JPH0582045B2 - - Google Patents

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JPH0582045B2
JPH0582045B2 JP58136604A JP13660483A JPH0582045B2 JP H0582045 B2 JPH0582045 B2 JP H0582045B2 JP 58136604 A JP58136604 A JP 58136604A JP 13660483 A JP13660483 A JP 13660483A JP H0582045 B2 JPH0582045 B2 JP H0582045B2
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JP
Japan
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superconducting magnet
helium
power lead
inner tank
heat
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JP58136604A
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English (en)
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JPS6028211A (ja
Inventor
Kinya Matsutani
Katsutoki Sasaki
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Priority to US06/632,461 priority patent/US4543794A/en
Priority to GB08418769A priority patent/GB2145506B/en
Priority to KR8404441A priority patent/KR890003871B1/ko
Priority to DE19843427601 priority patent/DE3427601A1/de
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F6/00—Superconducting magnets; Superconducting coils
    • H01F6/06—Coils, e.g. winding, insulating, terminating or casing arrangements therefor
    • H01F6/065—Feed-through bushings, terminals and joints

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は小型冷凍機と超電導磁石を組合せて成
る超電導磁石装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
第1図は、従来の超電導磁石装置の構成を示す
ものである。図において、超電導磁石1は冷却媒
体例えば極低温(例えば4.2K)の液体ヘリウム
2で満たされた内槽3に収納されている。この超
電導磁石1を超電導状態に保持している保冷容器
4は内槽3と外槽5からなり、内槽3と外槽5と
の間には輻射シールド板6が設けられ、さらにこ
の輻射シールド板6には液体窒素7が流れるシー
ルド管8が設けられ熱シールド効果を高めてい
る。また、超電導状態に保持された上記超電導磁
石1はパワーリード10を介して、外部に設置さ
れた超電導磁石用電源9と接続され、これによ
り、励磁電流を供給して所要の磁場が被磁場印加
機器16に印加される。この際、パワーリード1
0、低温配管11、液体ヘリウム移送管12、外
槽5、輻射シールド板6、内槽3を介して、熱伝
導や輻射により極低温の液体ヘリウム2に外部
(例えば300K)より熱が侵入する。そして、この
侵入熱により液体ヘリウム2は蒸発しガスヘリウ
ム13が発生する。このガスヘリウム13は、パ
ワーリード10が通つている外筒14の内部を流
れ、パワーリード10を冷却(ガス冷却)して低
温配管11に入る。パワーリード10よりの熱侵
入量は、このガス冷却により低減される。ガスヘ
リウム13はヘリウム液化機15に入り、極低温
の液体ヘリウム2に変換される。この液体ヘリウ
ム2は、液体ヘリウム移送管12を介して内槽3
に入る。このように、侵入熱により蒸発したヘリ
ウムはパワーリード10を冷却した後に、ヘリウ
ム液化機15により液化され内槽3へと戻る循環
をくり返しながら超電導磁石1を超電導状態に保
持している。
ところで、このように構成された超電導磁石装
