JPH0581399B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、円形薄板の表面に貼着された保護
フイルムを上記薄板の外周に沿つて切断する切抜
き方法に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、集積回路形成用の基盤となるシリコン
ウエハは、外周の一部に直線部を備え、表面は保
護フイルムの貼着によつて保護されている。この
ような保護フイルムは、シリコンウエハに対して
貼付けた後、シリコンウエハの外周に沿つて切り
抜かれ、余分な部分が除去される。

ところで、保護フイルムの切抜きを手作業で行
なう場合は、きわめて手間がかかり、きれいに能
率よく切断するには相当の熟練を要する。

このような不都合を解消するため、本件出願人
は、保護フイルムを自動的に切抜く保護フイルム
の切抜き方法とその装置を提案している（特願昭
60―90602号明細書）。

上記切抜き方法は、昇降および旋回ならびに半
径方向に移動可能な刃物取付台を下降してその取
付台に支持された刃物をシリコンウエハ等の薄板
に貼着された保護フイルムに突き刺し、その刃物
を薄板外周の直線部に沿つて移動し、上記直線部
の端に刃物を移動させたのち、上記薄板の中心を
回動中心として刃物を回動させるようにしてい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上記の方法においては、薄板の直線
部に沿つて移動させた刃物をそのまゝの姿勢にお
いて薄板の外周に沿つて回動させるため、刃物が
帯板状の場合には、直線切断部から円形切断部に
移る際、薄板の外周部に強い負荷がかかり、切抜
き対象物を破損させることがあつた。また、刃物
にも負荷がかかるため、刃物が破損することがあ
り、刃物の使用寿命が短かいという不都合が生じ
た。

そこで、この発明は上記の不都合を解消し、切
抜き対象物に損傷を与えることなくきわめて円滑
に保護フイルムを切断することができるようにし
た保護フイルムの切断方法を提供することを目的
としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、この発明は、外
周の一部に直線部を備え、保護フイルムの貼着に
よつて表面が保護された円形薄板を受台上に載置
して非可動に支持し、この円形薄板の輪郭に沿つ
て帯板状の切断用刃物を移動して上記保護フイル
ムを機械的に切り抜く方法において、 上記刃物の向きを上記直線部と平行する方向に
向け、上記直線部の延長線上の一部上方に変位し
てから下降して保護フイルムに突き刺し、上記刃
物をその向きに維持しつつ上記直線部に平行に移
動させて円形薄板の直線部に沿つて保護フイルム
を切断し、上記刃物が上記直線部の終端位置に達
したとき、上記刃物の向きを薄板の円弧状外周の
接線方向に変え、上記刃物をその向きを維持しつ
つ上記薄板の中心を回動中心として回動させ、薄
板の円弧状外周に沿つて保護フイルムを切断する
薄板保護フイルムの切り抜き方法を採用したので
ある。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。

第５図に示すように、シリコンウエハ等の円形
の薄板Ａは、外周の一部に直線部ａを備え、表面
は保護フイルムＢの貼着によつて保護されてい
る。

この薄板Ａを支持する受台１の上面には、第４
図に概略を示すように、径の異なる複数の同心に
配置された弧状の突条２と、各突条２の両端間に
図示省略した直線状の突条とが設けられ、その突
条２の上に置かれた上記薄板Ａは、突条２に形成
した吸引孔３の吸引力によつて吸着保持される。

上記受台１の上方側には、第１図に示すように
支持板４が設けられ、その支持板４に上下に長い
レール５が取付けられている。また、受台１の上
方には昇降台６が配置され、その昇降台６は上記
レール５に沿つて移動可能に支持され、前記支持
板４に支持された昇降用シリンダ７の作動によつ
て上下動する。

上記昇降台６の下側に設けたガイドロツド８
は、前記受台１の径方向に延び、そのガイドロツ
ド８に沿つて移動可能に支持された往復台９は、
昇降台６の下面に支持された移動用シリンダ１０
の作動によつて上記受台１の上方を受台１の径方
向に移動する。

この往復台９の下面には筒体１１が取付けら
れ、その筒体１１によつて回転可能に支持された
回転軸１２は、上記往復台９の下面に支持された
回転用モータ１３によつて回転駆動される。

上記回転軸１２の上端には外周に透光部（図示
省略）を有する円板１４が取付けられ、その円板
１４の透光部を円板１４の外周部に設けた検出器
PH₁が検出すると、この検出器PH₁からの検出信
号によつて前記モータ１３が停止する。

また、回転軸１２の下端には、第２図乃至第４
図に示すようにガイドバー支持枠１５が取付けら
れ、そのガイドバー支持枠１５に支持された一対
のガイドバー１６に沿つて支持台１７が移動可能
に支持されている。

