JPS6186310A - 真空中における移載装置 - Google Patents
真空中における移載装置Info
- Publication number
- JPS6186310A JPS6186310A JP59207438A JP20743884A JPS6186310A JP S6186310 A JPS6186310 A JP S6186310A JP 59207438 A JP59207438 A JP 59207438A JP 20743884 A JP20743884 A JP 20743884A JP S6186310 A JPS6186310 A JP S6186310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- parts
- vacuum chamber
- moving
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は連結された複数の真空室の中に順次電子機器部
品を供給して、部品に処理を施して取出すだめの部品の
移載装置に関するものである。
品を供給して、部品に処理を施して取出すだめの部品の
移載装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 ′
従来の真空中における移載装置は第１図にその具体構成
を示すように、複数の真空室１がそれぞれ中間に開閉可
能なゲートバルブ２を介して横に連結されている。連結
された真空室は順次、段階的に真空度を上げて処理室３
で部品に処理を施し、その後は逆に段階的に真空度を下
げていくものである。この真空室の中へ順次部品４を治
具パレット６の上に取りつけて、治具パレットが駆動ロ
ーラー６上を搬送され、処理室３で部品に処理装置子１
；で処理を施された後、同様に駆動ローラー上を搬送さ
れて真空室を通って大気中に出て部品が取出されるつ しかしながら上記のような構成では部品を取付けた治具
パレットが処理室に入って処理を施す際に、処理剤が部
品以外の治具パレットにも付着し、部品が真空室外で治
具パレットから取りはずされ、再び未処理の部品を治具
パレットに取付ける前に付着した処理剤を除去しなけれ
ばならず、連続自動化の大きな課題であった。
を示すように、複数の真空室１がそれぞれ中間に開閉可
能なゲートバルブ２を介して横に連結されている。連結
された真空室は順次、段階的に真空度を上げて処理室３
で部品に処理を施し、その後は逆に段階的に真空度を下
げていくものである。この真空室の中へ順次部品４を治
具パレット６の上に取りつけて、治具パレットが駆動ロ
ーラー６上を搬送され、処理室３で部品に処理装置子１
；で処理を施された後、同様に駆動ローラー上を搬送さ
れて真空室を通って大気中に出て部品が取出されるつ しかしながら上記のような構成では部品を取付けた治具
パレットが処理室に入って処理を施す際に、処理剤が部
品以外の治具パレットにも付着し、部品が真空室外で治
具パレットから取りはずされ、再び未処理の部品を治具
パレットに取付ける前に付着した処理剤を除去しなけれ
ばならず、連続自動化の大きな課題であった。
丑だ部品を取りはずされだ治具パレットは元の位置まで
返送しなければならず装置が大型化、複雑化する。
返送しなければならず装置が大型化、複雑化する。
さらに処理室の中には部品に処理を施す際は冶具パレッ
ト及びｊ駆動ローラーが多数内蔵されており、これらの
周辺部に処理剤が付着して、処理条件が変りやすく処理
の連続自動化に対する大きな障害となっていた。
ト及びｊ駆動ローラーが多数内蔵されており、これらの
周辺部に処理剤が付着して、処理条件が変りやすく処理
の連続自動化に対する大きな障害となっていた。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、部品を冶具パレット等の補助
手段を使わず直接に真空室から真空室へ順次搬送し、処
理時も極力部品を簡単な受は台に乗せて処理を施ように
し、処理の連続自動化を可能にすると同時１ミ部品直接
送りによりシステムの構成が簡単で小型化できる。また
部品の直接送りの信頼性を大幅に向上させる真空中の移
載装置を提供するものである。
手段を使わず直接に真空室から真空室へ順次搬送し、処
理時も極力部品を簡単な受は台に乗せて処理を施ように
し、処理の連続自動化を可能にすると同時１ミ部品直接
送りによりシステムの構成が簡単で小型化できる。また
部品の直接送りの信頼性を大幅に向上させる真空中の移
載装置を提供するものである。
発明の構成
本発明は一真空室おきに内蔵された直線移動が可能な移
動ベースと、この移動ベースを往復直進駆動させる駆動
手段と、前記移動ベース上で支持案内されて直線移動す
る移動台車と、この移動台車を往復直進駆動させる１駆
動手段と、中間真空室に内蔵され部品を保持する部品保
