JPH06111317A - 真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】蒸着型テープの磁性層を蒸着する際に、蒸着物
質の無駄を少なくすることを目的とする。 【構成】電子ビーム銃９で加熱気化されてルツボ８から
ガウス分布で蒸発した蒸着物質Ｃｏ−Ｎｉの蒸気流に対
して、タービンポンプ11によって真空容器１内の残留気
体を衝突させて蒸気流の外側の蒸気分子を分布中心部に
移動させて中心部の蒸気分子密度を高める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着装置に関し、
特に、磁気記録媒体の磁性層の蒸着に使用される真空蒸
着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着してな
るバインダーを全く含まない蒸着型テープとがある。

【０００３】蒸着型テープは、磁性層にバインダーを含
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。ところで、この種の
蒸着型テープにおける磁性層を形成するための従来の真
空蒸着装置は、図３に示すように構成されている。図３
において、真空容器１内は、真空ポンプとしてのターボ
ポンプ２とロータリポンプ３とで真空状態とする。前記
真空容器１内には、巻出しロール４と巻取りロール５と
が設けられ、巻出しロール４から巻出されて巻取りロー
ル５に巻取られる間で、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタ
レート）、ポリイミド或いはアラミド等で製造されるフ
ィルム６は冷却キャン７の下側面に巻掛けられて走行す
るようになっている。ここで、前記巻出しロール４、巻
取りロール５及び冷却キャン７等によってフィルム６の
移動手段を構成している。

【０００４】冷却キャン７の斜め下方には蒸着源となる
ＭｇＯ製のルツボ８が置かれ、この中にＣｏ８０％−Ｎ
ｉ２０％の磁性材料である蒸着物質が入れられている。
そして、ルツボ８中の蒸着物質に対して斜め上方の電子
ビーム銃９から電子ビームを照射し、これにより、蒸着
物質を加熱気化させるようになっている。更に、ルツボ
８と冷却キャン７との間にフィルム６への蒸着物質の蒸
着範囲を規制するためのスリット10Ａを有する遮蔽板10
を配置してある。

【０００５】かかる構成において、巻出しロール４、巻
取りロール５及び冷却キャン７等によってフィルム６を
移動させる。そして、フィルム６が遮蔽板10のスリット
10Ａ部分を通過する時に、電子ビーム銃９で加熱気化さ
れて蒸発した蒸着物質Ｃｏ−Ｎｉが前記スリット10Ａを
介してフィルム６に蒸着する。尚、この蒸着工程が終了
した後、磁性層上のトップコート層形成、磁性層とは反
対側のフィルム表面へのバックコート層形成等の処理が
行なわれる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ルツボ８内
の蒸着物質を電子ビーム銃９により加熱気化して蒸発し
た場合、電子ビーム銃９から照射される電子ビームが当
たっている点を中心に上方にガウス分布で蒸着物質の蒸
気が飛散する。このため、従来の真空蒸着装置では、遮
蔽板10のスリット10Ａを通過せずにフィルム６以外の他
の部分に蒸着する蒸気も多く、蒸着物質が無駄になると
共に真空容器１内も広範囲に汚れるという問題を有して
いる。

【０００７】本発明は上記の事情に鑑みなされたもの
で、蒸着物質の無駄を少なくできる真空蒸着装置を提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このため本発明は、真空
ポンプを用いて真空雰囲気が作り出される真空容器内
に、非磁性支持体を移動させる移動手段と、該移動手段
により移動する非磁性支持体の移動経路下方に配置され
磁性材料の蒸着物質を収容する蒸発源と、該蒸発源の蒸
着物質を加熱気化させる電子ビーム銃と、前記移動手段
と蒸発源との間で非磁性支持体の移動経路に沿って配置
され蒸発した蒸着物質の非磁性支持体への蒸着範囲を規
制するスリットを設けた遮蔽板とを備えて構成される真
空蒸着装置において、前記蒸発源から非磁性支持体に向
かう蒸着物質の蒸気流に対して真空容器内の残留気体を
吹き付けるタービンポンプを設ける構成とした。

【０００９】

【作用】かかる構成において、蒸発源から蒸発した蒸着
物質の蒸気に対して、タービンポンプから真空容器内の
気体分子を吹き付ける。すると、この分子の移動によっ
てガウス分布している蒸着物質の蒸気の分子が衝突した
部分が分布の中心部側に移動して中心部の蒸気密度が高
まる。

【００１０】このため、遮蔽板のスリットを通過する蒸
気の量が従来に比べて増大し、これに反してスリットを
通過せずにフィルム以外の他の部分に蒸着する蒸気量が
減り蒸着物質の無駄に少なくなると共に真空容器の汚れ
も少なくなる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。尚、従来と同一部分には同一符号を
付して説明を省略する。本実施例の装置全体を示す図１
において、蒸発源であるルツボ８の近傍に、ルツボ８か
ら非磁性支持体であるフィルム６に向かう蒸着物質Ｃｏ
−Ｎｉの蒸気流に対して真空容器内の残留気体を吹き付
けるよう、斜め上方に排気口17を向けてタービンポンプ
11を配置してある。

