しており、側壁２２．２３の左
右周端は端壁２４，２５で連結され、側壁２２．２３の
側内面には複数の隔置リブ２６．２７が対向して設けら
れ、側壁２２．２３の底面２１側の終焉部に可撓性支持
機構２８．２９が設けられている。可撓性支持機構２８
．２９は隔置リブ２６．２７の間隙のそれぞれに、互い
に非連続に設けられている。
１が開放され、対向する一対の側壁２２．２３が底面２
１側で内方に向けて湾曲しており、側壁２２．２３の左
右周端は端壁２４，２５で連結され、側壁２２．２３の
側内面には複数の隔置リブ２６．２７が対向して設けら
れ、側壁２２．２３の底面２１側の終焉部に可撓性支持
機構２８．２９が設けられている。可撓性支持機構２８
．２９は隔置リブ２６．２７の間隙のそれぞれに、互い
に非連続に設けられている。
ウェーハは、第１図（ｂ）に示すかご１の開放された上
部から、側壁２２．２３の側内面に対向して設けられた
隔置リブ２６，２７の各間隙に挿入され、可撓性支持機
構２８．２９で支持される。なお、かご主の一方の端壁
２５は、ウェーハを自動機あるいは真空ビンセットで取
り出すために開放されており、割り出しバー３０が中間
部に延在している。
部から、側壁２２．２３の側内面に対向して設けられた
隔置リブ２６，２７の各間隙に挿入され、可撓性支持機
構２８．２９で支持される。なお、かご主の一方の端壁
２５は、ウェーハを自動機あるいは真空ビンセットで取
り出すために開放されており、割り出しバー３０が中間
部に延在している。
ウェーハを支持したかご叢は、第１図（ａｌに示すガイ
ド１１に誘導されて箱上に装入され、第１図（Ｃ１の葺
土が被せられ、係合凸部４３．４４が係合凹部１２，１
３に係合し、かごＩは、箱上内のガイド１１とＩＩ４内
の押さえ具４１によって固定される。
ド１１に誘導されて箱上に装入され、第１図（Ｃ１の葺
土が被せられ、係合凸部４３．４４が係合凹部１２，１
３に係合し、かごＩは、箱上内のガイド１１とＩＩ４内
の押さえ具４１によって固定される。
ウェーハＷを支持したかご叉を箱上に収容し葺土をした
状態を示すと、第２図（第１図ら）のＡ−Ａ視に相当す
る一部断面図）のように、ウェーハＷは、可撓性支持機
構２８．２９ （２９は図示されない）とｌｉＪ内のウ
ェーハ押さえ４２によって上下方向に固定される。
状態を示すと、第２図（第１図ら）のＡ−Ａ視に相当す
る一部断面図）のように、ウェーハＷは、可撓性支持機
構２８．２９ （２９は図示されない）とｌｉＪ内のウ
ェーハ押さえ４２によって上下方向に固定される。
可撓性支持機構２８．２９は側壁２２．２３の底面側の
終焉部に設けられているので、装入されたウェーハＷは
非連続に設けられた各可撓性支持機構２８の間隙に挾ま
ることなく確実に支持される。また、各うニームＷは、
非連続に設けられた各可撓性支持機構２８．２９によっ
て個々に支持されるので、第２図に示すようにウェーハ
Ｗの装入されていない箇所があってもその影響を受けな
い。
終焉部に設けられているので、装入されたウェーハＷは
非連続に設けられた各可撓性支持機構２８の間隙に挾ま
ることなく確実に支持される。また、各うニームＷは、
非連続に設けられた各可撓性支持機構２８．２９によっ
て個々に支持されるので、第２図に示すようにウェーハ
Ｗの装入されていない箇所があってもその影響を受けな
い。
なお、第３図に示すように、可撓性支持機構２８．２９
の溝３１を隔置リブ２６，２７の間隙の中心線上からず
らせておくと、蓋↓を装着しない状態で、ウェーハＷを
常に一定の方向に傾斜させることができるので、ウェー
ハＷの出し入れの際にも鏡面が隔置リブ２６，２７と接
触することが防止される。この効果は、ウェーハＷを傾
斜させたい側に隔置リブ２６，２７を傾斜させておくと
、より確実に発揮される。したがって、このような構造
のかご主を使用すると、ウェーハＷを処理する過程にお
いて、Ｍ土を装着しない状態で、あるいはかご１を節上
から取り出した状態で搬送する際にも、ウェーハＷの鏡
面を無接触状態に保持することができる。
の溝３１を隔置リブ２６，２７の間隙の中心線上からず
らせておくと、蓋↓を装着しない状態で、ウェーハＷを
常に一定の方向に傾斜させることができるので、ウェー
ハＷの出し入れの際にも鏡面が隔置リブ２６，２７と接
触することが防止される。この効果は、ウェーハＷを傾
斜させたい側に隔置リブ２６，２７を傾斜させておくと
、より確実に発揮される。したがって、このような構造
のかご主を使用すると、ウェーハＷを処理する過程にお
