JPH057572B2 - - Google Patents
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- JPH057572B2 JPH057572B2 JP62139320A JP13932087A JPH057572B2 JP H057572 B2 JPH057572 B2 JP H057572B2 JP 62139320 A JP62139320 A JP 62139320A JP 13932087 A JP13932087 A JP 13932087A JP H057572 B2 JPH057572 B2 JP H057572B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spring
- molded body
- pressure
- laser beam
- spring pressure
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
- F16F15/06—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs
- F16F15/073—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs using only leaf springs
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Springs (AREA)
- Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は、磁気デイスクヘツド組立部材とされ
る金属薄板を成形したばね成形体、例えば片持梁
構成のスライダ支持をなす負荷ばね成形体、の圧
力調整方法に係り、レーザ光をばね長さ方向と直
交する方向に走査処理することによつて生ずる熱
応力による曲げ変形（塑性）を利用しこれをばね
圧力の調整に適用するものである。
る金属薄板を成形したばね成形体、例えば片持梁
構成のスライダ支持をなす負荷ばね成形体、の圧
力調整方法に係り、レーザ光をばね長さ方向と直
交する方向に走査処理することによつて生ずる熱
応力による曲げ変形（塑性）を利用しこれをばね
圧力の調整に適用するものである。
本発明は、例えば磁気デイスク用磁気ヘツドの
組立部材とされるスライダ支持のヘツド支持ばね
等のばね成形体に適用して有効なレーザ光による
ばね圧力調整方法に関す。
組立部材とされるスライダ支持のヘツド支持ばね
等のばね成形体に適用して有効なレーザ光による
ばね圧力調整方法に関す。
〔従来の技術〕
磁気ヘツドのばね圧力調整方法を第６図の斜視
図により説明する。
図により説明する。
図において、金属薄板より成形されたヘツド支
持ばね２５は、ばね板厚が0.3mm前後のステンレ
ス鋼ばねを打ち抜き成形されたもので、その自由
端２６は磁気ヘツド２７が装着され、また成形さ
れたヘツド支持ばね２５の他端は螺子固定端２８
である。
持ばね２５は、ばね板厚が0.3mm前後のステンレ
ス鋼ばねを打ち抜き成形されたもので、その自由
端２６は磁気ヘツド２７が装着され、また成形さ
れたヘツド支持ばね２５の他端は螺子固定端２８
である。
螺子固定端２８はばね圧力調整治具３２のブロ
ツク２９に固着され、またばね圧力調整治具３２
の磁気ヘツド２７が当接するばね自由端は、ヘツ
ド支持ばね２５の圧力検出用の歪ゲージ３０が設
けられる。図中、３１はばね圧力を支承する歪ゲ
ージ３０の出力表示器である。即ち、ばね圧力治
具３２のブロツク２９にその一端が固定された片
持梁構成のヘツド支持ばね２５は、ばねの自由端
側に装着された歪ゲージ３０によつてその圧力が
検出される。
ツク２９に固着され、またばね圧力調整治具３２
の磁気ヘツド２７が当接するばね自由端は、ヘツ
ド支持ばね２５の圧力検出用の歪ゲージ３０が設
けられる。図中、３１はばね圧力を支承する歪ゲ
