JPH0574183B2 - - Google Patents
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- JPH0574183B2 JPH0574183B2 JP59050568A JP5056884A JPH0574183B2 JP H0574183 B2 JPH0574183 B2 JP H0574183B2 JP 59050568 A JP59050568 A JP 59050568A JP 5056884 A JP5056884 A JP 5056884A JP H0574183 B2 JPH0574183 B2 JP H0574183B2
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- signal
- stress
- image
- display
- scanning
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、動的観察表示装置、特に被観察試料
自体に機械的応力を高速に繰り返して印加すると
共に、被観察試料を電子線プローブ等で走査する
ことによつて得られた画像信号から特定位相の画
像を抽出して観察・表示を行う動的観察表示装置
に関するものである。
自体に機械的応力を高速に繰り返して印加すると
共に、被観察試料を電子線プローブ等で走査する
ことによつて得られた画像信号から特定位相の画
像を抽出して観察・表示を行う動的観察表示装置
に関するものである。
（技術の背景と問題点）
磁歪素子および電歪素子等の特定位相における
磁区あるいは誘電体の分域等を観察することは、
各種材料の特質を知る上で重要である。
磁区あるいは誘電体の分域等を観察することは、
各種材料の特質を知る上で重要である。
しかし、従来は前記磁歪素子等に静的に応力を
順次印加し、該所定の応力が印加された静止時の
走査線を得ることが行われていた。このため、動
的に変化する使用状態における特定応力印加時の
走査像とは必ずしも一致せず、十分な解析が行わ
れ得なかつた。
順次印加し、該所定の応力が印加された静止時の
走査線を得ることが行われていた。このため、動
的に変化する使用状態における特定応力印加時の
走査像とは必ずしも一致せず、十分な解析が行わ
れ得なかつた。
また、商用周波数で多用される電磁鋼板等の磁
性材料の振動に伴う動的変化は、TVスキヤン等
では遅すぎて観察し得ず、特定位相についての観
察が行い難い問題点があつた。
性材料の振動に伴う動的変化は、TVスキヤン等
では遅すぎて観察し得ず、特定位相についての観
察が行い難い問題点があつた。
（発明の目的と構成）
本発明の目的は、前記問題点を解決することに
あり、応力発生素子によつて被観察試料に応力を
印加すると共に、該被観察試料をプローブで走査
し、該被観察試料から生じた信号のうち特定位相
の信号のみを抽出してデイスプレイ等に表示を行
うことにより、応力印加時の特定位相の画像を得
ることにある。そのため、本発明の動的観察表示
装置は、被観察試料に印加する応力を周期的かつ
高速に変化させると共に前記被観察試料をプロー
ブで照射することによつて得られた画像信号から
特定位相の画像を抽出してデイスプレイに表示を
行う動的観察表示装置において、前記被観察試料
に印加する応力をプローブの水平走査信号に同期
しそれを分周した繰り返し周波数により周期的に
変化させる応力印加部と、該応力印加部によつて
前記の繰り返し周波数により周期的に応力が変化
させられている前記被観察試料をプローブで走査
するプローブ走査部と、該プローブ走査部によつ
て走査することによつて前記被観察試料から生じ
る信号を検出し画像信号として出力する信号検出
部と、該信号検出部から出力された画像信号から
前記の繰り返し周波数の周期中の所定位相のかつ
前記の繰り返し周波数の周期にくらべて十分に短
期間の画像信号を前記の繰り返し周波数に同期さ
