JPH0423376B2 - - Google Patents
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- JPH0423376B2 JPH0423376B2 JP58056696A JP5669683A JPH0423376B2 JP H0423376 B2 JPH0423376 B2 JP H0423376B2 JP 58056696 A JP58056696 A JP 58056696A JP 5669683 A JP5669683 A JP 5669683A JP H0423376 B2 JPH0423376 B2 JP H0423376B2
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- scanning signal
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Description
【発明の詳細な説明】
(A) 発明の技術分野
本発明は、スキヤンライン型動的観察装置、特
に繰り返し現象に同期した高速走査を行ないつつ
走査線単位で複数の位相のイメージ信号を夫々サ
ンプリングしてデイスプレイに表示する装置に関
するものである。
に繰り返し現象に同期した高速走査を行ないつつ
走査線単位で複数の位相のイメージ信号を夫々サ
ンプリングしてデイスプレイに表示する装置に関
するものである。
(B) 技術の背景と問題点
一般に観察対象が時間的に変化する場合、その
変化するそれぞれの状態を観察することは、物性
研究、各種特性調査、検査などにとつて重要であ
る。
変化するそれぞれの状態を観察することは、物性
研究、各種特性調査、検査などにとつて重要であ
る。
従来観察対象が比較的低速に変化する場合には
商用TVなどのように高速走査を行ない、その変
化の前後の状態を容易に得ることができ、静止画
像として観察することができた。又、観察対象が
高速に変化する場合には、サンプリング法、即ち
所定観察領域を平面走査しつつ高速繰り返し現象
の特定位相のイメージ信号のみを夫々サンプリン
グすることにより、特定位相の静止画像を得るこ
とができた。
商用TVなどのように高速走査を行ない、その変
化の前後の状態を容易に得ることができ、静止画
像として観察することができた。又、観察対象が
高速に変化する場合には、サンプリング法、即ち
所定観察領域を平面走査しつつ高速繰り返し現象
の特定位相のイメージ信号のみを夫々サンプリン
グすることにより、特定位相の静止画像を得るこ
とができた。
しかしながら、電気機器では、商用周波数（50
Hz又は60Hz）で用いられることが多く、この近く
の数Hzから1KHzにわたつての繰り返し現象、例
えば変圧器の磁性材料の磁区を直接観察する場合
など、前記サンプリング法によつては、その繰り
返し周期が遅く、特定位相の静止画像を得るに
は、あまりにも長時間を必要としていた。また、
被観察対象の変化する複数の位相の状態を同時観
察するには、更に長時間を必要とする問題点があ
つた。
Hz又は60Hz）で用いられることが多く、この近く
の数Hzから1KHzにわたつての繰り返し現象、例
えば変圧器の磁性材料の磁区を直接観察する場合
など、前記サンプリング法によつては、その繰り
返し周期が遅く、特定位相の静止画像を得るに
は、あまりにも長時間を必要としていた。また、
被観察対象の変化する複数の位相の状態を同時観
察するには、更に長時間を必要とする問題点があ
つた。
(C) 発明の目的と構成
本発明は、前記の点を解決することを目的とし
ており、前記繰り返し現象に同期した高速走査を
行ないつつ走査線単位で複数の位相のイメージ信
号を夫々サンプリングし、各位相のイメージ信号
に対応するデイスプレイの位置に夫々表示するこ
とにより複数の特定位相の画像を同時に表示でき
る点に着目して、上記問題点を解決することを目
的としている。そのため、本発明のスキヤンライ
ン型動的観察装置は、一定周期で高速に変化する
被観察対象から取得したイメージ信号から一定周
期中の特定位相のものを順次サンプリングして特
定位相の画像を得るスキヤンライン型動的観察装
置において、被観察対象からのイメージ信号を前
記一定周期より十分に短い一定時間幅のサンプリ
ングを同一周期内で複数回行うイメージ信号サン
プリング手段と、該イメージ信号サンプリング手
段における各一定時間幅のサンプリング期間に被
観察対象とデイスプレイとを夫々同期して走査す
る走査信号を発生する同期走査信号発生手段と、
被観察対象の一定領域にわたつてデイスプレイと
