JPH06100364A - チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法 - Google Patents
チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法Info
- Publication number
- JPH06100364A JPH06100364A JP27241792A JP27241792A JPH06100364A JP H06100364 A JPH06100364 A JP H06100364A JP 27241792 A JP27241792 A JP 27241792A JP 27241792 A JP27241792 A JP 27241792A JP H06100364 A JPH06100364 A JP H06100364A
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- Japan
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- solid solution
- sintering
- powder
- titanate zirconate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 鉛ハロゲン化物固溶体または鉛ハロゲン化物
・鉛酸化物固溶体を焼結助剤として使用することにより
チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを液相焼結で経済
的に製造する方法を提供する。 【構成】 チタン酸ジルコン酸鉛系の仮焼粉末に、異な
った種類の鉛ハロゲン化物からなる固溶体粉末または鉛
ハロゲン化物と鉛酸化物からなる固溶体粉末を仮焼粉末
中の鉛量に対して１〜６０ｍｏｌ％混合し成形する。つ
いで成形物を固溶体の融点以上、９００℃以下の任意の
温度で加熱し、固溶体を溶融しつつ焼結することにより
チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを得る。これによ
り焼結工程ではまず固溶体が溶融し、仮焼粉末粒子間に
液相が形成され、この液相を介して仮焼粉末中の構成物
質の移動が進行するため、仮焼粉末の焼結が低温域で促
進される。
・鉛酸化物固溶体を焼結助剤として使用することにより
チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを液相焼結で経済
的に製造する方法を提供する。 【構成】 チタン酸ジルコン酸鉛系の仮焼粉末に、異な
った種類の鉛ハロゲン化物からなる固溶体粉末または鉛
ハロゲン化物と鉛酸化物からなる固溶体粉末を仮焼粉末
中の鉛量に対して１〜６０ｍｏｌ％混合し成形する。つ
いで成形物を固溶体の融点以上、９００℃以下の任意の
温度で加熱し、固溶体を溶融しつつ焼結することにより
チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを得る。これによ
り焼結工程ではまず固溶体が溶融し、仮焼粉末粒子間に
液相が形成され、この液相を介して仮焼粉末中の構成物
質の移動が進行するため、仮焼粉末の焼結が低温域で促
進される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、均質で高密度なチタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造方法に関する。チ
タン酸ジルコン酸鉛系セラミックスは、誘電率が高く、
圧電特性の大きなものが得られることが特徴である。さ
らに材料の諸特性に対する信頼性も高いためエレクトロ
ニクス、メカノエレクトロニクスの分野への様々な用途
が考えられ、例えばその強誘電性を利用してコンデンサ
ー材料に、また圧電性を利用して各種超音波振動子等へ
幅広い実用が知られる。さらにランタンの添加により透
光性が発現し、その電気光学特性を利用して光シャッタ
ー、光メモリーの主要部材にその応用が期待されてい
る。
酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造方法に関する。チ
タン酸ジルコン酸鉛系セラミックスは、誘電率が高く、
圧電特性の大きなものが得られることが特徴である。さ
らに材料の諸特性に対する信頼性も高いためエレクトロ
ニクス、メカノエレクトロニクスの分野への様々な用途