上記支持台１７は、対向配置された一対の板体
１８を備え、その板体１８間に渡した一対のガイ
ドロツド１９は、上記ガイドバー１６に対して交
差方向に長くなつている。また、一対の板体１８
間には、上記一対のガイドロツド１９間にねじ棒
２０が渡され、そのねじ棒２０の回転駆動用モー
タ２１が支持台１７の端部に支持されている。こ
のねじ棒２０は、上記ガイドロツド１９に沿つて
移動可能なシリンダ支持枠２２のナツト２３とね
じ係合しており、そのねじ棒２０を回転すると、
シリンダ支持枠２２がガイドロツド１９に沿つて
移動する。

シリンダ支持枠２２の側部には、第４図に示す
ように、軸受２４が設けられ、その軸受２４にホ
ルダ支持枠２５の上面に設けた軸２６が回転可能
に支持されている。このホルダ支持枠２５は、上
部にアーム２７を備え、そのアーム２７の先端部
には、第３図に示すように、シリンダ支持枠２２
に支持された首振り用シリンダ２８のピストンロ
ツド２９が接続されている。

また、ホルダ支持枠２５は、一対の側板３０，
３０を備え、その側板３０間に円柱状の刃物ホル
ダ３１の上部が位置し、こ刃物ホルダ３１の外周
上部の対向位置に設けた一対のピン３２，３２が
上記側板３０で回転可能に支持されている。

刃物ホルダ３１の下端には帯状の刃物３３が取
付けられ、その刃物３３の向き、即ち切断方向の
先行側には、前記薄板Ａの直線部ａの端に連続す
る円弧状外周面ｂを検出する透過形の検出器３４
が配置されている。この検出器３４は、前記ホル
ダ支持枠２５の下部に支持されて上記刃物３３と
共に移動し、その検出器３４からの検出信号によ
つて首振り用シリンダ２８が作動する。

前記支持台１７には、第３図および第４図に示
すように、ホルダ支持枠２５の側板３０背部に張
り出す支持板３５が設けられ、その支持板３５の
張り出し部に設けた一対のガイド板３６は、シリ
ンダ支持枠２２と共に刃物ホルダ３１が移動する
とき、その刃物ホルダ３１の移動を案内してピン
３２を中心に刃物ホルダ３１が回動するのを防止
している。

実施例で示す保護フイルムの切抜き装置は上記
の構造から成り、薄板Ａに貼着された保護フイル
ムＢの切り抜きに際しては、受台１状に薄板Ａを
載置して受台１の中心に薄板Ａの中心を一致さ
せ、その薄板Ａの中心上に回転軸１２を一致させ
る。この場合、移動用シリンダ１０の作動によ
り、往復台９をガイドロツド８に沿つて移動させ
る。

またモータ１３の駆動による回転軸１２の回転
と、ガイドバー支持枠１５のガイドバー１６に沿
つて支持台１７を移動させる操作とによつて刃物
３３を薄板Ａの直線部ａの長さ方向中央部に位置
させる。このような刃物３３の位置調整後に、保
護フイルムＢの切抜き作業を行なう。

いま、第５図において、薄板Ａの中心をＯ、そ
の中心Ｏを通り、薄板Ａの直線部ａに直交する直
線ｙと上記直線部ａに平行な仮想直線ｘの交点を
x₀、仮想直線ｘと薄板Ａの円弧状外周面ｂの交点
をx₁，x₂とすると、刃物３３は、前記のような位
置調整によつて、x₀点の位置に配置される。ま
た、回転軸１２は、その軸心がＯ点を通る位置に
配置される。このとき、昇降台６のガイドロツド
８および支持台１７のガイドロツド１９は上記仮
想直線ｘに対して平行な状態に配置される。

このような刃物３３の位置調整後に、装置を作
動させると、まず、移動用シリンダ１０が作動し
て往復台９を第１図の右方向に移動させる。その
移動によつて、刃物３３は仮想直線ｘに沿つて第
５図の右方向に移動し、その刃物３３がx₁点を通
過し、x₄点に達すると、上記シリンダ１０が停止
する。

往復台９の移動停止後、昇降用シリンダ７が作
動して昇降台６が下降する。その昇降台６の下降
によつて、刃物３３も同様に下降し、その刃物３
３が保護フイルムＢを突き刺すと、上記昇降用シ
リンダ７が停止し、停止後、前記移動用シリンダ
１０が作動して、往復台９を第１図の左側に移動
させる。このため、保護フイルムＢは、刃物３３
によつて薄板Ａの直線部ａに平行な仮想直線ｘに
沿つて切断される。この時、刃物３３は受台１１
の直線形突条（図示省略）にならつて移動する。
したがつて、直線形突条を薄板Ａの直線より大き
く作つておけば、薄板Ａより保護フイルムのみを
前方にはみ出した状態で切断することができる。
なお薄板Ａからの保護フイルムＢのはみ出し量
は、薄板Ａの送り装置の送り精度によつて設定す
ることができる。

上記刃物３３がx₀点の位置まで移動すると、移
動用シリンダ１０は停止し、次に、第２図に示す
モータ２１が作動してねじ棒２０を回転し、シリ
ンダ支持枠２２を同方向に移動させる。