同期して前記同期走査信号発生手段とにより面走
査する信号を発生する一定領域走査信号発生手段
と、前記同期走査信号発生手段と同期して被観察
対象の一定領域にわたるイメージ信号のみがデイ
スプレイに表示されるようにサンプリング期間外
にデイスプレイをブランキングする一定領域表示
制御手段と、前記イメージ信号サンプリング手段
により得られた複数の特定位相の各イメージ信号
をデイスプレイに表示する位置に対応させて夫々
の位置信号を、前記同期走査信号発生手段および
一定領域走査信号発生手段からデイスプレイへ出
力される走査信号に重畳させる走査信号重畳手段
と、前記サンプリングされた複数のイメージ信号
を表示するデイスプレイ表示手段とからなり、複
数の特定位相のサンプリングの各サンプリング期
間ごとに被観察対象とデイスプレイとを同期して
走査し、各特定位相ごとの被観察対象の一定領域
のイメージをデイスプレイの異なる位置に同時並
行して表示することを特徴としている。
ており、前記繰り返し現象に同期した高速走査を
行ないつつ走査線単位で複数の位相のイメージ信
号を夫々サンプリングし、各位相のイメージ信号
に対応するデイスプレイの位置に夫々表示するこ
とにより複数の特定位相の画像を同時に表示でき
る点に着目して、上記問題点を解決することを目
的としている。そのため、本発明のスキヤンライ
ン型動的観察装置は、一定周期で高速に変化する
被観察対象から取得したイメージ信号から一定周
期中の特定位相のものを順次サンプリングして特
定位相の画像を得るスキヤンライン型動的観察装
置において、被観察対象からのイメージ信号を前
記一定周期より十分に短い一定時間幅のサンプリ
ングを同一周期内で複数回行うイメージ信号サン
プリング手段と、該イメージ信号サンプリング手
段における各一定時間幅のサンプリング期間に被
観察対象とデイスプレイとを夫々同期して走査す
る走査信号を発生する同期走査信号発生手段と、
被観察対象の一定領域にわたつてデイスプレイと
同期して前記同期走査信号発生手段とにより面走
査する信号を発生する一定領域走査信号発生手段
と、前記同期走査信号発生手段と同期して被観察
対象の一定領域にわたるイメージ信号のみがデイ
スプレイに表示されるようにサンプリング期間外
にデイスプレイをブランキングする一定領域表示
制御手段と、前記イメージ信号サンプリング手段
により得られた複数の特定位相の各イメージ信号
をデイスプレイに表示する位置に対応させて夫々
の位置信号を、前記同期走査信号発生手段および
一定領域走査信号発生手段からデイスプレイへ出
力される走査信号に重畳させる走査信号重畳手段
と、前記サンプリングされた複数のイメージ信号
を表示するデイスプレイ表示手段とからなり、複
数の特定位相のサンプリングの各サンプリング期
間ごとに被観察対象とデイスプレイとを同期して
走査し、各特定位相ごとの被観察対象の一定領域
のイメージをデイスプレイの異なる位置に同時並
行して表示することを特徴としている。
前記構成によれば走査線単位で複数の特定位相
のイメージ信号を被観察対象の同一繰り返し周期
内でサンプリングし、デイスプレイに同時表示す
るため、本発明の目的とする複数の位相の画像を
同時に観察できる。
のイメージ信号を被観察対象の同一繰り返し周期
内でサンプリングし、デイスプレイに同時表示す
るため、本発明の目的とする複数の位相の画像を
同時に観察できる。
(D) 発明の実施例
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。第１図に本発明に係るスキヤンライン型動的
観察装置の概念の１例を示し、第２図に従来の動
的観察装置の概念を示す。
る。第１図に本発明に係るスキヤンライン型動的
観察装置の概念の１例を示し、第２図に従来の動
的観察装置の概念を示す。
第１図、第２図において、１，９は観察対象に
供給する繰り返しドライブ信号、２−１，２−
２，２−３，２−４，…ブラツキング信号、１０
−１，１０−２，…はサンプリングパルス、３−
１，３−２，３−３，３−４，…，１１は水平走
査信号、４は垂直走査信号、５−１，５−２，５
−３，５−４，…６−１，６−２，６−３，６−
４，…はデイスプレイ表示位置切換信号、７は被
観察対象の水平走査線の順序、８はデイスプレイ
（CRT）の多位相表示位置である。
供給する繰り返しドライブ信号、２−１，２−
２，２−３，２−４，…ブラツキング信号、１０
−１，１０−２，…はサンプリングパルス、３−
１，３−２，３−３，３−４，…，１１は水平走
査信号、４は垂直走査信号、５−１，５−２，５
