JPH0580172B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0580172B2 JPH0580172B2 JP61063672A JP6367286A JPH0580172B2 JP H0580172 B2 JPH0580172 B2 JP H0580172B2 JP 61063672 A JP61063672 A JP 61063672A JP 6367286 A JP6367286 A JP 6367286A JP H0580172 B2 JPH0580172 B2 JP H0580172B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cut
- damping
- vibrating
- inclination angle
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ATカツト振動子に関し、振動部と
減衰部とを一体成形し、小型化を果たしたATカ
ツト振動子に関する。
減衰部とを一体成形し、小型化を果たしたATカ
ツト振動子に関する。
［従来の技術］
ATカツト振動子は、従来円形のものを多く使
用していたが、小型化のため矩形状のものを使用
するようになつた。そして支持系の固着を振動子
端部で行つていた。しかしながら、このように直
接固着すると支持系での悪影響がATカツト振動
子に直接伝わるために、特性の劣化を招く虞があ
つた。
用していたが、小型化のため矩形状のものを使用
するようになつた。そして支持系の固着を振動子
端部で行つていた。しかしながら、このように直
接固着すると支持系での悪影響がATカツト振動
子に直接伝わるために、特性の劣化を招く虞があ
つた。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、ATカツト振動子を支持系へ固着す
る場合に支持系の影響を受けないようにしたAT
カツト振動子に関する。
る場合に支持系の影響を受けないようにしたAT
カツト振動子に関する。
［本発明の構成］
本発明の構成は、矩形状の振動部と減衰部とを
一体成形したATカツト振動子において、該振動
部長手の平行部と減衰部との傾斜角θを21°±7°
の範囲内にしたATカツト振動子である。
一体成形したATカツト振動子において、該振動
部長手の平行部と減衰部との傾斜角θを21°±7°
の範囲内にしたATカツト振動子である。
［作用及び実施例］
第１図は、本発明のATカツト振動子１０の平
面図である。中央部に矩形状の振動部１１を設
け、振動部長手方向をZ′軸に取つたものである。
振動部１１の端面からは長手方向に延びるに従い
短辺の幅寸法を狭く加工した減衰部１２がある。
そしてエネルギーを振動部１１にとじ込めるため
に、減衰部１２を設けている。本発明では、振動
部１１長手方向と減衰部１２との傾斜角θを21°
にしたものである。第２図は、傾斜θに対する
ATカツト振動子１０のCI値で下に凸状となり傾
斜角21°付近に最小値が存在し、21°±7°近辺が良
好な値であつた。振動部１１の長さ寸法L2、幅
寸法W1、ATカツト振動子の長さ寸法L1、減衰
部１２端面の幅寸法をW2とし、W2／W1は、0.55
〜0.75，L2／L1は0.70〜0.75近辺にとると、傾斜
角θに換算すると21°±7°となる。
面図である。中央部に矩形状の振動部１１を設
け、振動部長手方向をZ′軸に取つたものである。
振動部１１の端面からは長手方向に延びるに従い
短辺の幅寸法を狭く加工した減衰部１２がある。
そしてエネルギーを振動部１１にとじ込めるため
に、減衰部１２を設けている。本発明では、振動
部１１長手方向と減衰部１２との傾斜角θを21°
にしたものである。第２図は、傾斜θに対する
ATカツト振動子１０のCI値で下に凸状となり傾
斜角21°付近に最小値が存在し、21°±7°近辺が良
好な値であつた。振動部１１の長さ寸法L2、幅
寸法W1、ATカツト振動子の長さ寸法L1、減衰
部１２端面の幅寸法をW2とし、W2／W1は、0.55
〜0.75，L2／L1は0.70〜0.75近辺にとると、傾斜
角θに換算すると21°±7°となる。
本発明のATカツト振動子は、機械加工でも良
いが、フオトリソグラフイー法によるエツチング
加工で行うと寸法精度が良く、製造が容易とな
る。周波数範囲としては、10〜30MHz程度の基本
波である。また、減衰部１２の端部にサポートの
ための部材を同時に加工することも出来る。な
お、減衰部１２は小型化に不利にならない範囲で
長く伸ばしてもよい。
いが、フオトリソグラフイー法によるエツチング
加工で行うと寸法精度が良く、製造が容易とな
る。周波数範囲としては、10〜30MHz程度の基本
波である。また、減衰部１２の端部にサポートの
ための部材を同時に加工することも出来る。な
お、減衰部１２は小型化に不利にならない範囲で
長く伸ばしてもよい。
第３図、第４図は他の実施例を示すATカツト
振動子３０，４０の平面図である。第３図では、
振動部３１と減衰部３２との境界部分に凹部３３
を設けたものである。減衰部３２だけであるとエ
ネルギーとじ込めが十分でない場合に、凹部３３
によつて補おうとするものである。これによつて
ATカツト振動子３０の特性が向上した。傾斜角
θは、もちろん21°±7°に設定してある。
振動子３０，４０の平面図である。第３図では、
振動部３１と減衰部３２との境界部分に凹部３３
を設けたものである。減衰部３２だけであるとエ
ネルギーとじ込めが十分でない場合に、凹部３３
によつて補おうとするものである。これによつて
ATカツト振動子３０の特性が向上した。傾斜角
θは、もちろん21°±7°に設定してある。
第４図は、振動部４１と減衰部４２との境界部
分に透孔４４を設けたものである。機能的には、
第３図で示した凹部３３と同様に、エネルギーと
じ込めをより十分なものとするために設けている
ものである。これによつても、ATカツト振動子
４０の特性を向上することが出来た。
分に透孔４４を設けたものである。機能的には、
第３図で示した凹部３３と同様に、エネルギーと
じ込めをより十分なものとするために設けている
ものである。これによつても、ATカツト振動子
４０の特性を向上することが出来た。
第５図は、さらに他の実施例で第１図のATカ
ツト振動子１０をフオトリソグラフイー法による
エツチング加工で作成した場合に、減衰部５２の
端面は厳密には直線にはならずに曲線となる場合
もあるが、しかしこの場合であつても、振動部５
１と減衰部５２との傾斜角を仮想傾斜角θとして
近似する場合にも本発明の範囲内であり、また効
果も同様である。
ツト振動子１０をフオトリソグラフイー法による
エツチング加工で作成した場合に、減衰部５２の
端面は厳密には直線にはならずに曲線となる場合
もあるが、しかしこの場合であつても、振動部５
１と減衰部５２との傾斜角を仮想傾斜角θとして
近似する場合にも本発明の範囲内であり、また効
果も同様である。
［本発明の効果］
本発明は、矩形状の振動部と減衰部とを一体に
成形したATカツト振動子で、減衰部と振動部と
の傾斜角を21°近辺に設定したものであつて、こ
の傾斜角の狭い範囲内でATカツト振動子の特性
最善範囲が存在した。これによつて、全体の形状
が小型化した場合であつても、この傾斜角にする
ことによつて特性を改善することが出来た。な
お、幅寸法比W2／W1、長さ寸法比L2／L1の適度
な設定によりこの傾斜角を達成出来る。また、減
衰部と振動部との境界部分に凹部や透孔を設ける
ことにより、エネルギーを振動部に効率良くとじ
込めることも出来、さらに特性を向上することが