せて順次抽出する特定画像抽出部とを備え、該特
定画像抽出部によつて順次抽出された繰り返し周
波数の周期中の特定位相における短期間の画像信
号の各々をデイスプレイの画面の順次の水平走査
線に対応づけかつ該水平走査線上に拡張して表示
することを特徴としている。
あり、応力発生素子によつて被観察試料に応力を
印加すると共に、該被観察試料をプローブで走査
し、該被観察試料から生じた信号のうち特定位相
の信号のみを抽出してデイスプレイ等に表示を行
うことにより、応力印加時の特定位相の画像を得
ることにある。そのため、本発明の動的観察表示
装置は、被観察試料に印加する応力を周期的かつ
高速に変化させると共に前記被観察試料をプロー
ブで照射することによつて得られた画像信号から
特定位相の画像を抽出してデイスプレイに表示を
行う動的観察表示装置において、前記被観察試料
に印加する応力をプローブの水平走査信号に同期
しそれを分周した繰り返し周波数により周期的に
変化させる応力印加部と、該応力印加部によつて
前記の繰り返し周波数により周期的に応力が変化
させられている前記被観察試料をプローブで走査
するプローブ走査部と、該プローブ走査部によつ
て走査することによつて前記被観察試料から生じ
る信号を検出し画像信号として出力する信号検出
部と、該信号検出部から出力された画像信号から
前記の繰り返し周波数の周期中の所定位相のかつ
前記の繰り返し周波数の周期にくらべて十分に短
期間の画像信号を前記の繰り返し周波数に同期さ
せて順次抽出する特定画像抽出部とを備え、該特
定画像抽出部によつて順次抽出された繰り返し周
波数の周期中の特定位相における短期間の画像信
号の各々をデイスプレイの画面の順次の水平走査
線に対応づけかつ該水平走査線上に拡張して表示
することを特徴としている。
（発明の実施例）
以下図面に基づいて本発明を詳細に説明する。
第１図は本発明の１実施例構成図、第２図およ
び第３図は第１図図示本発明の１実施例構成を説
明する説明図、第４図は本発明の他の実施例構成
図を示す。
び第３図は第１図図示本発明の１実施例構成を説
明する説明図、第４図は本発明の他の実施例構成
図を示す。
図中、１は被観察試料、２は応力発生素子、３
は静応力印加ネジ、４は応力印加装置、５は電子
銃、５−１は電子源、５−２はウエーネルト筒、
５−３はアノード、６は電子レンズ、７は走査コ
イル（Ｘ、Ｙ）、８はシンチレーシヨン検出器、
９はビデオ増幅器、１０は信号処理部、１１はデ
イスプレイ、１２は走査電顕制御部、１３はマス
タOSC、１４，１７は分周回路、１５はドライ
ブ信号発生器、１６は水平走査信号発生器、１８
は垂直走査信号発生器、１９はカウンタ、２０は
Ｐ−ROM、２１は位相切換器、２２はブランキ
ング制御部を表す。
は静応力印加ネジ、４は応力印加装置、５は電子
銃、５−１は電子源、５−２はウエーネルト筒、
５−３はアノード、６は電子レンズ、７は走査コ
イル（Ｘ、Ｙ）、８はシンチレーシヨン検出器、
９はビデオ増幅器、１０は信号処理部、１１はデ
イスプレイ、１２は走査電顕制御部、１３はマス
タOSC、１４，１７は分周回路、１５はドライ
ブ信号発生器、１６は水平走査信号発生器、１８
は垂直走査信号発生器、１９はカウンタ、２０は
Ｐ−ROM、２１は位相切換器、２２はブランキ
ング制御部を表す。
第１図において、図中１は被観察試料であつ
て、走査電子顕微鏡等の図示外試料移動台（Ｘ、
Ｙ方向に移動可能）に載置された応力印加装置４
に固定されているものである。該被観察試料１は
前記応力印加装置４の両側から応力発生素子２を
介してサンドイツチされた形で保持されると共
に、図示静応力印加ネジ３を回転させることによ
り任意の静応力を真空外から必要に応じて印加し
得るものである。
て、走査電子顕微鏡等の図示外試料移動台（Ｘ、
Ｙ方向に移動可能）に載置された応力印加装置４
に固定されているものである。該被観察試料１は
前記応力印加装置４の両側から応力発生素子２を