いて、Ｍ土を装着しない状態で、あるいはかご１を節上
から取り出した状態で搬送する際にも、ウェーハＷの鏡
面を無接触状態に保持することができる。
本発明のウェーハ輸送用ケースを使用することにより、
ウェーハ装入の際には各ウェーハが確実かつ容易に支持
機構にセットされ、輸送中にはケース内にウェーハの空
きがあっても、各ウェーハは個々に支持されているので
遊動することなく、損壊および汚染が確実に防止される
。
ウェーハ装入の際には各ウェーハが確実かつ容易に支持
機構にセットされ、輸送中にはケース内にウェーハの空
きがあっても、各ウェーハは個々に支持されているので
遊動することなく、損壊および汚染が確実に防止される
。
第１図は本発明ケースの全体構造を示す図、第２図およ
び第３図は本発明ケースの一部断面を示す図である。 土：箱、１１ニガイド、１２，１３：係合凹部、ｉ：か
ご、２１：底面、２２，２３：側壁、２４゜２５：端壁
、２６，２７：隔置リプ、２８，２９：可撓性支持機構
、３０：割り出しバー、３１：溝、土：蓋、４１：押さ
え具、 ４２：ウェーハ押さえ、４３．４４：保合凸部
。 特許出願人 新日本製鐵株弐會社他１名ｉ！１図 箱Ｊ かご２ （ｂ） 蓋４ グ ＣＣ）
び第３図は本発明ケースの一部断面を示す図である。 土：箱、１１ニガイド、１２，１３：係合凹部、ｉ：か
ご、２１：底面、２２，２３：側壁、２４゜２５：端壁
、２６，２７：隔置リプ、２８，２９：可撓性支持機構
、３０：割り出しバー、３１：溝、土：蓋、４１：押さ
え具、 ４２：ウェーハ押さえ、４３．４４：保合凸部
。 特許出願人 新日本製鐵株弐會社他１名ｉ！１図 箱Ｊ かご２ （ｂ） 蓋４ グ ＣＣ）
Claims (1)
- ウェーハを保持するかごと該かごを収容する箱と蓋と
で構成され、該かごの上面および底面が開放され、対向
する一対の側壁が該底面側で内方に向けて湾曲しており
、該側壁の左右両端は端壁で連結され、該側壁の両内面
には複数の隔置リブが対向して設けられ、該側壁の前記
底面側の終焉部に非連続の可撓性支持機構が設けられて
いることを特徴とするウェーハ輸送用ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103473A JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103473A JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274447A true JPH01274447A (ja) | 1989-11-02 |
| JPH0572106B2 JPH0572106B2 (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=14354977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63103473A Granted JPH01274447A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | ウェーハ輸送用ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274447A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
| JP2007227941A (ja) * | 1998-07-10 | 2007-09-06 | Entegris Inc | クッション付きウェハー容器 |
-
1988
- 1988-04-26 JP JP63103473A patent/JPH01274447A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07307381A (ja) * | 1989-03-31 | 1995-11-21 | Empak Inc | 半導体ウエハー、ディスク若しくは基板用パッケージ |
| JP2007227941A (ja) * | 1998-07-10 | 2007-09-06 | Entegris Inc | クッション付きウェハー容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0572106B2 (ja) | 1993-10-08 |
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