置は大型の超電導磁石には適するが、例えば単結
晶引上装置等に使用する比較的小型の超電導磁石
(例えば励磁電流300〜500A程度、極低温に於け
るヘリウム蒸発量1〜2/h程度)には適さな
い。これは、従来型のヘリウム液化機15は大型
超電導磁石用に開発されており、小さな冷凍能力
(例えばヘリウム蒸発量1〜2/h程度)に適
したものがないためである。従つて通常のヘリウ
ム液化機15を小型超電導磁石に適用すると、超
電導磁石1に対してヘリウム液化機15の大きさ
あるいは占有面積が過大となり、さらに価格面か
ら見ても超電導磁石1に比べてヘリウム液化機1
5の価格が過大となり、超電導磁石装置は日上に
高価なものとなつてしまう。
一方、この小型超電導磁石容量に見合う従来型
の小型冷凍機を用いて、超電導磁石装置をコンパ
クト、低価格にする場合は、従来型の小型冷凍機
の冷凍能力は、保冷容器4、内槽3、シールド
6,8、外槽5を介しての輻射熱分を供給し、さ
らにパワーリード10の蒸発ガス冷却量をも供給
する程はない。
そこで、通常は超電導磁石に永久電流スイツチ
を取付け、パワーリードを着脱式とし、超電導磁
石が励磁された後は、パワーリードをはずし、パ
ワーリード部よりの熱侵入をしや断して永久電流
モードにて運転を行なつている。このようにすれ
ば、外部よりの熱侵入は輻射熱および各種低温配
管からの熱伝導のみとなり、従来型の小型冷凍機
の冷凍能力のみでも十分に超電導磁石を超電導状
態に保つことが可能である。
しかしながら、この方式では一度永久電流モー
ドになると励磁電流は常に一定となり、電流値を
変化させることが出来ない。例えば、単結晶引上
装置に使用する小型超電導磁石装置を考えると、
単結晶引上中に磁場強度を変化あるいは制御する
ことにより、単結晶中の不純物濃度を制御すると
いう要請がある。そのため、磁場強度すなわち励
磁電流値を変化させる必要がある。この様に、一
般に超電導磁石装置を用いる機器においては、そ
の印加磁場強度すなわち励磁電流値を変化あるい
は制御するという要請が多い。
〔発明の目的〕
本発明は上記のような事情を考慮して成された
もので、その目的は小型冷凍機と小型超電導磁石
を組合せて励磁電流値を制御することが可能なコ
ンパクトで低価格の超電導磁石装置を提供するこ
とにある。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するために本発明の超電導磁石
装置は、冷却媒体が満たされた内槽と外槽からな
る保冷容器と、この保冷容器の内槽内に収納され
た超電導磁石と、前記保冷容器に取付けられ、前
記保冷容器の内側に複数段階の冷凍ステージを有
する小型冷凍機と、前記保冷容器の内槽と外槽と
の間に設けられた輻射シールド板と、前記冷凍ス
テージに熱的に結合され、前記冷却媒体への侵入
熱量が最小になるように各冷凍ステージ間におけ
る導体断面積および導体長さが設定され、前記超
電導磁石に超電導磁石用電源から励磁電流を供給
するパワーリードとを備えた構成とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を第2図に示す一実施例について
説明する。第2図は、本発明による超電導磁石装
置の構成例を示すもので、第1図と同一部分には
同一符号を付して示す。図において、超電導磁石
1は液体ヘリウム2が満たされた内槽3に収納さ
れている。第1および第2の小型冷凍機20およ
び30は、保冷容器4に直接取付けられている。
この第1の小型冷凍機20は、当該冷凍機内を循
環している冷凍媒体(例えばヘリウム)21を圧
縮する圧縮機ユニツト22と、これにより圧縮さ
れた冷凍媒体21を断熱膨張させて冷凍する膨張
機23と、この膨張機23により冷却された冷凍
媒体21により輻射シールド温度例えば80Kまで
冷却された第1の冷却ステージ24と、冷凍媒体
21によりヘリウム液化温度例えば4.2Kまで冷
却されたヘリウム再凝縮器25とから成つてい
る。ここで第1の冷凍ステージ24は、保冷容器
4の外槽5と内槽3との間に設けられた輻射シー
ルド板6に直接接続され、またヘリウム再凝縮器
25は内槽3内の液体ヘリウム2の液面真上の位
置に設けられている。
また第2の小型冷凍機30は、当該冷凍機内を
循環している冷凍媒体31を圧縮する圧縮ユニツ
ト32と、これより出た圧縮冷凍媒体31を膨張
させて冷却する膨張機33と、この膨張機33に
より冷却された冷凍媒体31により例えば80Kま
で冷却された第2の冷凍ステージ34と、冷凍媒
体31により例えば20Kまで冷却された第3の冷
凍ステージ35とから成つている。
一方、超電導磁石1に励磁電流を供給するパワ
ーリード10は、液体ヘリウム2から出て内槽3
および輻射シールド6を貫通し、所要の導体長さ
および導体断面積を取つた後に第3の冷凍ステー
ジ35に接続され、さらに所要の導体長さおよび
導体断面積を取つた後に第2の冷凍ステージ34
