JPH0582603A - プローブカードの位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブの針圧の管理を可能とし、プローブ
カードの位置決めを短時間で行うようにするとともに、
測定の信頼性を向上させる。 【構成】 ＣＰＵ７は入力された抵抗体の番号と予め入
力されたトリミングデータの目標値および初期テストリ
ミットとから判定範囲を計算する。ＣＰＵ７は判定範囲
を計算すると、プローブ切換器５と測定器６とを制御し
て抵抗体の抵抗値を順次測定する。ＣＰＵ７は測定した
抵抗値が判定範囲内にあるかどうか判定し、判定範囲内
にないと判定すると、プローブ上限駆動装置９によって
プローブカード１を下降させる。ＣＰＵ７は測定した抵
抗値が判定範囲内にあると判定すると、プローブ上下駆
動装置９によって指定針圧に相当するオーバドライブ分
だけプローブカード１を下降させ、位置決めを終了す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明はプローブカードの位置決め方法に
関し、特にプローブカードの高さを合せるための位置決
め方法に関する。

【０００２】

【従来技術】従来、プローブカードの位置決め方法とし
ては、プローブカードのプローブ全てからの測定値をＣ
ＲＴなどの表示装置に表示し、その表示内容を目視でチ
ェックしながら１ブロックを測定する毎にプローブカー
ドを下降させ、１ブロックの全測定値が経験的に正常と
思われる値となった位置で被測定基板の全ブロックを測
定し、全測定値が正常であった場合に最終位置とする方
法がある。

【０００３】また、プローブカードに測定用のプローブ
とは別にエッジセンス用のプローブを設け、そのエッジ
センス用のプローブが被測定基板に接触した位置を０と
して針圧を加えるという方法もある。上記の方法のうち
前者の方法は主に厚膜印刷基板で使用されるものであ
り、後者の方法は主に薄膜基板やウェハなどで使用され
るものである。

【０００４】このような従来のプローブカードの位置決
め方法では、前者の方法の場合、針圧の管理を行うこと
ができないため、プローブカードの寿命を低下させ、か
つ測定の信頼性も高くすることができないという問題が
ある。また、被測定基板の全測定値をチェックしなけれ
ばならないため、プローブカードの位置決めに時間がか
かるという問題もある。

【０００５】後者の方法の場合、プローブカードに測定
用のプローブとは別にエッジセンス用のプローブを設け
るため、エッジセンス用の回路に余分なコストが必要に
なるという問題がある。また、測定用のプローブの高さ
とエッジセンス用のプローブの高さとが少しでも異なる
と、被測定基板の測定を行うことができない場合もある
という問題がある。

【０００６】

【発明の目的】本発明は上記のような従来のものの問題
点を除去すべくなされたもので、プローブの針圧の管理
を可能とし、短時間でプローブカードの位置決めを行う
ことができ、測定の信頼性を向上させることができるプ
ローブカードの位置決め方法の提供を目的とする。

【０００７】

【発明の構成】本発明によるプローブカードの位置決め
方法は、被測定基板の測定箇所に対応して設けられた複
数のプローブを有するプローブカードの位置決め方法で
あって、前記被測定基板に直交する方向に前記プローブ
カードを移動する移動手段と、前記複数のプローブを切
換えて測定対象のプローブを選択する切換え手段と、前
記切換え手段によって前記測定対象として選択されたプ
ローブに対応する測定箇所を測定する測定手段と、前記
測定手段の測定結果と予め設定された所定値とを比較す
る比較手段とを設け、前記測定手段の測定結果から前記
移動手段による前記プローブカードの移動で前記プロー
ブカードと前記被測定基板とが接触したことが認識さ
れ、かつ前記プローブカードと前記被測定基板との平行
度の測定が可能なように前記複数のプローブのうち予め
設定された二つ以上のプローブを前記切換え手段によっ
て切換えることで前記測定手段において連続して得られ
た測定結果すべてに対する前記比較手段の比較結果が一
致したときに前記複数のプローブと前記測定箇所との距
離が零の位置とするようにしたことを特徴とする。