出来た。
成形したATカツト振動子で、減衰部と振動部と
の傾斜角を21°近辺に設定したものであつて、こ
の傾斜角の狭い範囲内でATカツト振動子の特性
最善範囲が存在した。これによつて、全体の形状
が小型化した場合であつても、この傾斜角にする
ことによつて特性を改善することが出来た。な
お、幅寸法比W2／W1、長さ寸法比L2／L1の適度
な設定によりこの傾斜角を達成出来る。また、減
衰部と振動部との境界部分に凹部や透孔を設ける
ことにより、エネルギーを振動部に効率良くとじ
込めることも出来、さらに特性を向上することが
出来た。
第１図、第３図、第４図、第５図は、本発明の
ATカツト振動子の平面図。第２図は、傾斜角に
対するIC値の図である。 １０，３０，４０，５０……ATカツト振動
子、１１，３１，４１，５１……振動部、１２，
３２，４２，５２……減衰部、θ……傾斜角。
ATカツト振動子の平面図。第２図は、傾斜角に
対するIC値の図である。 １０，３０，４０，５０……ATカツト振動
子、１１，３１，４１，５１……振動部、１２，
３２，４２，５２……減衰部、θ……傾斜角。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 矩形状の振動部と減衰部とを一体成形した
ATカツト振動子において、該振動部長手の平行
部と減衰部との傾斜角θを21°±7°の範囲内にし
たことを特徴とするATカツト振動子。 ２ 該振動部長手方向がZ′軸であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のATカツト振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367286A JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367286A JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62219708A JPS62219708A (ja) | 1987-09-28 |
| JPH0580172B2 true JPH0580172B2 (ja) | 1993-11-08 |
Family
ID=13236080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6367286A Granted JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62219708A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0389617A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Kinseki Ltd | オーバートーン水晶振動子 |
| JP2014007693A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、及び移動体 |
| JP6580921B2 (ja) * | 2014-11-27 | 2019-09-25 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
| JP6649747B2 (ja) * | 2014-12-26 | 2020-02-19 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5271188A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-14 | Seiko Epson Corp | Crystal resonator |
| JPS5461889A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Nippon Denpa Kogyo Kk | Thickness slip vibrator |
| JPS60194607A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | Toukiyouto | 圧電振動子 |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP6367286A patent/JPS62219708A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62219708A (ja) | 1987-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0468052B1 (en) | Structure for holding ultrathin plate piezoelectric resonator in package | |
| US4313071A (en) | Piezo-electric quartz resonator | |
| JP2001230655A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS6013608B2 (ja) | 厚みすべり圧電振動子 | |
| JP2000031781A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0580172B2 (ja) | ||
| US4926086A (en) | Piezoelectric resonator | |
| JPH04127709A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JPS6357967B2 (ja) | ||
| US5773912A (en) | Piezoelectric resonator including oscillation buffer materials | |
| JPH0246105Y2 (ja) | ||
| JP2003318697A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JPS60199211A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH046285B2 (ja) | ||
| JPH03235409A (ja) | 超薄板圧電共振子の固定部構造 | |
| JPS5828767B2 (ja) | 幅すべり振動子 | |
| JP2822647B2 (ja) | エネルギ閉じ込め厚みすべり振動子 | |
| JPS587702Y2 (ja) | 幅すべり結晶振動子 | |
| JPH0218595Y2 (ja) | ||
| JP2607668Y2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS6026870Y2 (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH02226907A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH043612A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0349467Y2 (ja) | ||
| JPS5827547Y2 (ja) | 結晶振動子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |