JPH06103235B2 - 圧電型圧力センサ - Google Patents
圧電型圧力センサInfo
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- JPH06103235B2 JPH06103235B2 JP63088514A JP8851488A JPH06103235B2 JP H06103235 B2 JPH06103235 B2 JP H06103235B2 JP 63088514 A JP63088514 A JP 63088514A JP 8851488 A JP8851488 A JP 8851488A JP H06103235 B2 JPH06103235 B2 JP H06103235B2
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- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、圧電型圧力センサ、特に、マトリクス状に配
置された複数個の圧電素子により接触圧力分布を検出す
る圧電型圧力センサに関する。
置された複数個の圧電素子により接触圧力分布を検出す
る圧電型圧力センサに関する。
［従来の技術およびその課題］ 従来の圧電型圧力センサとしては、たとえば特開昭62−
297735号に、圧電素子をマトリクス状に配置して接触圧
力分布を検出する構成が示されている。
297735号に、圧電素子をマトリクス状に配置して接触圧
力分布を検出する構成が示されている。
その構成では、圧電素子の上下両端に設けられた電極間
での電位差をそれぞれ測定することによって、各圧電素
子に加えられた圧力を計算し、それに基づいて圧力分布
を知ることができるようになっている。
での電位差をそれぞれ測定することによって、各圧電素
子に加えられた圧力を計算し、それに基づいて圧力分布
を知ることができるようになっている。
前記従来の構成を具体的に実施する場合には、たとえば
第９図に示すような構造とすることが考えられる。第９
図では、基板１はその上面に配線パターン２を有してい
る。配線パターン２の所定位置上には、それぞれ圧電素
子３が載置されている。圧電素子３は、上下両端にそれ
ぞれ１対の電極を有しており、下側の電極が配線パター
ン２の所定位置に導電性の接着剤によって固着されてい
る。圧電素子３の上方には、可撓性の加圧板４が配置さ
れている。加圧板４の下面には、配線パターン５が形成
されている。配線パターン５の所定位置には、圧電素子
３の上端に形成された電極が導電性の接着剤によって固
着されている。
第９図に示すような構造とすることが考えられる。第９
図では、基板１はその上面に配線パターン２を有してい
る。配線パターン２の所定位置上には、それぞれ圧電素
子３が載置されている。圧電素子３は、上下両端にそれ
ぞれ１対の電極を有しており、下側の電極が配線パター
ン２の所定位置に導電性の接着剤によって固着されてい
る。圧電素子３の上方には、可撓性の加圧板４が配置さ
れている。加圧板４の下面には、配線パターン５が形成
されている。配線パターン５の所定位置には、圧電素子
３の上端に形成された電極が導電性の接着剤によって固
着されている。
第９図に示す構成では、加圧板４上に或る物体が載せら
れた場合に、その物体に基づく圧力分布に従って圧電素
子３に圧力がそれぞれ加えられる。その結果、圧電素子
３は、圧電効果に基づいて電荷を生じる。その電荷量を
図示しない圧力分布検出装置を用いて検出すれば、当該
物体に基づく圧力分布を知ることができる。
れた場合に、その物体に基づく圧力分布に従って圧電素
子３に圧力がそれぞれ加えられる。その結果、圧電素子
３は、圧電効果に基づいて電荷を生じる。その電荷量を
図示しない圧力分布検出装置を用いて検出すれば、当該
物体に基づく圧力分布を知ることができる。
ところが、第９図の構成では、加圧板４の温度よりも高
い温度の物体あるいは低い温度の物体を加圧板４上に載
せた場合には、その物体と加圧板４との間の温度差によ
って、圧電素子３の温度が変化してしまう。ところで、
圧電素子３に生じる電荷量は、焦電による自発分極にも
依存しており、この自発分極は温度変化の関数である。
したがって、第９図の構成において、圧電素子３の温度
が変化すれば、それに基づいて圧電素子３に無用の電荷
が蓄積されることになる。
い温度の物体あるいは低い温度の物体を加圧板４上に載
せた場合には、その物体と加圧板４との間の温度差によ
って、圧電素子３の温度が変化してしまう。ところで、
圧電素子３に生じる電荷量は、焦電による自発分極にも