が考えられ、例えばその強誘電性を利用してコンデンサ
ー材料に、また圧電性を利用して各種超音波振動子等へ
幅広い実用が知られる。さらにランタンの添加により透
光性が発現し、その電気光学特性を利用して光シャッタ
ー、光メモリーの主要部材にその応用が期待されてい
る。
【０００２】
【従来の技術】従来からチタン酸ジルコン酸鉛系セラミ
ックスの製造方法として、所定の化学量論比を有する出
発原料を用いこれを乾式法または湿式法（アルコキシド
法、共沈法、化合物沈澱法、スラリー混合法等）により
処理し、加熱して仮焼粉末を得、さらにこの仮焼粉末を
粉砕、成形して圧粉成形体とし、これを熱間静水圧プレ
ス法または常圧焼成法等により焼結して、最終製品を製
造する方法が種々知られている。
ックスの製造方法として、所定の化学量論比を有する出
発原料を用いこれを乾式法または湿式法（アルコキシド
法、共沈法、化合物沈澱法、スラリー混合法等）により
処理し、加熱して仮焼粉末を得、さらにこの仮焼粉末を
粉砕、成形して圧粉成形体とし、これを熱間静水圧プレ
ス法または常圧焼成法等により焼結して、最終製品を製
造する方法が種々知られている。
【０００３】これらの製造方法においては、焼結工程で
生じやすい鉛成分の揮発による組成変化を防ぐため各種
の工夫がなされている。すなわち、出発原料中に予め化
学量論量に比べ過剰な鉛成分を添加したり、白金坩堝中
に成形体とともに粉末状の鉛化合物を密封して焼結した
り、あるいは鉛化合物から構成される容器中に成形体を
設置し焼結する技術も知られている。従ってこれらの技
術は白金坩堝や鉛化合物による容器が必要であり、量産
にあたっては鉛化合物の白金容器への密封作業は大きな
障害となっていた。
生じやすい鉛成分の揮発による組成変化を防ぐため各種
の工夫がなされている。すなわち、出発原料中に予め化
学量論量に比べ過剰な鉛成分を添加したり、白金坩堝中
に成形体とともに粉末状の鉛化合物を密封して焼結した
り、あるいは鉛化合物から構成される容器中に成形体を
設置し焼結する技術も知られている。従ってこれらの技
術は白金坩堝や鉛化合物による容器が必要であり、量産
にあたっては鉛化合物の白金容器への密封作業は大きな
障害となっていた。
【０００４】上記従来の製造方法の欠点を改良すること
を目的に、特開平３−２９５８５９号が提案された。こ
れは鉛ハロゲン化物粉末を焼結助剤として添加すること
により仮焼粉末を液相焼結するものである。この焼結助
剤の効果により酸化鉛の融点より低い温度で焼結するこ
とが可能になり、このため鉛の揮発量が少ないことを特
徴とする製造方法である。この方法により９００℃以下
の低温で充分焼結したセラミックスが得られ、鉛蒸気発
生に対する公害防止設備が不要となる等多くの利点が知
られるようになった。
を目的に、特開平３−２９５８５９号が提案された。こ
れは鉛ハロゲン化物粉末を焼結助剤として添加すること
により仮焼粉末を液相焼結するものである。この焼結助
剤の効果により酸化鉛の融点より低い温度で焼結するこ
とが可能になり、このため鉛の揮発量が少ないことを特
徴とする製造方法である。この方法により９００℃以下
の低温で充分焼結したセラミックスが得られ、鉛蒸気発
生に対する公害防止設備が不要となる等多くの利点が知
られるようになった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一方、一般的に液相焼
結における焼結温度の設定は高いほうが焼結速度を促進
すると思われるが、鉛化合物においては焼結温度を液相
生成温度から高くしすぎると鉛の揮発が激しくなり液相
が減少する結果、液相を介する焼結に支障を生じ構造の
緻密化が難しくなる。そこで焼結温度の設定は液相生成
温度により制限される。また鉛ハロゲン化物の融点は固
有値であるため、例えばフッ化鉛では８５５℃、塩化鉛
は５０１℃、ヨウ化鉛は４０２℃そして臭化鉛は３７３
℃であり、液相焼結の温度設定を自由に選ぶことはでき
ない。従って同法によってさえも焼結温度の設定に制限
があるところに課題を残していた。本発明の目的は、上
記従来のチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造技
術にみられる欠点を改善して、高い誘電性、優れた圧電
特性、電気光学特性を有し、かつ品質の安定したチタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスを一層経済的に製造する
方法を提供することにある。
