JPH0582652B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0582652B2 JPH0582652B2 JP59176164A JP17616484A JPH0582652B2 JP H0582652 B2 JPH0582652 B2 JP H0582652B2 JP 59176164 A JP59176164 A JP 59176164A JP 17616484 A JP17616484 A JP 17616484A JP H0582652 B2 JPH0582652 B2 JP H0582652B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- thin film
- recording medium
- film
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は磁気記録媒体に関し、より詳細にはビ
デオテープ等として使用される非バインダー型の
磁気記録媒体に関するものである。 （従来技術） 従来より磁気記録媒体としては、有機バインダ
ー中に分散させた粉末磁性材料を非磁性基体上に
塗布し乾燥させてなる塗布型のものが広く使用さ
れてきている。しかしながら、従来の塗布型磁気
記録媒体は、磁性材料として強磁性金属よりも飽
和磁化の小さい金属酸化物を主として用いている
ため高密度記録には適しておらず、また製造工程
が複雑であり、溶剤回収あるいは公害防止のため
に大規模な附帯設備を有するという欠点を有して
いる。 これに対し、近年高密度記録への要求の高まり
と共に真空蒸着、スパツタリング、イオンプレー
テイング等のペーパーデポジシヨン法あるいは電
気メツキ、無電解メツキ等のメツキ法により形成
される強磁性薄膜を磁気記録層とする、バインダ
ーを使用しない、いわゆる非バインダー型磁気記
録媒体が実用化されるに到つた。非バインダー型
磁気記録媒体においては塗布型磁気記録媒体に使
用される金属酸化物よりも飽和磁化の大きな強磁
性金属をバインダーのごとき非磁性物質を含有し
ない状態で薄膜として形成させることが可能であ
るため、塗布型と比較して高保磁力化および薄層
化が達成でき、しかも製造工程が簡略化され、有
機溶媒による公害も防止されるという利点を有し
ている。特に非バインダー型磁気記録媒体記録層
はその厚さを塗布型よりも一桁小さな値とするこ
とが可能であるため、高密度記録用磁気記録媒体
として注目されている。 しかしながら、非バインダー型磁気記録媒体の
磁性薄膜は腐食されやすいため、該記録媒体は塗
布型磁気記録媒体と比較して耐候性および耐錆性
が劣つている。特にビデオテープ等として使用さ
れる磁気記録媒体は記録・再生時に該媒体表面が
磁気ヘツドで擦られるため、極めて軽度であつて
も錆が該媒体表面上に存在しているとヘツドに目
詰りが生じ、この結果、媒体およびヘツドが傷つ
くことになる。さらに錆の程度が甚しくなると磁
性薄膜が剥離して、記録されていた情報の消失を
招くこともある。 さらに、非バインダー型磁気記録媒体に係る問
題として耐久性がある。すなわち、VTRにおけ
るスチル耐久性等において非バインダー型磁気記
録媒体は塗布型磁気記録媒体に劣つているため、
その改良が実用上切望されている。 こうした非バインダー型磁気記録媒体の耐候
性、耐久性を改良する方法として、イオンプレー
テイングにより表面窒化処理を施す方法（特開昭
50−33806号）、スパツタにより窒化硅素膜を設け
る方法（特開昭53−30304号）、磁性膜を窒素ガス
等の雰囲気中での放電にさらして非磁性表面層を
形成する方法（特開昭58−85403号）、磁性金属薄
膜上に窒化された金属薄膜を設ける方法（特開昭
54−143111号）等が知られているが耐候性、耐久
性の改良が不十分で効果を得るには膜厚を大きく
せねばならる等の欠点があつた。非磁性保護膜は
膜厚が大きいと電磁変換特性劣化が著しく非バイ
ンダー型磁気記録媒体の特徴が失われてしまう。
さらに耐候性にすぐれた非バインダー型磁気記録
媒体の一つとして、ヨーロツパ特許8328号あるい
は特開昭59−87809号に開示されているような窒
化鉄あるいは鉄および窒化鉄よりなる磁性薄膜が
あるが磁気特性が不十分であり、耐久性について
も改良が望まれている。 （発明の目的） 本発明の目的は上記従来技術の問題点に鑑み、
優れた耐候性におよび耐久性を有する磁気記録媒
体を提供することにある。 （発明の構成） 本発明による磁気記録媒体は非磁性基体上に酸
化窒化鉄膜を主成分とする磁性薄膜を設けてなる
ものであり、該磁性薄膜は下記組成式 Fe1-X-YNXOY （ただし、ＸおよびＹはそれぞれ元素の原子数比
率であり、式中0.25≦Ｘ＋Ｙ＜0.60かつＸ＞Ｙで
ある）で表わされる組成を有している。 本発明は、酸化窒化鉄を主成分とする磁性薄膜