に接続され、最後に所要の導体長さおよび導体断
面積を取つた後に、外槽5を貫通して超電導磁石
用電源9に接続される。
ここで、パワーリード10と各冷凍ステージ3
4,35との接続箇所は、電気的に絶縁されてい
る。また、内槽3を貫通するヘリウム再凝縮器2
5およびパワーリード10の貫通部分は気密構造
とし、内槽3内の液体ヘリウム2の蒸発ガスが外
部へ漏れない構造になつている。さらに、パワー
リード10の導体断面積は外槽4〜第2の冷凍ス
テージ34間、第2の冷凍ステージ34〜第3の
冷凍ステージ35間、第3の冷凍ステージ35〜
超電導磁石1間にて順次この順番にその導体断面
積を小さくしている。
次に、上記のように構成した超電導磁石装置の
作用について説明する。まず、被磁場印加機器1
6(例えば単結晶引上装置)に磁場を印加するた
めに、パワーリード10を介して超電導磁石用電
源9により超電導磁石1を励磁すると、パワーリ
ード10の電気抵抗によるジユール熱、液体ヘリ
ウム温度と大気温度との温度差によるパワーリー
ド10を介して熱伝導による侵入熱、および外槽
5、輻射シールド板6、内槽3を通しての輻射に
よる侵入熱により液体ヘリウム2は蒸発を始め
る。パワーリード10から発生するジユール熱お
よび熱伝導による侵入熱は、第2の冷凍機30の
第2および第3の冷凍ステージ34および35に
より除去される。
一般に、パワーリードよりの侵入熱は、パワー
リード断面積を大にすればジユール熱は小さくな
るが、熱伝導による侵入熱は大きくなる。逆に、
パワーリード断面積を小にすればジユール熱は大
きくなり、熱伝導による侵入熱は小さくなる。そ
こで、熱侵入を最小にするパワーリードの最適断
面積が存在する。この最適断面積は、励磁電流
値、第2、第3の冷凍ステージ34,35の温
度・冷凍能力およびパワーリードの導体長さによ
つて決まる。従つて、第2の小型冷凍機30の第
2、第3の冷凍ステージ34,35の冷凍能力に
見合うように、液体ヘリウム3〜第3の冷凍ステ
ージ35(例えば20K)間、第3の冷凍ステージ
35〜第2の冷凍ステージ34(例えば80K)間
および第3の冷凍ステージ35〜外槽5(例えば
300K)間のパワーリード10の導体長さおよび
断面積を適切に選ぶことにより、液体ヘリウム2
へのパワーリード10よりの侵入熱を最小とする
ことが出来る。
この最適条件は、例えば一般に良く知られた次
式によつて求めることが出来る。つまり、 Q=I・√・Th−Tccos(τl/a)/sin(τl
/a) において、 /a=1/τcos-1Tc/Th のとき、熱侵入量は最小値Qmin Qmin=I・√(h 2−c 2) となる。ここで、 Q:熱侵入量 I:電流値 λ:熱伝導率 α:定数(ρ=αT、ρ:パワーリード抵抗率、
T:温度) K:熱伝導率 τ:τ=I・√ Th:高温部温度 Tc:低温部温度 a:パワーリード断面積 l:パワーリード長さ このようにして、パワーリード10よりの熱侵
入を小さく出来、さらにパワーリード10をガス
冷却しないで済むため蒸発ヘリウム量が大幅に低
減する。このため、輻射熱あるいは各種低温配管
からの熱伝導による侵入熱によつて蒸発した密閉
内槽3内のヘリウムガスは、すべて従来形の小型
冷凍機の冷凍能力のみで再液化することが出来
る。すなわち、蒸発した液体ヘリウム2は内槽3
内に設置されたヘリウム再凝縮器25によつて潜
熱をうばわれ、再凝縮し、液滴となつて密閉構造
の内槽3内の液体ヘリウム2として戻される。ま
た輻射シールド板6は、第1の小型冷凍機20の
第1の冷凍ステージ24(例えば80K)に直接接
続されており、この第1の冷凍ステージ24から
の熱伝導により直接冷却される。これにより、コ
ンパクトで構成の簡単なシールドが得られる。
上述したように、本実施例の超電導磁石装置に
よれば次のような効果が得られる。
(a) パワーリード10を直接に小型冷凍機により
冷却し、保冷容器4の内槽3を密閉形とするこ
とが出来るので、液体ヘリウムの蒸発を抑制す
ることが出来る。ヘリウム蒸発量が低減される
ので、従来形の小型冷凍機により内槽3内のヘ
リウムガスを再凝縮することが出来る。
(b) パワーリード10を直接冷却しているので、
超電導磁石装置運転中でも超電導状態を破壊す
ることなく、任意にその磁場強度すなわち磁場
電流値を変化させることができる。これによ
り、例えば単結晶引上装置用の超電導磁石装置
に本装置を適用した場合には、磁場強度制御に
より単結晶中の不純物濃度を抑制することが可
能となる。
(c) 小型冷凍機20の冷凍ステージ24により直
接に輻射シールド6を熱伝導により冷却してい
るので、装置がコンパクトとなる。
(d) 小型超電導磁石1の容量に見合うだけの従来
と同等の小型冷凍機20,30を直接に保冷容
器4に取付ける構造としているので、コンパク
トで低価格の装置とすることが出来る。
次に、本発明の他の実施例について説明する。
