JPH0582632A - 半導体ウエーハ保管・運搬容器 - Google Patents
半導体ウエーハ保管・運搬容器Info
- Publication number
- JPH0582632A JPH0582632A JP23852191A JP23852191A JPH0582632A JP H0582632 A JPH0582632 A JP H0582632A JP 23852191 A JP23852191 A JP 23852191A JP 23852191 A JP23852191 A JP 23852191A JP H0582632 A JPH0582632 A JP H0582632A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- electronic display
- wafers
- manufacturing
- display board
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 30
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 20
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】発塵源をもつ物を添付することなく、製造管理
を容易に遂行出来る。 【構成】複数枚のウェーハ６を収納する棚１ａを有する
箱体１の側面に、製造枚数，ロット番号及び製造工程名
等のデータを入力し、表示する電子式表示板２と、この
電子表示板２を駆動する駆動回路部３と、コンピュータ
と交信する交信機構部４とを取付けることによって、収
納されるウェーハ６の製造履歴を送信・更新を行うこと
を特徴としている。
を容易に遂行出来る。 【構成】複数枚のウェーハ６を収納する棚１ａを有する
箱体１の側面に、製造枚数，ロット番号及び製造工程名
等のデータを入力し、表示する電子式表示板２と、この
電子表示板２を駆動する駆動回路部３と、コンピュータ
と交信する交信機構部４とを取付けることによって、収
納されるウェーハ６の製造履歴を送信・更新を行うこと
を特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置間に半
導体ウェーハを運搬したり、一般的に保管したりする半
導体ウェーハ保管・運搬容器に関する。
導体ウェーハを運搬したり、一般的に保管したりする半
導体ウェーハ保管・運搬容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェーハ保管・運搬容器
は、図面には示さないが、一方向に開口面を有し、そを
開口面の垂直方向にウェーハが挿入されて収納される棚
を複数段もつプラスチック製の箱である。そして、この
半導体ウェーハ保管・運搬容器は、半導体製造設備間で
ウェーハの運搬あるいは仕掛品としての一時的な保管に
使用されていた。
は、図面には示さないが、一方向に開口面を有し、そを
開口面の垂直方向にウェーハが挿入されて収納される棚
を複数段もつプラスチック製の箱である。そして、この
半導体ウェーハ保管・運搬容器は、半導体製造設備間で
ウェーハの運搬あるいは仕掛品としての一時的な保管に
使用されていた。
【０００３】また、この半導体ウェーハ保管・運搬容器
には、ウェーハの製作履歴，ロット番号、及びその他製
造に関するデータを表示するものがなく、通常、添付さ
れた帳票等に記入し、ウェーハの製造管理が行なわれて
いた。
には、ウェーハの製作履歴，ロット番号、及びその他製
造に関するデータを表示するものがなく、通常、添付さ
れた帳票等に記入し、ウェーハの製造管理が行なわれて
いた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体ウェ
ーハ保管・運搬容器では、添付された文書のなかから必
要な情報を検索するのに手間がかかるほか、文書自体が
発塵源となるという問題点があった。また、文書の内容
を途中で修正する場合には実物を探して直接修正する必
要があった。
ーハ保管・運搬容器では、添付された文書のなかから必
要な情報を検索するのに手間がかかるほか、文書自体が
発塵源となるという問題点があった。また、文書の内容
を途中で修正する場合には実物を探して直接修正する必
要があった。
【０００５】さらに、文書を添付せずに工程管理の情報
は全てオンラインのコンピュータ処理される場合は、コ
ンピュータの停止などの各種トラブル時に人間による目
視での確認ができず、半導体ウェーハの製造管理するこ
とが困難であった。
は全てオンラインのコンピュータ処理される場合は、コ
ンピュータの停止などの各種トラブル時に人間による目
視での確認ができず、半導体ウェーハの製造管理するこ
とが困難であった。
【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、発塵源となる物を添付することなく、半導体ウェー
ハの製造管理を容易に出来る半導体ウェーハ保管・運搬
容器を提供することである。
く、発塵源となる物を添付することなく、半導体ウェー
ハの製造管理を容易に出来る半導体ウェーハ保管・運搬
容器を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体ウェーハ
保管・運搬容器は、半導体ウェーハが収納される棚が形
成される箱体と、この箱体の一側面に取付けられる電子
式表示板と、この電子式表示板を駆動する駆動回路及び
電源部と、コンピュータと交信する交信機構とを備えて
いる。
保管・運搬容器は、半導体ウェーハが収納される棚が形
成される箱体と、この箱体の一側面に取付けられる電子
式表示板と、この電子式表示板を駆動する駆動回路及び
電源部と、コンピュータと交信する交信機構とを備えて
いる。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示す半導体ウェ
ーハ保管・運搬容器の概略図である。この半導体ウェー
ハ保管・運搬容器は、図１に示すように、ウェーハ６が
収納される棚１ａをもつ箱体１と、この箱体の側面に数
字及び文字が表示される電子式表示板２と、この電子式
表示板２を駆動する駆動回路及び電源を内蔵する駆動回
路部３と、駆動回路部３に入出力信号をコンピュータ５
と授受する交信機構部４とを有している。
ーハ保管・運搬容器の概略図である。この半導体ウェー
ハ保管・運搬容器は、図１に示すように、ウェーハ６が
収納される棚１ａをもつ箱体１と、この箱体の側面に数
字及び文字が表示される電子式表示板２と、この電子式
表示板２を駆動する駆動回路及び電源を内蔵する駆動回
路部３と、駆動回路部３に入出力信号をコンピュータ５
と授受する交信機構部４とを有している。
【００１０】次に、この半導体ウェーハ保管・運搬容器
の動作手順を説明する。まず、ある工程での製造設備で
処理されたウェーハの枚数、ロッド番号、製造工程名を
電子式表示板２に付設されるキーボードを操作して、交
信機構部４によりコンピュータ５に通信するとともに電
子式表示板２に表示させる。次に、次工程の製造設備に
半導体ウェーハ保管・運搬容器に運搬し、ウェーハを設
備に移載すると同時に電子式表示板２をクリアにする。
