JPH0597549A - 金属蒸着用黒鉛製ルツボ - Google Patents
金属蒸着用黒鉛製ルツボInfo
- Publication number
- JPH0597549A JPH0597549A JP3255224A JP25522491A JPH0597549A JP H0597549 A JPH0597549 A JP H0597549A JP 3255224 A JP3255224 A JP 3255224A JP 25522491 A JP25522491 A JP 25522491A JP H0597549 A JPH0597549 A JP H0597549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- graphite crucible
- graphite
- resin
- glassy carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 誘導加熱に適した金属蒸着用黒鉛製ルツボを
提供する。 【構成】 この金属蒸着用黒鉛製ルツボは、黒鉛化され
たルツボ基材表面のポア内にガラス状炭素を含浸せしめ
て成ることを特徴とする。
提供する。 【構成】 この金属蒸着用黒鉛製ルツボは、黒鉛化され
たルツボ基材表面のポア内にガラス状炭素を含浸せしめ
て成ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウム、銀等の
溶融金属をシート状物に蒸着する際に用いられる金属蒸
着用黒鉛製ルツボに関する。
溶融金属をシート状物に蒸着する際に用いられる金属蒸
着用黒鉛製ルツボに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属蒸着用黒鉛製ルツボは、コー
クス、黒鉛粉等の炭素粉末を骨材として、これにピッチ
等のバインダーを加えて混練し、粉砕した後、ルツボの
形状に成形して、焼成、黒鉛化して製造されていた。し
かしながら、このような黒鉛製ルツボは、高温で使用さ
れるため、その表面ポア内に溶融金属が侵入し易く、金
属と黒鉛とが反応して金属カーバイトが生成され、短期
間にクラックや破損を発生させることが問題となってい
た。
クス、黒鉛粉等の炭素粉末を骨材として、これにピッチ
等のバインダーを加えて混練し、粉砕した後、ルツボの
形状に成形して、焼成、黒鉛化して製造されていた。し
かしながら、このような黒鉛製ルツボは、高温で使用さ
れるため、その表面ポア内に溶融金属が侵入し易く、金
属と黒鉛とが反応して金属カーバイトが生成され、短期
間にクラックや破損を発生させることが問題となってい
た。
【０００３】そこで、このような問題を取り除くため、
本発明者は均質、等方性で、ガス不浸透性に優れ、金属
類に対しては一般の炭素材よりも安定し耐腐食性のある
ガラス状炭素に着目した。このようなガラス状炭素質の
黒鉛製ルツボは、炭素粉末に熱硬化性樹脂を添加混練
し、これを粉砕した後、ルツボの形状に成形して、焼
成、黒鉛化することによって得られる。
本発明者は均質、等方性で、ガス不浸透性に優れ、金属
類に対しては一般の炭素材よりも安定し耐腐食性のある
ガラス状炭素に着目した。このようなガラス状炭素質の
黒鉛製ルツボは、炭素粉末に熱硬化性樹脂を添加混練
し、これを粉砕した後、ルツボの形状に成形して、焼
成、黒鉛化することによって得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな黒鉛製ルツボは、緻密質で不浸透性に優れてはいる
ものの、その物性は電気比抵抗の高いものとなり、誘導
加熱によって金属を加熱溶解させる黒鉛製ルツボには適
さないという問題及び熱衝撃性が悪く昇温中もしくは降
温中に割れが発生するという問題が新たに生じた。
うな黒鉛製ルツボは、緻密質で不浸透性に優れてはいる
ものの、その物性は電気比抵抗の高いものとなり、誘導
加熱によって金属を加熱溶解させる黒鉛製ルツボには適
さないという問題及び熱衝撃性が悪く昇温中もしくは降
温中に割れが発生するという問題が新たに生じた。
【０００５】そこで、本発明者は、電気比抵抗も従来の
黒鉛製ルツボと変わらないガラス状炭素質の黒鉛製ルツ
ボを開発するために鋭意研究を重ねた結果、原料段階か
らガラス状炭素を生成する熱硬化性樹脂を加えた場合に
は電気比抵抗の高い黒鉛製ルツボが作製されるという知
見を得た。
黒鉛製ルツボと変わらないガラス状炭素質の黒鉛製ルツ
ボを開発するために鋭意研究を重ねた結果、原料段階か
らガラス状炭素を生成する熱硬化性樹脂を加えた場合に
は電気比抵抗の高い黒鉛製ルツボが作製されるという知
見を得た。
【０００６】本発明は、このような知見に基づいてなさ
れたものであり、その目的とするところは、誘導加熱に
適したガラス状炭素質の黒鉛製ルツボを提供しようとす
るものである。
れたものであり、その目的とするところは、誘導加熱に
適したガラス状炭素質の黒鉛製ルツボを提供しようとす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
「黒鉛化されたルツボ基材表面のポア内にガラス状炭素
を含浸せしめて成ることを特徴とする金属蒸着用黒鉛製
ルツボ」を、その内容としている。
「黒鉛化されたルツボ基材表面のポア内にガラス状炭素
を含浸せしめて成ることを特徴とする金属蒸着用黒鉛製
ルツボ」を、その内容としている。