ージ３０の出力表示器である。即ち、ばね圧力治
具３２のブロツク２９にその一端が固定された片
持梁構成のヘツド支持ばね２５は、ばねの自由端
側に装着された歪ゲージ３０によつてその圧力が
検出される。
検出されるばね圧力は、素材ばねの加工条件や
板厚の変動、打ち抜き成形後における寸法上のバ
ラツキに起因して変動する。特に、素材ばねの板
厚が薄くかつばね弾性値が高いステンレス鋼ばね
等のばね成形体にあつては、成形後におけるばね
圧力の変動が大きく、このためヘツド組立の一段
階において、次の如きばね調整がされていた。
板厚の変動、打ち抜き成形後における寸法上のバ
ラツキに起因して変動する。特に、素材ばねの板
厚が薄くかつばね弾性値が高いステンレス鋼ばね
等のばね成形体にあつては、成形後におけるばね
圧力の変動が大きく、このためヘツド組立の一段
階において、次の如きばね調整がされていた。
ばね成形体のばね圧力が所定の値より大きい
時、ばねの螺子固定端２８と自由端側のヘツド支
持端２６間の適宜位置３８において、図示矢印３
３の方向にそつて裏面側からばねを押し上げて強
制的に塑性変形せしめてヘツド支持端側の圧力を
減ずる。
時、ばねの螺子固定端２８と自由端側のヘツド支
持端２６間の適宜位置３８において、図示矢印３
３の方向にそつて裏面側からばねを押し上げて強
制的に塑性変形せしめてヘツド支持端側の圧力を
減ずる。
これとは反対にばね圧力が所定値より小さい時
は、図示矢印３４に沿つてばねを強制形に押し下
げて、ばねを塑性変形させてヘツド支持端のばね
圧力を増加することが行われていた。
は、図示矢印３４に沿つてばねを強制形に押し下
げて、ばねを塑性変形させてヘツド支持端のばね
圧力を増加することが行われていた。
かようなばね成形体２５に対するばね圧力調整
方法は、多分に作業者の熟練あるいは勘に頼る部
分が多く、目的とするばね圧力調整の精度が不安
定である他、調整作業の工数が増大するという問
題がある。特に、近時、磁気ヘツドの浮上スライ
ダ負荷ばねとして使用されるばね素材は、ばね弾
性値が高く然も板厚さが極めて薄い素材を用いて
いるため、これを成形するヘツド支持ばね等にあ
つては、過酷な設計基準を満たすべき安定でかつ
信頼度の高い高精度のばね圧力調整方法が要請さ
れていた。
方法は、多分に作業者の熟練あるいは勘に頼る部
分が多く、目的とするばね圧力調整の精度が不安
定である他、調整作業の工数が増大するという問
題がある。特に、近時、磁気ヘツドの浮上スライ
ダ負荷ばねとして使用されるばね素材は、ばね弾
性値が高く然も板厚さが極めて薄い素材を用いて
いるため、これを成形するヘツド支持ばね等にあ
つては、過酷な設計基準を満たすべき安定でかつ
信頼度の高い高精度のばね圧力調整方法が要請さ
れていた。
第１図は本発明のばね圧力調整方法原理図であ
る。本発明によれば、 金属薄板ばねより成形されたばね成形体１の長
さ方向端部が固定端３とされ、またばね成形体１
の他端の自由端に歪ゲージ１０を当接させたばね
圧力調整治具上に配置せしめたばね成形体１の前
記固定端３と自由端２間において、 ばね成形体１の表裏何れか面に長さ方向と直交
する方向にそつて照射する集束された適宜エネル
ギー密度のレーザ光４または４′を走査させて、
走査面側のばね表面を塑性変形させるようにした
ばね圧力の調整方法である。
る。本発明によれば、 金属薄板ばねより成形されたばね成形体１の長
さ方向端部が固定端３とされ、またばね成形体１
の他端の自由端に歪ゲージ１０を当接させたばね
圧力調整治具上に配置せしめたばね成形体１の前
記固定端３と自由端２間において、 ばね成形体１の表裏何れか面に長さ方向と直交
する方向にそつて照射する集束された適宜エネル
ギー密度のレーザ光４または４′を走査させて、
走査面側のばね表面を塑性変形させるようにした
ばね圧力の調整方法である。
ばね成形体の長さ方向と直交する方向にそつて
レーザ光を走査するばね圧力調整方法を第２図ａ
と同図ｂ、及びレーザ光によるばねの塑性変形特
性を示す第３図ａと同図ｂのばね成形体の基本的