介してサンドイツチされた形で保持されると共
に、図示静応力印加ネジ３を回転させることによ
り任意の静応力を真空外から必要に応じて印加し
得るものである。
また、被観察試料１を照射する電子線プローブ
は、電子銃５を構成する電子源５−１（フイラメ
ント）、ウエーネルト筒５−２およびアノード５
−３によつて既知の如くして発生される。該電子
銃５から放射された電子線プローブは電子レンズ
６によつて前記被観察試料１上に微小スポツト
（数千〜数オングストローム）の形で結像される。
そして、図示走査コイル（Ｘ、Ｙ）７に走査電顕
制御部１２からＸ・Ｙ走査信号（鋸歯状波電
流）を夫々供給することにより、前記電子線プロ
ーブは偏向される。これにより、電子線プローブ
が被観察試料１上を走査することになる。該走査
した際に被観察試料１から放出された例えば２次
電子が図示シンチレーシヨン検出器８によつて補
集されると共に増幅される。そして、シンチレー
シヨン検出器８によつて増幅された画像信号は、
ビデオ増幅器９によつて増幅されると共に、所定
直流レベルに信号処理されたり、あるいはインピ
ーダンス変換等が行われる。そして、該ビデオ増
幅器９から出力されたビデオ信号は信号処理部
１０に供給される。
は、電子銃５を構成する電子源５−１（フイラメ
ント）、ウエーネルト筒５−２およびアノード５
−３によつて既知の如くして発生される。該電子
銃５から放射された電子線プローブは電子レンズ
６によつて前記被観察試料１上に微小スポツト
（数千〜数オングストローム）の形で結像される。
そして、図示走査コイル（Ｘ、Ｙ）７に走査電顕
制御部１２からＸ・Ｙ走査信号（鋸歯状波電
流）を夫々供給することにより、前記電子線プロ
ーブは偏向される。これにより、電子線プローブ
が被観察試料１上を走査することになる。該走査
した際に被観察試料１から放出された例えば２次
電子が図示シンチレーシヨン検出器８によつて補
集されると共に増幅される。そして、シンチレー
シヨン検出器８によつて増幅された画像信号は、
ビデオ増幅器９によつて増幅されると共に、所定
直流レベルに信号処理されたり、あるいはインピ
ーダンス変換等が行われる。そして、該ビデオ増
幅器９から出力されたビデオ信号は信号処理部
１０に供給される。
信号処理部１０は後述の如くして前記ビデオ信
号から所定の画像信号を抽出等し、輝度信号
としてデイスプレイ１１の例えば輝度変調端子に
供給する。一方、信号処理部１０は走査電顕制御
部１２から供給された同期信号に基づき、後述
するような所定のCRT走査信号をデイスプレ
イ１１のドライブ端子（水平および垂直ドライブ
端子）に供給する。このようにすることにより、
デイスプレイ１１には、被観察試料１から放出さ
れた２次電子像が表示される。
号から所定の画像信号を抽出等し、輝度信号
としてデイスプレイ１１の例えば輝度変調端子に
供給する。一方、信号処理部１０は走査電顕制御
部１２から供給された同期信号に基づき、後述
するような所定のCRT走査信号をデイスプレ
イ１１のドライブ端子（水平および垂直ドライブ
端子）に供給する。このようにすることにより、
デイスプレイ１１には、被観察試料１から放出さ
れた２次電子像が表示される。
そして、走査電顕制御部１２が応力発生素子２
に例えば交番する応力印加信号を供給した場合
には、被観察試料１には交番する応力が印加さ
れ、該応力に応じた磁歪効果あるいは電歪効果等
に基づく磁区の変位あるいは誘電体の分域の変化
等が発生する。
に例えば交番する応力印加信号を供給した場合
には、被観察試料１には交番する応力が印加さ
れ、該応力に応じた磁歪効果あるいは電歪効果等
に基づく磁区の変位あるいは誘電体の分域の変化
等が発生する。
しかし、従来の走査電顕では被観察試料１が前
記応力印加信号と共に変位してしまうため、例え
走査速度の速いTVスキヤニング装置を用いても
該変位の状態を観察・表示することはできない。