持手段とから構成されており、部品を直接に、−真空室
おきに内−゛ 蔵された移載装置によって搬送し処理室
には内蔵された部品保持手段によって保持された部品の
みであるだめ、処理の際に発生する処理剤が周辺に付着
することが少なく、循環する治具パンノド等に要する付
着した処理剤の除去が不要のため連続自動化に対して大
幅な向上がはかられる。さらに部品は一真空室おきの中
間真空室に内蔵された部品保持手段のある所でのみ前室
の移載装置から後室の移載装置へ受は渡すため、受は渡
し回数が少なくしかもその構成、動作とも簡単であるた
め特に真空中での移載に要求される部品の移載の信頼性
が大幅に向上するという特有の効果を有する。
動ベースと、この移動ベースを往復直進駆動させる駆動
手段と、前記移動ベース上で支持案内されて直線移動す
る移動台車と、この移動台車を往復直進駆動させる１駆
動手段と、中間真空室に内蔵され部品を保持する部品保
持手段とから構成されており、部品を直接に、−真空室
おきに内−゛ 蔵された移載装置によって搬送し処理室
には内蔵された部品保持手段によって保持された部品の
みであるだめ、処理の際に発生する処理剤が周辺に付着
することが少なく、循環する治具パンノド等に要する付
着した処理剤の除去が不要のため連続自動化に対して大
幅な向上がはかられる。さらに部品は一真空室おきの中
間真空室に内蔵された部品保持手段のある所でのみ前室
の移載装置から後室の移載装置へ受は渡すため、受は渡
し回数が少なくしかもその構成、動作とも簡単であるた
め特に真空中での移載に要求される部品の移載の信頼性
が大幅に向上するという特有の効果を有する。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第３図は本発明の実施例における真空中における移載装
置の正面図、第４図は同じく平面図を示すものである。
置の正面図、第４図は同じく平面図を示すものである。
第３図および第４図において、８゜９．１０，１１．１
２はそれぞれ段階的に真空度をコントロールできる真空
室、１３は真空の処理室、１４，１５，１６，１７，１
８，１９，２０はそれぞれの真空室の間にあり仕切り可
能に設けられたゲートバルブ。２１は搬送されて処理さ
れる部品、２２は直線移動可能な移動ベース、２３はそ
の移動ベースを支持案内する回転自在のローラー、２４
．２５は前記移動ベースに取付けられたラック２６に往
復直線運動を与えるピニオン。
２はそれぞれ段階的に真空度をコントロールできる真空
室、１３は真空の処理室、１４，１５，１６，１７，１
８，１９，２０はそれぞれの真空室の間にあり仕切り可
能に設けられたゲートバルブ。２１は搬送されて処理さ
れる部品、２２は直線移動可能な移動ベース、２３はそ
の移動ベースを支持案内する回転自在のローラー、２４
．２５は前記移動ベースに取付けられたラック２６に往
復直線運動を与えるピニオン。
２７はピニオンに回転駆動を与えるモーターで、２８は
その伝動用ベルトで、２９．３０はそれぞれ回転導入機
である。３１は部品を持上げ保持する部品保持手段、３
２はこれに昇降駆動を与えるシリンダー、３３は真空の
処理室にある処理機器、３４は移動ベース上を直線移動
する移動台車で、３５は移動ベースの駆動手段で、３６
は移動台車の駆動手段である。
その伝動用ベルトで、２９．３０はそれぞれ回転導入機
である。３１は部品を持上げ保持する部品保持手段、３
２はこれに昇降駆動を与えるシリンダー、３３は真空の
処理室にある処理機器、３４は移動ベース上を直線移動
する移動台車で、３５は移動ベースの駆動手段で、３６
は移動台車の駆動手段である。
以上のように構成された真空中における移載装置につい
て、以下その動作を説明する。
て、以下その動作を説明する。
まず、真空室８が大気圧に下がった時点でゲートバルブ
１４が開き、移動台車３４が移動ベースしてピニオン２
４．２６が回転しラック２６に直線運動を与えて左の方
に移動し真空室８から外へ移動台車３４と移動ベース２
２の一部が外に突出た状態になると次にこの移動台車上
に外部の装置から部品２１が位置合せされてのせられる
。
１４が開き、移動台車３４が移動ベースしてピニオン２
４．２６が回転しラック２６に直線運動を与えて左の方
に移動し真空室８から外へ移動台車３４と移動ベース２
２の一部が外に突出た状態になると次にこの移動台車上
に外部の装置から部品２１が位置合せされてのせられる
。
次にモーター２７が前回と逆回転し、同様に伝達された
ピニオン２４．２５が逆方向に回転し、ラック２６を介
して移動ベース２２が右の方へ移動し、真空室８の中に
収納された後に部品２１をのせた移動台車３４が移動ベ
ース２２上の中央の位置まで内蔵した駆動手段によって
直線移動する。
ピニオン２４．２５が逆方向に回転し、ラック２６を介
して移動ベース２２が右の方へ移動し、真空室８の中に