を構成する元素の組成比を特定範囲に限定するこ
とにより、磁気特性を低下させることなく、耐候
性および耐久性がともに優れた磁気記録媒体の提
供を可能にしたものである。 すなわち、本発明の磁気記録媒体における磁性
薄膜Fe1-X-YNXOYにおいて、窒素と酸素の合計比
率（Ｘ＋Ｙ）が0.25未満であると耐候性および耐
久性が低下し、0.60以上であると磁気特性が低下
し、ともに好ましくない。また、本発明において
は窒素の原子比率Ｘを酸素の原子比率Ｙよりも大
きくすることにより、耐候性をさらに改良してい
る。 磁性薄膜の厚さは磁気記録媒体として充分は出
力を与える厚さおよび高密度記録の充分行える薄
さを必要とすることから、一般には0.02μm〜
5.0μm、好ましくは0.05μm〜2.0μmである。 本発明に用いられる基体としてはポリエチレン
テレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ
塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネー
ト、ポリエチレンテレフタレートのようなプラス
チツクベースの基体が好ましい。 本発明における磁性薄膜上に潤滑剤層を用いて
もよく、潤滑剤としては、炭素数12〜18個の脂肪
酸（R1COOH、R1は炭素数11〜17のアルキルま
たはアルケニル基）；前記脂肪酸の金属塩；シリ
コーンオイル；炭素数２〜20個の一塩基性脂肪酸
と炭素数３〜12個の一価のアルコールから成る脂
肪酸エステル類から選ばれた少なくとも１種を含
有するもの等が使用される。上記潤滑剤は磁性膜
上に0.5〜20mg／m2存在せしめるのがよく、潤滑
剤の塗布は必要に応じて磁性膜上、あるいは支持
体裏面に塗布して潤滑剤を磁性膜上へ転写させる
ようにしても良い。 本発明の磁気記録媒体においては、必要に応じ
支持体裏面にいわゆるバツク層を設けてもよい。 また、磁性金属蒸着膜と支持体との間に有機あ
るいは無機物からなる層を設けてもよい。 （実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明するが、本発明は本実施例に限定されるもの
ではない。 実施例 １ 第１図にその要部を示した巻取り式蒸着装置を
用いて、9.5μm厚のポリエチレンテレフタレート
フイルム上に斜方入射蒸着法により酸化窒化鉄磁
性薄膜を形成させて磁気テープを作製した。第１
図において帯状支持体３はクーリングキヤン４に
沿つて搬送され、その表面上に射方入射蒸着法に
より磁性蒸着膜が形成される。 蒸着は、電子ビーム８によつてルツボ１０内に
置かれている蒸着材料９であるFe（3N）を加熱
して行なつた。ルツボ１０上には熱電子放出フイ
ラメント７とイオン化電極６および窒素導入管１
１が配置されており、熱電子放出フイラメント７
に電圧を印加し、白熱化させることにより熱電子
を放出させるとともにイオン化電極６に60voltを
印加し、窒素導入管１１より200c.c.／分導入した
窒素および蒸着粒子のイオン化を行なつた。入射
角は遮蔽マスク５により制御し、60°とした。酸
素ガスの導入は導入管１２より行ない、100c.c.／
分とした。蒸着時の真空度は2.7×10-4Torrであ
つた。蒸着膜厚は0.1μmであつた。 比較例 １ 実施例１で示した蒸着装置を用いて蒸着材料と
してよく利用されているCo0.8Ni0.2を蒸着した。
入射角は40°とし、ガスは酸素のみを300cc／分導
入した。蒸着膜厚は0.1μmであつた。 こうして得られた各磁気テープの耐候性および
耐久性、磁気特性を測定した。耐候性は発露型ウ
エザーメータ（山崎精機研究所Ｅ−12WG型）に
３日間保存後の錆の発生状況を５段階評価により
判定した。耐久性についてはVHS型VTRにてテ
ープを10分間スチルモードにかけた後、磁性膜面
のヘツドの傷発生状況を顕微鏡観察し、これも５
段階評価により判定した。 磁気特性としては、試料振動型磁束計（東英工
業製VSM−３型）により保磁力Hcと残留磁化φr
を求めた。これらの結果を下表に示す。
デオテープ等として使用される非バインダー型の
磁気記録媒体に関するものである。 （従来技術） 従来より磁気記録媒体としては、有機バインダ
ー中に分散させた粉末磁性材料を非磁性基体上に
塗布し乾燥させてなる塗布型のものが広く使用さ
れてきている。しかしながら、従来の塗布型磁気
記録媒体は、磁性材料として強磁性金属よりも飽
和磁化の小さい金属酸化物を主として用いている
ため高密度記録には適しておらず、また製造工程
が複雑であり、溶剤回収あるいは公害防止のため
に大規模な附帯設備を有するという欠点を有して
いる。 これに対し、近年高密度記録への要求の高まり
と共に真空蒸着、スパツタリング、イオンプレー
テイング等のペーパーデポジシヨン法あるいは電
気メツキ、無電解メツキ等のメツキ法により形成
される強磁性薄膜を磁気記録層とする、バインダ