そして、ウェーハは処理されたら、ウェーハ６を半導体
ウェーハ保管・運搬容器の棚１ａに収納する。そして、
再び、ウェーハの枚数，ロッド番号，製造工程名を電子
式表示板２に付設されるキーボードを操作して、交信機
構部４によりコンピュータ５に通信するとともに電子式
表示板２に表示させる。
の動作手順を説明する。まず、ある工程での製造設備で
処理されたウェーハの枚数、ロッド番号、製造工程名を
電子式表示板２に付設されるキーボードを操作して、交
信機構部４によりコンピュータ５に通信するとともに電
子式表示板２に表示させる。次に、次工程の製造設備に
半導体ウェーハ保管・運搬容器に運搬し、ウェーハを設
備に移載すると同時に電子式表示板２をクリアにする。
そして、ウェーハは処理されたら、ウェーハ６を半導体
ウェーハ保管・運搬容器の棚１ａに収納する。そして、
再び、ウェーハの枚数，ロッド番号，製造工程名を電子
式表示板２に付設されるキーボードを操作して、交信機
構部４によりコンピュータ５に通信するとともに電子式
表示板２に表示させる。
【００１１】このように、半導体装置の製造設備間の受
け渡し毎に、この半導体ウェーハ保管・運搬容器がも
つ、表示機構及び交信機構を利用して、中央のコンピュ
ータと送受信して、製造管理を行うことである。このこ
とによって、各品種少量生産の半導体装置の製造管理が
容易に、トラブルを起すことなく遂行出来る利点があ
る。
け渡し毎に、この半導体ウェーハ保管・運搬容器がも
つ、表示機構及び交信機構を利用して、中央のコンピュ
ータと送受信して、製造管理を行うことである。このこ
とによって、各品種少量生産の半導体装置の製造管理が
容易に、トラブルを起すことなく遂行出来る利点があ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体ウ
ェーハ保管・運搬容器に電子式の表示板を備えているの
で工程管理に必要の情報をわかりやすく表示することが
できる。
ェーハ保管・運搬容器に電子式の表示板を備えているの
で工程管理に必要の情報をわかりやすく表示することが
できる。
【００１３】つまり、半導体製造の工程は非常に多工程
にわたるが、工程管理に必要な最低限度の情報は現時点
で仕掛かっている工程を中心にした前後数工程の情報で
しかないので、この数工程に関する情報を電子式表示板
２で表示してやればよい。電子式であるので工程の進歩
に従って内容を更新してやればよい。情報の更新時には
コンピュータ５より必要なデータを受け取って情報を更
新するので駆動回路３自体が保持しなければならない情
報量は少なくてよい。また、情報の更新時にはコンピュ
ータ５から情報を受け取るため、製造途中で工程に変更
が生じた場合はコンピュータ５内の情報の修正のみでよ
い。
にわたるが、工程管理に必要な最低限度の情報は現時点
で仕掛かっている工程を中心にした前後数工程の情報で
しかないので、この数工程に関する情報を電子式表示板
２で表示してやればよい。電子式であるので工程の進歩
に従って内容を更新してやればよい。情報の更新時には
コンピュータ５より必要なデータを受け取って情報を更
新するので駆動回路３自体が保持しなければならない情
報量は少なくてよい。また、情報の更新時にはコンピュ
ータ５から情報を受け取るため、製造途中で工程に変更
が生じた場合はコンピュータ５内の情報の修正のみでよ
い。
【００１４】従って、本発明によれば、発塵源となる物
を添付することなく半導体ウェーハの製造管理が容易に
かつ円滑に遂行出来る半導体ウェーハ保管・運搬容器が
得られるという効果がある。
を添付することなく半導体ウェーハの製造管理が容易に
かつ円滑に遂行出来る半導体ウェーハ保管・運搬容器が
得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す半導体ウェーハ保管・
運搬容器の概略図である。
運搬容器の概略図である。
１ 箱体 １ａ 棚 ２ 電子式表示板 ３ 駆動回路部 ４ 交信機構部 ５ コンピュータ ６ ウェーハ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウェーハが収納される棚が形成さ
れる箱体と、この箱体の一側面に取付けられる電子式表
示板と、この電子式表示板を駆動する駆動回路及び電源
部と、コンピュータと交信する交信機構とを備えること
を特徴とする半導体ウェーハ保管・運搬容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23852191A JPH0582632A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体ウエーハ保管・運搬容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23852191A JPH0582632A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体ウエーハ保管・運搬容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582632A true JPH0582632A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17031493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23852191A Pending JPH0582632A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 半導体ウエーハ保管・運搬容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582632A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5700127A (en) * | 1995-06-27 | 1997-12-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62143415A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | Hitachi Ltd | 分散型作業進行管理方法 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23852191A patent/JPH0582632A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62143415A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-26 | Hitachi Ltd | 分散型作業進行管理方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5700127A (en) * | 1995-06-27 | 1997-12-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971224 |