JPH0575236A - 金属張り積層板のエツチング装置 - Google Patents
金属張り積層板のエツチング装置Info
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- JPH0575236A JPH0575236A JP23356891A JP23356891A JPH0575236A JP H0575236 A JPH0575236 A JP H0575236A JP 23356891 A JP23356891 A JP 23356891A JP 23356891 A JP23356891 A JP 23356891A JP H0575236 A JPH0575236 A JP H0575236A
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチング処理により回路形成される金属張り
積層板の面内バラツキと表裏バラツキの差を小さくする
金属張り積層板のエッチング装置を提供する。 【構成】長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔１を
設けた複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張り積
層板３の通過方向と略平行に配列する。この複数本のエ
ッチング液スプレイ管２を金属張り積層板３の通過部４
の上側にはエッチング液噴射孔１が下向きになるよう
に、下側にはエッチング液噴射孔１が上向きになるよう
に上下に配設する。個々のエッチング液スプレイ管２に
圧力調整バルブ５を設ける。個々のスプレイ圧力を圧力
調整バルブ５で調整して金属張り積層板３の中央部に位
置するエッチング液スプレイ管２のスプレイ圧力を高め
るようにすることにより金属張り積層板３へのエッチン
グ液の作用を均一化することができる。
積層板の面内バラツキと表裏バラツキの差を小さくする
金属張り積層板のエッチング装置を提供する。 【構成】長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔１を
設けた複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張り積
層板３の通過方向と略平行に配列する。この複数本のエ
ッチング液スプレイ管２を金属張り積層板３の通過部４
の上側にはエッチング液噴射孔１が下向きになるよう
に、下側にはエッチング液噴射孔１が上向きになるよう
に上下に配設する。個々のエッチング液スプレイ管２に
圧力調整バルブ５を設ける。個々のスプレイ圧力を圧力
調整バルブ５で調整して金属張り積層板３の中央部に位
置するエッチング液スプレイ管２のスプレイ圧力を高め
るようにすることにより金属張り積層板３へのエッチン
グ液の作用を均一化することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属張り積層板に回路
形式を行うためのエッチング装置に関するものである。
形式を行うためのエッチング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】銅張り積層板など金属張り積層板３にエ
ッチング液７を塗布して回路形式を行うために用いられ
るエッチング装置は図２のように形成されており、
（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側
面断面図を表している。すなわち長手方向の複数箇所に
エッチング液噴射孔１を設けた複数本のエッチング液ス
プレイ管２を金属張り積層板３の通過方向と略平行に配
列し、この複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張
り積層板３の通過部４の上側にはエッチング液噴射孔１
が下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔１
が上向きになるように上下に配設してエッチング装置が
形成されている。また上記の上側の複数本のエッチング
液スプレイ管２に１箇所、下側の複数本のエッチング液
スプレイ管２に１箇所それぞれ圧力調整バルブ５が設け
られており、エッチング液スプレイ管２へのエッチング
液７の供給圧力が調整できるようになっている。そして
この上下のエッチング液スプレイ管２の間にはコロコン
ベア６が２段に設けてあり、金属張り積層板３はエッチ
ング槽８の入口９でこの上下のコロコンベア６に挟まれ
る形でモーターによって回転するコロコンベア６により
出口１０まで搬送されると共に、上下のエッチング液ス
プレイ管２から塩化銅、塩化鉄、アルカリなどで形成さ
れるエッチング液７を金属張り積層板３に噴射させるこ
とによって、金属張り積層板３の表裏の銅箔などの金属
箔をエッチング処理し回路形式を行うものである。
ッチング液７を塗布して回路形式を行うために用いられ
るエッチング装置は図２のように形成されており、
（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側
面断面図を表している。すなわち長手方向の複数箇所に
エッチング液噴射孔１を設けた複数本のエッチング液ス
プレイ管２を金属張り積層板３の通過方向と略平行に配