収納された後に部品２１をのせた移動台車３４が移動ベ
ース２２上の中央の位置まで内蔵した駆動手段によって
直線移動する。
次にゲートバルブ１４が閉じて真空室８の真空度は次の
隣に接続された真空室９の真空度まで上げられ、同じ真
空度に到達した時点でゲート・くルプ１５が開く。次に
移動台車３４が移動ベース２２上を右の端まで直線移動
した後、続いて移動ベース２２が前回同様の駆動伝達で
右の方に直線移動しその一部が真空室９内に入り移動台
車３４が真空室９の中央に到着した時点で上にのった部
品２１はシリンダ３２で昇降動作を与えられる部品保持
手段３１が部品が搬送されてくる高さより少し低い位置
で待機した状態から上昇し移動台車３４上にのった部品
を受けとる。次に空になった移動台車と、移動ベースは
前回の逆の動作をして真空室８内に戻ってゲートバルブ
１５が閉じて真空室９の真空度が上げられ次の隣接する
真空室１０と同じ真空度に到達するとゲートバルブ１６
が開き真空室１０内に収納された移動ベース及び移動台
車が直線移動して部品保持手段３１の位置に空の移動台
車が到達した時点で部品保持手段３１で保持された部品
２１が下降されて箒動台車上に位置合せされてのせられ
る。続いて移動台車及び移動ベースは直線移動して真空
室１ｏ内に戻り、ゲートバルブ１６は閉じる。この様な
一連の部品移載動作を繰り返して部品が処理室１３内の
部品保持手段に保持された後、処理機器３３によって部
品２１に処理が施される。処理が終了すると前回と回議
な動作を繰り返して部品２１が順次真空室を移載され最
後には真空室から大気中に取り出される。
隣に接続された真空室９の真空度まで上げられ、同じ真
空度に到達した時点でゲート・くルプ１５が開く。次に
移動台車３４が移動ベース２２上を右の端まで直線移動
した後、続いて移動ベース２２が前回同様の駆動伝達で
右の方に直線移動しその一部が真空室９内に入り移動台
車３４が真空室９の中央に到着した時点で上にのった部
品２１はシリンダ３２で昇降動作を与えられる部品保持
手段３１が部品が搬送されてくる高さより少し低い位置
で待機した状態から上昇し移動台車３４上にのった部品
を受けとる。次に空になった移動台車と、移動ベースは
前回の逆の動作をして真空室８内に戻ってゲートバルブ
１５が閉じて真空室９の真空度が上げられ次の隣接する
真空室１０と同じ真空度に到達するとゲートバルブ１６
が開き真空室１０内に収納された移動ベース及び移動台
車が直線移動して部品保持手段３１の位置に空の移動台
車が到達した時点で部品保持手段３１で保持された部品
２１が下降されて箒動台車上に位置合せされてのせられ
る。続いて移動台車及び移動ベースは直線移動して真空
室１ｏ内に戻り、ゲートバルブ１６は閉じる。この様な
一連の部品移載動作を繰り返して部品が処理室１３内の
部品保持手段に保持された後、処理機器３３によって部
品２１に処理が施される。処理が終了すると前回と回議
な動作を繰り返して部品２１が順次真空室を移載され最
後には真空室から大気中に取り出される。
゛ 発明の効果
以上のように本発明によれば、複数の真空室をそれぞれ
ゲー トバルプを介して連結して構成される真空処理装
置において、−真空室おきに内蔵され、前後に隣接する
中間真空室へそれぞれ直線移動が可能な移動ベースと、
該移動ベースを一定位置まで往復直進駆動させる駆動手
段と、前記移動ベース上で支持案内され部品を搭載して
直線移動が可能な移動台車と、該移動台車を一定位置寸
で往復直進駆動させる駆動手段と、中間真空室に内蔵さ
れた移動台車上に搭載された部品を持上げ保持する部品
保持手段とを設けることにより、部品を直接に一真空室
おきに内蔵された移載装置によって搬送し処理室には内
蔵された部品保持手段によって保持された部品のみであ
るため、処理の際に発生する処理剤が周辺に付着するこ
とが少なく、循環する治具パレットを使用しないため治
具パレット等に付着した処理剤の除去が不要のだめ連続
自動化に対して大幅な向上がはかられ、また処理された
部品の品質が向上する。さらに部品は一真空室おきの中
間真空室に内蔵された部品保持手段のある所でのみ前室
の移載装置から後室の移載装置へ受は渡すため、受は渡
し回数が少なくしかもその構成、動作とも簡単であるだ
め特に真空中での移載に要求される部品の移載の信頼性
が大幅に向上することができる。またシステム全体の構
成も簡単に小型化がはかれるという効果がある。
ゲー トバルプを介して連結して構成される真空処理装
置において、−真空室おきに内蔵され、前後に隣接する
中間真空室へそれぞれ直線移動が可能な移動ベースと、
該移動ベースを一定位置まで往復直進駆動させる駆動手
段と、前記移動ベース上で支持案内され部品を搭載して
直線移動が可能な移動台車と、該移動台車を一定位置寸
で往復直進駆動させる駆動手段と、中間真空室に内蔵さ
れた移動台車上に搭載された部品を持上げ保持する部品