ばね曲げ特性によつて説明する。
レーザ光を走査するばね圧力調整方法を第２図ａ
と同図ｂ、及びレーザ光によるばねの塑性変形特
性を示す第３図ａと同図ｂのばね成形体の基本的
ばね曲げ特性によつて説明する。
第２図ａは、ばね成形体１に対し線状走査線に
従つて光径φのスポツト４を照射した場合であ
り、走査したばね成形体表面は急激に温度上昇
し、熱膨張が生ずるため、該照射時は上方に凸状
態に曲がる。
従つて光径φのスポツト４を照射した場合であ
り、走査したばね成形体表面は急激に温度上昇
し、熱膨張が生ずるため、該照射時は上方に凸状
態に曲がる。
然し、ａ図状態のままで照射を止めればばね成
形体表面部は急速に冷却され、周辺よりの熱応力
によりａ図とは逆方向の同ｂ図のような塑性変形
を生ずる。同ｂ図に示される角度はθは、レーザ
光の照射停止後のばね成形体の曲がり角度であ
る。
形体表面部は急速に冷却され、周辺よりの熱応力
によりａ図とは逆方向の同ｂ図のような塑性変形
を生ずる。同ｂ図に示される角度はθは、レーザ
光の照射停止後のばね成形体の曲がり角度であ
る。
第３図は第２図で説明したレーザ光の走査によ
るばねの塑性変形特性を、ばね圧力調整手段とし
て応用するため行つた総括的実験データである。
但し、計測に併用せるばね素材は、日本工業標準
規格で指定されるステンレス鋼（SUS−304）の
平板状ばねの板厚さ0.3mmの素材を用い、素材表
面を走査する板材の幅部寸法は長さ10mmである。
るばねの塑性変形特性を、ばね圧力調整手段とし
て応用するため行つた総括的実験データである。
但し、計測に併用せるばね素材は、日本工業標準
規格で指定されるステンレス鋼（SUS−304）の
平板状ばねの板厚さ0.3mmの素材を用い、素材表
面を走査する板材の幅部寸法は長さ10mmである。
同図ａは、ばね成形体の幅方向寸法間を単走査
した時、微細な調整がされた単位面積mm2当たりの
光照射エネルギ密度（図の横軸、Joule／mm2単位）
に対するばねの曲がり角度θ（図の縦軸；degree
単位）の関係特性である。
した時、微細な調整がされた単位面積mm2当たりの
光照射エネルギ密度（図の横軸、Joule／mm2単位）
に対するばねの曲がり角度θ（図の縦軸；degree
単位）の関係特性である。
第３図ｂは光スポツトの走査回数（図の横軸）
とばねの曲がり角度θ（図の縦軸、単位；
degree）の関係特性図である。
とばねの曲がり角度θ（図の縦軸、単位；
degree）の関係特性図である。
但しｂ図の各特性に併記する数値は、光照射エ
ネルギのパラメータであり、レーザ光４のスポツ
ト径φ（第２図ａ）が0.3と0.4mmの二種類、及び、
速度40P／sec.で連続的に照射する単パルスの時
間0.2ms中に含まれる光エネルギの熱換算仕事当
量値とされるジユール（Joule）の熱当量パラメ
ータＪ／Ｐ（0.144，0.075と0.02の三種類）であ
る。
ネルギのパラメータであり、レーザ光４のスポツ
ト径φ（第２図ａ）が0.3と0.4mmの二種類、及び、
速度40P／sec.で連続的に照射する単パルスの時
間0.2ms中に含まれる光エネルギの熱換算仕事当
量値とされるジユール（Joule）の熱当量パラメ
ータＪ／Ｐ（0.144，0.075と0.02の三種類）であ
る。
以下、第１図の原理図ならびに本発明のレーザ
光照射装置実施例とする第４図の装置側面図と、
第５図に示されるばね圧力検出制御のフロートチ
ヤートに従つて本発明を詳細に説明する。
光照射装置実施例とする第４図の装置側面図と、
第５図に示されるばね圧力検出制御のフロートチ
ヤートに従つて本発明を詳細に説明する。
第１図において、圧力調整治具３２に装着され
たばね成形体１の長さ方向端部が固定端３、また
他方の自由端側がヘツド支持端２とされる片持梁
構成ばねは、原理図にあるように該ばね成形体１
を挟み上下両面側に一対の照射ユニツト７と８が
配置される。該照射ユニツト７と８は照射ユニツ
ト駆動部１１により矢印２１方向に走査（第４図
では、ばねの長さ方向の直交する図の前後方向に