【００１２】前記タービンポンプ11は、例えば図２に示
すように、モータ12で回転駆動される回転翼13とポンプ
本体14に固定される固定翼15が交互に組み合わされてお
り、ポンプ本体14中央部に形成した図中上側の吸入口16
から真空容器１内の残留気体の分子を吸引し、回転翼13
の回転によって分子をポンプ本体14中央部に形成した図
中下側の排気口17方向に移動させて排気する構成であ
る。

【００１３】次に本実施例の真空蒸着装置の動作を説明
する。基本的な蒸着動作は従来と同様で、真空容器１内
を、ターボポンプ２とロータリポンプ３とで約10^-5Torr
の真空雰囲気にした後、巻出しロール４、巻取りロール
５及び冷却キャン７等によってフィルム６を移動させ
る。そして、フィルム６が遮蔽板10のスリット10Ａ部分
を通過する時に、電子ビーム銃９で加熱気化されて蒸発
した蒸着物質Ｃｏ−Ｎｉが前記スリット10Ａを介してフ
ィルム６に蒸着する。

【００１４】この蒸着動作時に、タービンポンプ11を例
えば約５００リットル／秒の排気速度で作動させ、真空
容器１内に残留している気体分子をその吸入口16から吸
引して排気口17から排気することにより、排気した気体
分子を、ルツボ８から上方に向けてガウス分布で飛散し
ている蒸着物質の蒸気分子に衝突させる。この気体分子
が衝突する分布外側の蒸気分子は、分布の中心部に移動
し、中心部の蒸気密度が高まる。このために、遮蔽板10
のスリット10Ａを通過する蒸気量は従来に比べて増大す
る。

【００１５】これにより、従来、遮蔽板10のスリット10
Ａを通過できずに周囲に飛散していた蒸気分子を減少さ
せることができ蒸着物質の無駄を少なくでき、これに伴
って真空容器１内の汚れる範囲も狭めることができ、メ
ンテナンスが容易となる。また、蒸気量を従来より増大
できることから磁性層の成膜速度が速くなり、生産性が
向上できる。

【００１６】ここで、Ｃｏ８０％−Ｎｉ２０％の磁性材
料を電子ビーム銃により蒸発させてＰＥＴからなるフィ
ルムに蒸着させる場合において、タービンポンプを５０
０リットル／秒の排気速度で作動させた場合と、タービ
ンポンプを使用しない従来装置の場合とで、その成膜速
度を測定したところ、本実施例装置は、従来装置に比べ
て約1.13倍の成膜速度が得られた。

【００１７】尚、タービンポンプ11の配置としては、タ
ービンポンプ11の排気口17を、フィルム６の移動方向と
反対側で且つ冷却キャン７の略接線方向とすることが、
磁性層のコラムの成長の仕方に影響を与えることなく蒸
着密度を高められるので好ましい。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、蒸
着物質の蒸気流に対しタービンポンプを用いて真空容器
内の残留気体を吹き付けることで、ガウス分布している
蒸気分子外側の分子を分布中心部に移動させて分布中心
部の密度を高めて遮蔽板のスリットを通過する蒸気量を
増大できるので、フィルム以外に蒸着する蒸着物質の量
を抑制でき無駄を少なくできる。これに伴って真空容器
内の汚れ範囲を狭くできメンテナンスが容易となる。ま
た、蒸着速度が速くなるので、磁性層の成膜速度が速く
なって蒸着処理の作業効率を向上でき磁気記録媒体の生
産性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる真空蒸着装置の一実施例を示す
構成図

【図２】同上実施例で用いるタービンポンプの構成図

【図３】従来の真空蒸着装置の構成図

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ ターボポンプ ３ ロータリポンプ ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６ フィルム ７ 冷却キャン ８ ルツボ ９ 電子ビーム銃 10 遮蔽板 10Ａ スリット 11 タービンポンプ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空ポンプを用いて真空雰囲気が作り出さ
   れる真空容器内に、非磁性支持体を移動させる移動手段
   と、該移動手段により移動する非磁性支持体の移動経路
   下方に配置され磁性材料の蒸着物質を収容する蒸発源
   と、該蒸発源の蒸着物質を加熱気化させる電子ビーム銃
   と、前記移動手段と蒸発源との間で非磁性支持体の移動
   経路に沿って配置され蒸発した蒸着物質の非磁性支持体
   への蒸着範囲を規制するスリットを設けた遮蔽板とを備
   えて構成される真空蒸着装置において、 前記蒸発源から非磁性支持体に向かう蒸着物質の蒸気流
   に対して真空容器内の残留気体を吹き付けるタービンポ
   ンプを設けたことを特徴とする真空蒸着装置。