依存しており、この自発分極は温度変化の関数である。
したがって、第９図の構成において、圧電素子３の温度
が変化すれば、それに基づいて圧電素子３に無用の電荷
が蓄積されることになる。
したがって、第９図の構成では、圧力の測定の際に温度
変化の影響を容易に受けることになり、正確な圧力分布
を測定することができない。
変化の影響を容易に受けることになり、正確な圧力分布
を測定することができない。
本発明の目的は、圧電素子が受ける被測定物の温度の影
響を抑制し、正確な圧力測定が行なえるようにすること
にある。
響を抑制し、正確な圧力測定が行なえるようにすること
にある。
［課題を解決するための手段］ 本発明に係る圧電型圧力センサは、マトリクス状に配置
された圧力分布を検出するための複数個の圧電素子を有
する圧電センサ素子群と、圧電素子の上端に圧接し得る
ように圧電素子の上方に配置された可撓性の加圧板とを
含んでいる。そして、本発明に係る圧電型圧力センサで
は、前記加圧板は、その温度を被測定物の温度とほぼ一
致させるように制御するための保温手段を備えている。
された圧力分布を検出するための複数個の圧電素子を有
する圧電センサ素子群と、圧電素子の上端に圧接し得る
ように圧電素子の上方に配置された可撓性の加圧板とを
含んでいる。そして、本発明に係る圧電型圧力センサで
は、前記加圧板は、その温度を被測定物の温度とほぼ一
致させるように制御するための保温手段を備えている。
［作用］ 本発明に係る圧電型圧力センサでは、加圧板上に被測定
物が載置される。この被測定物に基づく加圧力に対応し
て、マトリクス状に配置された複数個の圧電素子には、
それぞれ圧電効果に基づく電荷が発生する。この電荷量
を検出することにより、圧力分布を知ることができる。
物が載置される。この被測定物に基づく加圧力に対応し
て、マトリクス状に配置された複数個の圧電素子には、
それぞれ圧電効果に基づく電荷が発生する。この電荷量
を検出することにより、圧力分布を知ることができる。
一方、前記加圧板は、その温度を被測定物の温度にほぼ
一致させるように制御することにより、圧電素子の温度
変化を抑えるための保温手段を備えている。したがっ
て、被測定物が加圧板よりも温度が高かったりあるいは
低かったりしても、その保温手段によって被測定物の温
度とほぼ一致するように圧電素子の温度を設定できるた
め、被測定物の温度の影響を圧電素子は受けにくい。し
たがって、本発明に係る圧電型圧力センサでは、被測定
物の温度の影響を受けにくいので、正確な圧力を測定す
ることが可能となる。
一致させるように制御することにより、圧電素子の温度
変化を抑えるための保温手段を備えている。したがっ
て、被測定物が加圧板よりも温度が高かったりあるいは
低かったりしても、その保温手段によって被測定物の温
度とほぼ一致するように圧電素子の温度を設定できるた
め、被測定物の温度の影響を圧電素子は受けにくい。し
たがって、本発明に係る圧電型圧力センサでは、被測定
物の温度の影響を受けにくいので、正確な圧力を測定す
ることが可能となる。
［実施例］ 第４図および第５図は、本発明の一実施例の全体概略を
示している。第４図および第５図において、圧電型圧力
分布センサ10は矩形平板状の台11を有している。台11は
主としてベークライトからなり、台11上にはマトリクス
状に配置されたセンサ素子群12が固定されている。ま
た、台11の周縁部には、上方に突出する着脱可能なフレ
ーム13が取付けられている。フレーム13の開口部には、
可撓性の加圧板14が配置されている。加圧板14は、セン
サ素子群12の上端面を押圧し得るように可撓性を有する
とともに、その周縁部がフレーム13側に固定されてい
る。圧力分布センサ10の図右側端部には、入出力用のコ
ネクタ15が形成されている。
示している。第４図および第５図において、圧電型圧力
分布センサ10は矩形平板状の台11を有している。台11は
主としてベークライトからなり、台11上にはマトリクス
状に配置されたセンサ素子群12が固定されている。ま
た、台11の周縁部には、上方に突出する着脱可能なフレ
ーム13が取付けられている。フレーム13の開口部には、
可撓性の加圧板14が配置されている。加圧板14は、セン
サ素子群12の上端面を押圧し得るように可撓性を有する
とともに、その周縁部がフレーム13側に固定されてい
る。圧力分布センサ10の図右側端部には、入出力用のコ
ネクタ15が形成されている。
センサ素子群12を構成する各センサ素子21a,21b,…は、
第６図に示すようにそれぞれ、圧電素子22と、電界効果
トランジスタ23と、コンデンサ24とを有している。ま
