JPH058790B2 - - Google Patents
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- JPH058790B2 JPH058790B2 JP547185A JP547185A JPH058790B2 JP H058790 B2 JPH058790 B2 JP H058790B2 JP 547185 A JP547185 A JP 547185A JP 547185 A JP547185 A JP 547185A JP H058790 B2 JPH058790 B2 JP H058790B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- pressure
- atmosphere
- grid electrode
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、大気中における気体放電を利用し
て低速電子を測定する装置に関する。
て低速電子を測定する装置に関する。
従来の技術
従来、低速電子測定装置としては、例えば特開
昭55−159168号公報に記載されているようなもの
が知られている。このものは、大気に連通する空
間が内部に形成された陰極となるケースと、ケー
ス内に収納され高電圧が印加された陽極と、を備
えたものである。
昭55−159168号公報に記載されているようなもの
が知られている。このものは、大気に連通する空
間が内部に形成された陰極となるケースと、ケー
ス内に収納され高電圧が印加された陽極と、を備
えたものである。
ここで、前述のような低速電子測定装置にあつ
ては、気体放電が大気中で行なわれるため、大気
条件の影響を受け、例えば、湿度が上昇すると第
３図に示すように計数率が上昇するという問題点
がある。これは、水蒸気の陽極付着によりバツク
グラウンドノイズとなる気体放電が生じる為と推
論される。また、気温、圧力が変化すると、これ
に伴なつて第４，５図にそれぞれ示すように、測
定結果に誤差が生じてくるという問題点がある。
従来、湿度の上昇に対しては特公昭58−6159号公
報に記載されているように陽極を加熱する事によ
りバツクグラウンドノイズとなる気体放電を防止
する方法が知られている。一方、気温、圧力の変
化に対しては、測定時の気温、圧力を計測してお
いて、測定結果を測定後に計算により補正するこ
とも考えられるが、このような補正は多大の労力
および時間が必要になるという問題点がある。
ては、気体放電が大気中で行なわれるため、大気
条件の影響を受け、例えば、湿度が上昇すると第
３図に示すように計数率が上昇するという問題点
がある。これは、水蒸気の陽極付着によりバツク
グラウンドノイズとなる気体放電が生じる為と推
論される。また、気温、圧力が変化すると、これ
に伴なつて第４，５図にそれぞれ示すように、測
定結果に誤差が生じてくるという問題点がある。
従来、湿度の上昇に対しては特公昭58−6159号公
報に記載されているように陽極を加熱する事によ
りバツクグラウンドノイズとなる気体放電を防止
する方法が知られている。一方、気温、圧力の変
化に対しては、測定時の気温、圧力を計測してお
いて、測定結果を測定後に計算により補正するこ
とも考えられるが、このような補正は多大の労力
および時間が必要になるという問題点がある。
発明が解決しようとする問題点
この発明は、気温、圧力等の変動による測定誤
差を補正するために多大の労力および時間が必要
になるという従来の問題点を解決するものであ
る。
差を補正するために多大の労力および時間が必要
になるという従来の問題点を解決するものであ
る。
問題点を解決するための手段
このような問題点は、大気に連通する空間が内
部に形成された陰極となるケースと、ケース内に
収納され高電圧が印加された陽極と、を備えた低
速電子測定装置において、前記陽極を加熱すると
ともに、大気の温度、圧力を測定する温度センサ
ーまたは圧力センサーの少なくともいずれか一方
の出力に基ずいて、この加熱温度を制御する加熱
手段を設けることにより解決することができる。
部に形成された陰極となるケースと、ケース内に
収納され高電圧が印加された陽極と、を備えた低
速電子測定装置において、前記陽極を加熱すると
ともに、大気の温度、圧力を測定する温度センサ
ーまたは圧力センサーの少なくともいずれか一方
の出力に基ずいて、この加熱温度を制御する加熱
手段を設けることにより解決することができる。
作 用
まず、ケースと陽極との間の空間を低速電子が
通過すると、陽極近傍において気体放電が発生
し、この気体放電が検知される。このようにして
低速電子が測定されるのであるが、この測定時、
ケースの空間は大気に連通しているので、この空
間は大気の影響を直接受ける。このため、大気条
