JPH059657Y2 - - Google Patents

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JPH059657Y2
JPH059657Y2 JP16351786U JP16351786U JPH059657Y2 JP H059657 Y2 JPH059657 Y2 JP H059657Y2 JP 16351786 U JP16351786 U JP 16351786U JP 16351786 U JP16351786 U JP 16351786U JP H059657 Y2 JPH059657 Y2 JP H059657Y2
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light
voltage
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Description

【考案の詳細な説明】 A 産業上の利用分野 本考案は、電気泳動現象を利用してコロイド溶
液中を透過する光の透過量の変化を測定すること
により電圧を測定する光コロイド電圧センサに関
する。
B 考案の概要 本考案は、コロイド溶液内に配置した一対の電
極に電圧を印加すると、コロイド溶液内のコロイ
ド粒子が一方の電極の方へ移動する現象、即ち電
気泳動を応用したものである。つまり、一方の電
極の方へ移動するコロイド粒子のコロイド溶液と
の境界面移動速度は、電極に印加される電圧に比
例して増加する。また、コロイド溶液中に光を透
過させた際に透過する光の透過量も、コロイド粒
子の移動と共に増加するので、コロイド溶液中を
透過する光の透過量は、電極に印加される電圧に
比例して増加する。
従つて、予め、電極に印加される電圧と、コロ
イド溶液中を透過する光の透過量との関係を測定
して記憶しておくことにより、コロイド溶液中を
透過する光の透過量から、電極に印加される電圧
(測定電圧)を求めることができる。
C 従来の技術 従来より電圧測定を行う測定器には、可動コイ
ル形等の各種タイプが用いられている。
しかしながら、従来の電圧測定器はいずれも電
磁ノイズの影響を受けやすいので、電磁ノイズが
多い環境下での電圧測定は測定値に誤差が生じる
不都合があつた。
D 考案が解決しようとする問題点 本考案は上記した電磁ノイズによつて測定値に
誤差が生じる問題点を解決する目的でなされ、電
気泳動現象を利用してコロイド溶液中を透過する
光の透過量の変化を測定することにより、電磁ノ
イズの影響を受けることなく電圧を測定できる新
規の光コロイド電圧センサを提供しようとするも
のである。
E 問題点を解決するための手段 前記問題点の解決にあたつて本考案は、少なく
とも内面が電気絶縁材よりなるコロイド溶液を密
封した容器の対向する一方の面に発光部を備えた
送光側光フアイバを接続すると共に、同軸線上に
位置して対向する他方の面に受光部を備えた受光
側光フアイバを接続し、更に前記容器内に、外部
から電圧が印加される一対の電極を、前記送光側
光フアイバと受光側光フアイバ間を通る前記発光
部からの光の進行方に対して直交方向に対設した
ことを特徴とする。
F 実施例 以下、本考案を図示の実施例により詳細に説明
する。
第1図aは本考案に係る光コロイド電圧センサ
の第1実施例を示す断面図、第1図bは同光コロ
イド電圧センサの斜視図である。同図に示すよう
に、内面が電気絶縁材1aよりなるパイプ状の容
器1内には、粒径の整つた粒子を等方的に分散さ
せたコロイド溶液2が密封されている。このコロ
イド溶液2としては、シリカ砥粒(SiO2)等の
表面に電気二重層を形成しやすい粒径の整つた微
粒子を、等方的に分散させた溶液が用いられる。
また、容器1内の対向する上下の面には、長手方
向に沿つて一対の電極3a,3bが対設されてい
る。更に、この一対の電極3a,3bに対して直
角方向において、容器1の一方の端には断面円形
状の送光側光フアイバ4を挿入して接続し、他方
の端面には断面円形状の送光側光フアイバ4と同
径の受光側光フアイバ5を、送光側光フアイバ4
に対して同軸線上に位置するように挿入して接続
