JPH06104688A - 表面弾性波素子 - Google Patents
表面弾性波素子Info
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- JPH06104688A JPH06104688A JP27809592A JP27809592A JPH06104688A JP H06104688 A JPH06104688 A JP H06104688A JP 27809592 A JP27809592 A JP 27809592A JP 27809592 A JP27809592 A JP 27809592A JP H06104688 A JPH06104688 A JP H06104688A
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Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Digital Transmission Methods That Use Modulated Carrier Waves (AREA)
- Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＤＰＳＫコンボルバとしてのＳＡＷ素子にお
いて、和及び差の出力信号を得る手段を簡単化しかつ広
帯域動作を可能とすることである。 【構成】 基板１上のＳＡＷトランスジューサ２ａ，２
ｂ間の基板表面及び裏面に互いに対向して電極１８ａ，
１８ｂ〜２１ａ，２１ｂが形成されている。トランスジ
ューサ２ａ，２ｂに入力信号が与えられると、基板表面
及び裏面の電極間にコンボリューション出力信号が発生
される。そこで各電極の端子２２ａ〜２５ｂを適当に接
続すれば、和及び差の出力信号が得られる。
いて、和及び差の出力信号を得る手段を簡単化しかつ広
帯域動作を可能とすることである。 【構成】 基板１上のＳＡＷトランスジューサ２ａ，２
ｂ間の基板表面及び裏面に互いに対向して電極１８ａ，
１８ｂ〜２１ａ，２１ｂが形成されている。トランスジ
ューサ２ａ，２ｂに入力信号が与えられると、基板表面
及び裏面の電極間にコンボリューション出力信号が発生
される。そこで各電極の端子２２ａ〜２５ｂを適当に接
続すれば、和及び差の出力信号が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＤＰＳＫコンボルバ等と
して好適な表面弾性波素子の改良に関する。
して好適な表面弾性波素子の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】スペクトラム拡散通信ＳＳＣ（Spread S
pectrum Communication）においてＤＰＳＫ（Different
ial Phase Sift Keying）変復調方式を用いたシステム
の復調器のＤＰＳＫコンボルバとして種々の表面弾性
波、ＳＡＷ：Surface AcousticWave素子が提案されてい
る。
pectrum Communication）においてＤＰＳＫ（Different
ial Phase Sift Keying）変復調方式を用いたシステム
の復調器のＤＰＳＫコンボルバとして種々の表面弾性
波、ＳＡＷ：Surface AcousticWave素子が提案されてい
る。
【０００３】図６に示すＤＰＳＫコンボルバは例えば、
D.Brodtcorb，J.E．Laynor，“FASTSYNCHRONIZATION IN
A SPREAD-SPECTRAM SYSTEM BASED ON ACOUSTOELECTRIC
-CONVOLVERS”，1978 IEEE Ultrasonics Symposium Pro
ceedings ,pp.561-566 に述べられている。
D.Brodtcorb，J.E．Laynor，“FASTSYNCHRONIZATION IN
A SPREAD-SPECTRAM SYSTEM BASED ON ACOUSTOELECTRIC
-CONVOLVERS”，1978 IEEE Ultrasonics Symposium Pro
ceedings ,pp.561-566 に述べられている。
【０００４】ここで、１は圧電性基板、２ａ，２ｂはＳ
ＡＷトランスジューサ、３ａ，３ｂは出力電極、４は２
つの出力電極３ａ，３ｂからの出力信号の和及び差をと
るためのハイブリッドで、それぞれ出力端子５，６より
和及び差の出力信号が出力される。しかし、和及び差の
出力信号を得るために使用しているハイブリッド４は高
価かつ部品点数が多くシステムのコストアップにつなが
る。
ＡＷトランスジューサ、３ａ，３ｂは出力電極、４は２
つの出力電極３ａ，３ｂからの出力信号の和及び差をと
るためのハイブリッドで、それぞれ出力端子５，６より
和及び差の出力信号が出力される。しかし、和及び差の
出力信号を得るために使用しているハイブリッド４は高
価かつ部品点数が多くシステムのコストアップにつなが
る。
【０００５】図７は他の従来構造ＤＰＳＫコンボルバを
示すもので、図６における出力電極３ａ，３ｂをＳＡＷ
の伝搬方向に平行に分割し、７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂの
４つの電極としたものである。この構造では和出力が電
極７ａ，７ｂの出力を連結して出力端子１０より、また
差出力は電極８ａ，８ｂにバランス−アンバランス変換