列し、この複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張
り積層板３の通過部４の上側にはエッチング液噴射孔１
が下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔１
が上向きになるように上下に配設してエッチング装置が
形成されている。また上記の上側の複数本のエッチング
液スプレイ管２に１箇所、下側の複数本のエッチング液
スプレイ管２に１箇所それぞれ圧力調整バルブ５が設け
られており、エッチング液スプレイ管２へのエッチング
液７の供給圧力が調整できるようになっている。そして
この上下のエッチング液スプレイ管２の間にはコロコン
ベア６が２段に設けてあり、金属張り積層板３はエッチ
ング槽８の入口９でこの上下のコロコンベア６に挟まれ
る形でモーターによって回転するコロコンベア６により
出口１０まで搬送されると共に、上下のエッチング液ス
プレイ管２から塩化銅、塩化鉄、アルカリなどで形成さ
れるエッチング液７を金属張り積層板３に噴射させるこ
とによって、金属張り積層板３の表裏の銅箔などの金属
箔をエッチング処理し回路形式を行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記エッチング装置で
は、圧力調整バルブ５が上下の複数のエッチング液スプ
レイ管２にそれぞれ１箇所ずつ設けられているだけであ
るので、上側の各エッチング液スプレイ管２のスプレイ
圧力はすべて同じであり、また下側の各エッチング液ス
プレイ管２のスプレイ圧力もすべて同じであり、各エッ
チング液スプレイ管２から金属張り積層板３にスプレイ
されるエッチング液７の量はほぼ等しい。このために金
属張り積層板３が大きいと金属張り積層板３の中央部に
スプレイされたエッチング液７は、金属張り積層板３の
中央部から金属張り積層板３の端部へ流れることによっ
て端部のエッチング処理レベルが大きくなり、部分的に
エッチング処理レベルの面内バラツキの差が生じる。し
かも金属張り積層板３の上面に噴射されるエッチング液
７は滞留するが下面に噴射されるエッチング液７は滞留
しないので、上面のほうがエッチング液７に接触する時
間が長くなり表裏のエッチング処理レベルのバラツキの
差が大きくなる。また金属張り積層板３が薄いと、上述
のように上面のエッチング処理レベルが下面のそれより
も大きくなるので、上面に残る回路形成部は下面に残る
回路形成部よりも少なくなるために金属張り積層板３の
層構成が非対称になって金属張り積層板３は下に凸のよ
うに反りが発生しやすくなると共に、さらに金属張り積
層板３の上面にエッチング液７の溜まりができやすくな
ってエッチング仕上がりの表裏バラツキの差がさらに大
きくなるという種々の問題があった。
は、圧力調整バルブ５が上下の複数のエッチング液スプ
レイ管２にそれぞれ１箇所ずつ設けられているだけであ
るので、上側の各エッチング液スプレイ管２のスプレイ
圧力はすべて同じであり、また下側の各エッチング液ス
プレイ管２のスプレイ圧力もすべて同じであり、各エッ
チング液スプレイ管２から金属張り積層板３にスプレイ
されるエッチング液７の量はほぼ等しい。このために金
属張り積層板３が大きいと金属張り積層板３の中央部に
スプレイされたエッチング液７は、金属張り積層板３の
中央部から金属張り積層板３の端部へ流れることによっ
て端部のエッチング処理レベルが大きくなり、部分的に
エッチング処理レベルの面内バラツキの差が生じる。し
かも金属張り積層板３の上面に噴射されるエッチング液
７は滞留するが下面に噴射されるエッチング液７は滞留
しないので、上面のほうがエッチング液７に接触する時
間が長くなり表裏のエッチング処理レベルのバラツキの
差が大きくなる。また金属張り積層板３が薄いと、上述
のように上面のエッチング処理レベルが下面のそれより
も大きくなるので、上面に残る回路形成部は下面に残る
回路形成部よりも少なくなるために金属張り積層板３の
層構成が非対称になって金属張り積層板３は下に凸のよ
うに反りが発生しやすくなると共に、さらに金属張り積
層板３の上面にエッチング液７の溜まりができやすくな
ってエッチング仕上がりの表裏バラツキの差がさらに大
きくなるという種々の問題があった。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であって、金属張り積層板のエッチング仕上がりレベル
の面内バラツキと表裏バラツキの差を小さくすることが
できる金属張り積層板のエッチング装置を提供すること
を目的とする。
であって、金属張り積層板のエッチング仕上がりレベル
の面内バラツキと表裏バラツキの差を小さくすることが
できる金属張り積層板のエッチング装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】長手方向の複数箇所にエ
ッチング液噴射孔１を設けた複数本のエッチング液スプ
レイ管２を金属張り積層板３の通過方向と略平行に配列
し、この複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張り
積層板３の通過部４の上側にはエッチング液噴射孔１が
下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔１が