ーを使用しない、いわゆる非バインダー型磁気記
録媒体が実用化されるに到つた。非バインダー型
磁気記録媒体においては塗布型磁気記録媒体に使
用される金属酸化物よりも飽和磁化の大きな強磁
性金属をバインダーのごとき非磁性物質を含有し
ない状態で薄膜として形成させることが可能であ
るため、塗布型と比較して高保磁力化および薄層
化が達成でき、しかも製造工程が簡略化され、有
機溶媒による公害も防止されるという利点を有し
ている。特に非バインダー型磁気記録媒体記録層
はその厚さを塗布型よりも一桁小さな値とするこ
とが可能であるため、高密度記録用磁気記録媒体
として注目されている。 しかしながら、非バインダー型磁気記録媒体の
磁性薄膜は腐食されやすいため、該記録媒体は塗
布型磁気記録媒体と比較して耐候性および耐錆性
が劣つている。特にビデオテープ等として使用さ
れる磁気記録媒体は記録・再生時に該媒体表面が
磁気ヘツドで擦られるため、極めて軽度であつて
も錆が該媒体表面上に存在しているとヘツドに目
詰りが生じ、この結果、媒体およびヘツドが傷つ
くことになる。さらに錆の程度が甚しくなると磁
性薄膜が剥離して、記録されていた情報の消失を
招くこともある。 さらに、非バインダー型磁気記録媒体に係る問
題として耐久性がある。すなわち、VTRにおけ
るスチル耐久性等において非バインダー型磁気記
録媒体は塗布型磁気記録媒体に劣つているため、
その改良が実用上切望されている。 こうした非バインダー型磁気記録媒体の耐候
性、耐久性を改良する方法として、イオンプレー
テイングにより表面窒化処理を施す方法（特開昭
50−33806号）、スパツタにより窒化硅素膜を設け
る方法（特開昭53−30304号）、磁性膜を窒素ガス
等の雰囲気中での放電にさらして非磁性表面層を
形成する方法（特開昭58−85403号）、磁性金属薄
膜上に窒化された金属薄膜を設ける方法（特開昭
54−143111号）等が知られているが耐候性、耐久
性の改良が不十分で効果を得るには膜厚を大きく
せねばならる等の欠点があつた。非磁性保護膜は
膜厚が大きいと電磁変換特性劣化が著しく非バイ
ンダー型磁気記録媒体の特徴が失われてしまう。
さらに耐候性にすぐれた非バインダー型磁気記録
媒体の一つとして、ヨーロツパ特許8328号あるい
は特開昭59−87809号に開示されているような窒
化鉄あるいは鉄および窒化鉄よりなる磁性薄膜が
あるが磁気特性が不十分であり、耐久性について
も改良が望まれている。 （発明の目的） 本発明の目的は上記従来技術の問題点に鑑み、
優れた耐候性におよび耐久性を有する磁気記録媒
体を提供することにある。 （発明の構成） 本発明による磁気記録媒体は非磁性基体上に酸
化窒化鉄膜を主成分とする磁性薄膜を設けてなる
ものであり、該磁性薄膜は下記組成式 Fe1-X-YNXOY （ただし、ＸおよびＹはそれぞれ元素の原子数比
率であり、式中0.25≦Ｘ＋Ｙ＜0.60かつＸ＞Ｙで
ある）で表わされる組成を有している。 本発明は、酸化窒化鉄を主成分とする磁性薄膜
を構成する元素の組成比を特定範囲に限定するこ
とにより、磁気特性を低下させることなく、耐候
性および耐久性がともに優れた磁気記録媒体の提
供を可能にしたものである。 すなわち、本発明の磁気記録媒体における磁性
薄膜Fe1-X-YNXOYにおいて、窒素と酸素の合計比
率（Ｘ＋Ｙ）が0.25未満であると耐候性および耐
久性が低下し、0.60以上であると磁気特性が低下
し、ともに好ましくない。また、本発明において
は窒素の原子比率Ｘを酸素の原子比率Ｙよりも大
きくすることにより、耐候性をさらに改良してい
る。 磁性薄膜の厚さは磁気記録媒体として充分は出
力を与える厚さおよび高密度記録の充分行える薄
さを必要とすることから、一般には0.02μm〜
5.0μm、好ましくは0.05μm〜2.0μmである。 本発明に用いられる基体としてはポリエチレン
テレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ
塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネー
ト、ポリエチレンテレフタレートのようなプラス
チツクベースの基体が好ましい。 本発明における磁性薄膜上に潤滑剤層を用いて
もよく、潤滑剤としては、炭素数12〜18個の脂肪
酸（R1COOH、R1は炭素数11〜17のアルキルま
たはアルケニル基）；前記脂肪酸の金属塩；シリ
コーンオイル；炭素数２〜20個の一塩基性脂肪酸
と炭素数３〜12個の一価のアルコールから成る脂
肪酸エステル類から選ばれた少なくとも１種を含
有するもの等が使用される。上記潤滑剤は磁性膜
上に0.5〜20mg／m2存在せしめるのがよく、潤滑
剤の塗布は必要に応じて磁性膜上、あるいは支持
体裏面に塗布して潤滑剤を磁性膜上へ転写させる
ようにしても良い。 本発明の磁気記録媒体においては、必要に応じ