【０００８】黒鉛化されたルツボ基材は、石油系又は石
炭系のピッチ、コークス、黒鉛粉等を骨材として、ター
ル、ピッチ等のバインダーを加えて加熱混練し、この混
練物を粉砕し、ルツボの形状に成形して、焼成し、黒鉛
化することにより得られる。
炭系のピッチ、コークス、黒鉛粉等を骨材として、ター
ル、ピッチ等のバインダーを加えて加熱混練し、この混
練物を粉砕し、ルツボの形状に成形して、焼成し、黒鉛
化することにより得られる。
【０００９】得られたルツボ基材の表面ポア内にガラス
状炭素を含浸せしめるには、フェノール樹脂、フラン樹
脂等の熱硬化性樹脂を含浸、硬化、焼成することによ
り、行なう。含浸はポア内に十分浸透させるため真空加
圧含浸とするのがよく、この場合、圧力は１ｋｇ／ｃｍ
2〜２０ｋｇ／ｃｍ2の範囲で高圧力の方が好ましい。焼
成温度は６００℃〜３５００℃の範囲内で行ない、好ま
しくは２０００℃〜３０００℃である。
状炭素を含浸せしめるには、フェノール樹脂、フラン樹
脂等の熱硬化性樹脂を含浸、硬化、焼成することによ
り、行なう。含浸はポア内に十分浸透させるため真空加
圧含浸とするのがよく、この場合、圧力は１ｋｇ／ｃｍ
2〜２０ｋｇ／ｃｍ2の範囲で高圧力の方が好ましい。焼
成温度は６００℃〜３５００℃の範囲内で行ない、好ま
しくは２０００℃〜３０００℃である。
【００１０】なお、より緻密質なものとするためには、
含浸、硬化、焼成を数回繰り返すのが望ましい。
含浸、硬化、焼成を数回繰り返すのが望ましい。
【００１１】熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、
フラン樹脂の他、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、特開
昭６２−１５６１２４号公報に記載の熱硬化性樹脂（コ
プナ樹脂）等を使用することができ、これらの内、炭化
収率の点から、コプナ樹脂、フラン樹脂を使用するのが
よい。
フラン樹脂の他、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、特開
昭６２−１５６１２４号公報に記載の熱硬化性樹脂（コ
プナ樹脂）等を使用することができ、これらの内、炭化
収率の点から、コプナ樹脂、フラン樹脂を使用するのが
よい。
【００１２】
【作用】本発明に係る黒鉛製ルツボは、炭素粉末に熱硬
化性樹脂を添加混練し、これを粉砕した後、ルツボの形
状に成形して、焼成、黒鉛化して得られるガラス状炭素
質の黒鉛製ルツボとは異なり、ルツボ基材の表面ポア内
にガラス状炭素を含浸せしめたものであるから、その電
気比抵抗はガラス状炭素の特性を有さない、従来の黒鉛
製ルツボと同様の電気比抵抗を有したものとなってい
る。
化性樹脂を添加混練し、これを粉砕した後、ルツボの形
状に成形して、焼成、黒鉛化して得られるガラス状炭素
質の黒鉛製ルツボとは異なり、ルツボ基材の表面ポア内
にガラス状炭素を含浸せしめたものであるから、その電
気比抵抗はガラス状炭素の特性を有さない、従来の黒鉛
製ルツボと同様の電気比抵抗を有したものとなってい
る。
【００１３】このため、誘導加熱によっても金属を加熱
溶解させることができ、しかもガラス状炭素の特性であ
る金属類に対しての耐腐食性を備えたものとなってい
る。
溶解させることができ、しかもガラス状炭素の特性であ
る金属類に対しての耐腐食性を備えたものとなってい
る。
【００１４】
【実施例】次に、実施例について説明する。
【００１５】実施例１ 平均粒径１０μｍのピッチコークスを５０重量部、人造
黒鉛粉１５重量部と、コールタールピッチを３５重量部
とを配合し、空気中２４０℃で加熱しつつ混練する。こ
れを粉砕したものをラバープレスによってルツボ形状に
成形し、これを１１００℃で一次焼成し、２８００℃で
二次焼成し、ルツボ基材を得た。得られたルツボ基材表
面にフラン樹脂を、真空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃ
ｍ2で加圧含浸し、非酸化性雰囲気中２８００℃で焼成
して黒鉛製ルツボを得た。 この黒鉛製ルツボの電気比
抵抗及び気体透過率を表１に示す。又、この黒鉛製ルツ
ボを使用して、２時間のアルミニウムの蒸着を行い、こ
れを１回として、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
黒鉛粉１５重量部と、コールタールピッチを３５重量部
とを配合し、空気中２４０℃で加熱しつつ混練する。こ
れを粉砕したものをラバープレスによってルツボ形状に
成形し、これを１１００℃で一次焼成し、２８００℃で
二次焼成し、ルツボ基材を得た。得られたルツボ基材表
面にフラン樹脂を、真空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃ
ｍ2で加圧含浸し、非酸化性雰囲気中２８００℃で焼成
して黒鉛製ルツボを得た。 この黒鉛製ルツボの電気比
抵抗及び気体透過率を表１に示す。又、この黒鉛製ルツ
ボを使用して、２時間のアルミニウムの蒸着を行い、こ
れを１回として、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
【００１６】実施例２ 平均粒径１３μｍの人造黒鉛粉６５重量部と、コールタ
ールピッチを３５重量部とを配合し、空気中２４０℃で
加熱しつつ混練する。これを粉砕したものをラバープレ