第3図は、本発明による超電導磁石装置の他の
構成例を示すもので、第2図と同一部分には同一
符号を付してその説明を省略する。本実施例は、
パワーリード10を冷却する第2の小型冷凍機3
0の第2の冷凍ステージ34の温度を、第1の小
型冷凍機20の第1の冷凍ステージ24の温度と
同一にし、輻射シールド板6を各冷凍ステージ3
4および24に直接取付ける構成としたものであ
る。かかる構成とすることにより、輻射シールド
の冷凍能力が高まり熱シールド効果が改善される
と共に、液体ヘリウム2と第2の冷凍ステージ3
4間のパワーリード10が輻射シールド板6によ
り当該温度(例えば80K)にて熱シールドされ、
パワーリード10から熱侵入量がより一層低減さ
れる。
第4図も、本発明による超伝導磁石装置の構成
例を示すもので、第2図と同一部分には同一符号
を付してその説明を省略する。本実施例は、保冷
容器4に順次低温となる(例えば80K、20K、
4.2K)3つの冷凍ステージ104,105,1
06を有する小型冷凍機100を設け、パワーリ
ード10の冷却および内槽3内の蒸発ヘリウムの
再凝縮を同時に行なう構成としたものである。か
かる構成により一層コンパクト超電導磁石装置を
得ることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、小型冷凍
機と小型超電導磁石を組合せ、超電導磁石用電源
から励磁電流を供給するパワーリードの各冷凍ス
テージ間における導体断面積および導体長さを保
令容器内の冷却媒体への侵入熱量が最小となるよ
うに構成したので、励磁電流値を制御することが
可能なコンパクトで低価格の超電導磁石装置が提
供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の超電導磁石装置を示す構成図、
第2図は本発明の一実施例を示す構成図、第3図
および第4図は本発明の他の実施例を示す構成図
である。 1……超電導磁石、2……液体ヘリウム、3…
…内槽、4……保冷容器、5……外槽、6……輻
射シールド板、7……液体窒素、8……シールド
管、9……超電導磁石用電源、10……パワーリ
ード、11……低温配管、12……液体ヘリウム
移送管、13……ガスヘリウム、14……外槽、
15……ヘリウム液化機、16……被磁場印加機
器、20,30,100……小型冷凍機、21,
31,101……冷凍媒体、22,32,102
……圧縮機ユニツト、23,33,103……膨
張機、24,34,35,104,105,10
6……冷凍ステージ、25……ヘリウム再凝縮
器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 冷却媒体が満たされた内槽と外槽からなる保
    冷容器と、この保冷容器の内槽内に収納された超
    電導磁石と、前記保冷容器に取付けられ、前記保
    冷容器の内側に複数段階の冷凍ステージを有する
    小型冷凍機と、前記保冷容器の内槽と外槽との間
    に設けられた輻射シールド板と、前記冷凍ステー
    ジに熱的に結合され、前記冷却媒体への侵入熱量
    が最小になるように各冷凍ステージ間における導
    体断面積および導体長さが設定され、前記超電導
    磁石に超電導磁石用電源から励磁電流を供給する
    パワーリードとを備えていることを特徴とする超
    電導磁石装置。
JP58136604A 1983-07-26 1983-07-26 超電導磁石装置 Granted JPS6028211A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58136604A JPS6028211A (ja) 1983-07-26 1983-07-26 超電導磁石装置
US06/632,461 US4543794A (en) 1983-07-26 1984-07-19 Superconducting magnet device
GB08418769A GB2145506B (en) 1983-07-26 1984-07-24 Superconducting magnet device
KR8404441A KR890003871B1 (en) 1983-07-26 1984-07-26 Super conducting magnet device
DE19843427601 DE3427601A1 (de) 1983-07-26 1984-07-26 Supraleitende magnetvorrichtung

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JPS6028211A JPS6028211A (ja) 1985-02-13
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