支持体裏面にいわゆるバツク層を設けてもよい。 また、磁性金属蒸着膜と支持体との間に有機あ
るいは無機物からなる層を設けてもよい。 （実施例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明するが、本発明は本実施例に限定されるもの
ではない。 実施例 １ 第１図にその要部を示した巻取り式蒸着装置を
用いて、9.5μm厚のポリエチレンテレフタレート
フイルム上に斜方入射蒸着法により酸化窒化鉄磁
性薄膜を形成させて磁気テープを作製した。第１
図において帯状支持体３はクーリングキヤン４に
沿つて搬送され、その表面上に射方入射蒸着法に
より磁性蒸着膜が形成される。 蒸着は、電子ビーム８によつてルツボ１０内に
置かれている蒸着材料９であるFe（3N）を加熱
して行なつた。ルツボ１０上には熱電子放出フイ
ラメント７とイオン化電極６および窒素導入管１
１が配置されており、熱電子放出フイラメント７
に電圧を印加し、白熱化させることにより熱電子
を放出させるとともにイオン化電極６に60voltを
印加し、窒素導入管１１より200c.c.／分導入した
窒素および蒸着粒子のイオン化を行なつた。入射
角は遮蔽マスク５により制御し、60°とした。酸
素ガスの導入は導入管１２より行ない、100c.c.／
分とした。蒸着時の真空度は2.7×10-4Torrであ
つた。蒸着膜厚は0.1μmであつた。 比較例 １ 実施例１で示した蒸着装置を用いて蒸着材料と
してよく利用されているCo0.8Ni0.2を蒸着した。
入射角は40°とし、ガスは酸素のみを300cc／分導
入した。蒸着膜厚は0.1μmであつた。 こうして得られた各磁気テープの耐候性および
耐久性、磁気特性を測定した。耐候性は発露型ウ
エザーメータ（山崎精機研究所Ｅ−12WG型）に
３日間保存後の錆の発生状況を５段階評価により
判定した。耐久性についてはVHS型VTRにてテ
ープを10分間スチルモードにかけた後、磁性膜面
のヘツドの傷発生状況を顕微鏡観察し、これも５
段階評価により判定した。 磁気特性としては、試料振動型磁束計（東英工
業製VSM−３型）により保磁力Hcと残留磁化φr
を求めた。これらの結果を下表に示す。
【表】
なお、オージエ電子分光法（AES）を用いて
磁性蒸着膜の深さ方向の組成分析を行つて原子比
率を測定したところ、実施例１の酸化窒化鉄磁性
薄膜はFe0.67N0.18O0.15、比較例１ものはFe0.64
N0.16O0.20であつた。 このような本発明による記録媒体は従来のもの
に比して耐候性や耐久性に優れたものであつた。 実施例２〜３および比較例２〜７ 実施例１において、第１図の巻取り式蒸着装置
のイオン化電極６に印加する電圧、窒素導入管１
１より導入する窒素の流量、酸素導入管１２より
導入する酸素ガスの流量を下記の表２に示す通り
に変えて元素組成比率の異なる酸化窒化鉄の磁性
薄膜を作成した。実施例１と同一の条件で耐候
性、耐久性および磁気特性を測定したところ、表
３に示す通りであつた。 比較例２では、イオン化電極に電圧を印加しな
かつたので窒素イオンが形成されなかつたため
か、FeO膜が生成した。
磁性蒸着膜の深さ方向の組成分析を行つて原子比
率を測定したところ、実施例１の酸化窒化鉄磁性
薄膜はFe0.67N0.18O0.15、比較例１ものはFe0.64
N0.16O0.20であつた。 このような本発明による記録媒体は従来のもの
に比して耐候性や耐久性に優れたものであつた。 実施例２〜３および比較例２〜７ 実施例１において、第１図の巻取り式蒸着装置
のイオン化電極６に印加する電圧、窒素導入管１
１より導入する窒素の流量、酸素導入管１２より
導入する酸素ガスの流量を下記の表２に示す通り
に変えて元素組成比率の異なる酸化窒化鉄の磁性
薄膜を作成した。実施例１と同一の条件で耐候
性、耐久性および磁気特性を測定したところ、表
３に示す通りであつた。 比較例２では、イオン化電極に電圧を印加しな
かつたので窒素イオンが形成されなかつたため
か、FeO膜が生成した。
【表】
【表】
【表】
【表】
（発明の効果）
本発明は記録層として酸化窒化鉄膜を主成分と
する磁性薄膜を設けたことにより、耐候性および
耐久性に優れた磁気記録媒体を得たものであり、
その実用上のメリツトは大きい。
する磁性薄膜を設けたことにより、耐候性および
耐久性に優れた磁気記録媒体を得たものであり、
その実用上のメリツトは大きい。
図面は本発明の実施例に使用された装置の要部
を示す概略図である。 １……蒸着装置、３……帯状支持体、４……ク
ーリングキヤン、５……遮蔽マスク、６……イオ
ン化電極、７……熱電子放出フイラメント、８…
…電子ビーム、１０……ルツボ、１１……窒素導
入管、１２……酸素導入管。
を示す概略図である。 １……蒸着装置、３……帯状支持体、４……ク
ーリングキヤン、５……遮蔽マスク、６……イオ
ン化電極、７……熱電子放出フイラメント、８…