スによってルツボ形状に成形し、これを１１００℃で一
次焼成し、２８００℃で二次焼成してルツボ基材を得
た。得られたルツボ基材表面にフラン樹脂を、真空度７
６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非酸化性
雰囲気中２８００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得た。
この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表１に
示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１と同
様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
ールピッチを３５重量部とを配合し、空気中２４０℃で
加熱しつつ混練する。これを粉砕したものをラバープレ
スによってルツボ形状に成形し、これを１１００℃で一
次焼成し、２８００℃で二次焼成してルツボ基材を得
た。得られたルツボ基材表面にフラン樹脂を、真空度７
６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非酸化性
雰囲気中２８００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得た。
この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表１に
示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１と同
様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
【００１７】実施例３ 実施例１で得られたルツボ基材表面にコプナ樹脂を、真
空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非
酸化性雰囲気中３０００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得
た。この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表
１に示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１
と同様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非
酸化性雰囲気中３０００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得
た。この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表
１に示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１
と同様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。
【００１８】実施例４ 実施例２で得られたルツボ基材表面にコプナ樹脂を、真
空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非
酸化性雰囲気中３０００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得
た。この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表
１に示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１
と同様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。比較例１ 平均粒径１０μｍのピッチコークスを５０重量部、人造
黒鉛粉１５重量部と、コールタールピッチを３５重量部
とを配合し、空気中２４０℃で加熱しつつ混練する。こ
れを粉砕したものをラバープレスによってルツボ形状に
成形し、これを１１００℃で一次焼成し、２８００℃で
二次焼成して黒鉛製ルツボを得た。得られた黒鉛製ルツ
ボの電気比抵抗及び気体透過率を表１に示す。又、この
黒鉛製ルツボを使用して、２時間のアルミニウムの蒸着
を行い、これを１回として、耐久性を調べた。結果を表
１に示す。
空度７６Ｔｏｒｒ、１０ｋｇ／ｃｍ2で加圧含浸し、非
酸化性雰囲気中３０００℃で焼成して黒鉛製ルツボを得
た。この黒鉛製ルツボの電気比抵抗及び気体透過率を表
１に示す。又、この黒鉛製ルツボを使用して、実施例１
と同様に、耐久性を調べた。結果を表１に示す。比較例１ 平均粒径１０μｍのピッチコークスを５０重量部、人造
黒鉛粉１５重量部と、コールタールピッチを３５重量部
とを配合し、空気中２４０℃で加熱しつつ混練する。こ
れを粉砕したものをラバープレスによってルツボ形状に
成形し、これを１１００℃で一次焼成し、２８００℃で
二次焼成して黒鉛製ルツボを得た。得られた黒鉛製ルツ
ボの電気比抵抗及び気体透過率を表１に示す。又、この
黒鉛製ルツボを使用して、２時間のアルミニウムの蒸着
を行い、これを１回として、耐久性を調べた。結果を表
１に示す。
【００１９】
【００２０】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係る金属蒸
