JPH0573259B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、シリコウエハその他のウエハに、真
空処理を施すべく搬送を与える装置に関する。

（従来の技術） 従来、この種装置として、例えば第１図示のよ
うに、ウエハ処理室ａを外周に複数個に有する搬
送室ｂ内に、ウエハｃを保持する半径方向のアー
ムｄと、その根本部側の回動軸ｅとを備え、該軸
ｅを外部のステツピングモータその他のモータｆ
に連結して、該モータｆの作動によれば該軸ｅと
該アームｄとを介して該ウエハｃに各処理室ａに
対向する各角度位置への順次の送りが与えられる
ようにした形式のものが知られている。

また、ウエハを載せたボートを、モータにより
回転されるスクリユーとこれに螺合するナツトで
構成された送り機構により作動することも行なわ
れている（特開昭59−105335号公報）。

（発明が解決しようとする課題） しかし乍ら、第１図示の場合、該ウエハｃは、
同図示のように各処理室ｂ内に、各ベルトコンベ
ヤｇを介して導かれて各真空処理に備えられる式
を一般とするもので、かかるものでは該コンベヤ
ｇの作動に際し、その作動部例えば該コンベヤｇ
のベルトとその駆動ローラとの接触部にダストを
生じ勝ちであり、該ダストは次いで舞い上がつて
該ウエハ上に付着して、該ウエハの成膜その他の
真空処理に際し、これに支障を生じ勝ちである不
都合を伴う。

更に、該回動軸ｅは同図示のように、その下端
部において該モータｆの出力軸にベルトｈを介し
ても連結される式を一般とするもので、かかるも
のではその作動に際し該ベルトｈ部分にも略同様
にダストを生じ勝ちであり、これも次いで舞い上
がつて該ウエハｃ上に付着することが考えられ
る。

また前記スクリユーとナツトで構成された送り
機構を真空処理室内に設けた場合も、ダストの発
生による不都合を生じる。

本発明は、ウエハ処理室内でウエハの搬送に伴
い生ずるダストによる不都合のない装置を得るこ
とを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明では、ウエハ処理室を外周の複数個に有
する搬送室内に、ウエハを先端部に保持する半径
方向のアームと、その根本部側の回動軸と、送り
モータにより回転されて該アームに前後方向の送
りを与えるボールねじとこれに螺合するナツトか
らなる送り機構とを備え、該回動軸を外部の旋回
モータに連結して、該送りモータと旋回モータの
作動によれば、該回転軸と該アームとを介して該
ウエハに各処理室への送りが与えられるようにし
たものにおいて、該回動軸を該搬送室内から磁性
流体回転シールを備えた軸受部材を介して前記外
部の旋回モータに連結し、該回動軸の頂部に、該
送りモータとその回転を該ボールねじに伝達する
歯車列とを内部に収容した枠筐状の機枠を設け、
該機枠上に該ボールねじを配置して該ねじの外周
に被包するベローズを備えることにより、前記目
的を達成するようにした。

（作用） 該アームの各角度位置において、該送り機構を
作動させれば、該アームに該ウエハを伴いつつ前
後方向の送りを与えられて、該ウエハに各処理室
内への導入と、次いでその導出とを自在に得るこ
とが出来、この際、回転軸は磁性流体シールを備
えた軸受部材にて支持されてダストの発生がな
く、送りモータと歯車列が機枠内に収容され、ボ
ールねじがベローズで被包されているためダスト
が該搬送室内へ拡散せず、かくて該ウエハはダス
トから保護されてこれに良好な真空処理を施せ得
る。更に、該機枠を回転軸の頂部に設けてその上
にボールねじを配置したので、搬送装置の長さが
短く構成され、回転半径が小さくなつて搬送室を
小さくできる。

（実施例） 本発明実施の一例を別紙図面に付説明する。

第２図乃至第４図はその一例を示すそもので、
符号１はウエハ処理室、２は該処理室１を外周の
複数個に有する搬送室を示し、各室１，２内は各
真空排気系に接続されて適宜に真空排気されるも
のとし、該搬送室２内には、処理すべきウエハ３
を先端部に着脱自在に保持する半径方向のアーム
４と、その根本部側の回動軸５と、ステツピング
モータの送りモータ８により回転される該アーム
４に前後方向の送りを与えるボールねじ９とこれ
に螺合するナツト１０からなる送り機構とを備
え、該回動軸５を下方に延長してこれを該搬送室
２の外部のステツピングモータからなる旋回モー
タ６に連結させ、かくて該送りモータ８と旋回モ
ータ６の作動によれば、該回転軸５と該アーム４
とを介して該ウエハ３に各処理室１への送りが与
えられるようにした。