そこで、本発明は前記応力発生素子２に周期的か
つ高速に変化する応力印加信号を供給すると共
に、被観察試料１を走査して得られた信号から所
定位相の画像信号を抽出して特定応力印加時の画
像を観察・表示することとしている。以下第２図
および第３図を用いて本発明の動作を詳細に説明
する。
記応力印加信号と共に変位してしまうため、例え
走査速度の速いTVスキヤニング装置を用いても
該変位の状態を観察・表示することはできない。
そこで、本発明は前記応力発生素子２に周期的か
つ高速に変化する応力印加信号を供給すると共
に、被観察試料１を走査して得られた信号から所
定位相の画像信号を抽出して特定応力印加時の画
像を観察・表示することとしている。以下第２図
および第３図を用いて本発明の動作を詳細に説明
する。
第２図は前記応力印加信号に同期した形でビ
デオ信号から特定位相の画像を順次サンプリン
グ等してデイスプレイ（CRT）１１に表示する
処理過程を説明するための説明図を示す。
デオ信号から特定位相の画像を順次サンプリン
グ等してデイスプレイ（CRT）１１に表示する
処理過程を説明するための説明図を示す。
第２図Ａは応力印加信号の波形例を示し、被
観察試料１に印加される応力がほぼ正弦波状に変
化している状態を示す。該応力印加信号の図示
特定位相に相当する輝度信号がビデオ信号か
ら順次抽出され、デイスプレイ１１上の図示最上
段の位置に順次輝度変調の形で表示される。同様
にして次段の位置にも順次輝度変調の形で表示さ
れる。
観察試料１に印加される応力がほぼ正弦波状に変
化している状態を示す。該応力印加信号の図示
特定位相に相当する輝度信号がビデオ信号か
ら順次抽出され、デイスプレイ１１上の図示最上
段の位置に順次輝度変調の形で表示される。同様
にして次段の位置にも順次輝度変調の形で表示さ
れる。
第２図Ｂはサンプリング用パルス信号波形を示
し、第２図Ａ図示応力信号の特定位相に対応す
る輝度信号をビデオ信号から抽出するための
ものを示す。該サンプリング用パルス信号は信号
処理部１０が同期信号に基づいて生成する。
し、第２図Ａ図示応力信号の特定位相に対応す
る輝度信号をビデオ信号から抽出するための
ものを示す。該サンプリング用パルス信号は信号
処理部１０が同期信号に基づいて生成する。
第２図Ｃは水平走査用の信号波形を示す。図示
信号波形は鋸歯状波形であつて、デイスプレイ１
１上を図示横線の方向に輝点を走査して画像を表
示するためのものである。
信号波形は鋸歯状波形であつて、デイスプレイ１
１上を図示横線の方向に輝点を走査して画像を表
示するためのものである。
以上説明したように第２図図示サンプリング方
式によれば、被観察試料１に供給した任意の応力
印加時の画像を順次繰り返しサンプリングしてデ
イスプレイ１１に表示することができる。
式によれば、被観察試料１に供給した任意の応力
印加時の画像を順次繰り返しサンプリングしてデ
イスプレイ１１に表示することができる。
また、第３図には第２図図示サンプリング方式
を用いて特定応力印加時の画像をデイスプレイ１
１に表示していたのでは、長時間必要とする場合
等に用いられるものであり、いわゆるライン・サ
ンプリング方式とも言うべきものである。以下説
明する。
を用いて特定応力印加時の画像をデイスプレイ１
１に表示していたのでは、長時間必要とする場合
等に用いられるものであり、いわゆるライン・サ
ンプリング方式とも言うべきものである。以下説
明する。
第３図Ａは第２図Ａと同様な応力印加信号の
波形例を示す。該応力印加信号の各波形のほぼ
同一位相部分に相当する輝度信号が、ビデオ信
号からサンプリングされてデイスプレイ１１上
の１水平走査線に夫々対応づけて図示の如く上か
ら下方向に向つて表示される。このように、応力
印加信号の各波形のほぼ同一位相部分を順次デ
イスプレイ１１上に上から下に向かつてライン毎
に表示させる、いわゆるラインサンプリング方式
とも言うべきものを採用しているため、第２図図