結における焼結温度の設定は高いほうが焼結速度を促進
すると思われるが、鉛化合物においては焼結温度を液相
生成温度から高くしすぎると鉛の揮発が激しくなり液相
が減少する結果、液相を介する焼結に支障を生じ構造の
緻密化が難しくなる。そこで焼結温度の設定は液相生成
温度により制限される。また鉛ハロゲン化物の融点は固
有値であるため、例えばフッ化鉛では８５５℃、塩化鉛
は５０１℃、ヨウ化鉛は４０２℃そして臭化鉛は３７３
℃であり、液相焼結の温度設定を自由に選ぶことはでき
ない。従って同法によってさえも焼結温度の設定に制限
があるところに課題を残していた。本発明の目的は、上
記従来のチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造技
術にみられる欠点を改善して、高い誘電性、優れた圧電
特性、電気光学特性を有し、かつ品質の安定したチタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスを一層経済的に製造する
方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
点を解決するため鋭意研究を重ねたところ、上記チタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造工程において、焼
結助剤として異なった種類の鉛ハロゲン化物からなる固
溶体粉末または鉛ハロゲン化物と鉛酸化物からなる固溶
体粉末を使用することによって上記目的を達成し得るこ
とを見い出した。
点を解決するため鋭意研究を重ねたところ、上記チタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造工程において、焼
結助剤として異なった種類の鉛ハロゲン化物からなる固
溶体粉末または鉛ハロゲン化物と鉛酸化物からなる固溶
体粉末を使用することによって上記目的を達成し得るこ
とを見い出した。
【０００７】以下、本発明の効果等に関し、より詳細に
分説する。上記焼結助剤として用いる固溶体の成分は鉛
ハロゲン化物と鉛酸化物からなり、鉛ハロゲン化物とし
てはフッ化鉛、塩化鉛、ヨウ化鉛、臭化鉛が、鉛酸化物
としては酸化鉛が用いることができる。固溶体粉末の組
成比は所望の焼結温度から液相生成温度を決め、固溶体
の相図を基に決める。相図は、例えばＮａｔｉｏｎａｌ
Ｂｕｒｅａｕ ｏｆ Ｓｔａｎｄａｒｄｓ（ＵＳＡ）
が編集し、Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｓｏｃ
ｉｅｔｙから出版された書籍Ｐｈａｓｅ Ｄｉａｇｒａ
ｍｓ ｆｏｒ Ｃｅｒａｍｉｓｔｓに掲載されている。
分説する。上記焼結助剤として用いる固溶体の成分は鉛
ハロゲン化物と鉛酸化物からなり、鉛ハロゲン化物とし
てはフッ化鉛、塩化鉛、ヨウ化鉛、臭化鉛が、鉛酸化物
としては酸化鉛が用いることができる。固溶体粉末の組
成比は所望の焼結温度から液相生成温度を決め、固溶体
の相図を基に決める。相図は、例えばＮａｔｉｏｎａｌ
Ｂｕｒｅａｕ ｏｆ Ｓｔａｎｄａｒｄｓ（ＵＳＡ）
が編集し、Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｓｏｃ
ｉｅｔｙから出版された書籍Ｐｈａｓｅ Ｄｉａｇｒａ
ｍｓ ｆｏｒ Ｃｅｒａｍｉｓｔｓに掲載されている。
【０００８】これらの固溶体の融点は２７０〜９００℃
までの連続した温度範囲にあるため、所望の温度を得る
には相図から組成比を決定して液相生成温度を上記の範
囲で任意に選択することができる。仮焼粉末への固溶体
の添加量は広い範囲内で選び得るが、少量では上記焼結
促進効果が顕著にみられず、また、大量に添加すると製
品の上記諸特性が悪化し、また経済上、環境保全上も好
ましくないので、仮焼粉末原料中に含まれる鉛量の１〜
６０ｍｏｌ％の範囲内であることが必要であるが、好適
にはその経済性を考え３〜３０ｍｏｌ％で用いるのがよ
い。チタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料は、その製造
方法の如何を問わず使用することができる。また、粉砕
工程およびその後の成形、加熱、焼結工程においては公
知の種々の技術を適宜使用し得る。
までの連続した温度範囲にあるため、所望の温度を得る
には相図から組成比を決定して液相生成温度を上記の範
囲で任意に選択することができる。仮焼粉末への固溶体
の添加量は広い範囲内で選び得るが、少量では上記焼結