以上は従来のものと特に異ならないが、本発明
によれば、該回動軸５を該搬送室２内から磁性流
体回転シールを内部の軸孔１４ａに備えた軸受部
材１４を介して該旋回モータ６に連結し、該回動
軸５の頂部に、該送りモータ８とその回転を該ボ
ールねじ９に伝達する歯車列８ａとを内部に収容
した枠筐状の機枠７を設け、該機枠７上に該ボー
ルねじ９を配置し、該ねじ９の外周にこれを被包
するベローズ１１を備えるようにした。

該ボールねじ９の尾端側を機枠７の内部へ延長
して該機枠７内の送りモータ８に歯車列８ａを介
して連結し、該アーム４を該ねじ９と螺合したナ
ツト１０を有するナツト部材１２に固定させ、更
に該ベローズ１１をがいナツト部材１２の前方と
後方との両半部に分割して構成した。

その作動を説明するに、ステツピングモータの
旋回モータ６の作動により回動軸５を介してアー
ム４に一方への旋回を与えてこれを例えば第２図
示或いは第３図示のような角度位置、即ち１個の
ウエハ処理室１内に臨む位置に導かせた状態か
ら、次いで前記した送り機構、即ちステツピング
モータの送りモータ８と、ボールねじ９と、これ
に螺合するナツト１０とから成る送り機構を作動
させるときは、該アーム４は該ナツト１０に伴わ
れて前後方向の送りを与えられてその先端部のウ
エハ３は該室１内への導入或いは導出を自在に与
えられ、この場合、該回転軸５は磁性流体回転シ
ールの軸受部材１４に支持されてダストの発生が
なく、送りモータ８と歯車列１８ａが機枠７内に
収容され、ボールねじ９はベローズ１１で被包さ
れているため、該モータ８、歯車列１８ａ、ボー
ルねじ９の作動に伴い発生するダストは機枠７と
ベローズ１１により舞い上がりを阻止され、これ
を換言すれば該ウエハ３は該ダストから保護され
てこれに良好な成膜その他の真空処理を施せ得
る。次いで該アーム４を後退動させた状態から該
旋回モータ６の作動によりこれを次の角度位置に
導かせ、次いで該位置において該送り機構を再作
動させて該アーム４に略同様の送り作動を生じさ
せ、これが順次に繰り返され、該回転軸５の頂部
に機枠７を設けてその内部に送りモータ８を収容
したので、搬送装置の長さが短く構成され、回転
半径が小さくなつて搬送室を小さくできる。

（発明の効果） このように本発明によるときは、回動軸を搬送
室内から磁性流体回転シールを備えた軸受部材を
介して旋回モータに連結し、該回動軸の頂部に、
送りモータとその回転をボールねじに伝達する歯
車列とを内部に収容した枠筐状の機枠を設け、該
機枠上に該ボールねじを配置して該ねじの外周に
これを被包するベローズを備え、ウエハを保持す
るアームに旋回と前後の送り作動を与えるように
したので、ウエハを各処理室に対する導入導出を
小さな回転半径で行なえて搬送室を小型となし得
られ、該回転軸は磁性流体回転シールの軸受部材
で支持されてダストの発生がなく、送りモータと
歯車列を機枠に収めると共にボールねじはベロー
ズにて被包してダストの舞い上がりを阻止したの
で、該ウエハを該ダストの付着から保護してこれ
に良好な真空処理を施せ得る等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の説明線図、第２図は本発明装
置の一例の平面線図、第３図はその截断面図、第
４図はその要部の拡大した截断側面図である。 １……ウエハ処理室、２……搬送室、３……ウ
エハ、４……アーム、５……回動軸、６……旋回
モータ、７……機枠、８……送りモータ、９……
ボールねじ、１０……ナツト、１１……ベロー
ズ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ウエハ処理室を外周の複数個に有する搬送室
   内に、ウエハを先端部に保持する半径方向のアー
   ムと、その根本部側の回動軸と、送りモータによ
   り回転されて該アームに前後方向の送りを与える
   ボールねじとこれに螺合するナツトからなる送り
   機構とを備え、該回動軸を外部の旋回モータに連
   結して、該送りモータと旋回モータの作動によれ
   ば、該回転軸の該アームとを介して該ウエハに各
   処理室への送りが与えられるようにしたものにお
   いて、該回動軸を該搬送室内から磁性流体回転シ
   ールを備えた軸受部材を介して前記外部の旋回モ
   ータに連結し、該回動軸の頂部に、該送りモータ
   とその回転を該ボールねじに伝達する歯車列とを
   内部に収容した枠筐状の機枠を設け、該機枠上に
   該ボールねじを配置して該ねじの外周にこれを被
   包するベローズを備えたことを特徴とするウエハ
   搬送装置。