た、マトリクス状に配置された各センサ素子21a,21b,…
の配置に沿って、各行方向に、それぞれ制御線C1，C2，
…が配設されている。また、各列方向には、読取線R1，
R2，…が配設されている。さらに、各列方向には、アー
ス25に接続されるアース線26が配設されている。
第６図に示すようにそれぞれ、圧電素子22と、電界効果
トランジスタ23と、コンデンサ24とを有している。ま
た、マトリクス状に配置された各センサ素子21a,21b,…
の配置に沿って、各行方向に、それぞれ制御線C1，C2，
…が配設されている。また、各列方向には、読取線R1，
R2，…が配設されている。さらに、各列方向には、アー
ス25に接続されるアース線26が配設されている。
第７図に、１つのセンサ素子21の等価回路を示す。第７
図において、電界効果トランジスタ23のゲート電極は、
制御線Ｃに接続されている。また、トランジスタ23のソ
ースあるいはドレイン電極の他方は、圧電素子22の上端
面に形成された電極28に接続されている。圧電素子22の
下端面に形成された電極29は、アース線26に接続されて
いる。また、圧電素子22の上端面の電極28とアース線26
との間には、コンデンサ24が接続されている。すなわ
ち、このコンデンサ24は圧電素子22に対し並列に接続さ
れていることになる。なお、圧電素子22としては、圧電
セラミックスや圧電性単結晶などの剛性の高い圧電材料
よりなる素子が使用される。
図において、電界効果トランジスタ23のゲート電極は、
制御線Ｃに接続されている。また、トランジスタ23のソ
ースあるいはドレイン電極の他方は、圧電素子22の上端
面に形成された電極28に接続されている。圧電素子22の
下端面に形成された電極29は、アース線26に接続されて
いる。また、圧電素子22の上端面の電極28とアース線26
との間には、コンデンサ24が接続されている。すなわ
ち、このコンデンサ24は圧電素子22に対し並列に接続さ
れていることになる。なお、圧電素子22としては、圧電
セラミックスや圧電性単結晶などの剛性の高い圧電材料
よりなる素子が使用される。
次に、各センサ素子21部分の具体的な構造を説明する。
圧力分布センサ10の台11は、第１図に示すように、その
上面にガラスとエポキシ樹脂からなる基板30を有してい
る。基板30の上面には、所定のパターンで配線パターン
31が形成されている。また、基板30において圧電素子22
に対応する位置には、孔32が形成されている。
上面にガラスとエポキシ樹脂からなる基板30を有してい
る。基板30の上面には、所定のパターンで配線パターン
31が形成されている。また、基板30において圧電素子22
に対応する位置には、孔32が形成されている。
孔32内には、圧電素子22が配置されている。圧電素子22
と台11との間には、平板状かつ金属製の読出電極板33が
配置されている。読出電極板33は、それと圧電素子22の
下端に形成された電極との間に介在する導電性接着剤に
よって、圧電素子22に固着されている。読出電極板33
は、圧電素子22の４辺中央部に対応する位置に上方に屈
曲する舌片部34,35を有している。舌片部34の先端部
は、第２図に示すように、配線パターン31の所定位置に
半田付けされている。これによって、圧電素子22の下端
の電極は、読出電極板33を介して配線パターン31の所定
位置に電気的に接続されていることになる。
と台11との間には、平板状かつ金属製の読出電極板33が
配置されている。読出電極板33は、それと圧電素子22の
下端に形成された電極との間に介在する導電性接着剤に
よって、圧電素子22に固着されている。読出電極板33
は、圧電素子22の４辺中央部に対応する位置に上方に屈
曲する舌片部34,35を有している。舌片部34の先端部
は、第２図に示すように、配線パターン31の所定位置に
半田付けされている。これによって、圧電素子22の下端
の電極は、読出電極板33を介して配線パターン31の所定
位置に電気的に接続されていることになる。
圧電素子22の上端には、平板状かつ金属製のアース電極
板36が配置されている。アース電極板36と圧電素子22の
上端の電極とは、介在する導電性接着剤によって固着さ
れている。アース電極板36は、圧電素子22の４辺中央に
対応する位置に舌片部37,38を有している。そのうちの
１つの舌片部37は、圧電素子22の上端部から斜め下方に
延び、さらに下方に延びるとともに、先端部が圧電素子
22から離れる側に直角に屈曲している。この舌片部37の
先端部は、配線パターン31の所定位置に半田付けされる
ことによって、電気的に接続されている。
板36が配置されている。アース電極板36と圧電素子22の
