JPH05861B2 - - Google Patents
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- JPH05861B2 JPH05861B2 JP63194618A JP19461888A JPH05861B2 JP H05861 B2 JPH05861 B2 JP H05861B2 JP 63194618 A JP63194618 A JP 63194618A JP 19461888 A JP19461888 A JP 19461888A JP H05861 B2 JPH05861 B2 JP H05861B2
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- wire
- bonding
- wedge
- length
- base
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
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- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワイヤを挿通するガイド孔を先端面
に対して傾斜して備え、ワイヤが先端面下方に傾
斜して繰り出されるボンデイングウエツジ（以下
ウエツジと略）を用いて超音波によりワイヤボン
デイングを行うワイヤボンデイング方法に関する
ものである。
に対して傾斜して備え、ワイヤが先端面下方に傾
斜して繰り出されるボンデイングウエツジ（以下
ウエツジと略）を用いて超音波によりワイヤボン
デイングを行うワイヤボンデイング方法に関する
ものである。
従来多用されているウエツジ１１は第４図ａに
示すようにガイド孔３１は先端面４１に対して約
30〜45°の傾きに形成されていて、ボンデイング
を行うときはウエツジ１１をボンデイング部の直
上部に位置せしめ、矢印１２のように真下に下降
せしめて超音波振動を印加していた。
示すようにガイド孔３１は先端面４１に対して約
30〜45°の傾きに形成されていて、ボンデイング
を行うときはウエツジ１１をボンデイング部の直
上部に位置せしめ、矢印１２のように真下に下降
せしめて超音波振動を印加していた。
従つて、ワイヤ２の繰り出し角が約30〜45°と
なるので基板６にある電子部品などにワイヤ２が
当たる場合があり不都合であつた。
なるので基板６にある電子部品などにワイヤ２が
当たる場合があり不都合であつた。
この不都合は、第４図ｂに示すように先端面４
に対して例えば約60°の傾きでガイド孔３を有す
るウエツジ１を用いれば少なくすることができ
る。
に対して例えば約60°の傾きでガイド孔３を有す
るウエツジ１を用いれば少なくすることができ
る。
ところが、このように大きな傾きでガイド孔３
を備えているウエツジ１を用いてワイヤボンデイ
ングを行おうとすれば、ワイヤ２がボンデイング
に所要の長さｌ（第１ボンデイングしろ）だけウ
エツジ１の先端面４から斜めに繰り出されている
状態からICチツプ１５のパツド７を第１ボンデ
イング部としてボンデイングを行う第１ボンデイ
ングにおいては、ワイヤ２の先端の第１ボンデイ
ングしろのICチツプ１５に対する傾きもガイド
孔３と同じ角の大きな傾きとなる。
を備えているウエツジ１を用いてワイヤボンデイ
ングを行おうとすれば、ワイヤ２がボンデイング
に所要の長さｌ（第１ボンデイングしろ）だけウ
エツジ１の先端面４から斜めに繰り出されている
状態からICチツプ１５のパツド７を第１ボンデ
イング部としてボンデイングを行う第１ボンデイ
ングにおいては、ワイヤ２の先端の第１ボンデイ
ングしろのICチツプ１５に対する傾きもガイド
孔３と同じ角の大きな傾きとなる。
従つて、ウエツジ１を矢印１２のように真下に
下降せしめてもワイヤ２はその先端から長さｌだ
け手前の部分で折れ曲りにくく、ウエツジ１の下
降に伴つてワイヤ２が撓みながら相対的にガイド