走査）される。
たばね成形体１の長さ方向端部が固定端３、また
他方の自由端側がヘツド支持端２とされる片持梁
構成ばねは、原理図にあるように該ばね成形体１
を挟み上下両面側に一対の照射ユニツト７と８が
配置される。該照射ユニツト７と８は照射ユニツ
ト駆動部１１により矢印２１方向に走査（第４図
では、ばねの長さ方向の直交する図の前後方向に
走査）される。
第４図のレーザ光照射装置は、レーザ光発振器
１３と、発振レーザ光を表裏両面に配分するそれ
ぞれの反射器１６（ハーフミラー１６）と全反射
器１７と、これら反射器１６，１７の光を開閉す
るシヤツタ機構部９，９′よりなる光制御部１４
と、及び光制御部１４から光ケーブル６を介して
接続された集束レンズ内蔵の照射ユニツト７，８
からなる。
１３と、発振レーザ光を表裏両面に配分するそれ
ぞれの反射器１６（ハーフミラー１６）と全反射
器１７と、これら反射器１６，１７の光を開閉す
るシヤツタ機構部９，９′よりなる光制御部１４
と、及び光制御部１４から光ケーブル６を介して
接続された集束レンズ内蔵の照射ユニツト７，８
からなる。
ハーフミラー１６からのレーザ光は、シヤツタ
機構部９、光ケーブル６を経て照射ユニツト７よ
り導出された光スポツト４は、ばね成形体１の表
面側に集束される。
機構部９、光ケーブル６を経て照射ユニツト７よ
り導出された光スポツト４は、ばね成形体１の表
面側に集束される。
他方、全反射器１７、シヤツタ機構部９′、光
ケーブル６を経て接続された照射ユニツト８より
導出された光スポツト４′は、ばね成形体１の裏
面側に集束される。
ケーブル６を経て接続された照射ユニツト８より
導出された光スポツト４′は、ばね成形体１の裏
面側に集束される。
然して、ばね成形体１の表面もしくは裏面へ照
射する光スポツト４または４′の切替えは、ばね
圧力センサの歪ゲージ１０よりの検出圧力レベル
が、大きいか小さいかを判別するばね圧力検出制
御部１２によつて行われるが、具体的にはシヤツ
タ９，９′の開閉駆動部１８により行われる。
射する光スポツト４または４′の切替えは、ばね
圧力センサの歪ゲージ１０よりの検出圧力レベル
が、大きいか小さいかを判別するばね圧力検出制
御部１２によつて行われるが、具体的にはシヤツ
タ９，９′の開閉駆動部１８により行われる。
開閉駆動部１８によるシヤツタ開閉は、例えば
９側のシヤツタが開の時は９′側シヤツタは閉と
なり、逆に９′側のシヤツタが開の時は９側のシ
ヤツタは閉となるような開閉制御が行われる。
９側のシヤツタが開の時は９′側シヤツタは閉と
なり、逆に９′側のシヤツタが開の時は９側のシ
ヤツタは閉となるような開閉制御が行われる。
ばね圧力検出制御部１２は、予め、ばね成形体
の圧力基準値を含みその上下に圧力調整の上部許
容限界値と下部許容限界値とが設定され、そし
て、前述の上部ならびに下部の許容限界値を、歪
ゲージ１０の検出圧力と比較するためのコンパレ
ータを内蔵する。
の圧力基準値を含みその上下に圧力調整の上部許
容限界値と下部許容限界値とが設定され、そし
て、前述の上部ならびに下部の許容限界値を、歪
ゲージ１０の検出圧力と比較するためのコンパレ
ータを内蔵する。
歪ゲージ１０よりの検出圧力が、上部・下部の
許容限界値間にあれば、もちろんばね圧力調整は
完了したことになる。しかし、歪ゲージ１０の検
出圧力が、例えば上部許容限界を上回れば、ばね
圧力検出制御部１２よりシャツタ開閉の開閉駆動
部１８に信号が送られ、シヤツタ９が開放される
と同時に、照射ユニツト７から光スポツト４が照
射されるによつてばね圧力が軽減される。
許容限界値間にあれば、もちろんばね圧力調整は
完了したことになる。しかし、歪ゲージ１０の検
出圧力が、例えば上部許容限界を上回れば、ばね
圧力検出制御部１２よりシャツタ開閉の開閉駆動
部１８に信号が送られ、シヤツタ９が開放される
と同時に、照射ユニツト７から光スポツト４が照
射されるによつてばね圧力が軽減される。
他方、歪ゲージ１０の検出圧力が、下部許容限
