JPH0587176B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0587176B2 JPH0587176B2 JP63236575A JP23657588A JPH0587176B2 JP H0587176 B2 JPH0587176 B2 JP H0587176B2 JP 63236575 A JP63236575 A JP 63236575A JP 23657588 A JP23657588 A JP 23657588A JP H0587176 B2 JPH0587176 B2 JP H0587176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- light
- support member
- processed
- light beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63236575A JPH0286144A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 基板処理装置における基板装着姿勢検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63236575A JPH0286144A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 基板処理装置における基板装着姿勢検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0286144A JPH0286144A (ja) | 1990-03-27 |
| JPH0587176B2 true JPH0587176B2 (2) | 1993-12-15 |
Family
ID=17002667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63236575A Granted JPH0286144A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 基板処理装置における基板装着姿勢検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0286144A (2) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2808199B2 (ja) * | 1991-07-26 | 1998-10-08 | キヤノン株式会社 | ウエハ搬送装置 |
| JP3483400B2 (ja) * | 1996-08-19 | 2004-01-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 回転式塗布装置 |
| JP2002353292A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理システム及び判別方法並びに基板処理方法 |
| JP5681052B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2015-03-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 |
| JP5419932B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 |
| JP5419933B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5313244Y2 (2) * | 1973-08-16 | 1978-04-10 | ||
| JPS6085536A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-15 | Hitachi Ltd | ウエハ位置決め装置 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63236575A patent/JPH0286144A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0286144A (ja) | 1990-03-27 |
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