【０００８】

【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。

【０００９】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図において、プローブカード１に取付けられたプロ
ーブ２がＸＹテーブル４上に載置された被測定基板３の
抵抗体（図示せず）に接触されると、プローブ２からの
信号がプローブ切換器５を介して測定器６に入力され
る。測定器６はプローブ２からの信号をサンプリングし
て被測定基板３の抵抗体の抵抗値を測定し、その測定結
果をＣＰＵ７に送出する。ＣＰＵ７は測定器６の測定結
果を基にレーザ光源（Ｎｄ：ＹＡＧレーザ）１０および
スキャン光学系１１を制御し、その抵抗体の一部をレー
ザ光100 で切除することによって、被測定基板３の抵抗
体の抵抗値を所望の抵抗値に調整する。

【００１０】通常、プローブカード１のプローブ２は一
列の抵抗体全ての抵抗値を同時に測定可能なように配置
されており、プローブ切換器５で順次プローブ２の番号
を切換えながら抵抗体に対するトリミングが行われるよ
うになっている。

【００１１】図２は図１の被測定基板３を示す図であ
る。図において、被測定基板３には抵抗体３ａと、その
抵抗体３ａに夫々接続されたハイプローブ側電極３ｂと
ロウプローブ側電極３ｃとが実装されている。この抵抗
体３ａには夫々番号Ｒ1 〜Ｒ10が付与され、被測定基板
３上に一列に配列されている。

【００１２】図３は本発明の一実施例によるトリミング
データの一例を示す図である。図において、トリミング
データは抵抗体３ａの番号Ｒ1 〜Ｒ10毎に、ハイプロー
ブ番号１，３，５，７，９，１１，１３，１５，１７，
１９と、ロウプローブ番号２，４，６，８，１０，１
２，１４，１６，１８，２０と、目標値（１０ＫΩ）
と、初期テストリミットの上限値（＋０．５％）と、初
期テストリミットの下限値（−５０％）とが与えられて
いる。

【００１３】図４は本発明の一実施例によるプローブカ
ードの位置決め方法の処理手順を示すフローチャートで
ある。これら図１〜図４を用いて本発明の一実施例によ
るプローブカードの位置決め方法の処理手順について説
明する。ここで、プローブ２を保持するプローブカード
１の高さは、抵抗体３ａの番号Ｒ1 〜Ｒ10に対応する全
てのハイプローブ側電極３ｂおよびロウプローブ側電極
３ｃにプローブ２が指定の針圧のもとに接触する高さで
ある。

【００１４】まず、プローブ２がハイプローブ側電極３
ｂおよびロウプローブ側電極３ｃに接触していることを
確認するために、予め設定した抵抗体３ａの番号Ｒ1 ，
Ｒ5，Ｒ10をＣＰＵ７に入力する（図４ステップ２
１）。尚、このときの抵抗体３ａの番号はプローブカー
ド１と被測定基板３との平行度を確認できるように設定
する必要があるので、抵抗体３ａの番号が少なくとも隣
り合わない程度に離して設定する。但し、抵抗体３ａが
２個のときに２か所を測定する場合や、抵抗体３ａが３
個のときに３か所を測定する場合にはこの限りではな
い。

【００１５】ＣＰＵ７は入力された抵抗体３ａの番号Ｒ
1 ，Ｒ5 ，Ｒ10と、予め入力された図３に示すようなト
リミングデータの目標値および初期テストリミットとか
ら判定範囲を計算する。この場合、設定された抵抗体３
ａの番号がＲ1 ，Ｒ5 ，Ｒ10に夫々対応する目標値が１
０ＫΩ、初期テストリミットの上限値が＋０．５％、初
期テストリミットの下限値が−５０％であるので、判定
範囲は１０．０５ＫΩ≧Ｒ≧５ＫΩとなる。

【００１６】ＣＰＵ７は判定範囲を計算すると、プロー
ブ切換器５と測定器６とを制御して番号がＲ1 ，Ｒ5 ，
Ｒ10の抵抗体３ａの抵抗値を順次測定する（図４ステッ
プ２２）。ＣＰＵ７は測定した抵抗値が判定範囲内にあ
るかどうか判定する（図４ステップ２３）。