界を下回れば、ばね成形体１の裏面側の照射ユニ
ツト８による光スポツト４′が照射されることに
なり、その結果としてばね圧力が強められる。
界を下回れば、ばね成形体１の裏面側の照射ユニ
ツト８による光スポツト４′が照射されることに
なり、その結果としてばね圧力が強められる。
シヤツタ開閉駆動の前記信号は、照射ユニツト
駆動部１１にも送られ、ばね成形体１の幅方向ば
ね端間を交互に往復せしめる光スポツト４、また
は４′の走査がされる。
駆動部１１にも送られ、ばね成形体１の幅方向ば
ね端間を交互に往復せしめる光スポツト４、また
は４′の走査がされる。
前述のばね圧力検出制御部１２による制御過程
は、第５図に示されるフローチヤートを参照すれ
ば更に明瞭となる。尚、フローチヤートの判断信
号や処理信号に併記された右上の番号は、第４図
実施例図との相対的な比較対応が容易となるよう
に同図の要部制御装置に記されたと同じ引用番号
である。
は、第５図に示されるフローチヤートを参照すれ
ば更に明瞭となる。尚、フローチヤートの判断信
号や処理信号に併記された右上の番号は、第４図
実施例図との相対的な比較対応が容易となるよう
に同図の要部制御装置に記されたと同じ引用番号
である。
図示フローチヤートにおいて、調整開始とは、
ばね成形体１に対するばね圧力調整制御のための
初期条件の設定や、レーザ光発振器１３に対する
照射パルス幅、パルス繰り返し速度等レーザ光加
工に必要とする照射エネルギ条件の設定をなす段
階である。
ばね成形体１に対するばね圧力調整制御のための
初期条件の設定や、レーザ光発振器１３に対する
照射パルス幅、パルス繰り返し速度等レーザ光加
工に必要とする照射エネルギ条件の設定をなす段
階である。
初期条件が設定された後は、圧力検出の歪ゲー
ジ１０による検出出力が適正になるまで、即ち、
検出圧力が予め設定された上部・下部の許容限界
値の間に入るまで図示“ばね圧力？”に始まりシ
ヤツタの開閉駆動、レーザ照射開始、ユニツト駆
動（照射ユニツトによる光スポツトの走査）
ON，OFF、レーザ照射停止に至るまでの各段階
を単動作サイクルとするレーザ光の走査が繰り返
される。そして、歪ゲージ１０による検出出力が
適正となれば、ばね圧力調整が終了したことにな
る。
ジ１０による検出出力が適正になるまで、即ち、
検出圧力が予め設定された上部・下部の許容限界
値の間に入るまで図示“ばね圧力？”に始まりシ
ヤツタの開閉駆動、レーザ照射開始、ユニツト駆
動（照射ユニツトによる光スポツトの走査）
ON，OFF、レーザ照射停止に至るまでの各段階
を単動作サイクルとするレーザ光の走査が繰り返
される。そして、歪ゲージ１０による検出出力が
適正となれば、ばね圧力調整が終了したことにな
る。
予め設定される上部・下部の許容限界値は、例
えば前記ヘツド支持ばねにおいて、設計基準値が
30〓とすれば、30±2.5％程度の許容限界値が設
定される。
えば前記ヘツド支持ばねにおいて、設計基準値が
30〓とすれば、30±2.5％程度の許容限界値が設
定される。
以上、本発明のレーザ光照射によるばね圧力調
整方法によれば、ばね圧力調整治具に装着された
ばね成形体に対して、ばね自由端側に当接するよ
うに配置された歪ゲージの検出圧力によつて、成
形ばね体の表裏面に微細なエネルギ制御が容易な
レーザ光を走査することによるばね体の熱変形を
用いるため、ばね圧力の調整が精度よくかつ短時
間に然も、自動的に施行されることになる。
整方法によれば、ばね圧力調整治具に装着された
ばね成形体に対して、ばね自由端側に当接するよ
うに配置された歪ゲージの検出圧力によつて、成
形ばね体の表裏面に微細なエネルギ制御が容易な
レーザ光を走査することによるばね体の熱変形を
用いるため、ばね圧力の調整が精度よくかつ短時
間に然も、自動的に施行されることになる。
第１図は本発明のばね圧力調整方法原理図、第
２図ａはばね成形体に対しレーザ光照射時のばね
変形図、同図ｂはレーザ光照射後のばね変形図、
第３図はレーザ光によるばね塑性変形特性図、同
図ａはエネルギ密度と曲がり角度の関係特性図、