促進効果が顕著にみられず、また、大量に添加すると製
品の上記諸特性が悪化し、また経済上、環境保全上も好
ましくないので、仮焼粉末原料中に含まれる鉛量の１〜
６０ｍｏｌ％の範囲内であることが必要であるが、好適
にはその経済性を考え３〜３０ｍｏｌ％で用いるのがよ
い。チタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料は、その製造
方法の如何を問わず使用することができる。また、粉砕
工程およびその後の成形、加熱、焼結工程においては公
知の種々の技術を適宜使用し得る。
【０００９】本発明の製造方法に関する反応機構はまだ
完全に解明されているわけではないが、以下のように考
える。チタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料に、異なる
種類の鉛ハロゲン化物からなる固溶体あるいは酸化鉛と
鉛ハロゲン化物からなる固溶体を添加混合するので、加
熱焼結工程では固溶体の融点で固溶体が溶融し、仮焼粉
末粒子間に液相が形成され、この液相を介してチタン酸
ジルコン酸鉛系粒子の成分物質の移動、析出が進行す
る。このためチタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料の焼
結を比較的低温域で著しく促進すると考える。
完全に解明されているわけではないが、以下のように考
える。チタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料に、異なる
種類の鉛ハロゲン化物からなる固溶体あるいは酸化鉛と
鉛ハロゲン化物からなる固溶体を添加混合するので、加
熱焼結工程では固溶体の融点で固溶体が溶融し、仮焼粉
末粒子間に液相が形成され、この液相を介してチタン酸
ジルコン酸鉛系粒子の成分物質の移動、析出が進行す
る。このためチタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料の焼
結を比較的低温域で著しく促進すると考える。
【００１０】こうして高密度で高い光線透過率や優れた
電気光学特性、融電性または圧電特性を有し、かつ製造
ロット間で品質の安定したチタン酸ジルコン酸鉛系セラ
ミックスを容易に得ることができる。なお、固溶体の融
点に関連して液相焼結時の熱処理温度を任意に設定し得
るため経済的効果が明確である。
電気光学特性、融電性または圧電特性を有し、かつ製造
ロット間で品質の安定したチタン酸ジルコン酸鉛系セラ
ミックスを容易に得ることができる。なお、固溶体の融
点に関連して液相焼結時の熱処理温度を任意に設定し得
るため経済的効果が明確である。
【００１１】
【実施例】以下、実施例および比較例にそって本発明を
例示する。 （実施例） 固溶体の調整 フッ化鉛と酸化鉛の粉末を１：９のモル比でボールミル
混合し、４５０℃で１時間仮焼した後、らいかい機で粉
砕したものを固溶体１、塩化鉛と臭化鉛の粉末を１：３
のモル比でボールミル混合し、４００℃で１時間仮焼し
た後、らいかい機で粉砕したものを固溶体２、ヨウ化鉛
と臭化鉛の粉末を１：９のモル比でボールミル混合し、
３５０℃で１時間仮焼した後、らいかい機で粉砕したも
のを固溶体３として準備した。 焼結 市販のＰＬＺＴ仮焼粉末原料（所定組成：Ｐｂ0.91Ｌａ
0.09（Ｚｒ0.65Ｔｉ0.35）0.9775Ｏ3過剰添加Ｐｂ：２
重量％、林化学工業製、商品名（ＨＩＪＩＲＣＯ
Ｔ））を三分しそれぞれに仮焼粉末原料組成中の鉛成分
の１０％相当量の固溶体１、２、３を添加し、それぞれ
別個にポリエチレンポットとジルコニアボールを用いた
ボールミルでアセトンを媒体として２０時間混合、湿式
粉砕した。ついで、これらの粉砕された仮焼粉末を乾
燥、造粒後、ゴム型（φ＝３５ｍｍ）に入れ冷間静水圧
法により加圧成形した。得られた成形体をアルミナ坩堝
に入れ、加熱して固溶体１は８３０℃、固溶体２は５４
０℃、固溶体３は４４０℃で１５時間保持し、添加した
固溶体を溶融して焼結を促進させ、ついで、１１５０℃
で２０時間酸素気流中で保持し、上記固溶体を揮発させ
て固相焼結した。得られたＰＬＺＴセラミックスを鏡面
研磨した各試料（厚さ１．０ｍｍ）について光線透過率
を分光光度計（日立製作所製３２０型）により測定した
ところ、波長６００ｎｍでそれぞれ固溶体１を添加した
試料は６３．０％、固溶体２を添加した試料は６５．０
％、固溶体３を添加した試料は６５．５％の高い透過率
を示した。
例示する。 （実施例） 固溶体の調整 フッ化鉛と酸化鉛の粉末を１：９のモル比でボールミル