示いわゆるポイントサンプリング方式に比し、極
めて高速に表示することが可能となる。例えば、
第２図図示ポイントサンプリング方式により、商
用周波数（50Hz）の繰り返し周期を用いてデイス
プレイ１１上に画素1000×1000を得るようにした
場合には、２×104秒＝５時間33分20秒も必要と
なる。一方、第３図図示ラインサンプリング方式
によれば20秒となり、極めて短時間に応力印加時
の特定位相の画像を表示させることができる。
波形例を示す。該応力印加信号の各波形のほぼ
同一位相部分に相当する輝度信号が、ビデオ信
号からサンプリングされてデイスプレイ１１上
の１水平走査線に夫々対応づけて図示の如く上か
ら下方向に向つて表示される。このように、応力
印加信号の各波形のほぼ同一位相部分を順次デ
イスプレイ１１上に上から下に向かつてライン毎
に表示させる、いわゆるラインサンプリング方式
とも言うべきものを採用しているため、第２図図
示いわゆるポイントサンプリング方式に比し、極
めて高速に表示することが可能となる。例えば、
第２図図示ポイントサンプリング方式により、商
用周波数（50Hz）の繰り返し周期を用いてデイス
プレイ１１上に画素1000×1000を得るようにした
場合には、２×104秒＝５時間33分20秒も必要と
なる。一方、第３図図示ラインサンプリング方式
によれば20秒となり、極めて短時間に応力印加時
の特定位相の画像を表示させることができる。
第３図Ｂはラインサンプリング用パルス信号波
形を示す。該ラインサンプリング用パルス信号を
用いて第１図図示信号処理部１０はビデオ信号
から所定位相（所定応力印加時）における輝度信
号を抽出し、デイスプレイ１１に第３図図示の
如く１水平走査線に対応づけて表示を行つてい
る。
形を示す。該ラインサンプリング用パルス信号を
用いて第１図図示信号処理部１０はビデオ信号
から所定位相（所定応力印加時）における輝度信
号を抽出し、デイスプレイ１１に第３図図示の
如く１水平走査線に対応づけて表示を行つてい
る。
第３図Ｃは水平走査信号波形例を示す。該水平
走査信号例は第３図Ｂ図示ラインサンプリング用
パルス信号によつてビデオ信号から抽出された
輝度信号をディスプレイ１１上の１水平走査線
に対応すべく水平走査を行うためのものである。
走査信号例は第３図Ｂ図示ラインサンプリング用
パルス信号によつてビデオ信号から抽出された
輝度信号をディスプレイ１１上の１水平走査線
に対応すべく水平走査を行うためのものである。
第３図Ｄは鋸歯状波の垂直走査信号波形例を示
す。該鋸歯状波信号はデイスプレイ１１に横方向
に走査される図示水平走査線を順次上から下方向
に走査させるためのものである。
す。該鋸歯状波信号はデイスプレイ１１に横方向
に走査される図示水平走査線を順次上から下方向
に走査させるためのものである。
第４図において、図中EOSは走査型電子顕微
鏡の電子光学系であつて、電子銃から放射された
電子（〜25KV）を磁界型レンズによつて縮小
し、該縮小した微小電子線スポツトを被観察試料
１に結像する役割を果たすものである。図中７−
１，７−２および７−３，７−４は夫々垂直走査
コイルおよび水平走査コイルを示す。以下説明す
る。
鏡の電子光学系であつて、電子銃から放射された
電子（〜25KV）を磁界型レンズによつて縮小
し、該縮小した微小電子線スポツトを被観察試料
１に結像する役割を果たすものである。図中７−
１，７−２および７−３，７−４は夫々垂直走査
コイルおよび水平走査コイルを示す。以下説明す
る。
マスタOSC１３によつて発生されたクロツク
信号は分周回路１４に供給され、１／Ｎに分周
された後、ドライブ信号発生器１５に供給され
る。該ドライブ信号発生器１５はクロツク信号
に同期した形で発生させた第３図Ａ図示正弦波の
如きドライブ信号を応力発生素子２に供給し、
該正弦波で変化する応力を被観察試料１に印加す
る。この際、必要に応じて正弦波の替わりに三角
波、矩形等を印加してもよい。