−３，５−４，…６−１，６−２，６−３，６−
４，…はデイスプレイ表示位置切換信号、７は被
観察対象の水平走査線の順序、８はデイスプレイ
（CRT）の多位相表示位置である。
従来は、第２図に示す如く、被観察対象に供給
する繰り返しドライブ信号９の１周期毎に、特定
の同一位相９−１，９−２，９−３，９−４，…
に対応する位置に、サンプリングパルス１０−
１，１０−２，１０−３，１０−４，…を夫々送
出し、これらのサンプリングパルスによつて被観
察対象からのイメージ信号（画像信号）を抽出
し、デイスプレイ（CRT）１２の１水平走査線
上に、順次輝点表示を、第２図のCRT１２に示
すように行なつていた。そして同様に、第２番
目、第３番目…の水平走査線上に順次輝点表示を
行なうことにより、特定位相の静止画像を得てい
た。このため、水平走査信号１１の周期は、被観
察対象に供給する繰り返し制御信号９の周期に比
してきわめて長いことを必要とする。さもない
と、１水平走査線内に十分なイメージ信号の輝点
を得ることができなくなるからである。
する繰り返しドライブ信号９の１周期毎に、特定
の同一位相９−１，９−２，９−３，９−４，…
に対応する位置に、サンプリングパルス１０−
１，１０−２，１０−３，１０−４，…を夫々送
出し、これらのサンプリングパルスによつて被観
察対象からのイメージ信号（画像信号）を抽出
し、デイスプレイ（CRT）１２の１水平走査線
上に、順次輝点表示を、第２図のCRT１２に示
すように行なつていた。そして同様に、第２番
目、第３番目…の水平走査線上に順次輝点表示を
行なうことにより、特定位相の静止画像を得てい
た。このため、水平走査信号１１の周期は、被観
察対象に供給する繰り返し制御信号９の周期に比
してきわめて長いことを必要とする。さもない
と、１水平走査線内に十分なイメージ信号の輝点
を得ることができなくなるからである。
一方本発明は、第１図に示す如く、水平走査信
号３−１，３−２，３−３，３−４，…の周期
が、被観察対象に供給される繰り返しドライブ信
号１の周期に比しきわめて短い点で、従来の概念
と異なるとともに、上記ドライブ信号１の１周期
の期間内に複数の特定位相のイメージ信号を夫々
サンプリングし、デイスプレイに同時表示するこ
とができる点も、従来のものとは異る。以下に、
本発明の動作を説明する。
号３−１，３−２，３−３，３−４，…の周期
が、被観察対象に供給される繰り返しドライブ信
号１の周期に比しきわめて短い点で、従来の概念
と異なるとともに、上記ドライブ信号１の１周期
の期間内に複数の特定位相のイメージ信号を夫々
サンプリングし、デイスプレイに同時表示するこ
とができる点も、従来のものとは異る。以下に、
本発明の動作を説明する。
第１図において、被観察対象に供給する繰り返
しドライブ信号１の複数の特定位相で、一定時間
幅を有するサンプリング信号２−１，２−２，２
−３，２−４により被観察対象からのイメージ信
号（画像信号）を夫々サンプリングする。これら
のサンプリング信号２−１，２−２，２−３，２
−４の１定時間幅で、被観察対象の観察領域を第
１図ロに示す如く、順次高速水平走査を繰り返
す。一方、デイスプレイ（CRT）８の水平走査
は、水平走査信号３−１，３−２，３−３，３−
４，…に、各位相に対応した水平方向位置信号５
−２，５−４あるいは５−１，５−３の一定レベ
ルの矩形波信号を重畳することにより、第１図ハ
の、又は、のいずれかの位置を選択して
水平方向に走査する。被観察対象７の垂直方向の
走査は、垂直方向走査信号４により、垂直方向に
走査される。デイスプレイの垂直方向の走査は、
上記垂直方向走査信号４に、各位相に対応した垂
直方向位置信号６−２，６−４あるいは６−１，
６−３の一１定レベルの短形波信号を重畳するこ
とにより、第１図ハの、又は、のいずれ
かの位置を選択して、垂直方向に走査する。そし
て、デイスプレイにサンプリングされた夫々のイ
メージ信号を表示することにより、第１図ハに示
すように、デイスプレイ上の、、および
の位置に異る位相の画像が同時に得られる。
しドライブ信号１の複数の特定位相で、一定時間
幅を有するサンプリング信号２−１，２−２，２
−３，２−４により被観察対象からのイメージ信
号（画像信号）を夫々サンプリングする。これら
のサンプリング信号２−１，２−２，２−３，２
−４の１定時間幅で、被観察対象の観察領域を第
１図ロに示す如く、順次高速水平走査を繰り返
す。一方、デイスプレイ（CRT）８の水平走査
は、水平走査信号３−１，３−２，３−３，３−
４，…に、各位相に対応した水平方向位置信号５
