JPH0580826B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、真空中で部品の表面に処理を施す装
置の中に組込部品の移載装置に関するものであ
る。

従来例の構成とその問題点 従来の移載装置は第１図にその具体構成を示す
ように、開閉可能なゲートバルブ１，２で仕切ら
れた真空室３，４，５と、真空室４に設けられた
処理手段６と、部品７を取り付けて真空室間を搬
送する搬送パレツト８と、搬送パレツト８を支持
案内して直線的に搬送する駆動ローラー９からな
る搬送手段から構成され、その動作としては、真
空室３内にある搬送パレツト８上にある部品７は
真空室３と４が同真空度になつた後にゲートバル
ブ１が開き、真空室３と４の中にある駆動ローラ
ー９が回転して真空室３内の搬送パレツト８が部
品７をのせて移動し、真空室４の中に入り、定位
置で停止しゲートバルブ１は閉じる。真空室４内
に設けられた処理手段６によつて部品７に処理が
施され、処理を終わつた後にゲートバルブ２が開
かれ、次の真空室へと送られていく。

しかしながら、上記のような構成では、部品７
が搬送ハパレツト８の上にのつたまま処理される
ため、処理により発生する粉末や処理剤が搬送パ
レツト８に付着してしまい、清掃が毎回必要とな
り、自動連続化の大きな障害となつている。

また、搬送パレツト８の返送手段が必要であ
り、しかもパレツト数が多数必要となり、その結
果、大型化、複雑化するという欠点を有してい
た。さらに、処理室内にはローラー等の機構部が
設けられ、ゴミ等の付着が発生していた。

発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、部品をのせて工程間
を循環する搬送パレツト等の搬送手段を使わず
に、工程中の定位置に設けられた移載装置により
真空室間を受け渡していくことにより従来の問題
点であつた搬送パレツトの清掃等による連続自動
化への障害や、パレツト方式による設備の大型複
雑化、さらには、清掃度を必要とする部品に対す
るゴミ付着の問題を同時に解決することを目的と
するものである。

発明の構成 本発明の移載装置は、バルブで仕切られた、第
１の真空室と処理手段を備えた第２の真空室との
間で部品を移動させるための移載装置であつて、
Ｎ極磁石およびＳ極磁石を交互に順列させて備
え、かつ側面に歯部を有した板状のステータと、
前記ステータ上で一方に移動可能に載置され、前
記ステータの磁石に対向するようコイル部を備
え、その上面に部品を位置決め載置する可動台車
と、前記各真空室内に配され、前記ステータを支
持する複数の支持手段と、前記ステータを前記２
つの真空室間を移動させるために、前記ステータ
の歯部に噛み合い可能なピニオンを噛み合わせ、
このピニオンを伝達手段を介して回転駆動する駆
動源と、前記ステータ上の可動台車の位置決めを
行うために、前記可動台車に設けられたコイル部
に電流を供給する電源と、前記第２の真空室内に
配され、その真空室内に進入したステータ上の可
動台車上に載置された部品の保持およびその解除
を行う持ち上げアームとからなり、部品を２つの
真空室間を移載装置で直接送り、部品を第２の真
空室の所定位置に置いた後、移載装置は完全に第
２の真空室から逃げて第１の真空室へもどつてい
るため、部品に処理を施す際には、第２の真空室
内には搬送駆動系や搬送治具関係が全く泣く、周
辺への処理剤や粉末の付着後に落下して部品の清
掃度を損うことがなく、また、第２の真空室内の
清掃がほとんど必要なくなり、連続自動化に対し
て大きな効果を発揮する。

また、部品のゴミ等に対する品質の維持、さら
に設備の小型単純化が図られるという特有の効果
を有する。

実施例の説明 以下、本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。

第２図は本願発明の一実施例における移載装置
の平面図、第３図は同正面図である。

第２図および第３図において、３つの真空室１
０，１１，１２が接続されており、その接続部分
はゲートバルブ１６，１７により仕切られ可能に
構成され、真空室１０および真空室１２の両端に
接続される真空室（図示せず）とはゲートバルブ
１５，１８にて仕切られ可能に構成されている。
真空室１２は前室の部品１３が搬送されてきた部
品１３′に処理装置１４によつて処理を施すため
の処理装置でもある。

ステータ２０は、可動台車１９、電源装置３５
とともにリニアモーターとしての機構を構成す
る。

第４図はステータ２０の概略斜視図、第５図は
可動台車１９の概略斜視図、第６図は可動台車１
９がステータ２０上に載置された状態を示した断
面図である。

第３図、第４図、第５図および第６図におい
て、可動台車１９はその内部にコイル３６を備
え、コイル３６の端部は、真空室１２，１３，１
４の外部配されている電源装置３５（第３図）に
接続されている。