信号は分周回路１４に供給され、１／Ｎに分周
された後、ドライブ信号発生器１５に供給され
る。該ドライブ信号発生器１５はクロツク信号
に同期した形で発生させた第３図Ａ図示正弦波の
如きドライブ信号を応力発生素子２に供給し、
該正弦波で変化する応力を被観察試料１に印加す
る。この際、必要に応じて正弦波の替わりに三角
波、矩形等を印加してもよい。
一方、被観察試料１は前述したEOSから放射
された微小電子線スポツトによつて照射されてお
り、該照射された被観察試料１からは２次電子、
反射電子、Ｘ線等各種の信号が発生している。該
発生した信号、例えば２次電子は図示シンチレー
シヨン検出器８によつて補集されると共に増幅さ
れる。該増幅された信号はビデオ増幅器９によつ
て増幅および信号処理が行われた後、デイスプレ
イ（CRT）１１の輝度変調用端子に供給される。
尚、必要に応じて垂直走査信号に重畳していわゆ
る振幅変調を行うことも可能である。
された微小電子線スポツトによつて照射されてお
り、該照射された被観察試料１からは２次電子、
反射電子、Ｘ線等各種の信号が発生している。該
発生した信号、例えば２次電子は図示シンチレー
シヨン検出器８によつて補集されると共に増幅さ
れる。該増幅された信号はビデオ増幅器９によつ
て増幅および信号処理が行われた後、デイスプレ
イ（CRT）１１の輝度変調用端子に供給される。
尚、必要に応じて垂直走査信号に重畳していわゆ
る振幅変調を行うことも可能である。
また、クロツク信号の水平走査信号発生器１
６に供給されると共に、分周回路１７によつて
１／Ｍに分周した後、垂直走査信号発生器１８に
供給される。そして、水平走査信号発生器１６お
よび垂直走査信号発生器１８によつて夫々発生さ
れた水平走査出力信号および垂直走査出力信号
は、EOSおよびデイスプレイ１１の各水平走査
コイル７−３，７−４および各垂直走査コイル７
−１，７−２に供給される。
６に供給されると共に、分周回路１７によつて
１／Ｍに分周した後、垂直走査信号発生器１８に
供給される。そして、水平走査信号発生器１６お
よび垂直走査信号発生器１８によつて夫々発生さ
れた水平走査出力信号および垂直走査出力信号
は、EOSおよびデイスプレイ１１の各水平走査
コイル７−３，７−４および各垂直走査コイル７
−１，７−２に供給される。
更に、クロツク信号はアンブランキング信号
を発生させるために、カウンタ１９に供給され
る。該カウンタ１９は前記ドライブ信号発生器１
５から供給されたドライブ開始信号によつて毎
回リセツトされ、その後にクロツク信号の計数
を開始する。該計数された値はＰ−ROM（20）
のアドレスとして用いられ、該アドレスに該当す
る位置に前もつて書き込んでおいた種々のデータ
をアンブランキング信号の形で発生させる。該発
生された種々のアンブランキング信号から所望の
位相のものが位相切換器２１によつて選択され、
ブランキング制御部２２に供給される。そして、
該ブランキング制御部２２から出力されたアンブ
ランキング信号がデイスプレイ（CRT）１１
のアンブランキング端子に供給される。これによ
り、デイスプレイ（CRT）１１の輝点のアンブ
ランキングが行われる。
を発生させるために、カウンタ１９に供給され
る。該カウンタ１９は前記ドライブ信号発生器１
５から供給されたドライブ開始信号によつて毎
回リセツトされ、その後にクロツク信号の計数
を開始する。該計数された値はＰ−ROM（20）
のアドレスとして用いられ、該アドレスに該当す
る位置に前もつて書き込んでおいた種々のデータ
をアンブランキング信号の形で発生させる。該発
生された種々のアンブランキング信号から所望の
位相のものが位相切換器２１によつて選択され、
ブランキング制御部２２に供給される。そして、
該ブランキング制御部２２から出力されたアンブ
ランキング信号がデイスプレイ（CRT）１１
のアンブランキング端子に供給される。これによ
り、デイスプレイ（CRT）１１の輝点のアンブ