件、即ち湿度、気温、圧力等が変動すると、これ
に追従して気体放電の発生率が変動し、この結
果、測定結果に誤差が発生すると考えられる。し
かしながら、この発明のおいては、加熱手段によ
つて陽極を加熱するとともに、この加熱温度を温
度または圧力センサーの少なくともいずれか一方
の出力に基ずいて制御するようにしているので、
陽極周囲の温度を気体放電の発生率が常に一定値
になるよう自由に制御することができ、これによ
り、大気条件の変動を補正することができる。こ
のように、単に陽極の加熱温度を制御してやれば
補正ができるので、補正を極めて容易にかつ簡単
に行なうことができる。
通過すると、陽極近傍において気体放電が発生
し、この気体放電が検知される。このようにして
低速電子が測定されるのであるが、この測定時、
ケースの空間は大気に連通しているので、この空
間は大気の影響を直接受ける。このため、大気条
件、即ち湿度、気温、圧力等が変動すると、これ
に追従して気体放電の発生率が変動し、この結
果、測定結果に誤差が発生すると考えられる。し
かしながら、この発明のおいては、加熱手段によ
つて陽極を加熱するとともに、この加熱温度を温
度または圧力センサーの少なくともいずれか一方
の出力に基ずいて制御するようにしているので、
陽極周囲の温度を気体放電の発生率が常に一定値
になるよう自由に制御することができ、これによ
り、大気条件の変動を補正することができる。こ
のように、単に陽極の加熱温度を制御してやれば
補正ができるので、補正を極めて容易にかつ簡単
に行なうことができる。
実施例
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
第１図において、１は内部に開口２を介して大
気に連通する空間３が形成されたケースであり、
このケース１はアースされて陰極となる。ケース
１内には有端リング状の陽極４が設けられ、この
陽極４の一端は、例えば常温常圧下において後述
する低速電子の測定を行なうのに最適な3.4KVの
高圧電源５に接続されている。また、ケース１内
には、例えば100Vの電圧が印加された格子電極
としての第１格子電極６が設置され、この第１格
子電極６とケース１の下部に設けられた試料７と
の間には、例えば80Vの電圧が印加された第２格
子電極８が設置されている。前記試料７はその表
面から低速電子、即ち気体中の通過に際して一次
電離を起さない数＋eV以下の低いエネルギーを
持つ電子のことをいい、例えば光電子、熱電子お
よびエキソ電子のような電子、を放出する。そし
て、この低速電子は空間３を通過する際、陽極４
近傍で気体放電を引き起す。１３は陽極４に接続
された増幅器であり、この増幅器１３と第１格子
電極６との間には第１パルス発生器１４が設けら
れている。この第１パルス発生器１４は、気体放
電が発生したとき、即ち、陽極４に電子パルスが
発生したとき、第１格子電極６に矩形波パルスを
送り、第１格子電極６の電圧を増加させる。ま
た、前記増幅器１３と第２格子電極８との間には
第２パルス発生器１５が設けられ、この第２パル
ス発生器１５は陽極４に電子パルスが発生したと
き、矩形波パルスを第２格子電極８に供給し、第
２格子電極８の電圧を低下させる。１６は増幅器
１３に接続された計数手段であり、この計数手段
１６は陽極４に発生す電子パルスを計数する。こ
の計数手段１６からの出力信号は、演算手段１７
に送られ放電停止時の数え落しの補正が行なわれ
た後、例えば、CRT、プリンター等の表示手段
１８に送られ、この表示手段１８において前記測
定された低速電子数が表示される。前記陽極４に
は供給電力を調節できる加熱手段としての交流の
加熱電源２０が接続されている。この結果、陽極
４はこの加熱電源２０から供給された電力のジユ
ール熱によつて、例えば100℃程度に加熱され、
この加熱温度は加熱電源２０からの電力を増減す
ることにより制御される。２１は大気の温度を測
定する温度センサーであり、２３は大気の圧力を
測定する圧力センサーである。この温度センサー
２１および圧力センサー２３からの出力は加熱電
力制御回路２２を介して加熱電源２０に送られ、
加熱電源２０からの供給電力を変化させる。
気に連通する空間３が形成されたケースであり、
このケース１はアースされて陰極となる。ケース
１内には有端リング状の陽極４が設けられ、この
陽極４の一端は、例えば常温常圧下において後述
する低速電子の測定を行なうのに最適な3.4KVの
高圧電源５に接続されている。また、ケース１内
には、例えば100Vの電圧が印加された格子電極
としての第１格子電極６が設置され、この第１格
子電極６とケース１の下部に設けられた試料７と
の間には、例えば80Vの電圧が印加された第２格
子電極８が設置されている。前記試料７はその表
面から低速電子、即ち気体中の通過に際して一次