シリンダ支持枠２２の移動によつて、刃物３３
と回転軸１２間の寸法は次第に大きくなり、上記
刃物３３がx₂点まで保護フイルムＢを切断する
と、その刃物３３と共に移動する検出器３４が薄
板Ａの直線部ａに連続する円弧状外周面ｂの一部
を検出する。

第５図の一点鎖線イは、検出器３４の移動軌跡
を示し、上記検出器３４が作動すると、その検出
器３４からの検出信号によつてモータ２１は停止
し、同時に、第３図に示す首振り用シリンダ２８
が作動してアーム２７を引き、ホルダ支持枠２５
を設定角度回動させる。このため、刃物３３の向
きが変わり、その刃物３３が薄板Ａの円弧状外周
面ｂの接線方向に向くと、次に、モータ１３が駆
動して回転軸１２を回転させる。このため、刃物
３３は、回転軸１２を中心として回転し、保護フ
イルムＢを薄板Ａの円弧状外周面に沿つて切断す
る。このとき、受台１の弧状の突条２の径を薄板
Ａの外径より大きくしておくと、刃物３３は突条
２にならつて移動し、また突条２の径を小さくし
ておくと、薄板Ａの停止精度に関係なく薄板Ａの
外周にならつて移動する。その刃物３３が、x₁点
の位置まで回動すると、第１図に示す検出器PH₁
が作動し、その検出器PH₁からの検出信号によつ
て、モータ１３は停止する。このため、保護フイ
ルムＢは、第６図に示すように、薄板Ａの外周に
沿つて完全に切り抜かれる。

また、上記検出器PH₁からの検出信号により、
首振り用シリンダ２８が作動して刃物３３の向き
を直線部ａに沿つた向きに変える。その後、モー
タ２１の逆転により、シリンダ支持枠２２を移動
せしめ、刃物３３をx₀点まで移動させる。

なお、x₀点まで刃物３３が戻ると、支持台１７
に設けた第４図に示す原点センサ３８がシリンダ
支持枠２２に設けた検出片３９を検出し、その原
点センサ３８からの信号によつてモータ２１は停
止し、同時に、昇降用シリンダ７が作動して昇降
台６を上昇させる。

実施例の場合は、第６図に示すように、薄板Ａ
の円弧状外周面に沿つて保護フイルムＢを切り抜
くようにした場合を例にとつて説明したが、検出
器３４の位置を変えることによつて、保護フイル
ムＢの外周縁が薄板Ａの円弧状外周面よりはみ出
した状態で切断したり、あるいは、円弧状外周面
の内側に納まる状態で切断したりすることができ
る。

なお、刃物３３を支持する刃物ホルダ３１をフ
レキシブルなものにすることによつて、回転軸１
２の軸心が薄板Ａの中心に対してずれがあつて
も、薄板Ａに損傷を与えることなく保護フイルム
Ｂを切り抜くことができる。

〔効果〕

以上のように、この発明は、刃物の向きを薄板
の直線部と平行する方向に向け、その刃物を薄板
の直線部と平行に移動させて保護フイルムを切断
し、その直線部の端に刃物の刃先が到達したと
き、その刃物の向きを薄板の円弧状外周面の接線
方向に向くように変え、その刃物を薄板の中心を
回動中心として回転させるようにしたので、刃物
の向きは常に切断線の接線方向に向き、したがつ
て、薄板に損傷を与えることなく保護フイルムを
薄板の外周形状に沿つて切断することができると
共に、刃物に加わる負荷も小さく、保護フイルム
をきわめて円滑に切り抜くことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る方法に用いる切抜き
装置の縦断正面図、第２図は同上の一部を拡大し
て示す断面図、第３図は第２図の―線に沿つ
た断面図、第４図は第３図の―線に沿つた断
面図、第５図は保護フイルムの切抜き順序を示す
説明図、第６図は同上の装置によつて切り抜かれ
た製品の斜視図である。 Ａ……薄板、ａ……直線部、Ｂ……保護フイル
ム、１……受台、３３……刃物、３４……検出
器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 外周の一部に直線部を備え、保護フイルムの
   貼着によつて表面が保護された円形薄板を受台上
   に載置して非可動に支持し、この円形薄板の輪郭
   に沿つて帯板状の切断用刃物を移動して上記保護
   フイルムを機械的に切り抜く方法において、 上記刃物の向きを上記直線部と平行する方向に
   向け、上記直線部の延長線上の一部上方に変位し
   てから下降して保護フイルムに突き刺し、上記刃
   物をその向きに維持しつつ上記直線部に平行に移
   動させて円形薄板の直線部に沿つて保護フイルム
   を切断し、上記刃物が上記直線部の終端位置に達
   したとき、上記刃物の向きを薄板の円弧状外周の
   接線方向に変え、上記刃物をその向きを維持しつ
   つ上記薄板の中心を回動中心として回動させ、薄
   板の円弧状外周に沿つて保護フイルムを切断する
   ことを特徴とする薄板保護フイルムの切り抜き方
   法。