混合し、４５０℃で１時間仮焼した後、らいかい機で粉
砕したものを固溶体１、塩化鉛と臭化鉛の粉末を１：３
のモル比でボールミル混合し、４００℃で１時間仮焼し
た後、らいかい機で粉砕したものを固溶体２、ヨウ化鉛
と臭化鉛の粉末を１：９のモル比でボールミル混合し、
３５０℃で１時間仮焼した後、らいかい機で粉砕したも
のを固溶体３として準備した。 焼結 市販のＰＬＺＴ仮焼粉末原料（所定組成：Ｐｂ0.91Ｌａ
0.09（Ｚｒ0.65Ｔｉ0.35）0.9775Ｏ3過剰添加Ｐｂ：２
重量％、林化学工業製、商品名（ＨＩＪＩＲＣＯ
Ｔ））を三分しそれぞれに仮焼粉末原料組成中の鉛成分
の１０％相当量の固溶体１、２、３を添加し、それぞれ
別個にポリエチレンポットとジルコニアボールを用いた
ボールミルでアセトンを媒体として２０時間混合、湿式
粉砕した。ついで、これらの粉砕された仮焼粉末を乾
燥、造粒後、ゴム型（φ＝３５ｍｍ）に入れ冷間静水圧
法により加圧成形した。得られた成形体をアルミナ坩堝
に入れ、加熱して固溶体１は８３０℃、固溶体２は５４
０℃、固溶体３は４４０℃で１５時間保持し、添加した
固溶体を溶融して焼結を促進させ、ついで、１１５０℃
で２０時間酸素気流中で保持し、上記固溶体を揮発させ
て固相焼結した。得られたＰＬＺＴセラミックスを鏡面
研磨した各試料（厚さ１．０ｍｍ）について光線透過率
を分光光度計（日立製作所製３２０型）により測定した
ところ、波長６００ｎｍでそれぞれ固溶体１を添加した
試料は６３．０％、固溶体２を添加した試料は６５．０
％、固溶体３を添加した試料は６５．５％の高い透過率
を示した。
【００１２】（比較例）実施例と同様の市販のＰＬＺＴ
仮焼粉末原料を、固溶体を添加せずに実施例と同一条件
で混合、粉砕、乾燥、成形し、１１５０℃で２０時間酸
素気流中で焼成して得られたＰＬＺＴセラミックスの鏡
面研磨済み試料（厚さ１．０ｍｍ）について、実施例と
同様に光線透過率を測定したところ、波長６００ｎｍで
５５．０％という実施例と比較して低い透過率を示し
た。
仮焼粉末原料を、固溶体を添加せずに実施例と同一条件
で混合、粉砕、乾燥、成形し、１１５０℃で２０時間酸
素気流中で焼成して得られたＰＬＺＴセラミックスの鏡
面研磨済み試料（厚さ１．０ｍｍ）について、実施例と
同様に光線透過率を測定したところ、波長６００ｎｍで
５５．０％という実施例と比較して低い透過率を示し
た。
【００１３】以上、本発明の実施例について比較例と対
比して説明したが、本発明のチタン酸ジルコン酸鉛系セ
ラミックスの製造方法は上記実施例に限られるものでは
なく、例えば過剰の鉛成分が添加されていない所定理論
組成の出発原料による仮焼粉末原料や、理論組成の異な
る公知の種々のチタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料を
使用する等本発明の方法の技術的思想を逸脱しない範囲
で種々の改変をなし得る。
比して説明したが、本発明のチタン酸ジルコン酸鉛系セ
ラミックスの製造方法は上記実施例に限られるものでは
なく、例えば過剰の鉛成分が添加されていない所定理論
組成の出発原料による仮焼粉末原料や、理論組成の異な
る公知の種々のチタン酸ジルコン酸鉛系仮焼粉末原料を
使用する等本発明の方法の技術的思想を逸脱しない範囲
で種々の改変をなし得る。
【００１４】
【発明の効果】本発明のチタン酸ジルコン酸鉛系セラミ
ックスの製造方法は、上記のとおりチタン酸ジルコン酸
鉛系仮焼粉末原料に異なる種類の鉛ハロゲン化物からな
る固溶体粉末または鉛ハロゲン化物と鉛酸化物からなる
固溶体粉末を添加混合し、成形した後、加熱して固溶体
粉末を溶融しつつ焼結する方法であるから、焼結促進効
果が著しいうえ、固溶体の融点に関連して液相焼結時の
熱処理温度を任意に設定し得るため経済的な手法であ
り、かつ光線透過性や電気光学特性、誘電性および圧電
特性に優れた高密度のチタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クスを容易に製造することができる。
ックスの製造方法は、上記のとおりチタン酸ジルコン酸
鉛系仮焼粉末原料に異なる種類の鉛ハロゲン化物からな
る固溶体粉末または鉛ハロゲン化物と鉛酸化物からなる
固溶体粉末を添加混合し、成形した後、加熱して固溶体
粉末を溶融しつつ焼結する方法であるから、焼結促進効
果が著しいうえ、固溶体の融点に関連して液相焼結時の
熱処理温度を任意に設定し得るため経済的な手法であ