トランス９を接続して出力端子１１より得られる。
示すもので、図６における出力電極３ａ，３ｂをＳＡＷ
の伝搬方向に平行に分割し、７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂの
４つの電極としたものである。この構造では和出力が電
極７ａ，７ｂの出力を連結して出力端子１０より、また
差出力は電極８ａ，８ｂにバランス−アンバランス変換
トランス９を接続して出力端子１１より得られる。
【０００６】しかし、やはりこの構造でもバランス−ア
ンバランス変換トランス９が高価でありコストアップに
つながってしまう。
ンバランス変換トランス９が高価でありコストアップに
つながってしまう。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図８は、第２の従来構
造ＤＰＳＫコンボルバにおける欠点だった差出力を得る
ためのバランス−アンバランス変換トランスを不要とし
た、第３の従来構造のＤＰＳＫコンボルバであり、ここ
では並列の２組の出力電極７ａ，７ｂと８ａ，８ｂが設
けられている２つのトラックに対して、階段状トランス
ジューサ１３より互いに１８０°位相の異なるＳＡＷが
励振・伝搬させられる。このため、出力端子１４と１６
に現れる出力間の位相差及び出力端子１５，１７に現れ
る出力間の位相差は共に１８０°となり、出力端子１
４，１５の出力あるいは出力端子１６，１７の出力を加
えることで和信号が、出力端子１４，１７あるいは出力
端子１５，１６の出力を加えることで差信号が得られ
る。しかしこの方式においてはＳＡＷトランスジューサ
１３で励振される２つのトラックに対応したＳＡＷの間
の位相差を広い帯域で１８０°に一定とすることは難し
く、広い帯域に信号が拡散されるＳＳＣにおいては適さ
ない。
造ＤＰＳＫコンボルバにおける欠点だった差出力を得る
ためのバランス−アンバランス変換トランスを不要とし
た、第３の従来構造のＤＰＳＫコンボルバであり、ここ
では並列の２組の出力電極７ａ，７ｂと８ａ，８ｂが設
けられている２つのトラックに対して、階段状トランス
ジューサ１３より互いに１８０°位相の異なるＳＡＷが
励振・伝搬させられる。このため、出力端子１４と１６
に現れる出力間の位相差及び出力端子１５，１７に現れ
る出力間の位相差は共に１８０°となり、出力端子１
４，１５の出力あるいは出力端子１６，１７の出力を加
えることで和信号が、出力端子１４，１７あるいは出力
端子１５，１６の出力を加えることで差信号が得られ
る。しかしこの方式においてはＳＡＷトランスジューサ
１３で励振される２つのトラックに対応したＳＡＷの間
の位相差を広い帯域で１８０°に一定とすることは難し
く、広い帯域に信号が拡散されるＳＳＣにおいては適さ
ない。
【０００８】本発明の目的は、従来構造ＤＰＳＫコンボ
ルバにおいて欠点とされる複雑かつ高価な和及び差の出
力信号を得る手段の簡素化及び広帯域動作を可能とした
表面弾性波素子を提供するにある。
ルバにおいて欠点とされる複雑かつ高価な和及び差の出
力信号を得る手段の簡素化及び広帯域動作を可能とした
表面弾性波素子を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の表面弾性波素子は、圧電性基板の表面に形
成され、伝送されるべき表面弾性波の伝搬方向に分割か
つ並列状態に構成された第１の４枚の電極と、上記圧電
性基板の裏面に形成された、上記４枚の電極と対向する
ように構成された第２の４枚の電極と、各対向する第
１，第２の電極間で発生する信号を取り出すように構成
された端子と、そして、上記基板表面に形成された電極
の、前記伝搬方向に沿った外側に配置された少なくとも
一対の入力トランスジューサと、を備えたことを要旨と
する。
め、本発明の表面弾性波素子は、圧電性基板の表面に形
成され、伝送されるべき表面弾性波の伝搬方向に分割か
つ並列状態に構成された第１の４枚の電極と、上記圧電
性基板の裏面に形成された、上記４枚の電極と対向する
ように構成された第２の４枚の電極と、各対向する第
１，第２の電極間で発生する信号を取り出すように構成
された端子と、そして、上記基板表面に形成された電極
の、前記伝搬方向に沿った外側に配置された少なくとも
一対の入力トランスジューサと、を備えたことを要旨と
する。
【００１０】
【作用】上記一対のトランスジューサに入力信号を加え
ると、第１，第２の電極間にそれぞれ入力信号のコンボ
リューション出力信号が発生し、これら電極を適当に接
続することにより和及び差の出力信号を得ることができ
る。
ると、第１，第２の電極間にそれぞれ入力信号のコンボ
リューション出力信号が発生し、これら電極を適当に接
続することにより和及び差の出力信号を得ることができ
る。
【００１１】
【実施例】以下図面に示す本発明の実施例を説明する。
図１に本発明の表面弾性波素子の第１の実施例を示す。
同図で、１８ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２１ｂはそれぞれ圧
電基板１表面に設けられた電極１８ａ，１９ａ，２０
ａ，２１ａに対向して基板１裏面に設けられた電極であ
る。ＳＡＷコンボルバにおける出力信号は基本的にはア
ース等の基準電位に接続された電極に対する出力電極の
電位変化として取り出される。
図１に本発明の表面弾性波素子の第１の実施例を示す。
同図で、１８ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２１ｂはそれぞれ圧