されている。そして、送光側光フアイバ4の先端
には、レーザー発信器やLED等の発光素子を有
する発光部6が備えられ、受光側光フアイバ5の
先端には、発光部6からの光を受光するフオトダ
イオードやフオトトランジスタ等の受光素子を有
する受光部7が備えられている。尚、8は電極3
aに接続された端子(正端子)であり、9は電極
3bに接続された端子(負端子)である。図では
端子9はアース端子である。
次に、上記のように構成された本考案の光コロ
イド電圧センサの動作について説明する。まず、
電極3a,3b間に電圧を印加する前は第2図a
に示すように、容器1内のコロイド溶液2中のコ
ロイド粒子2aは均一に懸濁(分散)した状態と
なつているので、光の透過性が良くない。次に、
第2図bに示すように、測定しようとする電圧
(正電圧)V0を端子(正端子)8を介して電極3
aに印加すると、前述した電気泳動現象により、
コロイド溶液2中のコロイド粒子2aは電極3a
の方向へ移動する。すると、コロイド溶液2中に
境界面2bが形成されてコロイド粒子2aを含ん
だ不透明の上部境界層2cと、コロイド粒子2a
を含まない透明の下部境界層2dとに分離され、
時間の経過とともに境界面2bは電極3a方向に
移動する(第1図a参照)。つまり、コロイド粒
子2aを含まない透明な下部境界層2dの領域は
時間の経過に比例して増大し、光を透過しやすく
なる。このため、発光部6より出射された光A
は、送光側光フアイバ4中を伝播して容器1内の
下部境界層2d中を透過し、受光側光フアイバ5
中を伝播して受光部7に導入される。この際、受
光部7に導入される光A′は時間に比例して増加
し、受光部7からの出力電圧V1も増加する。こ
のことにより、第3図に示すように、コロイド溶
液2中の下部境界層2dの移動と共に移動する境
界面2bの移動速度vは、電極3aに印加される
測定電圧V0に比例する。また、コロイド溶液2
中のコロイド粒子2aの径が大きいほど境界面2
cの移動速度vは速くなる。
以上、前記したように、予め電極3aに印加さ
れる測定電圧V0と、コロイド溶液2中を透過す
る発光部6から出射される光Aの透過量(出力電
圧V1)との関係を測定して記憶しておくことに
より、測定時におけるコロイド溶液2中を透過す
る光A′の透過量(出力電圧V1)から電極3aに
印加される測定電圧V0を求めることができる。
また、受光素子7から出力される出力電圧V1
コンピユータ(不図示)に入力し、単位時間で分
割してサンプリングすることにより、高精度の測
定を行うことができる。そして、送光側光フアイ
バ4及び受光側光フアイバ5は、適当な長さに形
成して発光部6及び受光部7を電界の影響のない
場所に設置する。
尚、電極3bに設けた端子(負端子)9はアー
ス端子に限られるものではなく、端子(正端子)
8に対する負極側の端子である。更に、前記実施
例とは逆に端子8を負端子、端子9を正端子とし
た場合は、コロイド粒子2aの移動方向が前記実
施例とは逆方向になり、負電圧を測定することが
てきる。
また、容器1、送光側光フアイバ4、受光側光
フアイバ5は、断面円形状に限られるものでな
く、断面形状がだ円形状や角形状でも良い。
更に、第3図に示したように、コロイド粒子2
aの粒子径の大きさによつて、測定電圧V0と境
界面移動速度vとの関係が異なるので、適当なコ
ロイド粒子2aの径を選択することにより、測定
する電圧のレベルに応じたセンサを得ることがで
きる。
第4図aは本考案の第2実施例を示す断面図、
第4図bはそのB−B線断面図である。尚、第1
図a,bで示した第1実施例と同一部分には、同
一符号を付してその説明は省略する。
この実施例においては、断面円形状の送光側光
フアイバ13及び受光側光フアイバ14は、コロ
イド粒子2aを含まない透明な下部境界層2dの
領域に相当する位置に対向して設けられている。
そして、前記実施例と同様にして測定電圧V0
測定することができる。
また、容器1と送光側光フアイバ13との接合
面1bにレンズ系(不図示)を配置することによ
り、コロイド溶液2中を透過する発光部6からの
光の指向性を高めることができる。
更に、第4図cに示すように、複数の小径の光