また、可動台車１９は、底面に車輪３７を備
え、ステータ２０上を移動可能に構成されてい
る。ステータ２０は、第４図に示すように、その
内部に、Ｎ極磁石およびＳ極磁石を交互に順列さ
せて備えている。ステータ２０は、可動台車１９
をのせて前後に移動させると同時に自身が側面お
よび下面を数個の回転自在なローラー２２に案内
され、一側面に駆動の２個のピニオン２３，２４
と噛み合う歯形部によつて駆動が伝達されて、隣
接する各真空室内へ移動するよう構成されてい
る。２個のピニオン２３，２４は、真空室の外側
に設けられた１個のモーター２５より、プーリー
２６、伝達ベルト２７を介して回転駆動が伝達さ
れる。ローラー２８，２９はそれぞれ隣接する真
空室内に設けられ、ステータ２０が移動してきた
ときに案内の役割を果たすもので回転自在となつ
ている。持ち上げアーム３０，３１は、処理手段
１４を備えた真空室１２内に設けられ、ステータ
２０上の可動台車１９上にのつた部品の持ち上げ
保持、およびその解除を行うものである。

以上のように構成された移載装置について、以
下にその動作を説明する。

まず、真空室１０と真空室１０の前室（図示せ
ず）間の仕切りのゲートバルブ１５が開の状態
で、部品１３が本発明の移載装置と同一の装置に
より真空室１０内に移動され、持ち上げアーム３
２により保持されるとともに、移載装置は前室へ
もどりゲートバルブ１５が閉じる。次いで、真空
室１０内の真空度が真空室１１内の真空度まで上
がるとゲートバルブ１６が開くとともに、電源装
置３５により電流が供給され、真空室１１内にあ
つたリニアモーター機構の可動台車１９がステー
タ２０上の所定の位置まで移動（図では左方向）
し、次にモーター２５よりプーリー２６、伝達ベ
ルト２７、ピニオン２３を介して回転駆動がステ
ータ２０に伝達されて真空室１０内に進入する。
可動台車１９が部品１３の真下まできた際に、シ
リンダー３２の駆動で持ち上げアーム３０が下降
し、部品１３の保持を解除して、部品１３を可動
台車１９上にのせる。部品１３を載置された可動
台車１９は、モーター２５より、プーリー２６等
を介して前回とは逆方向に移動され真空室１１内
に入るとともに、可動台車１９も所定の位置もで
移動（図では右方向）し、ステータ２０および可
動台車１９が完全に真空室１１内に入ると、ゲー
トバルブ１６が閉じる。

そして、真空室１１の真空度が次の真空室１２
の真空度と同一になるまで上がるとゲートバルブ
１７が開くとともに、電源装置３５により電流が
供給され、真空室１１内にあつたリニアモーター
機構の可動台車１９がステータ２０上の所定の位
置まで移動（図では右方向）し、次にモーター２
５よりプーリー２６、伝達ベルト２７、ピニオン
２４を介して回転駆動がステータ２０に伝達され
て真空室１２内に進入する。所定の位置までくる
とシリンダー３３の駆動で持ち上げアーム３０が
下降し、部品１３の保持を行う。

次いで、可動台車１９およびステータ２０が元
の真空室１１内にもどりゲートバルブ１７が閉じ
られ、処理装置１４によつて部品１３′に処理が
施される。処理が終わつた部品は次の真空室（図
示せず）にある移載装置によつて以上と同様の動
作が行われ、移載されていく。

発明の効果 以上のように本発明の移載装置では、部品をの
せて工程間を循環する搬送パレツト等の搬送手段
を使わずに、直接部品を工程中の定位置に設けら
れた移載装置により真空間を受け渡していくこと
により、搬送パレツトの清掃等で連続自動化が阻
害されていた従来の問題点を解決でき、またパレ
ツトを使わないことにより設備の小型、単純構造
化が図れ、さらには清浄度を必要とする部品のゴ
ミ付着の問題を同時に解決することができるもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の移載装置の正面断面図、第２図
は本発明の一実施例における移載装置の平面図、
第３図は同断面図、第４図はステータ２０の概略
斜視図、第５図は可動台車１９の概略斜視図、第
６図は可動台車１９がステータ２０上に載置され
た状態を示した断面図である。 １０，１１，１２……真空室、１６，１７……
ゲートバルブ、１３……部品、１９……可動台
車、２０……ステータ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ バルブで仕切られた、第１の真空室と処理手
   段を備えた第２の真空室との間で部品を移動させ
   るための移載装置であつて、 Ｎ極磁石およびＳ極磁石を交互に順列させて備
   え、かつ側面に歯部を有した板状のステータと、 前記ステータ上で一方向に移動可能に載置さ
   れ、前記ステータの磁石に対向するようコイル部
   を備え、その上面に部品を位置決め載置する可動
   台車と、 前記各真空室内に配され、前記ステータを支持
   する複数の支持手段と、 前記ステータを前記２つの真空室間を移動させ
   るために、前記ステータの歯部に噛み合い可能な
   ピニオンを噛み合わせ、このピニオンを伝達手段
   を介して回動駆動する駆動源と、 前記ステータ上の可動台車の位置決めを行うた
   めに、前記可動台車に設けられたコイル部に電流
   を供給する電源と、 前記第２の真空室内に配され、その真空室内に
   進入したステータ上の可動台車上に載置された部
   品の保持およびその解除を行う持ち上げアームと
   からなり、 前記処理手段により前記部品に処理を施す前
   に、前記ステータを前記駆動手段により前記第１
   の真空室から第２の真空室へ移動するとともに、
   その前記ステータ上の可動台車を前記電源により
   所定の位置に位置決めした後、その可動台車上に
   載置されている部品を前記持ち上げアームによつ
   て保持するとともに、前記ステータを前記第１の
   真空室へ退避することを特徴とする移載装置。