JPH057773Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、基部に厚み寸法の異なる薄部を持つ
圧電振動子に関する。

［従来の技術］ 圧電振動子を多量に、精度良く加工するために
フオトリソグラフイー法によるエツチング加工が
ある。近年、小型化の進む中でこの圧電振動子を
振動部だけではなく、振動にはほとんど関与しな
い基部をも一体に成形している。そして基部に振
動部からのエネルギーを伝播させないことが圧電
振動子の特性向上にとつて大切である。そのため
に基部の一部に透孔等を設けて伝播させない方法
を取つている。

しかしながら、透孔を設けると基部へのエネル
ギーの伝播は激減して特性は向上するが、機械的
強度が弱くなる欠点を有していた。

［考案が解決しようとする問題点］ 本考案は、基部へのエネルギーの伝播を防ぐと
共に、機械的強度をも改善した圧電振動子であ
る。

［本考案の構成］ 本考案の構成は、回転Ｙ板をＸ軸を中心にθ度
回転した水晶板を用い、振動部と基部から成りフ
オトリソグラフイー法によるエツチング加工で一
体成形する圧電振動子において、該基部の少なく
とも一部分に厚み寸法の異なる薄部のZ′軸方向の
該薄部の寸法ｌが厚み寸法ｔとしてｔ／tanθ以下
の圧電振動子である。

［作用及び実施例］ 第１図は、フオトリソグラフイー法によるエツ
チング加工で振動部１１と基部１２とを一体成形
した圧電振動子の内でも最もよく使用するATカ
ツト振動子１０の斜視図である。図の下は軸方向
を示す。

小型化のためにZ′軸に長手方向を取つた短冊形
であり、保持系との接続のために基部１２を設け
てある。そして基部１２の一部に厚み寸法の異な
る薄部１３を設けたものである。

第２図は、第１図の矢印の方向より見た薄部１
３の部分断面図であり、図の下は軸方向を示す。
回転Ｙ板をＸ軸を中心にＺ軸から角度θ回転した
もので、θは35度近傍のATカツトである。薄部
１３のZ′軸方向の長さ寸法ｌを、厚み寸法をｔと
してｔ／tanθより小さい値を選定すれば、第２図
のような薄部１３が得られ、大きい値を設定する
と透孔となる。

つまり、この薄部１３は軸方向によつてエツチ
ング速度の異なる点を利用したもので、エツチン
グ速度はＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸の順に進むため、ｌ寸
法を上記した値に設定すると、第２図に図示した
よいうにＳ字状に残り、厚み寸法の異なる薄部１
３となる。

第２図で示すようにATカツトの場合はエツチ
ングにより残る薄部の断面形状がＳ字状をなす
が、DTカツト等では薄部の部分断面形状がＺ字
状を成す。もちろん切断したZ′軸方向の長さ寸法
ｌが、Z′軸からの主面角度θとし、ｔ／tanθ以下
の条件を満たしていることが必要である。

本考案は、基部１２の少なくとも一部分に厚み
寸法の異なる薄部１３を設けたものであつて、こ
れらはフオトリソグラフイー法によるエツチング
加工で一体に成形するものであるから容易に設け
ることが出来た。これによつて従来、透孔によつ
てのみ特性を維持していたが、機械的な強度をも
増すことが出来、また振動部１１から基部１２へ
のエネルギーの伝播を基部１２の一部に設けた薄
部１３により十分防止することが出来、ATカツ
ト振動子１０の特性を維持することが出来た。

［本考案の効果］ 本考案は、振動部と基部から成りフオトリソグ
ラフイー法によるエツチング加工で一体成形する
圧電振動子の基部に、厚み寸法のことなる薄部を
設けたものであり、従来のような透孔ではないた
め、機械的強度を向上することが出来た。また、
振動部から基部へのエネルギーの伝播が、薄部に
より透孔と同様の効果を持ち圧電振動子の特性を
向上することが出来た。さらにこの薄部は、エツ
チング加工により圧電振動子の外形加工と同時に
行うものであるから、他の工数を要せずに簡単に
行うことが出来た。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の圧電振動子の斜視図、第２
図は、第１図の薄部の部分断面図である。 １０……圧電振動子、１１……振動部、１２…
…基部、１３……薄部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転Ｙ板をＸ軸を中心にθ度回転した水晶板を
   用い、振動部と基部から成りフオトリソグラフイ
   ー法によるエツチング加工で一体成形する圧電振
   動子において、該基部の少なくとも一部分に厚み
   寸法の異なる薄部のZ′軸方向の該薄部の寸法ｌが
   厚み寸法をｔとしてｔ／tanθ以下であることを特
   徴とする圧電振動子。