フアイバ束を用いて、電極3aに電圧を印加した
際に形成される下部境界層2dの断面形状に対応
した送光側光フアイバ束(不図示)及び受光側光
フアイバ束14′を容器1に接続しても良い。こ
れによつて、コロイド溶液2中を透過する発光部
6から出射される光の光量の増加を図ることがで
きる。
第5図aは本考案の第3実施例を示す断面図、
第5図bはそのC−C線断面図である。尚、第1
図a,bで示した第1実施例と同一部分には、同
一符号を付してその説明は省略する。
この実施例においては、容器1′を断面四角状
に形成し、この容器1′を挟んでコロイド溶液2
の上部境界層2c及び下部境界層2dにそれぞれ
2本づつの送光側光フアイバ15a,15b,1
5c,15d及び受光側光フアイバ16a,16
b,16c,16dが対向するようにして配設す
る。各送光側光フアイバ15a〜15dにはそれ
ぞれ発光部6が接続され、各受光側光フアイバ1
6a〜16dにはそれぞれ受光部7が接続されて
いる。そして、前記実施例と同様にして測定電圧
V0を測定することができる。この際、上部境界
層2cにおける各受光部7での出力電圧V11と、
下部境界層2dにおける各受光部7での出力電圧
V12との平均値を求めることにより更に精度良く
測定電圧V0を測定することができる。
尚、この実施例に限らず、上部境界層2c及び
下部境界層2dに、それぞれ1本づつ又は3本以
上の送光側光フアイバ及び受光側光フアイバを配
設してそれに対応した発光部及び受光部をそれぞ
れ設ける構成でも良い。
G 考案の効果 以上実施例とともに具体的に説明したように本
考案によれば、電気泳動現象を利用してコロイド
溶液中を透過する光の透過量の変化を測定するこ
とによつて測定電圧を求める構成により、電磁ノ
イズ等の影響を受けることなく高精度の測定がで
きる。
また、構造が簡単なのでコストの低減及び小
型・軽量化を図ることができる。
更に、コロイド粒子の種類を選ぶことにより、
測定電圧を正電圧用又は負電圧用に容易に切替え
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図aは本考案に係る光コロイド電圧センサ
の第1実施例を示す断面図、第1図bは同光コロ
イド電圧センサの斜視図、第2図aは電極に電圧
を印加する前の状態を示す第1図aのA−A線断
面図、第2図bは電極に電圧を印加した後の状態
を示す第1図aのA−A線断面図、第3図は測定
電圧と境界面移動速度との関係を示す図、第4図
aは本考案の第2実施例を示す断面図、第4図b
は第4図aのB−B線断面図、第4図cは第2実
施例に係る他の実施例を示す断面図、第5図aは
本考案の第3実施例を示す断面図、第5図bは第
5図aのC−C線断面図である。 図面中、1は容器、1aは電気絶縁材、2はコ
ロイド溶液、2aはコロイド粒子、2bは境界
面、2cは上部境界層、2dは下部境界層、3
a,3bは電極、4は送光側光フアイバ、5は受
光側光フアイバ、6は送光部、7は受光部、8,
9は端子である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 少なくとも内面が電気絶縁材よりなるコロイド
    溶液を密封した容器の対向する一方の面に発光部
    を備えた送光側光フアイバを接続すると共に、同
    軸線上に位置して対向する他方の面に受光部を備
    えた受光側光フアイバを接続し、更に前記容器内
    に、外部から電圧が印加される一対の電極を、前
    記送光側光フアイバと受光側光フアイバ間を通る
    前記発光部からの光の進行方向に対して直交方向
    に対設したことを特徴とする光コロイド電圧セン
    サ。
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JP7643861B2 (ja) 2020-10-30 2025-03-11 株式会社荏原製作所 基板処理装置においてカセットからの基板の取り出しタイミングを決定する方法、装置、プログラム、および基板処理装置

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