孔３の中に逃げて戻つてしまい、ボンデイングに
所要の長さｌのワイヤ２をウエツジ１の先端面４
とICチツプ１５のパツド７との間に挟圧するこ
とができない状態となつてしまう。これを避けよ
うとすればパツド７から大きく外側にはみ出す長
さだけワイヤ２を繰り出せばよいが、そうすると
はみ出させたワイヤ先端がシヨートすることもあ
り、またワイヤ２も無駄になる欠点がある。
下降せしめてもワイヤ２はその先端から長さｌだ
け手前の部分で折れ曲りにくく、ウエツジ１の下
降に伴つてワイヤ２が撓みながら相対的にガイド
孔３の中に逃げて戻つてしまい、ボンデイングに
所要の長さｌのワイヤ２をウエツジ１の先端面４
とICチツプ１５のパツド７との間に挟圧するこ
とができない状態となつてしまう。これを避けよ
うとすればパツド７から大きく外側にはみ出す長
さだけワイヤ２を繰り出せばよいが、そうすると
はみ出させたワイヤ先端がシヨートすることもあ
り、またワイヤ２も無駄になる欠点がある。
本発明者は上述の従来の問題点を解決するため
に特願昭62−199039号でワイヤ先端を予め第１ボ
ンデイングに要する長さだけウエツジ１の先端面
に沿わしめ、第１ボンデイングしろを予め折曲形
成しておく方法を提案しているが、本発明はそれ
をさらに改善しようとするものである。
に特願昭62−199039号でワイヤ先端を予め第１ボ
ンデイングに要する長さだけウエツジ１の先端面
に沿わしめ、第１ボンデイングしろを予め折曲形
成しておく方法を提案しているが、本発明はそれ
をさらに改善しようとするものである。
本発明は、ウエツジを用いてワイヤボンデイン
グを行うワイヤボンデイング方法において、第２
ボンデイング部の超音波印加の終了後ウエツジを
次の第１ボンデイングに要するワイヤの長さｌと
同じ距離だけ前方上方に斜めに又は真上に上昇さ
せてウエツジをワイヤに対して後退せしめて第２
ボンデイング部から連続しているワイヤのその立
ち上がり基部からウエツジまでのワイヤの長さを
ｌとし、次いでウエツジを相対的に真下に又は前
方下方に下降せしめてワイヤをその立ち上り基部
から長さｌだけ手前の部分で折曲し、次いでウエ
ツジのワイヤに対する後退を阻止した状態でウエ
ツジを相対的に前方に移動せしめてワイヤを前記
第２ボンデイング部からの立ち上がり基部で切断
し、その後、ウエツジを次の第１ボンデイング部
に移動せしめることを特徴とするワイヤボンデイ
ング方法である。
グを行うワイヤボンデイング方法において、第２
ボンデイング部の超音波印加の終了後ウエツジを
次の第１ボンデイングに要するワイヤの長さｌと
同じ距離だけ前方上方に斜めに又は真上に上昇さ
せてウエツジをワイヤに対して後退せしめて第２
ボンデイング部から連続しているワイヤのその立
ち上がり基部からウエツジまでのワイヤの長さを
ｌとし、次いでウエツジを相対的に真下に又は前
方下方に下降せしめてワイヤをその立ち上り基部
から長さｌだけ手前の部分で折曲し、次いでウエ
ツジのワイヤに対する後退を阻止した状態でウエ
ツジを相対的に前方に移動せしめてワイヤを前記
第２ボンデイング部からの立ち上がり基部で切断
し、その後、ウエツジを次の第１ボンデイング部
に移動せしめることを特徴とするワイヤボンデイ
ング方法である。
なお、本明細書においては、第１ボンデイング
部から第２ボンデイング部へウエツジをボンデイ
ング移動せしめるときに進行方向に臨む側面をウ
エツジの前面とし、従つてウエツジの前方とはこ
の前面の臨んだ方向をいい、反対方向を後方とい
う。
部から第２ボンデイング部へウエツジをボンデイ
ング移動せしめるときに進行方向に臨む側面をウ
エツジの前面とし、従つてウエツジの前方とはこ
の前面の臨んだ方向をいい、反対方向を後方とい
う。
本発明は、第２ボンデイング部の超音波印加の
終了後ウエツジを次の第１ボンデイングに要する
ワイヤの長さｌと同じ距離だけ前方上方に斜めに
又は真上に上昇させてウエツジをワイヤに対して
後退せしめて第２ボンデイング部から連続してい
るワイヤのその立ち上がり基部からウエツジまで