ランキングが行われる。
以上の回路構成によれば、マスタOSC１３に
よつて発生されたクロツク信号の周波数をｆと
すると、被観察試料１はｆ／Ｎの周波数に同期し
た形で応力が印加される。一方、EOSおよびデ
イスプレイ１１の水平走査はｆに同期して高速に
走査されると共に、EOSおよびデイスプレイ１
１の垂直走査はｆ／Ｍに同期して走査される。そ
して、デイスプレイ１１のアンブランキングは
ｆ／Ｎに同期した形で特定位相のものについて行
われ、該特定位相の画像がデイスプレイ１１に表
示されることになる。以上説明した如く、デイス
プレイ１１には、ドライブ信号の１周期がＮで
分割され、該分割されたいずれかの位相の画像信
号のみが位相切換器２１によつて選択されてデイ
スプレイ１１に表示される。尚、第４図図示実施
例は繰り返し現象に比し、高速にラインスキヤン
可能な場合に、特定位相の画像を得る装置に関す
るものであり、走査型電子顕微鏡に限られること
なく、粒子線、光子ビーム、超音波ビーム等を利
用した走査装置およびTV撮影装置についても適
用され得るもである。
よつて発生されたクロツク信号の周波数をｆと
すると、被観察試料１はｆ／Ｎの周波数に同期し
た形で応力が印加される。一方、EOSおよびデ
イスプレイ１１の水平走査はｆに同期して高速に
走査されると共に、EOSおよびデイスプレイ１
１の垂直走査はｆ／Ｍに同期して走査される。そ
して、デイスプレイ１１のアンブランキングは
ｆ／Ｎに同期した形で特定位相のものについて行
われ、該特定位相の画像がデイスプレイ１１に表
示されることになる。以上説明した如く、デイス
プレイ１１には、ドライブ信号の１周期がＮで
分割され、該分割されたいずれかの位相の画像信
号のみが位相切換器２１によつて選択されてデイ
スプレイ１１に表示される。尚、第４図図示実施
例は繰り返し現象に比し、高速にラインスキヤン
可能な場合に、特定位相の画像を得る装置に関す
るものであり、走査型電子顕微鏡に限られること
なく、粒子線、光子ビーム、超音波ビーム等を利
用した走査装置およびTV撮影装置についても適
用され得るもである。
（発明の効果）
以上説明した如く、本発明によれば、応力発生
素子によつて所望の応力を被観察試料に印加する
と共に、被観察試料をプローブで走査し、該被観
察試料から生じた信号の特定位相のものを抽出し
てデイスプレイ等に表示を行うため、簡単な装置
により応力印加時の特定位相の画像を観察・表示
することができる。
素子によつて所望の応力を被観察試料に印加する
と共に、被観察試料をプローブで走査し、該被観
察試料から生じた信号の特定位相のものを抽出し
てデイスプレイ等に表示を行うため、簡単な装置
により応力印加時の特定位相の画像を観察・表示
することができる。
第１図は本発明の１実施例構成図、第２図およ
び第３図は第１図図示本発明の１実施例構成を説
明する説明図、第４図は、第１図の走査電顕制御
部ならびに信号処理部の具体例を示した図を示
す。 図中、１は被観察試料、２は応力発生素子、３
は静応力印加ネジ、４は応力印加装置、５は電子
銃、５−１は電子源、５−２はウエーネルト筒、
５−３はアノード、６は電子レンズ、７は走査コ
イル（Ｘ、Ｙ）、８はシンチレーシヨン検出器、
９はビデオ増幅器、１０は信号処理部、１１はデ
イスプレイ、１２は走査電顕制御部、１３はマス
タOSC、１４，１７は分周回路、１５はドライ
ブ信号発生器、１６は水平走査信号発生器、１８
は垂直走査信号発生器、１６はカウンタ、２０は
Ｐ−ROM、２１は位相切換器、２２はブランキ
ング制御部を表す。
び第３図は第１図図示本発明の１実施例構成を説
明する説明図、第４図は、第１図の走査電顕制御
部ならびに信号処理部の具体例を示した図を示
す。 図中、１は被観察試料、２は応力発生素子、３
は静応力印加ネジ、４は応力印加装置、５は電子
銃、５−１は電子源、５−２はウエーネルト筒、
５−３はアノード、６は電子レンズ、７は走査コ