電基板１表面に設けられた電極１８ａ，１９ａ，２０
ａ，２１ａに対向して基板１裏面に設けられた電極であ
る。ＳＡＷコンボルバにおける出力信号は基本的にはア
ース等の基準電位に接続された電極に対する出力電極の
電位変化として取り出される。
【００１２】従来構造を示す図６〜図８において、この
基準電位を与える電極は省略されているが、いずれも裏
面に基準電位としてアースへ接続された電極があると考
えてよい。これに対して、図１の本発明の実施例では、
基板１の表面の２組のトランスジューサ２ａ，２ｂの間
にＳＡＷ伝搬方向に２分割された２組計４つの電極１８
ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａと、それぞれに対向して基
板１の裏面に設けられた４つの電極（１８ｂ，１９ｂ，
２０ｂ，２１ｂ）とはほぼ同一の矩形電極であり、素子
そのものの範囲ではアース用電極あるいは出力用電極と
してあらかじめ区別はされていない。
基準電位を与える電極は省略されているが、いずれも裏
面に基準電位としてアースへ接続された電極があると考
えてよい。これに対して、図１の本発明の実施例では、
基板１の表面の２組のトランスジューサ２ａ，２ｂの間
にＳＡＷ伝搬方向に２分割された２組計４つの電極１８
ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａと、それぞれに対向して基
板１の裏面に設けられた４つの電極（１８ｂ，１９ｂ，
２０ｂ，２１ｂ）とはほぼ同一の矩形電極であり、素子
そのものの範囲ではアース用電極あるいは出力用電極と
してあらかじめ区別はされていない。
【００１３】本実施例において、トランスジューサ２に
信号が印加されると、図１の矢印で示すように互いに逆
向きのＳＡＷが電極１８ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａの
下部を伝搬し、基板１をはさんで対向している４組の電
極間（１８ａ−１８ｂ間、１９ａ−１９ｂ間、２０ａ−
２０ｂ、２１ａ−２１ｂ間）にコンボリューション信号
が発生する。このとき、裏面の電極からの端子２２ｂ，
２３ｂ，２４ｂ，２５ｂをすべて接地すると、アース電
位に対して２２ａ，２４ａに現れる信号は同相の全く同
じ信号となる。２３ａ，２５ａに現れる信号も同様に互
いに全く同じ信号である。しかし、例えば１８ａ−１８
ｂ間の信号について考えると、２２ａを接地し信号を２
２ｂから取り出した場合は、２２ｂを接地して２２ａか
ら出力した場合の信号と周波数によらずに全く１８０°
位相の逆転した信号が得られることは明らかである。従
って、例えば、各電極の取り出し端子の中の２２ｂ，２
３ｂをアースへ接続し、端子２２ａ，２３ａを連結して
出力をとると両領域に発生した信号の和の出力信号が得
られ、また、端子２２ｂ，２３ａをアースへ接続し、端
子２２ａ，２３ｂを連結して出力をとると、差の出力信
号が得られる。換言すれば裏面にも電極を配設すること
で図６，図７の外部素子の機能や図８の形状の違うトラ
ンスジューサの機能を実現できることになる。図２は略
図を用いて和・差信号を同時に取り出す場合の端子の組
み合わせ及び接地の仕方の一例を示したものである。こ
こで端子２６から和の出力信号、端子２７から差の出力
信号が取り出せる。端子の組み合わせと得られる和及び
差の出力信号との関係を表１に示す。
信号が印加されると、図１の矢印で示すように互いに逆
向きのＳＡＷが電極１８ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａの
下部を伝搬し、基板１をはさんで対向している４組の電
極間（１８ａ−１８ｂ間、１９ａ−１９ｂ間、２０ａ−
２０ｂ、２１ａ−２１ｂ間）にコンボリューション信号
が発生する。このとき、裏面の電極からの端子２２ｂ，
２３ｂ，２４ｂ，２５ｂをすべて接地すると、アース電
位に対して２２ａ，２４ａに現れる信号は同相の全く同
じ信号となる。２３ａ，２５ａに現れる信号も同様に互
いに全く同じ信号である。しかし、例えば１８ａ−１８
ｂ間の信号について考えると、２２ａを接地し信号を２
２ｂから取り出した場合は、２２ｂを接地して２２ａか
ら出力した場合の信号と周波数によらずに全く１８０°
位相の逆転した信号が得られることは明らかである。従
って、例えば、各電極の取り出し端子の中の２２ｂ，２
３ｂをアースへ接続し、端子２２ａ，２３ａを連結して
出力をとると両領域に発生した信号の和の出力信号が得
られ、また、端子２２ｂ，２３ａをアースへ接続し、端
子２２ａ，２３ｂを連結して出力をとると、差の出力信
号が得られる。換言すれば裏面にも電極を配設すること
で図６，図７の外部素子の機能や図８の形状の違うトラ
ンスジューサの機能を実現できることになる。図２は略
図を用いて和・差信号を同時に取り出す場合の端子の組
み合わせ及び接地の仕方の一例を示したものである。こ
こで端子２６から和の出力信号、端子２７から差の出力
信号が取り出せる。端子の組み合わせと得られる和及び
差の出力信号との関係を表１に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】ところで、ＳＡＷコンボルバは利用する非
線形性の源および構造によってエラスティック型、分離
媒質型、モノリシック型と大きく３種類に分類される。
このうち製造のしやすさから現在はエラスティック型と