上端の電極とは、介在する導電性接着剤によって固着さ
れている。アース電極板36は、圧電素子22の４辺中央に
対応する位置に舌片部37,38を有している。そのうちの
１つの舌片部37は、圧電素子22の上端部から斜め下方に
延び、さらに下方に延びるとともに、先端部が圧電素子
22から離れる側に直角に屈曲している。この舌片部37の
先端部は、配線パターン31の所定位置に半田付けされる
ことによって、電気的に接続されている。
アース電極板36の上には、加圧板14が載せられている。
加圧板14は、たとえばガラスおよびエポキシ樹脂からな
る板状の部材であり、可撓性を有している。加圧板14は
その下部に一体的に接着された保温シート39を有してい
る。したがって、保温シート39の下面がアース電極板36
の上面に直接的に接触していることになる。保温シート
39は、その中間層部分に発熱体40を有している。発熱体
40は、金属箔エッチング回路や、ガラス繊維芯にNiCr,C
uCrなどを巻付けたヒータ線からなる。発熱体40は、上
下両面からシリコーンゴムあるいはシリコーン含浸ガラ
スクロスによってサンドイッチされている。これによっ
て面状発熱体としての保温シート39が構成されており、
十分な可撓性を有している。また、発熱体40は、後述す
る温度コントロール装置に接続されるようになってお
り、これによって発熱体40の温度が制御できるようにな
っている。
加圧板14は、たとえばガラスおよびエポキシ樹脂からな
る板状の部材であり、可撓性を有している。加圧板14は
その下部に一体的に接着された保温シート39を有してい
る。したがって、保温シート39の下面がアース電極板36
の上面に直接的に接触していることになる。保温シート
39は、その中間層部分に発熱体40を有している。発熱体
40は、金属箔エッチング回路や、ガラス繊維芯にNiCr,C
uCrなどを巻付けたヒータ線からなる。発熱体40は、上
下両面からシリコーンゴムあるいはシリコーン含浸ガラ
スクロスによってサンドイッチされている。これによっ
て面状発熱体としての保温シート39が構成されており、
十分な可撓性を有している。また、発熱体40は、後述す
る温度コントロール装置に接続されるようになってお
り、これによって発熱体40の温度が制御できるようにな
っている。
第３図に示すように、基板30の上面には、孔32を挾んで
各列方向に延びる読取線Ｒが形成されている。また、基
板30の裏面には、各行方向に延びる制御線Ｃが形成され
ている。さらに、基板30の上面および下面において、読
取線Ｒと制御線Ｃとに対して干渉しない位置に、アース
線26が形成されている。なお、制御線Ｃは、スルーホー
ル45を通じて、基板30の上面に形成された配線部分46に
接続されている。また、基板30の上面に形成されたアー
ス線26と下面に形成されたアース線26との間は、それぞ
れスルーホール47を通じて互いに接続されている。
各列方向に延びる読取線Ｒが形成されている。また、基
板30の裏面には、各行方向に延びる制御線Ｃが形成され
ている。さらに、基板30の上面および下面において、読
取線Ｒと制御線Ｃとに対して干渉しない位置に、アース
線26が形成されている。なお、制御線Ｃは、スルーホー
ル45を通じて、基板30の上面に形成された配線部分46に
接続されている。また、基板30の上面に形成されたアー
ス線26と下面に形成されたアース線26との間は、それぞ
れスルーホール47を通じて互いに接続されている。
前記読出電極板33の舌片部34は、読取線Ｒに半田付けに
よって接続されている。またアース電極板36の舌片部37
は、基板30の上面に形成された配線部分48に半田付けに
よって接続されている。配線部分48と読取線Ｒとの間に
は前記コンデンサ24が接続されている。配線部分48に
は、また、電界効果トランジスタ23の一方の電極が接続
されている。トランジスタ23の他方の電極はアース線26
に接続されている。さらに、トランジスタ23のゲート電
極は制御線Ｃに連続する配線部分46に接続されている。
よって接続されている。またアース電極板36の舌片部37
は、基板30の上面に形成された配線部分48に半田付けに
よって接続されている。配線部分48と読取線Ｒとの間に
は前記コンデンサ24が接続されている。配線部分48に
は、また、電界効果トランジスタ23の一方の電極が接続
されている。トランジスタ23の他方の電極はアース線26
に接続されている。さらに、トランジスタ23のゲート電
極は制御線Ｃに連続する配線部分46に接続されている。
上述の圧電型圧力センサ10は、たとえば第８図に示すよ