保持手段とを設けることにより、部品を直接に一真空室
おきに内蔵された移載装置によって搬送し処理室には内
蔵された部品保持手段によって保持された部品のみであ
るため、処理の際に発生する処理剤が周辺に付着するこ
とが少なく、循環する治具パレットを使用しないため治
具パレット等に付着した処理剤の除去が不要のだめ連続
自動化に対して大幅な向上がはかられ、また処理された
部品の品質が向上する。さらに部品は一真空室おきの中
間真空室に内蔵された部品保持手段のある所でのみ前室
の移載装置から後室の移載装置へ受は渡すため、受は渡
し回数が少なくしかもその構成、動作とも簡単であるだ
め特に真空中での移載に要求される部品の移載の信頼性
が大幅に向上することができる。またシステム全体の構
成も簡単に小型化がはかれるという効果がある。
第１図は従来の真空宙における移載装置の正面図、第２
図は同平面図、第３図は本発明の一実施例における真空
中における移載装置の正面図、第４図は同平面図である
。 ２２・・・・移動ベース、３６−・・・・・移動ベース
の駆動手段、３４・・・・・移動台車、３６ ・・・移
動台車の駆動手段、３１・・・・・部品保持手段。 第１図 第２図
図は同平面図、第３図は本発明の一実施例における真空
中における移載装置の正面図、第４図は同平面図である
。 ２２・・・・移動ベース、３６−・・・・・移動ベース
の駆動手段、３４・・・・・移動台車、３６ ・・・移
動台車の駆動手段、３１・・・・・部品保持手段。 第１図 第２図
Claims (1)
- 複数の真空室をそれぞれゲートバルブを介して連結して
構成される真空処理装置において、一真空室おきに内蔵
され、前後に隣接する中間真空室へそれぞれ直線移動が
可能な移動ベースと、該移動ベースを一定位置まで往復
直進駆動させる駆動手段と、前記移動ベース上で支持案
内され、部品を搭載して直線移動が可能な移動台車と、
該移動台車を一定位置まで往復直進駆動させる駆動手段
と、中間真空室に内蔵され、移動台車上に搭載された部
品を持上げ保持する部品保持手段とを備えた真空中にお
ける移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207438A JPS6186310A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 真空中における移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207438A JPS6186310A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 真空中における移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186310A true JPS6186310A (ja) | 1986-05-01 |
| JPH0534252B2 JPH0534252B2 (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=16539766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59207438A Granted JPS6186310A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 真空中における移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4929139A (en) * | 1989-07-26 | 1990-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Passive electrostatic vacuum particle collector |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP59207438A patent/JPS6186310A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4929139A (en) * | 1989-07-26 | 1990-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Passive electrostatic vacuum particle collector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534252B2 (ja) | 1993-05-21 |
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