電離を起さない数＋eV以下の低いエネルギーを
持つ電子のことをいい、例えば光電子、熱電子お
よびエキソ電子のような電子、を放出する。そし
て、この低速電子は空間３を通過する際、陽極４
近傍で気体放電を引き起す。１３は陽極４に接続
された増幅器であり、この増幅器１３と第１格子
電極６との間には第１パルス発生器１４が設けら
れている。この第１パルス発生器１４は、気体放
電が発生したとき、即ち、陽極４に電子パルスが
発生したとき、第１格子電極６に矩形波パルスを
送り、第１格子電極６の電圧を増加させる。ま
た、前記増幅器１３と第２格子電極８との間には
第２パルス発生器１５が設けられ、この第２パル
ス発生器１５は陽極４に電子パルスが発生したと
き、矩形波パルスを第２格子電極８に供給し、第
２格子電極８の電圧を低下させる。１６は増幅器
１３に接続された計数手段であり、この計数手段
１６は陽極４に発生す電子パルスを計数する。こ
の計数手段１６からの出力信号は、演算手段１７
に送られ放電停止時の数え落しの補正が行なわれ
た後、例えば、CRT、プリンター等の表示手段
１８に送られ、この表示手段１８において前記測
定された低速電子数が表示される。前記陽極４に
は供給電力を調節できる加熱手段としての交流の
加熱電源２０が接続されている。この結果、陽極
４はこの加熱電源２０から供給された電力のジユ
ール熱によつて、例えば100℃程度に加熱され、
この加熱温度は加熱電源２０からの電力を増減す
ることにより制御される。２１は大気の温度を測
定する温度センサーであり、２３は大気の圧力を
測定する圧力センサーである。この温度センサー
２１および圧力センサー２３からの出力は加熱電
力制御回路２２を介して加熱電源２０に送られ、
加熱電源２０からの供給電力を変化させる。
次に、この発明の一実施例の作用について説明
する。
する。
まず、高圧電源５から陽極４に第２図ａに示す
ように、例えば3.4KVの高電圧を印加するととも
に、加熱電源２０から所定の電力を供給通電す
る。これにより、陽極４は例えば100℃程度に加
熱される。このとき、試料７の表面からは低速電
子が放出される。この試料７から放出された電子
は、第２格子電極８および第１格子電極６を通過
し、陽極４に引き寄せられる。そして、電子が陽
極４近傍に到達すると、陽極４近傍の強い電界に
より電子が加速され気体放電を引き起こす。この
気体増幅作用により、陽極４に印加されている電
圧は第２図ａに示すように、電位が低下し、電子
パルスが発生する。この陽極４に発生した電子パ
ルスは増幅器１３を介して第１パルス発生器１４
および第２パルス発生器１５に送られる。第１パ
ルス発生器１４は電圧が300Vの時間幅がTeの矩
形波パルスを発生して第１格子電極６に送り、第
２図ｂに示すように第１格子電極６の電圧を
100Vから400VにTe時間だけ増加させる。この結
果、陽極４と第１格子電極６との間の電位差が
300V低下し、これによつて、気体増幅作用によ
り発生した光や陽イオンによる二次電子は放電電
圧に達することができず、気体放電が消滅する。
一方、第２パルス発生器１５は時間幅がTeで電
圧が−110Vの矩形波パルスを第２格子電極８に
送り、第２図ｃに示すように第２格子電極８の電
圧を80Vから−30Vに低下させる。この結果、前
記気体増幅作用によつて発生した陽イオンがこの
第２格子電極８に捕捉されて中和される。そし
て、Te時間だけ経過すると、第１、第２格子電
極６，８の電圧は元の電圧にそれぞれ回復し、低
速電子測定装置は再び電子を検出できる状態とな
る。前記陽極４に発生した電子パルスは同時に増
幅器１３を介して計数手段１６にも送られ、この
計数手段１６は前記電子パルス数を計数した後、
出力信号を演算手段１７に送る。この演算手段１
７は放電停止時における数え落しの補正を行なつ
た後、計数結果、例えば計数率を表示手段１８に
送り計数結果を表示させる。このようにして放出
電子数が測定されるが、この測定時の湿度、気
温、圧力等は場所、時間等が異なることにより変
動する。例えば、気温が常温より高くあるいは圧
力が常圧より低い場合には、大気の分子間距離が
大きくなり、これによつて電子あるいは陰イオン
が通過し易くなる。このため、電子あるいは陰イ
オンが気体分子により散乱される確率が減り気体
放電が起こり易くなる。このような事態を防止す
るため、この実施例においては、測定雰囲気（大
気）の温度および圧力を温度センサー２１および
圧力センサー２３によつて検知し、これら両セン
サー２１，２３からの信号を加熱電力制御回路２
２を介して加熱電源２０に送り、加熱電源２０か
ら陽極４に供給される電力を、気温の常温からの
上昇分あるいは圧力の常圧からの低下分に対応す
る値だけ低下させる。これにより、陽極４の温度
が低下するとともに陽極４周囲の大気の温度も低
下し、空気の分子間距離が小さくなる。この結