うな圧力分布検出装置50に組込まれる。第８図におい
て、圧電型圧力センサ10の制御線C1，C2，…は、制御線
切換回路51に接続されている。また、読取線R1，R2，…
は、読取線切換回路52に接続されている。読取線切換回
路52は積分回路53に接続され、積分回路53はピークホー
ルド回路54に接続されている。ピークホールド回路54
は、A/Dコンバータ55を介てデータ処理装置56に接続さ
れている。さらに、第８図の検出装置50は、マトリクス
制御回路57を備えている。マトリクス制御回路57は、制
御線切換回路51および読取線切換回路52を制御するとと
もに、ピークホールド回路54に所定タイミングでリセッ
ト信号を送り、さらにデータ処理装置56に素子切換情報
信号を送るようになっている。また、データ処理装置56
は、A/Dコンバータ55を制御するための制御信号をA/Dコ
ンバータ56に送るようになっている。さらに、検出装置
50は温度コントロール装置58を有している。温度コント
ロール装置58は、圧電型圧力センサ10の保温シート39の
発熱体40に接続されて、発熱体40の発熱温度を制御し得
るようになっている。
うな圧力分布検出装置50に組込まれる。第８図におい
て、圧電型圧力センサ10の制御線C1，C2，…は、制御線
切換回路51に接続されている。また、読取線R1，R2，…
は、読取線切換回路52に接続されている。読取線切換回
路52は積分回路53に接続され、積分回路53はピークホー
ルド回路54に接続されている。ピークホールド回路54
は、A/Dコンバータ55を介てデータ処理装置56に接続さ
れている。さらに、第８図の検出装置50は、マトリクス
制御回路57を備えている。マトリクス制御回路57は、制
御線切換回路51および読取線切換回路52を制御するとと
もに、ピークホールド回路54に所定タイミングでリセッ
ト信号を送り、さらにデータ処理装置56に素子切換情報
信号を送るようになっている。また、データ処理装置56
は、A/Dコンバータ55を制御するための制御信号をA/Dコ
ンバータ56に送るようになっている。さらに、検出装置
50は温度コントロール装置58を有している。温度コント
ロール装置58は、圧電型圧力センサ10の保温シート39の
発熱体40に接続されて、発熱体40の発熱温度を制御し得
るようになっている。
次に、第８図の圧力分布検出装置50に組込まれた圧電型
圧力センサの作動を説明する。
圧力センサの作動を説明する。
予め、温度コントロール装置58によって、被測定物の温
度にほぼ一致する温度まで発熱体40を加熱しておく。た
とえば、人の足の裏の圧力分布を測定する場合には、人
の足の温度の影響を少なくし焦電による誤差を軽減する
ため、人の足の裏の温度に一致するように、発熱体40に
よって一定温度に保持する。
度にほぼ一致する温度まで発熱体40を加熱しておく。た
とえば、人の足の裏の圧力分布を測定する場合には、人
の足の温度の影響を少なくし焦電による誤差を軽減する
ため、人の足の裏の温度に一致するように、発熱体40に
よって一定温度に保持する。
次に、人の足などの被測定物を圧電分布センサ10の加圧
板14上に載せると、その物体に基づく加圧力の分布に応
じて、各センサ素子11には電荷が蓄積される。一方、保
温シート39は、予め被測定物体の温度に一致するように
温度コントロール装置58によって制御されていることか
ら、高温あるいは低温の物体を載せたとしても、圧電素
子22に焦電効果は生じない。したがって、被測定物に基
づく圧力の影響のみを圧電素子22は受け、その圧力に応
じた電荷を蓄積する。
板14上に載せると、その物体に基づく加圧力の分布に応
じて、各センサ素子11には電荷が蓄積される。一方、保
温シート39は、予め被測定物体の温度に一致するように
温度コントロール装置58によって制御されていることか
ら、高温あるいは低温の物体を載せたとしても、圧電素
子22に焦電効果は生じない。したがって、被測定物に基
づく圧力の影響のみを圧電素子22は受け、その圧力に応
じた電荷を蓄積する。
次に、マトリクス制御回路57により、制御線切換回路51
を通して、まず制御線C1に接続されているトランジスタ
23を導通状態にする。このとき、他の制御線C2，C3，…
は非導通状態にある。これにより、制御線C1に対応する
行のセンサ素子11の情報が、読取線R1，R2，…を通して
読取可能な状態となる。
を通して、まず制御線C1に接続されているトランジスタ
23を導通状態にする。このとき、他の制御線C2，C3，…
は非導通状態にある。これにより、制御線C1に対応する
行のセンサ素子11の情報が、読取線R1，R2，…を通して