のワイヤの長さをｌとし、次いでウエツジを相対
的に真下に又は前方下方に下降せしめてワイヤを
その立ち上り基部から長さｌだけ手前の部分で折
曲し、次いでウエツジのワイヤに対する後退を阻
止した状態でウエツジを相対的に前方に移動せし
めてワイヤを前記第２ボンデイング部からの立ち
上がり基部で切断し、その後、ウエツジを次の第
１ボンデイング部に移動せしめるので、急な傾斜
のガイド孔を有するウエツジを用いてボンデイン
グを行うときであつても、第１ボンデイング部の
ボンデイングに際してウエツジを真直に下降させ
ればワイヤの先端部は所定長ｌだけ確実に第１ボ
ンデイング部とウエツジの先端面との間に挟圧さ
れ、確実にボンデイングされる。
終了後ウエツジを次の第１ボンデイングに要する
ワイヤの長さｌと同じ距離だけ前方上方に斜めに
又は真上に上昇させてウエツジをワイヤに対して
後退せしめて第２ボンデイング部から連続してい
るワイヤのその立ち上がり基部からウエツジまで
のワイヤの長さをｌとし、次いでウエツジを相対
的に真下に又は前方下方に下降せしめてワイヤを
その立ち上り基部から長さｌだけ手前の部分で折
曲し、次いでウエツジのワイヤに対する後退を阻
止した状態でウエツジを相対的に前方に移動せし
めてワイヤを前記第２ボンデイング部からの立ち
上がり基部で切断し、その後、ウエツジを次の第
１ボンデイング部に移動せしめるので、急な傾斜
のガイド孔を有するウエツジを用いてボンデイン
グを行うときであつても、第１ボンデイング部の
ボンデイングに際してウエツジを真直に下降させ
ればワイヤの先端部は所定長ｌだけ確実に第１ボ
ンデイング部とウエツジの先端面との間に挟圧さ
れ、確実にボンデイングされる。
この場合、出願人提出に係る特願昭62−199039
号の発明はワイヤ繰り出し機構でワイヤを切断
し、その後ワイヤ繰り出し機構でワイヤの繰り出
しを行うものであつたのでワイヤとガイド孔との
ガタ、ワイヤ繰り出し機構のバラツキ等により、
ワイヤの繰り出し量のバラツキ、折曲点のズレ、
折曲形成した第１ボンデイングしろの横方向への
曲りなどが生じるおそれがあつたが、本発明は第
２ボンデイング部からワイヤを連続させたままで
先ずウエツジを相対的に上昇させることにより第
２ボンデイング部とウエツジとの間のワイヤの長
さをｌとする（ワイヤは第１ボンデイングしろで
ある所定長ｌだけウエツジから突出したこととな
る）。次いでウエツジを再び相対的に下降させて
ワイヤをその立ち上り基部から長さｌだけ手前の
部分で折曲しておく。その後、ウエツジのワイヤ
に対する後退を阻止した状態でウエツジを相対的
に前方に移動せしめてワイヤを立ち上がり基部で
切断する。従つて、ワイヤの繰り出し量のバラツ
キ、折曲点のズレ、折曲形成した第１ボンデイン
グしろの横方向への曲りなどが生じるおそれがな
く、また所要動作も少なく、ワイヤ繰り出し機構
も不要である。
号の発明はワイヤ繰り出し機構でワイヤを切断
し、その後ワイヤ繰り出し機構でワイヤの繰り出
しを行うものであつたのでワイヤとガイド孔との
ガタ、ワイヤ繰り出し機構のバラツキ等により、
ワイヤの繰り出し量のバラツキ、折曲点のズレ、
折曲形成した第１ボンデイングしろの横方向への
曲りなどが生じるおそれがあつたが、本発明は第
２ボンデイング部からワイヤを連続させたままで
先ずウエツジを相対的に上昇させることにより第
２ボンデイング部とウエツジとの間のワイヤの長
さをｌとする（ワイヤは第１ボンデイングしろで
ある所定長ｌだけウエツジから突出したこととな
る）。次いでウエツジを再び相対的に下降させて
ワイヤをその立ち上り基部から長さｌだけ手前の
部分で折曲しておく。その後、ウエツジのワイヤ
に対する後退を阻止した状態でウエツジを相対的
に前方に移動せしめてワイヤを立ち上がり基部で
切断する。従つて、ワイヤの繰り出し量のバラツ
キ、折曲点のズレ、折曲形成した第１ボンデイン
グしろの横方向への曲りなどが生じるおそれがな
く、また所要動作も少なく、ワイヤ繰り出し機構
も不要である。