【００１７】ＣＰＵ７は測定した抵抗値が判定範囲内に
ないと判定すると、プローブコントローラ８を制御して
プローブ上下駆動装置９を駆動し、プローブ上下駆動装
置９によってプローブカード１を下降させる（図４ステ
ップ２４）。この後に、ＣＰＵ７は再度プローブ切換器
５と測定器６とを制御して番号がＲ1 ，Ｒ5 ，Ｒ10の抵
抗体３ａの抵抗値を順次測定する（図４ステップ２
２）。上記の動作は測定した抵抗値が判定範囲内に入る
まで繰返し行われる。

【００１８】一方、ＣＰＵ７は測定した抵抗値が判定範
囲内にあると判定すると、プローブ上下駆動装置９によ
って指定針圧に相当するオーバドライブ分だけプローブ
カード１を下降させ、位置決めを終了する（図４ステッ
プ２５）。

【００１９】ここで、プローブカード１のプローブ２の
高さのバラツキが少ない場合には、選択する抵抗値３ａ
の番号が２個で十分であるが、プローブカード１自体が
斜めに保持されている場合や、使い込んだプローブカー
ド１のように両端のプローブ２が低く、中心に向かうに
したがって高くなっているような場合には、プローブカ
ード１の両端および中心の３か所に対応する抵抗値３ａ
の番号を選択することで、全てのプローブ２が接触する
高さに位置決めすることが可能となる。

【００２０】このように、被測定基板３の少なくとも二
か所を測定しながらプローブカード１を徐々に下降させ
ていき、それらの測定値が予め設定された判定範囲に入
った位置を基準位置とし、そこから必要な針圧を加えて
プローブカード１の位置決めを行うようにすることによ
って、従来のようなエッジセンス用のプローブや回路が
なくとも針圧の管理が可能となる。よって、プローブカ
ード１の寿命を長くすることができるとともに、短時間
で位置決めを完了することができる。

【００２１】また、プローブカード１のプローブ２の高
さにバラツキがあっても、それに応じた測定点を選択す
ることによって、高い信頼性の測定が可能となる。

【００２２】尚、本発明の一実施例ではトリミング装置
に用いられるプローブカード１の位置決めについて説明
したが、他の装置でプローブカード１を用いる場合にも
適用できることは明白であり、これに限定されない。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、プ
ローブカードと被測定基板との平行度の測定が可能なよ
うに測定対象として選択された二つ以上のプローブに対
応する測定箇所の測定結果すべてが予め設定された所定
値と一致したときに複数のプローブと測定箇所との距離
が零の位置とするようにすることによって、プローブの
針圧の管理を可能とし、短時間でプローブカードの位置
決めを行うことができ、測定の信頼性を向上させること
ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図２】図１の被測定基板を示す図である。

【図３】本発明の一実施例によるトリミングデータの一
例を示す図である。

【図４】本発明の一実施例によるプローブカードの位置
決め方法の処理手順を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ プローブカード ２ プローブ ３ 被測定基板 ３ａ 抵抗体 ５ プローブ切換器 ６ 測定器 ７ ＣＰＵ ８ プローブコントローラ ９ プローブ上下駆動装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定基板の測定箇所に対応して設けら
   れた複数のプローブを有するプローブカードの位置決め
   方法であって、前記被測定基板に直交する方向に前記プ
   ローブカードを移動する移動手段と、前記複数のプロー
   ブを切換えて測定対象のプローブを選択する切換え手段
   と、前記切換え手段によって前記測定対象として選択さ
   れたプローブに対応する測定箇所を測定する測定手段
   と、前記測定手段の測定結果と予め設定された所定値と
   を比較する比較手段とを設け、前記測定手段の測定結果
   から前記移動手段による前記プローブカードの移動で前
   記プローブカードと前記被測定基板とが接触したことが
   認識され、かつ前記プローブカードと前記被測定基板と
   の平行度の測定が可能なように前記複数のプローブのう
   ち予め設定された二つ以上のプローブを前記切換え手段
   によって切換えることで前記測定手段において連続して
   得られた測定結果すべてに対する前記比較手段の比較結
   果が一致したときに前記複数のプローブと前記測定箇所
   との距離が零の位置とするようにしたことを特徴とする
   位置決め方法。