読取可能な状態となる。
この状態において、読取線切換回路52を通して、まず読
取線R1のみをコンパレータ53に接続する。このとき、残
りの読取線R2，R3，…は回路的に開放状態になっている
ため、対応するセンサ素子11内の情報は保持されてい
る。
取線R1のみをコンパレータ53に接続する。このとき、残
りの読取線R2，R3，…は回路的に開放状態になっている
ため、対応するセンサ素子11内の情報は保持されてい
る。
読取線R1をコンパレータ53に接続すると、対応する圧電
素子22に加圧により蓄積された電荷が、コンパレータ53
側に放電される。この電荷を積分回路53において時間的
に積分すれば、対応するセンサ素子21が加圧されること
により蓄積していた電荷量を測定できることになる。こ
れは、後段のピークホールド回路54、A/Dコンバータ55
を通してデータ処理装置56に入力される。
素子22に加圧により蓄積された電荷が、コンパレータ53
側に放電される。この電荷を積分回路53において時間的
に積分すれば、対応するセンサ素子21が加圧されること
により蓄積していた電荷量を測定できることになる。こ
れは、後段のピークホールド回路54、A/Dコンバータ55
を通してデータ処理装置56に入力される。
以後、読取線R2、R3、…と読取線の切換えを行ない、す
べての読取線からの検出を終えると、次に制御線C2のみ
を導通状態とする。これによって上述の動作と同様に、
制御線C2に対応する行に配置された各センサ素子21の情
報を読取線R1，R2，…から読取り、その情報をデータ処
理装置56に蓄積する。この蓄積されたデータに基づけ
ば、温度の影響を受けることなく、圧電型圧力センサ10
の上に接触している未知物体の圧力分布を知ることがで
きる。
べての読取線からの検出を終えると、次に制御線C2のみ
を導通状態とする。これによって上述の動作と同様に、
制御線C2に対応する行に配置された各センサ素子21の情
報を読取線R1，R2，…から読取り、その情報をデータ処
理装置56に蓄積する。この蓄積されたデータに基づけ
ば、温度の影響を受けることなく、圧電型圧力センサ10
の上に接触している未知物体の圧力分布を知ることがで
きる。
なお、保温シート39により圧電素子22を長時間にわたっ
て一定温度に保持する必要はない。なぜならば、電荷の
蓄積から検出までは長時間を要さないので、その間の温
度変化が抑制できれば足りるからである。
て一定温度に保持する必要はない。なぜならば、電荷の
蓄積から検出までは長時間を要さないので、その間の温
度変化が抑制できれば足りるからである。
なお、前記測定動作において、被測定物を載せる前に１
度放電動作を行なっておけば、さらに正確な圧力分布を
検出することが可能となる。発熱体40による温度設定
は、被測定物の温度に合わせて適宜設定すれば良い。保
温シートだけで加圧板を構成しても良い。また、第９図
の従来例のような構成においても、保温シートを設ける
ことによって、本発明を実施することが可能である。さ
らに、本発明に係る保温手段として、冷却媒体を利用し
た冷却手段を採用することもできる。
度放電動作を行なっておけば、さらに正確な圧力分布を
検出することが可能となる。発熱体40による温度設定
は、被測定物の温度に合わせて適宜設定すれば良い。保
温シートだけで加圧板を構成しても良い。また、第９図
の従来例のような構成においても、保温シートを設ける
ことによって、本発明を実施することが可能である。さ
らに、本発明に係る保温手段として、冷却媒体を利用し
た冷却手段を採用することもできる。
［発明の効果］ 本発明に係る圧電型圧力センサによれば、加圧板の温度
を被測定物の温度にほぼ一致させるように制御するため
の保温手段を備えていることから、高温あるいは低温の
被測定物を測定する場合であっても、圧電素子が受ける
温度差に基づく影響を抑制することができ、無電効果に
よる誤差を抑制することができるようになるので、正確
な圧力分布を測定することが可能となる。
を被測定物の温度にほぼ一致させるように制御するため
の保温手段を備えていることから、高温あるいは低温の
被測定物を測定する場合であっても、圧電素子が受ける
温度差に基づく影響を抑制することができ、無電効果に
よる誤差を抑制することができるようになるので、正確
な圧力分布を測定することが可能となる。
第１図は、本発明に係る一実施例の縦断面部分図であ
る。第２図は、第１図のII−II断面部分図である。第３
図は、第１図のIII−III断面部分図である。第４図は、
その実施例の全体概略を示す一部切欠平面図である。第
５図は、その実施例の全体概略を示す一部切欠側面図で