モノリシック型による開発が主流となっている。基本的
に本発明はこの両者のいずれに対しても適用できるもの
であり、エラスティック型については既に動作説明を行
った第１の実施例がそのまま適用できる。ただし、モノ
リシック型については圧電性基板が通常図３の断面図に
示すように、圧電薄膜２８／絶縁膜２９／低濃度不純物
拡散半導体３０／高濃度不純物拡散半導体３１／といっ
た積層構造となっており、一般に裏面はオーミック電極
を形成した低抵抗層となっている。従って、第１の実施
例の構造では裏面に形成した電極そのものは分離されて
いても低抵抗層を介してトランスジューサ間の４つの領
域の基板裏面側の電位は均一になってしまう。そこで図
４にモノリシック型に対してのこの問題点を解決する本
発明の第２の実施例の表面透視図、図５にその断面図を
示す。本発明の第２の実施例では、少なくとも基板１裏
面の４つの電極１８ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２１ｂをそれ
ぞれの上方の高濃度不純物拡散低抵抗半導体領域を含め
て互いに分離するための溝３２が形成されている。これ
によりモノリシック型でも基板１裏面側の電位は４つの
電極がそれぞれ独立に現れ、第１の実施例で得られた本
発明の動作を実現することが可能となる。
線形性の源および構造によってエラスティック型、分離
媒質型、モノリシック型と大きく３種類に分類される。
このうち製造のしやすさから現在はエラスティック型と
モノリシック型による開発が主流となっている。基本的
に本発明はこの両者のいずれに対しても適用できるもの
であり、エラスティック型については既に動作説明を行
った第１の実施例がそのまま適用できる。ただし、モノ
リシック型については圧電性基板が通常図３の断面図に
示すように、圧電薄膜２８／絶縁膜２９／低濃度不純物
拡散半導体３０／高濃度不純物拡散半導体３１／といっ
た積層構造となっており、一般に裏面はオーミック電極
を形成した低抵抗層となっている。従って、第１の実施
例の構造では裏面に形成した電極そのものは分離されて
いても低抵抗層を介してトランスジューサ間の４つの領
域の基板裏面側の電位は均一になってしまう。そこで図
４にモノリシック型に対してのこの問題点を解決する本
発明の第２の実施例の表面透視図、図５にその断面図を
示す。本発明の第２の実施例では、少なくとも基板１裏
面の４つの電極１８ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２１ｂをそれ
ぞれの上方の高濃度不純物拡散低抵抗半導体領域を含め
て互いに分離するための溝３２が形成されている。これ
によりモノリシック型でも基板１裏面側の電位は４つの
電極がそれぞれ独立に現れ、第１の実施例で得られた本
発明の動作を実現することが可能となる。
【００１６】本発明において、入力トランスジューサの
間の領域は基板表面に配置された４つの電極及びそれぞ
れに対向して基板裏面に配置された４つの電極によって
４つの領域に区別されるが、そのうち、ＳＡＷの伝搬方
向に沿って隣り合わせとなっている２つの領域は合わせ
て１つのトラックを形成しているとみなせる。即ち、ト
ランスジューサ間の領域は２つのトラックで形成されて
いると考えることができる。
間の領域は基板表面に配置された４つの電極及びそれぞ
れに対向して基板裏面に配置された４つの電極によって
４つの領域に区別されるが、そのうち、ＳＡＷの伝搬方
向に沿って隣り合わせとなっている２つの領域は合わせ
て１つのトラックを形成しているとみなせる。即ち、ト
ランスジューサ間の領域は２つのトラックで形成されて
いると考えることができる。
【００１７】なお、本発明の動作説明において第１及び
第２のいずれの実施例でも、入力トランスジューサは素
子のＳＡＷ伝搬方向の端部に２つのトラックにまたがっ
て２対設けられるとしたが、各々のトラックに対して独
立したトランスジューサを設け、１トラック当り２対計
４対のトランスジューサを使用しても、特に本発明の効
果が損なわれることはない。
第２のいずれの実施例でも、入力トランスジューサは素
子のＳＡＷ伝搬方向の端部に２つのトラックにまたがっ
て２対設けられるとしたが、各々のトラックに対して独
立したトランスジューサを設け、１トラック当り２対計
４対のトランスジューサを使用しても、特に本発明の効
果が損なわれることはない。
【００１８】また、モノリシック型ＤＰＳＫコンボルバ
に好適な第２の実施例において、４領域を分離する手段
として溝を設けた構造を示したが、この手段は４領域の
低抵抗部分を電気的に分離することを目的としているの
であるから、例えば逆のタイプの不純物（ｎ型領域であ
ればｐタイプ、ｐ型領域であればｎタイプの不純物）拡
散領域の形成によって代替することも可能である。
に好適な第２の実施例において、４領域を分離する手段
として溝を設けた構造を示したが、この手段は４領域の
低抵抗部分を電気的に分離することを目的としているの
であるから、例えば逆のタイプの不純物（ｎ型領域であ
ればｐタイプ、ｐ型領域であればｎタイプの不純物）拡
散領域の形成によって代替することも可能である。
【００１９】更に、本発明は、エラスティック型コンボ
ルバあるいはモノリシック型コンボルバいずれに対して
も適用できるが、特にエラスティック型コンボルバに適
用する場合は基板材料としては弾性的非線形効率の高い
ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）単結晶が有利であ