果、気体放電の発生率が一定に維持され、環境条
件の変動が補正される。また、陽極４は、例えば
100℃に加熱されているので、大気の湿度が高く
なつても陽極４の周囲の相対湿度は常に低く、第
３図に示すように、水蒸気によるバツクグランド
ノイズとなる気体放電の小さい領域で使用するこ
とができる。また、陽極４を高温に保つことによ
り気体放電の動作電圧を低下させることもでき
る。
ように、例えば3.4KVの高電圧を印加するととも
に、加熱電源２０から所定の電力を供給通電す
る。これにより、陽極４は例えば100℃程度に加
熱される。このとき、試料７の表面からは低速電
子が放出される。この試料７から放出された電子
は、第２格子電極８および第１格子電極６を通過
し、陽極４に引き寄せられる。そして、電子が陽
極４近傍に到達すると、陽極４近傍の強い電界に
より電子が加速され気体放電を引き起こす。この
気体増幅作用により、陽極４に印加されている電
圧は第２図ａに示すように、電位が低下し、電子
パルスが発生する。この陽極４に発生した電子パ
ルスは増幅器１３を介して第１パルス発生器１４
および第２パルス発生器１５に送られる。第１パ
ルス発生器１４は電圧が300Vの時間幅がTeの矩
形波パルスを発生して第１格子電極６に送り、第
２図ｂに示すように第１格子電極６の電圧を
100Vから400VにTe時間だけ増加させる。この結
果、陽極４と第１格子電極６との間の電位差が
300V低下し、これによつて、気体増幅作用によ
り発生した光や陽イオンによる二次電子は放電電
圧に達することができず、気体放電が消滅する。
一方、第２パルス発生器１５は時間幅がTeで電
圧が−110Vの矩形波パルスを第２格子電極８に
送り、第２図ｃに示すように第２格子電極８の電
圧を80Vから−30Vに低下させる。この結果、前
記気体増幅作用によつて発生した陽イオンがこの
第２格子電極８に捕捉されて中和される。そし
て、Te時間だけ経過すると、第１、第２格子電
極６，８の電圧は元の電圧にそれぞれ回復し、低
速電子測定装置は再び電子を検出できる状態とな
る。前記陽極４に発生した電子パルスは同時に増
幅器１３を介して計数手段１６にも送られ、この
計数手段１６は前記電子パルス数を計数した後、
出力信号を演算手段１７に送る。この演算手段１
７は放電停止時における数え落しの補正を行なつ
た後、計数結果、例えば計数率を表示手段１８に
送り計数結果を表示させる。このようにして放出
電子数が測定されるが、この測定時の湿度、気
温、圧力等は場所、時間等が異なることにより変
動する。例えば、気温が常温より高くあるいは圧
力が常圧より低い場合には、大気の分子間距離が
大きくなり、これによつて電子あるいは陰イオン
が通過し易くなる。このため、電子あるいは陰イ
オンが気体分子により散乱される確率が減り気体
放電が起こり易くなる。このような事態を防止す
るため、この実施例においては、測定雰囲気（大
気）の温度および圧力を温度センサー２１および
圧力センサー２３によつて検知し、これら両セン
サー２１，２３からの信号を加熱電力制御回路２
２を介して加熱電源２０に送り、加熱電源２０か
ら陽極４に供給される電力を、気温の常温からの
上昇分あるいは圧力の常圧からの低下分に対応す
る値だけ低下させる。これにより、陽極４の温度
が低下するとともに陽極４周囲の大気の温度も低
下し、空気の分子間距離が小さくなる。この結
果、気体放電の発生率が一定に維持され、環境条
件の変動が補正される。また、陽極４は、例えば
100℃に加熱されているので、大気の湿度が高く
なつても陽極４の周囲の相対湿度は常に低く、第
３図に示すように、水蒸気によるバツクグランド
ノイズとなる気体放電の小さい領域で使用するこ
とができる。また、陽極４を高温に保つことによ
り気体放電の動作電圧を低下させることもでき
る。
なお、前述の実施例においては、加熱電源２０
として交流電源を使用したが、この発明において
は直流電源を使用してもよい。また、この発明に
おいては、陽極４をヒータによつて間接的に加熱
し、このヒータの温度を制御することにより陽極
４の温度を変化させるようにしてもよい。また、
前述の実施例においては、温度、圧力センサー２
１，２３によつて大気の温度、圧力双方を測定
し、この測定結果に基ずいて陽極４の温度を制御
するようにしたが、この発明においては、温度セ
ンサー２１または圧力センサー２３のいずれか一
方の測定結果に基ずいて陽極の温度を制御するよ
うにしてもよい。
として交流電源を使用したが、この発明において
は直流電源を使用してもよい。また、この発明に
おいては、陽極４をヒータによつて間接的に加熱
し、このヒータの温度を制御することにより陽極
４の温度を変化させるようにしてもよい。また、
前述の実施例においては、温度、圧力センサー２
１，２３によつて大気の温度、圧力双方を測定