上向きになるように上下に配設すると共に、個々のエッ
チング液スプレイ管２すべてに圧力調整バルブ５を設け
て成ることを特徴とする。
ッチング液噴射孔１を設けた複数本のエッチング液スプ
レイ管２を金属張り積層板３の通過方向と略平行に配列
し、この複数本のエッチング液スプレイ管２を金属張り
積層板３の通過部４の上側にはエッチング液噴射孔１が
下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔１が
上向きになるように上下に配設すると共に、個々のエッ
チング液スプレイ管２すべてに圧力調整バルブ５を設け
て成ることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は、個々のエッチング液スプレイ管２に
設けた圧力調整バルブ５で金属張り積層板３の中央部に
位置するエッチング液スプレイ管２の圧力を端部に位置
するエッチング液スプレイ管２の圧力よりも高めるよう
に、各エッチング液スプレイ管２の圧力を調整すること
によって、金属張り積層板３へのエッチング液７の作用
を全面に亙って均一化することができる。
設けた圧力調整バルブ５で金属張り積層板３の中央部に
位置するエッチング液スプレイ管２の圧力を端部に位置
するエッチング液スプレイ管２の圧力よりも高めるよう
に、各エッチング液スプレイ管２の圧力を調整すること
によって、金属張り積層板３へのエッチング液７の作用
を全面に亙って均一化することができる。
【０００７】
【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。図１
は金属張り積層板３のエッチング処理を行うエッチング
槽８を示しており、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面
断面図、（ｃ）は側面断面図を表している。エッチング
槽８内には長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔１
を設けた複数本のエッチング液スプレイ管２を図１
（ａ）、（ｂ）のように金属張り積層板３の通過方向と
略平行に配列し、この複数本のエッチング液スプレイ管
２を図１（ｂ）のように金属張り積層板３の通過部４の
上側にはエッチング液噴射孔１が下向きになるように、
下側にはエッチング液噴射孔１が上向きになるように上
下に配設すると共に、個々のエッチング液スプレイ管２
に圧力調整バルブ５を設けてエッチング装置が形成され
ている。この上下のエッチング液スプレイ管２の間には
図１（ｂ），（ｃ）のようにコロコンベア６を金属張り
積層板３のエッチング槽８の入口９から出口１０まで設
けて上記通過部４を形成するようにしてあると共に、こ
のエッチング槽８の底部には使用済みのエッチング液を
溜めて回収できるように形成してある排泄部１１を設け
ている。エッチング液７はエッチング液供給パイプ１２
から各エッチング液スプレイ管２に分岐パイプ１３を介
して導かれるようにしてある。各分岐パイプ１３には圧
力調整バルブ５及び圧力計１４がそれぞれ設けてある。
各圧力調整バルブ５でエッチング液７の供給圧力を調整
することによって、エッチング液７の流量を調整すると
共に各エッチング液スプレイ管２に送られエッチング液
噴射孔１から金属張り積層板３にスプレイされるエッチ
ング液７のスプレイ量を調整することができるものであ
る。。
は金属張り積層板３のエッチング処理を行うエッチング
槽８を示しており、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面
断面図、（ｃ）は側面断面図を表している。エッチング
槽８内には長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔１
を設けた複数本のエッチング液スプレイ管２を図１
（ａ）、（ｂ）のように金属張り積層板３の通過方向と
略平行に配列し、この複数本のエッチング液スプレイ管
２を図１（ｂ）のように金属張り積層板３の通過部４の
上側にはエッチング液噴射孔１が下向きになるように、
下側にはエッチング液噴射孔１が上向きになるように上
下に配設すると共に、個々のエッチング液スプレイ管２
に圧力調整バルブ５を設けてエッチング装置が形成され
ている。この上下のエッチング液スプレイ管２の間には
図１（ｂ），（ｃ）のようにコロコンベア６を金属張り
積層板３のエッチング槽８の入口９から出口１０まで設
けて上記通過部４を形成するようにしてあると共に、こ
のエッチング槽８の底部には使用済みのエッチング液を
溜めて回収できるように形成してある排泄部１１を設け
ている。エッチング液７はエッチング液供給パイプ１２
から各エッチング液スプレイ管２に分岐パイプ１３を介
して導かれるようにしてある。各分岐パイプ１３には圧
力調整バルブ５及び圧力計１４がそれぞれ設けてある。
各圧力調整バルブ５でエッチング液７の供給圧力を調整
することによって、エッチング液７の流量を調整すると
共に各エッチング液スプレイ管２に送られエッチング液
噴射孔１から金属張り積層板３にスプレイされるエッチ
ング液７のスプレイ量を調整することができるものであ
る。。
【０００８】金属張り積層板３は前工程を終えてエッチ