る。またモノリシック型コンボルバとしてはＺｎＯ（酸
化亜鉛）薄膜／Ｓｉ（シリコン）構造、あるいは高周波
化に適したＡｌＮ（窒化アルミニウム）Ｓｉ構造とする
のが有利である。
ルバあるいはモノリシック型コンボルバいずれに対して
も適用できるが、特にエラスティック型コンボルバに適
用する場合は基板材料としては弾性的非線形効率の高い
ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）単結晶が有利であ
る。またモノリシック型コンボルバとしてはＺｎＯ（酸
化亜鉛）薄膜／Ｓｉ（シリコン）構造、あるいは高周波
化に適したＡｌＮ（窒化アルミニウム）Ｓｉ構造とする
のが有利である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、素
子外部に複雑かつ高価な和及び差の出力信号を得る手段
や、広帯域にわたって位相差を一定に保つことが困難な
トランスジューサを使用せず、出力端子を適宜組み合わ
せて接続することにより簡便に和及び差の出力信号を得
ることができる。
子外部に複雑かつ高価な和及び差の出力信号を得る手段
や、広帯域にわたって位相差を一定に保つことが困難な
トランスジューサを使用せず、出力端子を適宜組み合わ
せて接続することにより簡便に和及び差の出力信号を得
ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す上面図である。
【図２】第１の実施例による出力取り出し方法の一例を
示す図である。
示す図である。
【図３】モノリシック型ＳＡＷコンボルバの断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施例の上面図である。
【図５】本発明の第２の実施例のＡ−Ｂ断面図である。
【図６】第１の従来構造のＤＰＳＫコンボルバの上面図
である。
である。
【図７】第２の従来構造のＤＰＳＫコンボルバの上面図
である。
である。
【図８】第３の従来構造のＤＰＳＫコンボルバの上面図
である。
である。
１ 基板 ２ａ，２ｂ ＳＡＷトランスジューサ １８ａ〜２１ｂ 電極 ２２ａ〜２５ｂ 出力端子
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電性基板の表面に形成され、伝送され
るべき表面弾性波の伝搬方向に分割かつ並列状態に構成
された第１の４枚の電極と、 上記圧電性基板の裏面に形成された、上記４枚の電極と
対向するように構成された第２の４枚の電極と、 各対向する第１，第２の電極間で発生する信号を取り出
すように構成された端子と、 そして、 上記基板表面に形成された電極の、前記伝搬方向に沿っ
た外側に配置された少なくとも一対の入力トランスジュ
ーサと、 から成ることを特徴とする表面弾性波素子 - 【請求項２】 前記第１及び第２の電極が、和及び差の
出力信号を得るように接続されたことを特徴とする請求
項１に記載の表面弾性波素子。 - 【請求項３】 前記表面弾性波素子がモノリシック型構
造をなしており、前記第２の電極が形成される領域が４
つに分割されていることを特徴とする請求項１又は２に
記載の表面弾性波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27809592A JPH06104688A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 表面弾性波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27809592A JPH06104688A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 表面弾性波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104688A true JPH06104688A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17592569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27809592A Pending JPH06104688A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | 表面弾性波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104688A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08139525A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Nec Corp | 電圧制御型ｓａｗ発振器 |
| US8536290B2 (en) | 2010-12-21 | 2013-09-17 | Dow Global Technologies Llc | Procatalyst composition with alkoxyalkyl 2-propenoate internal electron donor and polymer from same |