−２，５−４あるいは５−１，５−３の一定レベ
ルの矩形波信号を重畳することにより、第１図ハ
の、又は、のいずれかの位置を選択して
水平方向に走査する。被観察対象７の垂直方向の
走査は、垂直方向走査信号４により、垂直方向に
走査される。デイスプレイの垂直方向の走査は、
上記垂直方向走査信号４に、各位相に対応した垂
直方向位置信号６−２，６−４あるいは６−１，
６−３の一１定レベルの短形波信号を重畳するこ
とにより、第１図ハの、又は、のいずれ
かの位置を選択して、垂直方向に走査する。そし
て、デイスプレイにサンプリングされた夫々のイ
メージ信号を表示することにより、第１図ハに示
すように、デイスプレイ上の、、および
の位置に異る位相の画像が同時に得られる。
第３図に、本発明に係るスキヤンライン型動的
観察装置の１実施例の構成を示す。
観察装置の１実施例の構成を示す。
第３図において、EOS３０は、走査型電子顕
微鏡（以下SEMという。）の電子光学系を表わ
し、電子銃から放射された電子（〜30KV位）を
磁界型レンズにより縮小し、その縮小された微小
電子線スポツトを被観察対象（SAMPLE）３１
に結像する役割を果たしている。EOS３０は、
真空中に保持される。１５，１５′および１８，
１８′は夫々水平走査コイルおよび垂直走査コイ
ルである。以下に動作を説明する。
微鏡（以下SEMという。）の電子光学系を表わ
し、電子銃から放射された電子（〜30KV位）を
磁界型レンズにより縮小し、その縮小された微小
電子線スポツトを被観察対象（SAMPLE）３１
に結像する役割を果たしている。EOS３０は、
真空中に保持される。１５，１５′および１８，
１８′は夫々水平走査コイルおよび垂直走査コイ
ルである。以下に動作を説明する。
マスタOSC１３からのクロツクが分周回路３
４に入力され、1/2N（Ｎは分周段数）に分周さ
れ、その出力は、ドライブ信号発生器３５に供給
される。ドライブ信号発生器３５は、第１図１に
示すように、マスタOSC１３に同期した正弦波
を発生し、励磁コイル３７を介して、被観察対象
であるSAMPLE３１に、正弦波の磁束を供給す
る。尚、必要に応じて三角波、矩形波も用いられ
る。
４に入力され、1/2N（Ｎは分周段数）に分周さ
れ、その出力は、ドライブ信号発生器３５に供給
される。ドライブ信号発生器３５は、第１図１に
示すように、マスタOSC１３に同期した正弦波
を発生し、励磁コイル３７を介して、被観察対象
であるSAMPLE３１に、正弦波の磁束を供給す
る。尚、必要に応じて三角波、矩形波も用いられ
る。
SAMPLE３１は、EOS３０により、微小電子
線スポツトで照射されている。電子線スポツトに
より照射されたSAMPLE３１は、２次電子、反
射電子、Ｘ線など種々の信号を放出する。ここで
は、特に磁性材料の磁区観察などに有効な背面散
乱電子を、シリコンデイテクタSiD３２により検
出し、プリアンプ２８により増幅し、その出力信
号をデイスプレイCRT３９の輝度変調用端子２
４に供給している。前記の例では輝度変調が用い
られているけれども、必要に応じ、垂直走査信号
に重畳し、振幅変調することも可能である。
線スポツトで照射されている。電子線スポツトに
より照射されたSAMPLE３１は、２次電子、反
射電子、Ｘ線など種々の信号を放出する。ここで
は、特に磁性材料の磁区観察などに有効な背面散
乱電子を、シリコンデイテクタSiD３２により検
出し、プリアンプ２８により増幅し、その出力信
号をデイスプレイCRT３９の輝度変調用端子２
４に供給している。前記の例では輝度変調が用い
られているけれども、必要に応じ、垂直走査信号
に重畳し、振幅変調することも可能である。
マスタOSC１３からのクロツクは、水平走査
信号発生器Ｈ１４に入力される。又、マスタ
OSC１３からのクロツクは、分周回路１６によ
り分周され、垂直走査信号発生器Ｖ１７に入力さ
れる。それらの出力電流、例えば第１図Ｃの水平
同期走査信号及び第１図Ｄの垂直同期走査信号
は、マスタOSC１３に同期しており、増幅器２
９あるいは２８を通り、夫々EOS３０および
CRT３９の水平走査コイルＨ１５，１５′あるい
は垂直走査コイルＶ１８，１８′に供給され、電
子線スポツトを夫々水平走査および垂直走査す
る。
信号発生器Ｈ１４に入力される。又、マスタ
OSC１３からのクロツクは、分周回路１６によ
り分周され、垂直走査信号発生器Ｖ１７に入力さ
れる。それらの出力電流、例えば第１図Ｃの水平
同期走査信号及び第１図Ｄの垂直同期走査信号
は、マスタOSC１３に同期しており、増幅器２
９あるいは２８を通り、夫々EOS３０および