り、かつ光線透過性や電気光学特性、誘電性および圧電
特性に優れた高密度のチタン酸ジルコン酸鉛系セラミッ
クスを容易に製造することができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 仮焼粉末に焼結助剤を添加して焼結する
ことによりチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスを製造
する方法において、前記焼結助剤として異なった種類の
鉛ハロゲン化物からなる固溶体粉末または鉛ハロゲン化
物と鉛酸化物からなる固溶体粉末を使用することを特徴
とするチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27241792A JPH06100364A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27241792A JPH06100364A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06100364A true JPH06100364A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17513623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27241792A Pending JPH06100364A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | チタン酸ジルコン酸鉛系高密度セラミックスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100364A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005031887A1 (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-07 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| JP2005101274A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 |
| JP2005183553A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子および噴射装置 |
| JP2011082534A (ja) * | 2010-11-09 | 2011-04-21 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
-
1992
- 1992-09-17 JP JP27241792A patent/JPH06100364A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005031887A1 (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-07 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| JP2005101274A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | 圧電セラミックスおよびこれを用いた積層型圧電素子並びに噴射装置 |
| US7679272B2 (en) | 2003-09-25 | 2010-03-16 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US7759847B2 (en) | 2003-09-25 | 2010-07-20 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| US7902726B2 (en) | 2003-09-25 | 2011-03-08 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| JP2005183553A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子および噴射装置 |
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