ング槽８へ導入される際に、エッチング槽８の入口９で
上下のコロコンベア６に挟まれる形でモーターによって
回転するコロコンベア６により出口１０まで搬送され
る。この搬送される間に上下のエッチング液スプレイ管
２から金属張り積層板３にエッチング液７がスプレイさ
れ、金属張り積層板３の表裏の銅箔などの金属箔をエッ
チング処理して、回路形成することができるものであ
る。スプレイされた使用済みエッチング液７はエッチン
グ槽８底部の排泄部１１に溜められ、回収される。
ング槽８へ導入される際に、エッチング槽８の入口９で
上下のコロコンベア６に挟まれる形でモーターによって
回転するコロコンベア６により出口１０まで搬送され
る。この搬送される間に上下のエッチング液スプレイ管
２から金属張り積層板３にエッチング液７がスプレイさ
れ、金属張り積層板３の表裏の銅箔などの金属箔をエッ
チング処理して、回路形成することができるものであ
る。スプレイされた使用済みエッチング液７はエッチン
グ槽８底部の排泄部１１に溜められ、回収される。
【０００９】上記のようにエッチング液スプレイ管２か
らエッチング液７をスプレイするにあたって、各圧力調
整バルブ５を調整して金属張り積層板３の中央部に位置
するエッチング液スプレイ管２の供給圧力を端部の供給
圧力よりも高めると、金属張り積層板３にスプレイされ
るエッチング液７の量は中央部ほど多く端部ほど少なく
なるために、中央部のエッチング処理レベルが端部のエ
ッチング処理レベルよりも大きくなる。しかし中央部に
スプレイされたエッチング液７は、金属張り積層板３の
中央部から金属張り積層板３の端部へ流れることによっ
て端部のエッチング処理レベルが大きくなり、中央部と
端部のエッチング処理レベルをほぼ同程度にすることが
できることになる。このようにして金属張り積層板３の
エッチング処理レベルの面内バランスの差を１５μｍ以
下に抑えることができるものである。また金属張り積層
板３の上面にスプレイされるエッチング液７は滞留する
が下面にスプレイされるエッチング液７は滞留しないの
で、上面のほうがエッチング液７に接触する時間が長く
なり表裏のエッチング処理レベルのバラツキの差が大き
くなる。そこで金属張り積層板３の上面にスプレイする
エッチング液スプレイ管２の供給圧力を低く下面にスプ
レイするエッチング液スプレイ管２の供給圧力を高くす
ると、上面にスプレイするエッチング液７の量は少なく
下面にスプレイするエッチング液７の量は多くなるので
金属張り積層板３の両面に滞留するエッチング液７の滞
留時間をほぼ同じにすることができる。このようにして
金属張り積層板３のエッチング処理レベルの表裏バラン
スの差を１０μｍ以下にすることができるものである。
上記のようにして金属張り積層板３のエッチング処理レ
ベルの表裏バランスの差を１０μｍ以下にすることがで
きるものであり、金属張り積層板３が薄い場合でも上面
に残る回路形成部と下面に残る回路形成部の層構成をほ
ぼ対称にすることができ、金属張り積層板３が下に凸の
ように反りが発生したりさらに金属張り積層板３の上面
にエッチング液７溜まりができるという問題が解決され
る。
らエッチング液７をスプレイするにあたって、各圧力調
整バルブ５を調整して金属張り積層板３の中央部に位置
するエッチング液スプレイ管２の供給圧力を端部の供給
圧力よりも高めると、金属張り積層板３にスプレイされ
るエッチング液７の量は中央部ほど多く端部ほど少なく
なるために、中央部のエッチング処理レベルが端部のエ
ッチング処理レベルよりも大きくなる。しかし中央部に
スプレイされたエッチング液７は、金属張り積層板３の
中央部から金属張り積層板３の端部へ流れることによっ
て端部のエッチング処理レベルが大きくなり、中央部と
端部のエッチング処理レベルをほぼ同程度にすることが
できることになる。このようにして金属張り積層板３の
エッチング処理レベルの面内バランスの差を１５μｍ以
下に抑えることができるものである。また金属張り積層
板３の上面にスプレイされるエッチング液７は滞留する
が下面にスプレイされるエッチング液７は滞留しないの
で、上面のほうがエッチング液７に接触する時間が長く
なり表裏のエッチング処理レベルのバラツキの差が大き
くなる。そこで金属張り積層板３の上面にスプレイする
エッチング液スプレイ管２の供給圧力を低く下面にスプ
レイするエッチング液スプレイ管２の供給圧力を高くす
ると、上面にスプレイするエッチング液７の量は少なく
下面にスプレイするエッチング液７の量は多くなるので
金属張り積層板３の両面に滞留するエッチング液７の滞
留時間をほぼ同じにすることができる。このようにして
金属張り積層板３のエッチング処理レベルの表裏バラン
スの差を１０μｍ以下にすることができるものである。
上記のようにして金属張り積層板３のエッチング処理レ
ベルの表裏バランスの差を１０μｍ以下にすることがで
きるものであり、金属張り積層板３が薄い場合でも上面
に残る回路形成部と下面に残る回路形成部の層構成をほ
ぼ対称にすることができ、金属張り積層板３が下に凸の
ように反りが発生したりさらに金属張り積層板３の上面
にエッチング液７溜まりができるという問題が解決され
る。
【００１０】
【発明の効果】本発明は上述のように、長手方向の複数
箇所にエッチング液噴射孔を設けた複数本のエッチング
