JPH0286144A - 基板処理装置における基板装着姿勢検出装置 - Google Patents

基板処理装置における基板装着姿勢検出装置

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JPH0286144A JP63236575A JP23657588A JPH0286144A JP H0286144 A JPH0286144 A JP H0286144A JP 63236575 A JP63236575 A JP 63236575A JP 23657588 A JP23657588 A JP 23657588A JP H0286144 A JPH0286144 A JP H0286144A
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Shigeru Suzuki
茂 鈴木
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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