同図ｂは走査回数と曲がり角度の関係特性図、第
４図は本発明のレーザ光照射装置実施例図（装置
側面図）、第５図はばね圧力検出制御のフローチ
ヤート、第６図は従来のばね圧力調整方法を説明
する図（斜視図）である。 図中、１と２５はばね成形体、２と２６はばね
自由端（ヘツド支持端）、３と２８は固定端、４
はレーザ光または光スポツト、６は光ケーブル、
７と８はばね成形体１の表面または裏面側の照射
ユニツト、９と９′はシヤツタ、１０と３０は歪
ゲージ、１１は７，８の駆動部、１２は圧力検出
制御部、１４は光制御部、及び３２はばね圧力調
整治具である。
２図ａはばね成形体に対しレーザ光照射時のばね
変形図、同図ｂはレーザ光照射後のばね変形図、
第３図はレーザ光によるばね塑性変形特性図、同
図ａはエネルギ密度と曲がり角度の関係特性図、
同図ｂは走査回数と曲がり角度の関係特性図、第
４図は本発明のレーザ光照射装置実施例図（装置
側面図）、第５図はばね圧力検出制御のフローチ
ヤート、第６図は従来のばね圧力調整方法を説明
する図（斜視図）である。 図中、１と２５はばね成形体、２と２６はばね
自由端（ヘツド支持端）、３と２８は固定端、４
はレーザ光または光スポツト、６は光ケーブル、
７と８はばね成形体１の表面または裏面側の照射
ユニツト、９と９′はシヤツタ、１０と３０は歪
ゲージ、１１は７，８の駆動部、１２は圧力検出
制御部、１４は光制御部、及び３２はばね圧力調
整治具である。
Claims (1)
- １ 金属薄板ばね素材より成形されたばね成形体
１の長さ方向の一端を固定端３としてばね圧力調
整治具３２上に固定され、また他端側のばね自由
端２に歪ゲージ１０を当接せしめたばね成形体１
の固定端３とばね自由端２の間に表裏何れか面に
長さ方向と直交する方向にそつて集束された適宜
エネルギ密度のレーザ光４を走査し、該走査の面
を塑性変形せしめることを特徴とするレーザ光に
よるばね圧力調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62139320A JPS63303237A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | レ−ザ光によるばね圧力調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62139320A JPS63303237A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | レ−ザ光によるばね圧力調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63303237A JPS63303237A (ja) | 1988-12-09 |
| JPH057572B2 true JPH057572B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15242563
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP62139320A Granted JPS63303237A (ja) | 1987-06-03 | 1987-06-03 | レ−ザ光によるばね圧力調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63303237A (ja) |
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-
1987
- 1987-06-03 JP JP62139320A patent/JPS63303237A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63303237A (ja) | 1988-12-09 |
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