…電子ビーム、１０……ルツボ、１１……窒素導
入管、１２……酸素導入管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性基体上に酸化窒化鉄を主成分とする磁
性薄膜を設けてなり、前記酸化窒化鉄を主成分と
する磁性薄膜が下記組成式 Fe1-X-YNXOY （ただし、式中ＸおよびＹはそれぞれ元素の原子
数比率であり、0.25≦Ｘ＋Ｙ＜0.60かつＸ＞Ｙで
ある）で表わされる組成を有することを特徴とす
る磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176164A JPS6154023A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体 |
| US07/113,380 US4835068A (en) | 1984-08-24 | 1987-10-27 | Magnetic recording medium |
| US07/242,869 US4988535A (en) | 1984-08-24 | 1988-09-12 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176164A JPS6154023A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154023A JPS6154023A (ja) | 1986-03-18 |
| JPH0582652B2 true JPH0582652B2 (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=16008780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59176164A Granted JPS6154023A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4835068A (ja) |
| JP (1) | JPS6154023A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0654535B2 (ja) * | 1987-03-30 | 1994-07-20 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JPS63253524A (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| CH683776A5 (de) * | 1991-12-05 | 1994-05-13 | Alusuisse Lonza Services Ag | Beschichten einer Substratfläche mit einer Permeationssperre. |
| JPH0963031A (ja) * | 1995-08-25 | 1997-03-07 | Kao Corp | 磁気記録媒体 |
| JP3801418B2 (ja) * | 1999-05-14 | 2006-07-26 | 株式会社Ｎｅｏｍａｘ | 表面処理方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL6909541A (ja) * | 1969-06-21 | 1970-12-23 | ||
| JPS4843191A (ja) * | 1971-10-05 | 1973-06-22 | ||
| US4271232A (en) * | 1978-08-28 | 1981-06-02 | International Business Machines Corporation | Amorphous magnetic film |
| JPS5759304A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-09 | Kanto Denka Kogyo Kk | Magnetic recording material and its manufacture |
| US4452857A (en) * | 1981-01-12 | 1984-06-05 | Shunpei Yamazaki | Magnetic medium |
| US4495242A (en) * | 1981-04-02 | 1985-01-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
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1988
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