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１〜３図において、ウエツジ１はワイヤ２を
挿通するガイド孔３を先端面４に対して45°〜
90°、本実施例では例えば60°、傾斜させて備え、
従来公知の構成の超音波ボンデイング装置に取り
付けられている。即ち、ウエツジ１はホーンの先
端に取り付けられており、クランプ５と一体に、
基板６に対して相対的に、水平面上でのＸ方向移
動、水平面上での、Ｘ方向と直角の方向のＹ方向
移動、Ｘ，Ｙ方向それぞれに直角の方向のＺ方向
移動（上下動）、基板６に固着したICチツプ１５
上の第１ボンデイング部であるパツド７と基板６
上の第２ボンデイング部８を結ぶ線をＹ方向に一
致させるθ回動が可能である。ウエツジ１とクラ
ンプ５は上述の如く一体に運動するようにしてあ
れば駆動部は共通であつてもそれぞれ別個に設け
てもよい。またクランプ５はガイド孔３の延長線
上に設けられている。
挿通するガイド孔３を先端面４に対して45°〜
90°、本実施例では例えば60°、傾斜させて備え、
従来公知の構成の超音波ボンデイング装置に取り
付けられている。即ち、ウエツジ１はホーンの先
端に取り付けられており、クランプ５と一体に、
基板６に対して相対的に、水平面上でのＸ方向移
動、水平面上での、Ｘ方向と直角の方向のＹ方向
移動、Ｘ，Ｙ方向それぞれに直角の方向のＺ方向
移動（上下動）、基板６に固着したICチツプ１５
上の第１ボンデイング部であるパツド７と基板６
上の第２ボンデイング部８を結ぶ線をＹ方向に一
致させるθ回動が可能である。ウエツジ１とクラ
ンプ５は上述の如く一体に運動するようにしてあ
れば駆動部は共通であつてもそれぞれ別個に設け
てもよい。またクランプ５はガイド孔３の延長線
上に設けられている。
なお、本実施例においては、XYテーブル上に
ボンデイングヘツドが載置され、ボンデイングヘ
ツドに上下動装置（回動装置）を備えたウエツジ
１とクランプ５が上下動可能に設けられ、基板６
の支持部材の方にθ回動装置が設けられているこ
ととする。ウエツジ１はその前後方向がＹ方向に
一致するように設けられているとする。
ボンデイングヘツドが載置され、ボンデイングヘ
ツドに上下動装置（回動装置）を備えたウエツジ
１とクランプ５が上下動可能に設けられ、基板６
の支持部材の方にθ回動装置が設けられているこ
ととする。ウエツジ１はその前後方向がＹ方向に
一致するように設けられているとする。
次に第１〜２図に基いてボンデイング動作につ
いて説明する。
いて説明する。
第１図ａは第２ボンデイング部８の超音波印加
を終了したところを示し、第２図のＡ点に相当す
る。クランプ５は開である。
を終了したところを示し、第２図のＡ点に相当す
る。クランプ５は開である。
クランプ５を開としたまま、ウエツジ１及びク
ランプ５を上下動装置により真上に又は上下動装
置及びXYテーブルにより前方上方に斜めに距離
ｌだけ上昇させる。このとき次のパツド７1のボ
ンデイングに要する所定のワイヤ長ｌ（第１ボン
デイングしろ）が第２ボンデイング部８のボンデ
イングされているワイヤに連続したままで立ち上
がつた状態でウエツジ１の先端面４から突出する
こととなる。即ち、ワイヤ立ち上がり基部１３か
らウエツジ１のガイド孔出口部１４までのワイヤ
の長さはｌとなる。なおこの実施例では傾き60°
のワイヤ２に沿つて斜めに上昇させるように、
Δz1，Δy1を選んでいる。…第１図ｂ、第２図では
Ｂ点。
ランプ５を上下動装置により真上に又は上下動装
置及びXYテーブルにより前方上方に斜めに距離
ｌだけ上昇させる。このとき次のパツド７1のボ
ンデイングに要する所定のワイヤ長ｌ（第１ボン
デイングしろ）が第２ボンデイング部８のボンデ
イングされているワイヤに連続したままで立ち上
がつた状態でウエツジ１の先端面４から突出する
こととなる。即ち、ワイヤ立ち上がり基部１３か
らウエツジ１のガイド孔出口部１４までのワイヤ
の長さはｌとなる。なおこの実施例では傾き60°