CRT３９の水平走査コイルＨ１５，１５′あるい
は垂直走査コイルＶ１８，１８′に供給され、電
子線スポツトを夫々水平走査および垂直走査す
る。
マスタOSC１３からのクロツクは、ブラツキ
ング信号を発生させるために、カウンタ１９に入
力され、ドライブ信号発生器３５からのドライブ
開始信号３６により毎回RESETされ、その後計
数を開始する。その計数された値は、PROM２
０のアドレスに入力され、その書き込まれたデー
タに応じた種々のブラツキング用の信号、例えば
第１図Ｂに示されるブラツキング信号、を出力す
る。位相切換器２１により特定された位相のブラ
ツキング信号は、ブラツキング制御部２２に入力
され、その出力はCRT３９の端子２３に供
給され、CRT３９の輝度のブラツキングを行な
う。又、前記カウンタ１９により計数された値
は、PROM２５のアドレスに入力される。
ング信号を発生させるために、カウンタ１９に入
力され、ドライブ信号発生器３５からのドライブ
開始信号３６により毎回RESETされ、その後計
数を開始する。その計数された値は、PROM２
０のアドレスに入力され、その書き込まれたデー
タに応じた種々のブラツキング用の信号、例えば
第１図Ｂに示されるブラツキング信号、を出力す
る。位相切換器２１により特定された位相のブラ
ツキング信号は、ブラツキング制御部２２に入力
され、その出力はCRT３９の端子２３に供
給され、CRT３９の輝度のブラツキングを行な
う。又、前記カウンタ１９により計数された値
は、PROM２５のアドレスに入力される。
CRT３９に複数の特定位相の像を夫々の位置
に表示するためのバイアス（シフト）を与えるた
めに、例えば第１図Ｅ，Ｆに示すような値をもつ
てPROMに書き込んでおき、PROM２５のデー
タ出力を多位相表示切換スイツチ２６により、例
えば前記第１図Ｅ，Ｆに示すデジタル出力を選択
し、出力する。該出力された水平走査用重畳信号
および垂直走査用重畳信号であるデータは、夫々
DAコンバータ２７−１，２７−２に入力され、
アナログ量に変換されて夫々水平走査用増幅器２
９あるいは垂直走査用増幅器２８に入力され、そ
して夫々の走査信号に重畳される。
に表示するためのバイアス（シフト）を与えるた
めに、例えば第１図Ｅ，Ｆに示すような値をもつ
てPROMに書き込んでおき、PROM２５のデー
タ出力を多位相表示切換スイツチ２６により、例
えば前記第１図Ｅ，Ｆに示すデジタル出力を選択
し、出力する。該出力された水平走査用重畳信号
および垂直走査用重畳信号であるデータは、夫々
DAコンバータ２７−１，２７−２に入力され、
アナログ量に変換されて夫々水平走査用増幅器２
９あるいは垂直走査用増幅器２８に入力され、そ
して夫々の走査信号に重畳される。
以上の構成により、今マスタOSC１３の周波
数をとする。被観察対象であるSAMPLE３１
は、／2Nの周波数で同期して磁化される。EOS
の水平走査は、に同期して高速走査され、
CRTの水平走査はに同期しかつ多位相表示切
換器２６で選択されたデイスプレイの所定位置に
順次高速走査される。EOSの垂直走査は、／
2Mに同期してSAMPLEを順次走査され、CRTの
垂直走査は、／2Mに同期しかつ多位相表示切換
器２６で選択されたデイスプレイの所定位置に順
次走査される。それにより、デイスプレイ３９に
は、位相切換器２１により選択された複数の特定
位相のイメージ像が同時表示されることになる。
数をとする。被観察対象であるSAMPLE３１
は、／2Nの周波数で同期して磁化される。EOS
の水平走査は、に同期して高速走査され、
CRTの水平走査はに同期しかつ多位相表示切
換器２６で選択されたデイスプレイの所定位置に
順次高速走査される。EOSの垂直走査は、／
2Mに同期してSAMPLEを順次走査され、CRTの
垂直走査は、／2Mに同期しかつ多位相表示切換
器２６で選択されたデイスプレイの所定位置に順
次走査される。それにより、デイスプレイ３９に
は、位相切換器２１により選択された複数の特定
位相のイメージ像が同時表示されることになる。
尚、４位相を同時表示したデイスプレイの表示
例を第１図ハに示し、第１図イのＡ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ，Ｅ，Ｆに各信号波形を示す。同様にPROM
２０，２５の内容に８位相同時表示等の値を書き
込めば、その同時多位表示がなされるものであ
る。又、本発明は繰り返し現象に比し、特定位相
の複数の画像を得る装置に関するものであり、
SEMに限られることなく、粒子線、光子ビーム、
超音波ビームなどを利用した走査装置及びTV撮