着用黒鉛製ルツボは、ルツボ基材の表面ポア内にガラス
状炭素を含浸せしめたものであるから、その電気比抵抗
は、従来の黒鉛製ルツボと変わらず、したがって、誘導
加熱によっても金属を加熱溶解させることができ、しか
もガラス状炭素の特性である金属類に対しての耐腐食性
を備えたものとなっているから耐久性にも富む、という
優れた効果を有している。
着用黒鉛製ルツボは、ルツボ基材の表面ポア内にガラス
状炭素を含浸せしめたものであるから、その電気比抵抗
は、従来の黒鉛製ルツボと変わらず、したがって、誘導
加熱によっても金属を加熱溶解させることができ、しか
もガラス状炭素の特性である金属類に対しての耐腐食性
を備えたものとなっているから耐久性にも富む、という
優れた効果を有している。
Claims (1)
- 【請求項１】 黒鉛化されたルツボ基材表面のポア内に
ガラス状炭素を含浸せしめて成ることを特徴とする金属
蒸着用黒鉛製ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255224A JPH0597549A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 金属蒸着用黒鉛製ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3255224A JPH0597549A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 金属蒸着用黒鉛製ルツボ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0597549A true JPH0597549A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17275757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3255224A Pending JPH0597549A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 金属蒸着用黒鉛製ルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0597549A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5911824A (en) * | 1997-12-16 | 1999-06-15 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Method for growing crystal |
| KR20020014466A (ko) * | 2000-08-18 | 2002-02-25 | 이영균 | 흑연화 처리방법 |
| CN109574670A (zh) * | 2018-12-22 | 2019-04-05 | 中国平煤神马集团开封炭素有限公司 | 一种低孔隙不透性石墨的制备工艺 |
| JP2021008376A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | イビデン株式会社 | 黒鉛材料及びその製造方法 |
| KR102479916B1 (ko) * | 2022-06-23 | 2022-12-21 | 주식회사 지.티.아이 | 함침액 제조 방법 및 이를 이용한 흑연 가공제품의 코팅 방법 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP3255224A patent/JPH0597549A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6093245A (en) * | 1996-12-17 | 2000-07-25 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Method for growing crystal |
| US5911824A (en) * | 1997-12-16 | 1999-06-15 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Method for growing crystal |
| KR20020014466A (ko) * | 2000-08-18 | 2002-02-25 | 이영균 | 흑연화 처리방법 |
| CN109574670A (zh) * | 2018-12-22 | 2019-04-05 | 中国平煤神马集团开封炭素有限公司 | 一种低孔隙不透性石墨的制备工艺 |
| JP2021008376A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | イビデン株式会社 | 黒鉛材料及びその製造方法 |
| KR102479916B1 (ko) * | 2022-06-23 | 2022-12-21 | 주식회사 지.티.아이 | 함침액 제조 방법 및 이를 이용한 흑연 가공제품의 코팅 방법 |
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