イル（Ｘ、Ｙ）、８はシンチレーシヨン検出器、
９はビデオ増幅器、１０は信号処理部、１１はデ
イスプレイ、１２は走査電顕制御部、１３はマス
タOSC、１４，１７は分周回路、１５はドライ
ブ信号発生器、１６は水平走査信号発生器、１８
は垂直走査信号発生器、１６はカウンタ、２０は
Ｐ−ROM、２１は位相切換器、２２はブランキ
ング制御部を表す。
Claims (1)
- １ 被観察試料に印加する応力を周期的かつ高速
に変化させると共に前記被観察試料をプローブで
照射することによつて得られた画像信号から特定
位相の画像を抽出してデイスプレイに表示を行う
動的観察表示装置において、前記被観察試料に印
加する応力をプローブの水平走査信号に同期しそ
れを分周した繰り返し周波数により周期的に変化
させる応力印加部と、該応力印加部によつて前記
繰り返し周波数により周期的に応力が変化させら
れている前記被観察試料をプローブで走査するプ
ローブ走査部と、該プローブ走査部によつて走査
することによつて前記被観察試料から生じる信号
を検出し画像信号として出力する信号検出部と、
該信号検出部から出力された画像信号から前記の
繰り返し周波数の周期中の所定位相のかつ前記の
繰り返し周波数の周期にくらべて十分に短期間の
画像信号を前記の繰り返し周波数に同期させて順
次抽出する特定画像抽出部とを備え、該特定画像
抽出部によつて順次抽出された繰り返し周波数の
周期中の特定位相における短期間の画像信号の
各々をデイスプレイの画面の順次の水平走査線に
対応づけかつ該水平走査線上に拡張して表示する
ことを特徴とする動的観察表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050568A JPS60195860A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 動的観察表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050568A JPS60195860A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 動的観察表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60195860A JPS60195860A (ja) | 1985-10-04 |
| JPH0574183B2 true JPH0574183B2 (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=12862604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59050568A Granted JPS60195860A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 動的観察表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60195860A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57196465A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Nichidenshi Tekunikusu:Kk | Scanning electron microscope |
-
1984
- 1984-03-16 JP JP59050568A patent/JPS60195860A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60195860A (ja) | 1985-10-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |