JPH0592343A - 移動案内装置 - Google Patents
移動案内装置Info
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- JPH0592343A JPH0592343A JP3250870A JP25087091A JPH0592343A JP H0592343 A JPH0592343 A JP H0592343A JP 3250870 A JP3250870 A JP 3250870A JP 25087091 A JP25087091 A JP 25087091A JP H0592343 A JPH0592343 A JP H0592343A
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- JP
- Japan
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- stator
- stage
- cooling fluid
- driving means
- circulation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/12—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
- B23Q11/126—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only
- B23Q11/127—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only for cooling motors or spindles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造装置や精密工作機械等におけるリ
ニアモータを駆動手段として移動体の移動案内装置にお
いてリニアモータのコイル部から発生するジュール熱を
冷却し、駆動手段の発熱による推力低下を防ぎまたステ
ージ全体を定常な温度に保ち高精度の位置移動制御を可
能とすることを目的とする。 【構成】 例えば、第一の駆動手段においては、第一の
駆動手段２３内にある第一の固定子６２内に充填された
冷却流体は第一の固定子６２の一端と結合された第一の
循環経路６６内を第一の循環手段６８の吸引力により強
制的に流れる。その結果コイルに発生した熱は固定子に
伝導するが、この熱を効率よく取り去るためにできるだ
け冷却流体と接触する面積を大きくするために第一の固
定子６２内部にフィン構成をとり第一の固定子６２の冷
却が行えることになる。第一の固定子６２を取り巻くコ
イルの発熱による推力の減少を防ぎかつステージ全体を
定常な温度に保つことができる。第二の駆動手段２６に
ついても同様である。
ニアモータを駆動手段として移動体の移動案内装置にお
いてリニアモータのコイル部から発生するジュール熱を
冷却し、駆動手段の発熱による推力低下を防ぎまたステ
ージ全体を定常な温度に保ち高精度の位置移動制御を可
能とすることを目的とする。 【構成】 例えば、第一の駆動手段においては、第一の
駆動手段２３内にある第一の固定子６２内に充填された
冷却流体は第一の固定子６２の一端と結合された第一の
循環経路６６内を第一の循環手段６８の吸引力により強
制的に流れる。その結果コイルに発生した熱は固定子に
伝導するが、この熱を効率よく取り去るためにできるだ
け冷却流体と接触する面積を大きくするために第一の固
定子６２内部にフィン構成をとり第一の固定子６２の冷
却が行えることになる。第一の固定子６２を取り巻くコ
イルの発熱による推力の減少を防ぎかつステージ全体を
定常な温度に保つことができる。第二の駆動手段２６に
ついても同様である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置や精密工
作機械等における移動体の移動案内装置に関するもので
ある。
作機械等における移動体の移動案内装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来搬送物を所定の位置まで移動させる
移動案内装置では固定ベッド上を例えば直交する２軸方
向にそれぞれ往復運動可能なステージとこれらのステー
ジを保持するガイドとステージを駆動する駆動手段から
なる構成がとられている。一般的に駆動手段はボールネ
ジと例えばステップモータが用いられていたが高精度の
位置決めを行う場合には上記の構成ではボールネジとナ
ット間に働く摩擦とボールネジの剛性が低いための残留
振動が発生し位置決め時間が長くなる場合がある。その
ため最近では摩擦が発生しなくてしかも高剛性なリニア
モータを駆動手段に採用した移動案内装置が多くみられ
る。図６はリニアモータを用いた移動案内装置の構成を
表した図である。固定ベッド７上で第一のステージ１は
ガイド２により保持かつガイドされ第一の駆動手段３に
よりＸ１，Ｘ２の方向に往復運動する。また第一のステ
ージ上で第二のステージ４はガイド５により保持かつガ
イドされ第二の駆動手段６によりＹ１，Ｙ２の方向に往
復運動する。従って搬送物をその上部に載置した第二の
ステージ４は第一のステージとそれ自身によってＸ１，
Ｘ２，Ｙ１，Ｙ２の方向に移動し搬送物を所定の位置ま
で移動させることができる。駆動手段３及び６はリニア
モータの構成を示しておりコイルが巻かれた固定子５
２，５５と永久磁石が固定された可動子５０，５３から
なり図７，図８にＹ１，Ｙ２方向、Ｘ１，Ｘ２方向の駆
動手段の断面を表した。
移動案内装置では固定ベッド上を例えば直交する２軸方
向にそれぞれ往復運動可能なステージとこれらのステー
ジを保持するガイドとステージを駆動する駆動手段から
なる構成がとられている。一般的に駆動手段はボールネ
ジと例えばステップモータが用いられていたが高精度の
位置決めを行う場合には上記の構成ではボールネジとナ
ット間に働く摩擦とボールネジの剛性が低いための残留
振動が発生し位置決め時間が長くなる場合がある。その
ため最近では摩擦が発生しなくてしかも高剛性なリニア
モータを駆動手段に採用した移動案内装置が多くみられ
る。図６はリニアモータを用いた移動案内装置の構成を
表した図である。固定ベッド７上で第一のステージ１は
ガイド２により保持かつガイドされ第一の駆動手段３に
よりＸ１，Ｘ２の方向に往復運動する。また第一のステ
ージ上で第二のステージ４はガイド５により保持かつガ
イドされ第二の駆動手段６によりＹ１，Ｙ２の方向に往
復運動する。従って搬送物をその上部に載置した第二の
ステージ４は第一のステージとそれ自身によってＸ１，
Ｘ２，Ｙ１，Ｙ２の方向に移動し搬送物を所定の位置ま
で移動させることができる。駆動手段３及び６はリニア
モータの構成を示しておりコイルが巻かれた固定子５
２，５５と永久磁石が固定された可動子５０，５３から
なり図７，図８にＹ１，Ｙ２方向、Ｘ１，Ｘ２方向の駆
動手段の断面を表した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成においては第一のステージ１と第二のステージ
４を移動させて搬送物を所定の位置に移動させる場合、
固定子５２，５５には電流が流れることによりコイルか
らジュール熱が発生する。発生した熱は駆動手段の効率
をさげ推力低下をもたらす。また発生した熱により熱変
形をもたらす温度分布が生じる。この温度分布によりス
テージ，ガイドなどの機械精度に悪影響をもたらし所定
の性能が得られないという問題を有していた。
うな構成においては第一のステージ１と第二のステージ
４を移動させて搬送物を所定の位置に移動させる場合、
固定子５２，５５には電流が流れることによりコイルか
らジュール熱が発生する。発生した熱は駆動手段の効率
をさげ推力低下をもたらす。また発生した熱により熱変
形をもたらす温度分布が生じる。この温度分布によりス
テージ，ガイドなどの機械精度に悪影響をもたらし所定
の性能が得られないという問題を有していた。
【０００４】本発明は上記問題に鑑みステージの駆動手
段の固定子のコイルに発生するジュール熱を冷却するこ
とにより駆動手段の推力低下を防ぎまたステージ全体を
定常な温度に保ち高精度の位置移動制御を可能とする移
動案内装置を提供するものである。
段の固定子のコイルに発生するジュール熱を冷却するこ
とにより駆動手段の推力低下を防ぎまたステージ全体を
定常な温度に保ち高精度の位置移動制御を可能とする移
動案内装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の第１の発明は固定ベッド上で搬送物を所定
の位置まで移動させる移動案内装置において、前記固定
ベッド上にあり第一の方向に平行に固定された第一のガ
イドと、前記第一のガイド上を前記第一の方向に直線往
復運動可能な第一のステージと、前記第一のステージ上
にあり前記第一の方向と直角な第二の方向に平行に固定
された第二のガイドと前記第二のガイド上にあり前記第
二の方向に直線往復運動可能でありその上部に搬送物を
載置する第二のステージと、前記固定ベッド上にあり前
記第一のステージを前記第一の方向に駆動する第一の駆
動手段と前記第一のステージ上にあり前記第二のステー
ジを前記第二の方向に駆動する第二の駆動手段を有し前
記第一と第二の駆動手段はコイルが巻かれた第一の固定
子と第二の固定子と、前記第一と第二の固定子に沿って
直線運動する第一の磁石と第二の磁石をそれぞれ備えた
第一の可動子と第二の可動子からなり、前記第一と第二
の固定子は内部にフィン構成を備え、前記第一と第二の
固定子内を流れる冷却流体と、前記第一と第二の固定子
の両端をそれぞれ結び、前記冷却流体が流れる第一の循
環経路と第二の循環経路と、前記第一と第二の循環経路
の途中にあって前記冷却流体を循環させる第一の循環手
段と第二の循環手段を有する構成を備えたものである。
めに本発明の第１の発明は固定ベッド上で搬送物を所定
の位置まで移動させる移動案内装置において、前記固定
ベッド上にあり第一の方向に平行に固定された第一のガ
イドと、前記第一のガイド上を前記第一の方向に直線往
復運動可能な第一のステージと、前記第一のステージ上
にあり前記第一の方向と直角な第二の方向に平行に固定
された第二のガイドと前記第二のガイド上にあり前記第
二の方向に直線往復運動可能でありその上部に搬送物を
載置する第二のステージと、前記固定ベッド上にあり前
記第一のステージを前記第一の方向に駆動する第一の駆
動手段と前記第一のステージ上にあり前記第二のステー
ジを前記第二の方向に駆動する第二の駆動手段を有し前
記第一と第二の駆動手段はコイルが巻かれた第一の固定
子と第二の固定子と、前記第一と第二の固定子に沿って
直線運動する第一の磁石と第二の磁石をそれぞれ備えた
第一の可動子と第二の可動子からなり、前記第一と第二
の固定子は内部にフィン構成を備え、前記第一と第二の
固定子内を流れる冷却流体と、前記第一と第二の固定子
の両端をそれぞれ結び、前記冷却流体が流れる第一の循
環経路と第二の循環経路と、前記第一と第二の循環経路
の途中にあって前記冷却流体を循環させる第一の循環手
段と第二の循環手段を有する構成を備えたものである。
【０００６】また、本発明の第２の発明は本発明の第１
の発明の移動案内装置に第一と第二の循環経路の途中に
前記冷却流体を冷却する第一の冷却手段と第二の冷却手
段をそれぞれ備えたものである。
の発明の移動案内装置に第一と第二の循環経路の途中に
前記冷却流体を冷却する第一の冷却手段と第二の冷却手
段をそれぞれ備えたものである。
【０００７】
【作用】本発明の第１の発明の作用は上記した構成によ
ってリニアモータ駆動時にコイルに発生したジュール熱
を冷却流体により固定子とコイルを冷却し発熱による推
力低下を防ぎ、またステージ全体を定常な温度に保ち高
精度の位置移動制御を可能とすることとなる。
ってリニアモータ駆動時にコイルに発生したジュール熱
を冷却流体により固定子とコイルを冷却し発熱による推
力低下を防ぎ、またステージ全体を定常な温度に保ち高
精度の位置移動制御を可能とすることとなる。
【０００８】また、本発明の第２の発明の作用は、冷却
流体を循環させ循環経路の途中に冷却手段を備えて冷却
流体の温度をさらに精度よく一定に保ちコイル内の温度
上昇を防ぎ高精度の位置決め制御を可能とすることとな
る。
流体を循環させ循環経路の途中に冷却手段を備えて冷却
流体の温度をさらに精度よく一定に保ちコイル内の温度
上昇を防ぎ高精度の位置決め制御を可能とすることとな
る。
【０００９】
【実施例】以下本発明の第１の発明の一実施例の移動案
内装置について、図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の第一の実施例における移動案内装置の全体構成
を表した図である。
内装置について、図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の第一の実施例における移動案内装置の全体構成
を表した図である。
【００１０】固定ベッド２０上で第一のステージ２１は
第一のガイド２２により保持かつガイドされ第一の駆動
手段２３によりＸ１，Ｘ２の方向に直線往復運動する。
また第二のステージ２４は第二のガイド２５により保持
かつガイドされ第二の駆動手段２６によりＹ１，Ｙ２の
方向に往復運動する。従って、搬送物をその上部に載置
した第二のステージ２４はＸ１，Ｘ２，Ｙ１，Ｙ２の方
向に移動し搬送物を所定の位置まで移動させることがで
きる。第一，第二の駆動手段２３及び２６はリニアモー
タの構成を示しており、第一と第二の固定子（コイル
側）６２，６５と第一の磁石４０と第二の磁石４１を備
えた第一，第二の可動子（永久磁石側）５０，５３から
なり図２，図３に第一の駆動手段２３，第二の駆動手段
２６の断面を表した。
第一のガイド２２により保持かつガイドされ第一の駆動
手段２３によりＸ１，Ｘ２の方向に直線往復運動する。
また第二のステージ２４は第二のガイド２５により保持
かつガイドされ第二の駆動手段２６によりＹ１，Ｙ２の
方向に往復運動する。従って、搬送物をその上部に載置
した第二のステージ２４はＸ１，Ｘ２，Ｙ１，Ｙ２の方
向に移動し搬送物を所定の位置まで移動させることがで
きる。第一，第二の駆動手段２３及び２６はリニアモー
タの構成を示しており、第一と第二の固定子（コイル
側）６２，６５と第一の磁石４０と第二の磁石４１を備
えた第一，第二の可動子（永久磁石側）５０，５３から
なり図２，図３に第一の駆動手段２３，第二の駆動手段
２６の断面を表した。
【００１１】図４においては例えば第一の固定子６２の
長手方向断面を示した図である。第一の固定子６２の内
部は一端から流入する冷却流体（例えば窒素）を効率よ
く冷却するために迷路のように入り組んだフィンで構成
されている。第二の固定子６５においても同様な構成と
なる。また、図１のように第一の固定子６２と第二の固
定子６５には両端に第一の循環手段６６と第二の循環手
段６７がそれぞれ結合されており、それぞれ第一，第二
の循環手段の途中にあって冷却流体を循環させる第一の
循環手段６８，第二の循環手段６９がある。
長手方向断面を示した図である。第一の固定子６２の内
部は一端から流入する冷却流体（例えば窒素）を効率よ
く冷却するために迷路のように入り組んだフィンで構成
されている。第二の固定子６５においても同様な構成と
なる。また、図１のように第一の固定子６２と第二の固
定子６５には両端に第一の循環手段６６と第二の循環手
段６７がそれぞれ結合されており、それぞれ第一，第二
の循環手段の途中にあって冷却流体を循環させる第一の
循環手段６８，第二の循環手段６９がある。
【００１２】以上のように構成された移動案内装置につ
いて以下図１，図４を用いてその動作を説明する。
いて以下図１，図４を用いてその動作を説明する。
【００１３】第一の駆動手段２３内にある第一の固定子
６２内に充填された冷却流体は第一の固定子６２の一端
と結合された第一の循環経路６６内を第一の循環手段６
８の吸引力により強制的に流れる。その結果コイルに発
生した熱は固定子に伝導するが、この熱を効率よく取り
去るためにできるだけ冷却流体と接触する面積を大きく
するために図４のように第一の固定子６２内部にフィン
構成をとり第一の固定子６２の冷却が行えることにな
る。第一の固定子６２を取り巻くコイルの発熱による推
力の減少を防ぎかつステージ全体を定常な温度に保つこ
とができる。また、第二の固定子６５内に充填された冷
却流体は第二の固定子６５の一端と結合された第二の循
環経路６７内を第一の循環手段６９の吸引力により強制
的に流れる。その結果コイルに発生した熱は固定子に伝
導するが、この熱を効率よく取り去るためにできるだけ
冷却流体と接触する面積を大きくするために第二の固定
子６５内部にフィン構成をとり第二の固定子６５の冷却
が行えることになる。第二の固定子６５を取り巻くコイ
ルの発熱による推力の減少を防ぎかつステージ全体を定
常な温度に保つことができる。
６２内に充填された冷却流体は第一の固定子６２の一端
と結合された第一の循環経路６６内を第一の循環手段６
８の吸引力により強制的に流れる。その結果コイルに発
生した熱は固定子に伝導するが、この熱を効率よく取り
去るためにできるだけ冷却流体と接触する面積を大きく
するために図４のように第一の固定子６２内部にフィン
構成をとり第一の固定子６２の冷却が行えることにな
る。第一の固定子６２を取り巻くコイルの発熱による推
力の減少を防ぎかつステージ全体を定常な温度に保つこ
とができる。また、第二の固定子６５内に充填された冷
却流体は第二の固定子６５の一端と結合された第二の循
環経路６７内を第一の循環手段６９の吸引力により強制
的に流れる。その結果コイルに発生した熱は固定子に伝
導するが、この熱を効率よく取り去るためにできるだけ
冷却流体と接触する面積を大きくするために第二の固定
子６５内部にフィン構成をとり第二の固定子６５の冷却
が行えることになる。第二の固定子６５を取り巻くコイ
ルの発熱による推力の減少を防ぎかつステージ全体を定
常な温度に保つことができる。
【００１４】以上のように本実施例によればステージ駆
動手段の固定子の内部に冷却流体を流入し冷却流体と接
触する面積を大きくするために固定子内部にフィン構成
をとることにより固定子の冷却を行い、コイルに発生し
たジュール熱が除去できる。その結果、温度上昇を防ぐ
ことができ、ステージ全体を定常な温度に保つことがで
きる。
動手段の固定子の内部に冷却流体を流入し冷却流体と接
触する面積を大きくするために固定子内部にフィン構成
をとることにより固定子の冷却を行い、コイルに発生し
たジュール熱が除去できる。その結果、温度上昇を防ぐ
ことができ、ステージ全体を定常な温度に保つことがで
きる。
【００１５】以下本発明の第２の発明の一実施例を図５
に示す。図５は第一と第二の循環経路６６，６７の途中
にそれぞれ第一の冷却手段７０と第二の冷却手段７１を
備えている。
に示す。図５は第一と第二の循環経路６６，６７の途中
にそれぞれ第一の冷却手段７０と第二の冷却手段７１を
備えている。
【００１６】以上のように構成された移動案内装置につ
いて以下図５，図２，図３を用いてその動作を説明す
る。
いて以下図５，図２，図３を用いてその動作を説明す
る。
【００１７】まず、第一の固定子６２内にある冷却流体
は第一の固定子６２の一端に挿入された第一の循環経路
６６内を第一の循環手段６８の吸引力により強制的に流
れる。その途中に冷却流体は第一の冷却手段７０により
冷却され一定の温度に高精度に制御され再び循環経路６
６から第一の固定子６２に戻る。また、第二の固定子６
５内にある冷却流体は固定子の一端に挿入された第二の
循環経路６７内を第二の循環手段６９の吸引力により強
制的に流れる。その途中に冷却流体は第二の冷却手段７
１により冷却され一定の温度に高精度に制御され再び循
環経路６７から第二の固定子６５に戻る。
は第一の固定子６２の一端に挿入された第一の循環経路
６６内を第一の循環手段６８の吸引力により強制的に流
れる。その途中に冷却流体は第一の冷却手段７０により
冷却され一定の温度に高精度に制御され再び循環経路６
６から第一の固定子６２に戻る。また、第二の固定子６
５内にある冷却流体は固定子の一端に挿入された第二の
循環経路６７内を第二の循環手段６９の吸引力により強
制的に流れる。その途中に冷却流体は第二の冷却手段７
１により冷却され一定の温度に高精度に制御され再び循
環経路６７から第二の固定子６５に戻る。
【００１８】以上のように、冷却流体を強制循環する循
環手段と循環経路を設け循環経路の途中に冷却流体の温
度を一定の温度にする冷却手段を設置することによって
駆動手段内にあるコイルに発生する熱を冷却し推力低下
を防ぎ駆動手段内を一定の温度に高精度に制御しステー
ジ全体を定常な温度に保つことができる。
環手段と循環経路を設け循環経路の途中に冷却流体の温
度を一定の温度にする冷却手段を設置することによって
駆動手段内にあるコイルに発生する熱を冷却し推力低下
を防ぎ駆動手段内を一定の温度に高精度に制御しステー
ジ全体を定常な温度に保つことができる。
【００１９】なお、第１の実施例において第一のガイド
２２と第二のガイド２５はＶ−Ｖ溝構成であるが第一の
ガイド２２と第二のガイド２５はＶ溝−平溝構成として
もよい。
２２と第二のガイド２５はＶ−Ｖ溝構成であるが第一の
ガイド２２と第二のガイド２５はＶ溝−平溝構成として
もよい。
【００２０】また、第２の実施例において第一のガイド
２２と第二のガイド２５はＶ−Ｖ溝構成であるが第一の
ガイド２２と第二のガイド２５はＶ溝−平溝構成として
もよい。
２２と第二のガイド２５はＶ−Ｖ溝構成であるが第一の
ガイド２２と第二のガイド２５はＶ溝−平溝構成として
もよい。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明の第１の発明によれ
ばステージ駆動手段の内部にフィン構成を有する固定子
の一端から冷却流体を流入するし冷却流体を循環させる
ことにより駆動手段のコイルからの熱発生を減少させ推
力低下を防ぎまた発生した熱は発生源を直接冷却するこ
とによりステージ全体の温度分布を定常安定化すること
ができ、その効果は大なるものである。
ばステージ駆動手段の内部にフィン構成を有する固定子
の一端から冷却流体を流入するし冷却流体を循環させる
ことにより駆動手段のコイルからの熱発生を減少させ推
力低下を防ぎまた発生した熱は発生源を直接冷却するこ
とによりステージ全体の温度分布を定常安定化すること
ができ、その効果は大なるものである。
【００２２】また、本発明の第２の発明によれば冷却流
体を強制循環する循環経路の途中に冷却流体の温度を一
定にする冷却手段を設置することによって駆動手段内に
あるコイルに発生する熱を冷却し推力低下を防ぎ、ま
た、駆動手段内を一定の温度に高精度に制御しステージ
全体を定常な温度に保つことができる。
体を強制循環する循環経路の途中に冷却流体の温度を一
定にする冷却手段を設置することによって駆動手段内に
あるコイルに発生する熱を冷却し推力低下を防ぎ、ま
た、駆動手段内を一定の温度に高精度に制御しステージ
全体を定常な温度に保つことができる。
【図１】本発明の第１の発明の実施例における移動案内
装置の斜視図
装置の斜視図
【図２】駆動手段の詳細図
【図３】駆動手段の詳細図
【図４】固定子の詳細図
【図５】本発明の第２の発明の実施例における移動案内
装置の斜視図
装置の斜視図
【図６】従来例における移動案内装置の斜視図
【図７】従来例における駆動手段の詳細図
【図８】従来例における駆動手段の詳細図
２０ 固定ベッド ２１ 第一のステージ ２２ 第一のガイド ２３ 第一の駆動手段 ２４ 第二のステージ ２５ 第二のガイド ２６ 第二の駆動手段 ４０ 第一の磁石 ４１ 第二の磁石 ５０ 第一の可動子 ５３ 第二の可動子 ６２ 第一の固定子 ６５ 第二の固定子 ６６ 第一の循環経路 ６７ 第二の循環経路 ６８ 第一の循環手段 ６９ 第二の循環手段 ７０ 第一の冷却手段 ７１ 第二の冷却手段
Claims (2)
- 【請求項１】 固定ベッド上で搬送物を所定の位置まで
移動させる移動案内装置において、前記固定ベッド上に
あり第一の方向に平行に固定された第一のガイドと、前
記第一のガイド上を前記第一の方向に直線往復運動可能
な第一のステージと、前記第一のステージ上にあり前記
第一の方向と直角な第二の方向に平行に固定された第二
のガイドと前記第二のガイド上にあり前記第二の方向に
直線往復運動可能でありその上部に搬送物を載置する第
二のステージと、前記固定ベッド上にあり前記第一のス