影装置によつても適用され得るものである。
例を第１図ハに示し、第１図イのＡ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ，Ｅ，Ｆに各信号波形を示す。同様にPROM
２０，２５の内容に８位相同時表示等の値を書き
込めば、その同時多位表示がなされるものであ
る。又、本発明は繰り返し現象に比し、特定位相
の複数の画像を得る装置に関するものであり、
SEMに限られることなく、粒子線、光子ビーム、
超音波ビームなどを利用した走査装置及びTV撮
影装置によつても適用され得るものである。
(E) 発明の効果
以上説明した如く、本発明によれば、繰り返し
現象に同期した高速走査を行ないつつ、任意位相
のイメージ信号を走査線単位で複数サンプリング
して、夫々デイスプレイに表示し、特定位相の複
数の画像を同時に観察することができる効果があ
る。特に、従来困難であつた数Hzから1KHzにつ
いての動的状態の任意位相の画像を容易に得ら
れ、かつ、特定の１位相の画像を得るのと同一時
間内に、他の位相の画像もあわせて得られ、しか
も同時に多位相観察可能とする大なる効果があ
る。
現象に同期した高速走査を行ないつつ、任意位相
のイメージ信号を走査線単位で複数サンプリング
して、夫々デイスプレイに表示し、特定位相の複
数の画像を同時に観察することができる効果があ
る。特に、従来困難であつた数Hzから1KHzにつ
いての動的状態の任意位相の画像を容易に得ら
れ、かつ、特定の１位相の画像を得るのと同一時
間内に、他の位相の画像もあわせて得られ、しか
も同時に多位相観察可能とする大なる効果があ
る。
第１図は本発明に係るスキヤンライン型多位相
同時観察装置の概念図、第２図は従来のサンプリ
ング法の概念図、第３図は本発明の１実施例の構
成図である。 図中、１，９はドライブ信号、２−１，２−
２，……はCRTのブラツキング信号、３−１，
３−２，……はCRT及びEOSの水平同期信号、
４はCRT及びEOSの垂直同期走査信号、５−１，
５−２，５−３，５−４，……はCRT画面の水
平方向移動信号、６−１，６−２，６−３，６−
４，……はCRT画面の垂直方向移動信号、１０
−１，１０−２……は従来のサンプリング信号、
１１は従来の水平走査信号、１５，１５′は夫々
EOSあるいはCRTの水平走査コイル、１８，１
８′は夫々EOSあるいはCRTの垂直走査コイル、
２１はブラツキング信号の位相切換SW、２６は
多位相表示切換SW、３０は電子光学系（EOS）、
３２はシリコンデイテクタSiD、３１は
SAMPLE、３７……励磁コイルである。
同時観察装置の概念図、第２図は従来のサンプリ
ング法の概念図、第３図は本発明の１実施例の構
成図である。 図中、１，９はドライブ信号、２−１，２−
２，……はCRTのブラツキング信号、３−１，
３−２，……はCRT及びEOSの水平同期信号、
４はCRT及びEOSの垂直同期走査信号、５−１，
５−２，５−３，５−４，……はCRT画面の水
平方向移動信号、６−１，６−２，６−３，６−
４，……はCRT画面の垂直方向移動信号、１０
−１，１０−２……は従来のサンプリング信号、
１１は従来の水平走査信号、１５，１５′は夫々
EOSあるいはCRTの水平走査コイル、１８，１
８′は夫々EOSあるいはCRTの垂直走査コイル、
２１はブラツキング信号の位相切換SW、２６は
多位相表示切換SW、３０は電子光学系（EOS）、
３２はシリコンデイテクタSiD、３１は
SAMPLE、３７……励磁コイルである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一定周期で高速に変化する被観察対象から取
得したイメージ信号から一定周期中の特定位相の
ものを順次サンプリングして特定位相の画像を得
るスキヤンライン型動的観察装置において、 被観察対象からのイメージ信号を前記一定周期
より十分に短い一定時間幅のサンプリングを同一
周期内で複数回行うイメージ信号サンプリング手
段と、該イメージ信号サンプリング手段における
各一定時間幅のサンプリング期間に被観察対象と
デイスプレイとを夫々同期して走査する走査信号
を発生する同期走査信号発生手段と、被観察対象
の一定領域にわたつてデイスプレイと同期して前
記同期走査信号発生手段とにより面走査する信号
を発生する一定領域走査信号発生手段と、前記同
期走査信号発生手段と同期して被観察対象の一定
領域にわたるイメージ信号のみがデイスプレイに
表示されるようにサンプリング期間外にデイスプ
レイをブランキングする一定領域表示制御手段２