| US8604146B2 (en) | 2010-12-21 | 2013-12-10 | Dow Global Technologies Llc | Catalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and polymer from same |
| US9315592B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-04-19 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Process for producing procatalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and product |
| US9382342B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-07-05 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Procatalyst composition with alkoxyalkyl 2-propenoate internal electron donor and polymer from same |
| US9382343B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-07-05 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Procatalyst composition with alkoxypropyl ester internal electron donor and polymer from same |
| US9434796B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-09-06 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Catalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and polymer from same |
-
1992
- 1992-09-21 JP JP27809592A patent/JPH06104688A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08139525A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Nec Corp | 電圧制御型ｓａｗ発振器 |
| US8536290B2 (en) | 2010-12-21 | 2013-09-17 | Dow Global Technologies Llc | Procatalyst composition with alkoxyalkyl 2-propenoate internal electron donor and polymer from same |
| US8604146B2 (en) | 2010-12-21 | 2013-12-10 | Dow Global Technologies Llc | Catalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and polymer from same |
| US9315592B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-04-19 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Process for producing procatalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and product |
| US9382342B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-07-05 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Procatalyst composition with alkoxyalkyl 2-propenoate internal electron donor and polymer from same |
| US9382343B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-07-05 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Procatalyst composition with alkoxypropyl ester internal electron donor and polymer from same |
| US9434796B2 (en) | 2010-12-21 | 2016-09-06 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Catalyst composition with alkoxyalkyl ester internal electron donor and polymer from same |
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