液スプレイ管を金属張り積層板の通過方向と略平行に配
列し、この複数本のエッチング液スプレイ管を金属張り
積層板の通過部の上側にはエッチング液噴射孔が下向き
になるように、下側にはエッチング液噴射孔が上向きに
なるように上下に配設すると共に、個々のエッチング液
スプレイ管すべてに圧力調整バルブを設けてたので、各
圧力調整バルブで個々のスプレイ管の圧力を調節するこ
とにより金属張り積層板の中央部に位置するスプレイ管
の圧力を高めて端部と中央部のエッチング仕上がりレベ
ルの差を抑え、面内バラツキを抑えることができ、また
金属張り積層板の層構成が非対称になって生じる反を抑
制して金属張り積層板の表裏のエッチング処理レベルの
バラツキを抑えることができるものである。
箇所にエッチング液噴射孔を設けた複数本のエッチング
液スプレイ管を金属張り積層板の通過方向と略平行に配
列し、この複数本のエッチング液スプレイ管を金属張り
積層板の通過部の上側にはエッチング液噴射孔が下向き
になるように、下側にはエッチング液噴射孔が上向きに
なるように上下に配設すると共に、個々のエッチング液
スプレイ管すべてに圧力調整バルブを設けてたので、各
圧力調整バルブで個々のスプレイ管の圧力を調節するこ
とにより金属張り積層板の中央部に位置するスプレイ管
の圧力を高めて端部と中央部のエッチング仕上がりレベ
ルの差を抑え、面内バラツキを抑えることができ、また
金属張り積層板の層構成が非対称になって生じる反を抑
制して金属張り積層板の表裏のエッチング処理レベルの
バラツキを抑えることができるものである。
【図１】本発明の一実施例を示すものであり、（ａ）は
上面断面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側面断面図
である。
上面断面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側面断面図
である。
【図２】従来の一例を示すものであり、（ａ）は上面断
面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側面断面図であ
る。
面図、（ｂ）は正面断面図、（ｃ）は側面断面図であ
る。
１ エッチング液噴射孔 ２ エッチング液スプレイ管 ３ 金属張り積層板 ４ 通過部 ５ 圧力調整バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔
を設けた複数本のエッチング液スプレイ管を金属張り積
層板の通過方向と略平行に配列し、この複数本のエッチ
ング液スプレイ管を金属張り積層板の通過部の上側には
エッチング液噴射孔が下向きになるように、下側にはエ
ッチング液噴射孔が上向きになるように上下に配設する
と共に、個々のエッチング液スプレイ管すべてに圧力調
整バルブを設けて成ることを特徴とする金属張り積層板
のエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23356891A JPH0575236A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 金属張り積層板のエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23356891A JPH0575236A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 金属張り積層板のエツチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0575236A true JPH0575236A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16957115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23356891A Withdrawn JPH0575236A (ja) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | 金属張り積層板のエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0575236A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100314624B1 (ko) * | 1999-03-05 | 2001-11-15 | 이형도 | 인쇄회로기판의 양면 에칭 두께 조정장치 |
| EP1168899A4 (en) * | 2000-01-11 | 2004-12-08 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | PCB MANUFACTURING DEVICE AND PCB MANUFACTURING THEREFOR |
| CN116614954A (zh) * | 2023-05-31 | 2023-08-18 | 湖北金禄科技有限公司 | 充电桩厚铜板及其制作工艺 |
-
1991
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