ある。第６図は、センサ素子群の配置を示す斜視略図で
ある。第７図は、センサ素子の等価回路図である。第８
図は、第１図ないし第７図に示された実施例を圧力分布
検出装置の一例に組込んだ場合のブロック図である。第
９図は、従来例の第１図に相当する図である。 12はセンサ素子群、14は加圧板、22は圧電素子、39は保
温シート、40は発熱体である。
る。第２図は、第１図のII−II断面部分図である。第３
図は、第１図のIII−III断面部分図である。第４図は、
その実施例の全体概略を示す一部切欠平面図である。第
５図は、その実施例の全体概略を示す一部切欠側面図で
ある。第６図は、センサ素子群の配置を示す斜視略図で
ある。第７図は、センサ素子の等価回路図である。第８
図は、第１図ないし第７図に示された実施例を圧力分布
検出装置の一例に組込んだ場合のブロック図である。第
９図は、従来例の第１図に相当する図である。 12はセンサ素子群、14は加圧板、22は圧電素子、39は保
温シート、40は発熱体である。
Claims (1)
- 【請求項１】マトリクス状に配置された圧力分布を検出
するための複数個の圧電素子を有する圧電センサ素子群
と、 前記圧電素子の上端に圧接し得るように、前記圧電素子
の上方に配置された可撓性の加圧板とを含み、 前記加圧板は、当該加圧板の温度を被測定物の温度とほ
ぼ一致させるように制御するための保温手段を備えてい
る 圧電型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63088514A JPH06103235B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63088514A JPH06103235B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260335A JPH01260335A (ja) | 1989-10-17 |
| JPH06103235B2 true JPH06103235B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=13944937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63088514A Expired - Lifetime JPH06103235B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103235B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017075870A (ja) * | 2015-10-15 | 2017-04-20 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 力センサおよびそれを用いた力検知装置、力検知システム、力検知方法 |
| JP2017075871A (ja) * | 2015-10-15 | 2017-04-20 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 力センサおよびそれを用いた力検知装置、力検知システム、力検知方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147622A (ja) * | 1984-01-12 | 1985-08-03 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | 感圧トランスジユ−サ |
| JPH0697194B2 (ja) * | 1986-06-16 | 1994-11-30 | 株式会社村田製作所 | 圧電型圧力分布センサ |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP63088514A patent/JPH06103235B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01260335A (ja) | 1989-10-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071214 Year of fee payment: 13 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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