のワイヤ２に沿つて斜めに上昇させるように、
Δz1，Δy1を選んでいる。…第１図ｂ、第２図では
Ｂ点。
クランプ５を閉とする。…第１図ｃ、第２図で
はＣ点、第３図ａではウエツジ１Ｃ、ワイヤ２
Ｃ。次いでウエツジ１をクランプ５とともに真下
又は前方下方へ下降させ、ワイヤ２をワイヤ立ち
上がり基部１３から長さｌだけ手前の第１ボンデ
イングしろ基部９で折曲する（第１図ｂにおいて
ウエツジ１を斜めに上昇させた場合は真下でも前
方下方でもよいが、ウエツジ１を真上に上昇させ
た場合は前方下方に限られる）。この実施例では
Δz2，Δy2移動せしめ、ウエツジ１を第３図ａにお
けるウエツジ１Ｄの位置としてある。ウエツジ１
Ｄは第１ボンデイングしろを小さな傾きで先端面
４に沿わしめるように先端面４が基板６に近接す
る高さで、かつワイヤ立ち上がり基部１３からガ
イド孔出口部１４までのワイヤ２の長さがｌとな
る位置であり、Δz2，Δy2はその条件を満足するよ
うに選んでいる。
はＣ点、第３図ａではウエツジ１Ｃ、ワイヤ２
Ｃ。次いでウエツジ１をクランプ５とともに真下
又は前方下方へ下降させ、ワイヤ２をワイヤ立ち
上がり基部１３から長さｌだけ手前の第１ボンデ
イングしろ基部９で折曲する（第１図ｂにおいて
ウエツジ１を斜めに上昇させた場合は真下でも前
方下方でもよいが、ウエツジ１を真上に上昇させ
た場合は前方下方に限られる）。この実施例では
Δz2，Δy2移動せしめ、ウエツジ１を第３図ａにお
けるウエツジ１Ｄの位置としてある。ウエツジ１
Ｄは第１ボンデイングしろを小さな傾きで先端面
４に沿わしめるように先端面４が基板６に近接す
る高さで、かつワイヤ立ち上がり基部１３からガ
イド孔出口部１４までのワイヤ２の長さがｌとな
る位置であり、Δz2，Δy2はその条件を満足するよ
うに選んでいる。
ウエツジ１Ｃの位置からウエツジ１Ｄの位置ま
での移動は第３図ａの矢印１０のようにガイド孔
出口部１４がワイヤ立ち上がり基部１３を中心と
した円弧を描くようにすればガイド孔出口部１４
は常に第１ボンデイングしろ基部９に当接し、第
１ボンデイングしろ基部９を徐々に曲げながら下
降するので好ましいが、第３図ｂ，ｃの矢印１
０′，１０″のように円弧に近い軌跡を描くように
下降せしめてもよいし、さらには直線的に下降せ
しめてもよい。またΔz2の絶対値をΔz1と等しくす
ればウエツジ１は第１ボンデイングしろを基板６
に圧接するので先端面４に完全に沿わしめること
ができる。…第１図ｄ、第２図ではＤ点、第３図
ではウエツジ１Ｄ、ワイヤ２Ｄ。
での移動は第３図ａの矢印１０のようにガイド孔
出口部１４がワイヤ立ち上がり基部１３を中心と
した円弧を描くようにすればガイド孔出口部１４
は常に第１ボンデイングしろ基部９に当接し、第
１ボンデイングしろ基部９を徐々に曲げながら下
降するので好ましいが、第３図ｂ，ｃの矢印１
０′，１０″のように円弧に近い軌跡を描くように
下降せしめてもよいし、さらには直線的に下降せ
しめてもよい。またΔz2の絶対値をΔz1と等しくす
ればウエツジ１は第１ボンデイングしろを基板６
に圧接するので先端面４に完全に沿わしめること
ができる。…第１図ｄ、第２図ではＤ点、第３図
ではウエツジ１Ｄ、ワイヤ２Ｄ。
次いでウエツジ１をクランプ５とともに前方へ
移動せしめる。本実施例では、Δy3だけ水平に前
方に移動せしめているが、前方斜め上方でも前方
斜め下方でもよい。するとワイヤ２はワイヤ立ち
上がり基部１３で切断される。…第１図ｅ、第２
図ではＥ点、第３図ではウエツジ１Ｅ、ワイヤ２
Ｅ。
移動せしめる。本実施例では、Δy3だけ水平に前
方に移動せしめているが、前方斜め上方でも前方
斜め下方でもよい。するとワイヤ２はワイヤ立ち
上がり基部１３で切断される。…第１図ｅ、第２
図ではＥ点、第３図ではウエツジ１Ｅ、ワイヤ２
Ｅ。
このままの状態でウエツジ１をｘ，ｙ，ｚ移動
せしめ、次にボンデイングを行うICチツプ１５
のパツド７1の直上部に位置を合せる。基板６は
パツド７1と第２ボンデイング部８1を結ぶ線がＹ