０〜２２と、前記イメージ信号サンプリング手段
により得られた複数の特定位相の各イメージ信号
をデイスプレイに表示する位置に対応させて夫々
の位置信号を、前記同期走査信号発生手段および
一定領域走査信号発生手段からデイスプレイへ出
力される走査信号に重畳させる走査信号重畳手段
２５〜２９と、前記サンプリングされた複数のイ
メージ信号を表示するデイスプレイ表示手段とか
らなり、 複数の特定位相のサンプリングの各サンプリン
グ期間ごとに被観察対象とデイスプレイとを同期
して走査し、各特定位相ごとの被観察対象の一定
領域のイメージをデイスプレイの異なる位置に同
時並行して表示することを特徴とするスキヤンラ
イン型動的観察装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056696A JPS59182371A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | スキャンライン型動的観察装置 |
| CA000447362A CA1208763A (en) | 1983-03-31 | 1984-02-14 | Scan line type dynamic observation apparatus |
| EP84300963A EP0121309B1 (en) | 1983-03-31 | 1984-02-15 | Scan line type dynamic observation apparatus |
| DE8484300963T DE3482154D1 (de) | 1983-03-31 | 1984-02-15 | Dynamisches zeilenraster-beobachtungsgeraet. |
| US06/818,391 US4713687A (en) | 1983-03-31 | 1986-01-13 | Scan line type dynamic observation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58056696A JPS59182371A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | スキャンライン型動的観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59182371A JPS59182371A (ja) | 1984-10-17 |
| JPH0423376B2 true JPH0423376B2 (ja) | 1992-04-22 |
Family
ID=13034616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58056696A Granted JPS59182371A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | スキャンライン型動的観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59182371A (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5340073B2 (ja) * | 1972-09-30 | 1978-10-25 | ||
| JPS5275262A (en) * | 1975-12-19 | 1977-06-24 | Jeol Ltd | Scanning electronic microscope |
| US4258480A (en) * | 1978-08-04 | 1981-03-31 | Famolare, Inc. | Running shoe |
| JPS57196465A (en) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | Nichidenshi Tekunikusu:Kk | Scanning electron microscope |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP58056696A patent/JPS59182371A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59182371A (ja) | 1984-10-17 |
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