し、この測定結果に基ずいて陽極４の温度を制御
するようにしたが、この発明においては、温度セ
ンサー２１または圧力センサー２３のいずれか一
方の測定結果に基ずいて陽極の温度を制御するよ
うにしてもよい。
発明の効果
以上説明したように、この発明によれば、大気
条件の変動に基く測定誤差の補正を極めて容易に
かつ簡単に行なうことができる。
条件の変動に基く測定誤差の補正を極めて容易に
かつ簡単に行なうことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す一部が回路
で示された断面図、第２図は低速電子測定装置の
電圧変化を示すグラフ、第３図は湿度が変化した
ときの計数率の変動を示すグラフ、第４図は温度
が変化したときの計数率の変動を示すグラフ、第
５図は圧力が変化したときの計数率の変動を示す
グラフである。 １…ケース、３…空間、４…陽極、５…高圧電
源、６…格子電極、７…試料、２０…加熱電源。
で示された断面図、第２図は低速電子測定装置の
電圧変化を示すグラフ、第３図は湿度が変化した
ときの計数率の変動を示すグラフ、第４図は温度
が変化したときの計数率の変動を示すグラフ、第
５図は圧力が変化したときの計数率の変動を示す
グラフである。 １…ケース、３…空間、４…陽極、５…高圧電
源、６…格子電極、７…試料、２０…加熱電源。
Claims (1)
- １ 大気に連通する空間が内部に形成された陰極
となるケースと、ケース内に収納され高電圧が印
加された陽極と、を備えた低速電子測定装置にお
いて、前記陽極を加熱するとともに、大気の温
度、圧力を測定する温度センサーまたは圧力セン
サーの少なくともいずれか一方の出力に基ずい
て、この加熱温度を制御する加熱手段を設けたこ
とを特徴とする低速電子測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005471A JPS61164177A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 低速電子測定装置 |
| US06/819,226 US4740730A (en) | 1985-01-16 | 1986-01-15 | Apparatus for detecting low-speed electrons |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005471A JPS61164177A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 低速電子測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164177A JPS61164177A (ja) | 1986-07-24 |
| JPH058790B2 true JPH058790B2 (ja) | 1993-02-03 |
Family
ID=11612155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005471A Granted JPS61164177A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 低速電子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164177A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4823368A (en) * | 1987-06-30 | 1989-04-18 | Rikagaku Kenkyujyo | Open counter for low energy electron detection with suppressed background noise |
| JP4834825B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2011-12-14 | 株式会社東芝 | 放射線測定装置及び放射線測定方法 |
| JP7195876B2 (ja) * | 2018-10-31 | 2022-12-26 | 株式会社日立製作所 | 放射線モニタ及び放射線の測定方法 |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60005471A patent/JPS61164177A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61164177A (ja) | 1986-07-24 |
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