方向即ちウエツジ１の前後方向に一致する如くθ
回動させられている。…第１図ｆ、第２図ではＦ
点。
せしめ、次にボンデイングを行うICチツプ１５
のパツド７1の直上部に位置を合せる。基板６は
パツド７1と第２ボンデイング部８1を結ぶ線がＹ
方向即ちウエツジ１の前後方向に一致する如くθ
回動させられている。…第１図ｆ、第２図ではＦ
点。
次に、ウエツジ１を真下に下降せしめてウエツ
ジ１の先端面４とパツド７1との間に所定長ｌの
第１ボンデイングしろを挟圧し、ウエツジ１によ
り超音波を印加して第１ボンデイングを行う。
ジ１の先端面４とパツド７1との間に所定長ｌの
第１ボンデイングしろを挟圧し、ウエツジ１によ
り超音波を印加して第１ボンデイングを行う。
第１図ｃから第１図ｅ即ち、第２図Ｃ〜Ｅのウ
エツジ１の移動を第３図ａに拡大して示す。
エツジ１の移動を第３図ａに拡大して示す。
このように本発明は、ウエツジ１を相対的に真
下に又は前方下方へ下降せしめてワイヤ２を第１
ボンデイングしろ基部９で折曲した後、ウエツジ
１を相対的に前方へ移動せしめてワイヤ２をワイ
ヤ立ち上がり基部１３でカツトすればよく、例え
ば、上述の実施例ではクランプ５を閉じた後ワイ
ヤ２を折曲したが、クランプ５は切断動作のとき
に閉じていればよく、クランプ５を開いたままで
ワイヤ２を折曲し、その後クランプ５を閉じて切
断すればよい。また、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動装置が
基板６の方に設けられている場合では基板６を移
動させることもできる。
下に又は前方下方へ下降せしめてワイヤ２を第１
ボンデイングしろ基部９で折曲した後、ウエツジ
１を相対的に前方へ移動せしめてワイヤ２をワイ
ヤ立ち上がり基部１３でカツトすればよく、例え
ば、上述の実施例ではクランプ５を閉じた後ワイ
ヤ２を折曲したが、クランプ５は切断動作のとき
に閉じていればよく、クランプ５を開いたままで
ワイヤ２を折曲し、その後クランプ５を閉じて切
断すればよい。また、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動装置が
基板６の方に設けられている場合では基板６を移
動させることもできる。
〔発明の効果〕
本発明はワイヤを切断する前に予め第１ボンデ
イングしろをウエツジ先端より突出せしめ、かつ
第１ボンデイングしろ基部で折曲しておくので、
急な傾きのガイド孔を有するウエツジを用いての
第１ボンデイングも確実に行うことができること
はもちろん、さらに、ワイヤの繰り出し量のバラ
ツキ、折曲点のズレ、折曲形成した第１ボンデイ
ングしろの横方向への曲りなどが生じるおそれが
なく、また動作も少なく、ワイヤ繰り出し機構も
不要である。
イングしろをウエツジ先端より突出せしめ、かつ
第１ボンデイングしろ基部で折曲しておくので、
急な傾きのガイド孔を有するウエツジを用いての
第１ボンデイングも確実に行うことができること
はもちろん、さらに、ワイヤの繰り出し量のバラ
ツキ、折曲点のズレ、折曲形成した第１ボンデイ
ングしろの横方向への曲りなどが生じるおそれが
なく、また動作も少なく、ワイヤ繰り出し機構も
不要である。
第１図ａ〜ｆは動作説明図、第２図はタイムチ
ヤート、第３図ａ，ｂ，ｃは動作の主要部の拡大
説明図、第４図ａ，ｂはそれぞれ従来用いられて
いるウエツジの説明図である。 １，１１……ウエツジ、２……ワイヤ、３，３
１……ガイド孔、４，４１……先端面、５……ク
ランプ、６……基板、７，７1……パツド、８，
８1……第２ボンデイング部、９……第１ボンデ
イングしろ基部、１０，１２……矢印、１３……
ワイヤ立ち上がり基部、１４……ガイド孔出口
部、１５……ICチツプ。
ヤート、第３図ａ，ｂ，ｃは動作の主要部の拡大
説明図、第４図ａ，ｂはそれぞれ従来用いられて
いるウエツジの説明図である。 １，１１……ウエツジ、２……ワイヤ、３，３
１……ガイド孔、４，４１……先端面、５……ク
ランプ、６……基板、７，７1……パツド、８，