テージを前記第一の方向に駆動する第一の駆動手段と前
記第一のステージ上にあり前記第二のステージを前記第
二の方向に駆動する第二の駆動手段を有し前記第一と第
二の駆動手段はコイルが巻かれた第一の固定子と第二の
固定子と、前記第一と第二の固定子に沿って直線運動す
る第一の磁石と第二の磁石をそれぞれ備えた第一の可動
子と第二の可動子からなり、前記第一と第二の固定子は
内部にフィン構成を備え、前記第一と第二の固定子内を
それぞれ流れる冷却流体と、前記第一と第二の固定子の
それぞれ両端を結び、前記冷却流体が流れる第一の循環
経路と第二の循環経路と、前記第一と第二の循環経路の
途中にあって前記冷却流体を循環させる第一の循環手段
と第二の循環手段を有することを特徴とする移動案内装
置。 - 【請求項２】 前記移動案内装置は前記第一と第二の循
環経路の途中に前記冷却流体を冷却する第一の冷却手段
と第二の冷却手段を有することを特徴とする請求項１記
載の移動案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250870A JPH0592343A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 移動案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3250870A JPH0592343A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 移動案内装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592343A true JPH0592343A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17214236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3250870A Pending JPH0592343A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 移動案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0592343A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5371282A (en) * | 1992-10-02 | 1994-12-06 | Kuraray Co., Ltd. | Process for optical resolution of (+)-cis-4-aminocyclopent-2-en-1-carboxylic acid derivative |
| JPH09262727A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
| US20100183393A1 (en) * | 2007-09-07 | 2010-07-22 | Makino Milling Mahine Co., Ltd. | Method and apparatus for cooling mobile body of machine tool |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP3250870A patent/JPH0592343A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5371282A (en) * | 1992-10-02 | 1994-12-06 | Kuraray Co., Ltd. | Process for optical resolution of (+)-cis-4-aminocyclopent-2-en-1-carboxylic acid derivative |
| JPH09262727A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
| US20100183393A1 (en) * | 2007-09-07 | 2010-07-22 | Makino Milling Mahine Co., Ltd. | Method and apparatus for cooling mobile body of machine tool |
| US8672593B2 (en) | 2007-09-07 | 2014-03-18 | Makino Milling Machine Co., Ltd | Method and apparatus for cooling mobile body of machine tool |
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