８1……第２ボンデイング部、９……第１ボンデ
イングしろ基部、１０，１２……矢印、１３……
ワイヤ立ち上がり基部、１４……ガイド孔出口
部、１５……ICチツプ。
Claims (1)
- １ ボンデイングウエツジを用いてワイヤボンデ
イングを行うワイヤボンデイング方法において、
第２ボンデイング部の超音波印加の終了後ボンデ
イングウエツジを次の第１ボンデイングに要する
ワイヤの長さｌと同じ距離だけ前方上方に又は真
上に上昇させてボンデイングウエツジをワイヤに
対して後退せしめて第２ボンデイング部から連続
しているワイヤのその立ち上がり基部からボンデ
イングウエツジまでのワイヤの長さをｌとし、次
いでボンデイングウエツジを相対的に真下に又は
前方下方に下降せしめてワイヤをその立ち上り基
部から長さｌだけ手前の部分で折曲し、次いでボ
ンデイングウエツジのワイヤに対する後退を阻止
した状態でボンデイングウエツジを相対的に前方
に移動せしめてワイヤを前記第２ボンデイング部
からの立ち上がり基部で切断し、その後、ボンデ
イングウエツジを次の第１ボンデイング部に移動
せしめることを特徴とするワイヤボンデイング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194618A JPH0244744A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194618A JPH0244744A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ワイヤボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244744A JPH0244744A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH05861B2 true JPH05861B2 (ja) | 1993-01-06 |
Family
ID=16327530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63194618A Granted JPH0244744A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | ワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244744A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6390376B2 (en) * | 2000-02-23 | 2002-05-21 | Paul Bermel | Method and apparatus for providing targeted advertising in public areas |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855665B2 (ja) * | 1979-06-21 | 1983-12-10 | 株式会社新川 | ワイヤボンデイング方法 |
| JPS5889833A (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-28 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンデイング方法 |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP63194618A patent/JPH0244744A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244744A (ja) | 1990-02-14 |
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