JPH11200045A - 蒸着装置のクリーニング方法 - Google Patents
蒸着装置のクリーニング方法Info
- Publication number
- JPH11200045A JPH11200045A JP1790698A JP1790698A JPH11200045A JP H11200045 A JPH11200045 A JP H11200045A JP 1790698 A JP1790698 A JP 1790698A JP 1790698 A JP1790698 A JP 1790698A JP H11200045 A JPH11200045 A JP H11200045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- vapor deposition
- vacuum
- guide rolls
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title abstract description 21
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸着装置内のガイドロール等を簡便に清掃す
るとともに、排気後のクリーニングをも可能とする。 【解決手段】 ガイドロール等の走行機構を有する真空
蒸着装置において、真空中で装置内のガイドロールをク
リーニングすることを特徴とするクリーニング方法によ
って達成可能となる。
るとともに、排気後のクリーニングをも可能とする。 【解決手段】 ガイドロール等の走行機構を有する真空
蒸着装置において、真空中で装置内のガイドロールをク
リーニングすることを特徴とするクリーニング方法によ
って達成可能となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、蒸着装置のクリー
ニング方法に関し、より詳しくは真空中でのガイドロー
ルのクリーニング機構に関する。
ニング方法に関し、より詳しくは真空中でのガイドロー
ルのクリーニング機構に関する。
【0002】
【従来の技術】金属薄膜を成膜するために、真空蒸着装
置が実用化されている。とくに、金属薄膜型磁気記録媒
体（いわゆる蒸着テープ）を製造するために、斜め蒸着
式の真空蒸着装置が用いられており、生産に活用されて
いる。最近の記録密度の進歩にともない蒸着テープの需
要が増大してきているが、真空中で行うというバッチ式
生産のため生産性向上が急務となっている。
置が実用化されている。とくに、金属薄膜型磁気記録媒
体（いわゆる蒸着テープ）を製造するために、斜め蒸着
式の真空蒸着装置が用いられており、生産に活用されて
いる。最近の記録密度の進歩にともない蒸着テープの需
要が増大してきているが、真空中で行うというバッチ式
生産のため生産性向上が急務となっている。
【0003】このような状況のもと、従来の蒸着装置では、
装置内に設けられたガイドロールをバッチ毎にすべて清
掃する作業が必要であり、清掃時間の長時間化により生
産効率が悪化していた。このような清掃作業の簡略化の
ために、特開平３−１７６８１６号公報ではガイドロー
ル回転の表面速度に対し相対的に遅い速度でクリーニン
グテープを走行させることにより、ガイドロール表面を
クリーニングすることが可能としている。しかし蒸着装
置のすべてのガイドロールにクリーニングテープを通紙
するなど作業が必須であること、排気後（真空下）に発
生する粉塵が除去できないことなど不具合が多かった。
装置内に設けられたガイドロールをバッチ毎にすべて清
掃する作業が必要であり、清掃時間の長時間化により生
産効率が悪化していた。このような清掃作業の簡略化の
ために、特開平３−１７６８１６号公報ではガイドロー
ル回転の表面速度に対し相対的に遅い速度でクリーニン
グテープを走行させることにより、ガイドロール表面を
クリーニングすることが可能としている。しかし蒸着装
置のすべてのガイドロールにクリーニングテープを通紙
するなど作業が必須であること、排気後（真空下）に発
生する粉塵が除去できないことなど不具合が多かった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、蒸着
装置内のガイドロール等を簡便に清掃するとともに、排
気後のクリーニングをも可能とすることにある。
装置内のガイドロール等を簡便に清掃するとともに、排
気後のクリーニングをも可能とすることにある。
【0005】
【発明を解決するための手段】このような課題は以下の
本発明によって解決可能となる。すなわち本発明は、ガ
イドロール等の走行機構を有する真空蒸着装置におい
て、真空中で装置内のガイドロールをクリーニングする
ことを特徴とするクリーニング方法にある。
本発明によって解決可能となる。すなわち本発明は、ガ
イドロール等の走行機構を有する真空蒸着装置におい
て、真空中で装置内のガイドロールをクリーニングする
ことを特徴とするクリーニング方法にある。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的構成につい
て、図１の真空蒸着装置を例に用いて詳細に説明する。
て、図１の真空蒸着装置を例に用いて詳細に説明する。
【0007】図１に示される斜め蒸着装置１０１では、真空
槽１１０中において、排気口１０８を経て真空ポンプ
（図示せず）に接続されて真空状態に保たれ、この真空
槽内で長尺フィルム状の非磁性基体１０２を供給ロール
１０３から繰り出し、回転する冷却ドラム１０４の表面
に添わせて搬送しながら、遮蔽板（マスク）１９１を用
いて蒸着角度を決定し、定置されたるつぼ１０５中の強
磁性金属１５０表面に電子銃１０６からの電子ビーム１
０６Ｂを照射して斜め蒸着を行なうことにより、前記非
磁性基体１０２上に強磁性金属薄膜を形成する。また、
金属が溶けるまでの間はシャッター１９３によって非磁
性基体への金属の付着を防止する。このような金属の蒸
着に際して、ガス供給装置１９４から蒸着金属にガスが
幅方向に均一となるように供給される。このようにして
強磁性金属薄膜が形成された非磁性基体１０２は、巻き
取りロール１０７に巻き取られる。
槽１１０中において、排気口１０８を経て真空ポンプ
（図示せず）に接続されて真空状態に保たれ、この真空
槽内で長尺フィルム状の非磁性基体１０２を供給ロール
１０３から繰り出し、回転する冷却ドラム１０４の表面
に添わせて搬送しながら、遮蔽板（マスク）１９１を用
いて蒸着角度を決定し、定置されたるつぼ１０５中の強
磁性金属１５０表面に電子銃１０６からの電子ビーム１
０６Ｂを照射して斜め蒸着を行なうことにより、前記非
磁性基体１０２上に強磁性金属薄膜を形成する。また、
金属が溶けるまでの間はシャッター１９３によって非磁
性基体への金属の付着を防止する。このような金属の蒸
着に際して、ガス供給装置１９４から蒸着金属にガスが
幅方向に均一となるように供給される。このようにして
強磁性金属薄膜が形成された非磁性基体１０２は、巻き
取りロール１０７に巻き取られる。
【0008】実際には、図２に示したように、蒸着装置に多
数のガイドロール２００を使用して、基体１０２の走行
を行う。ほんはつめいは、このガイドロールのクリーニ
ングを行うものであり、そのクリーニングの方法につい
て、とくに限定は無いが、図３のようにクリーニング部
材を巻き付けたクリーニングロールを、装置外部からガ
イドロールに接触させて、さらに各クリーニングロール
を、駆動可能として回転させる方式が望ましい。さらに
望ましくは、図４のように、ミラクラーション（東レ
（株）製、微細繊維織布）やベンリーゼ（旭化成（株）
製、不織布）などのクリーニング部材を走行させること
が可能なクリーニング機構を、直接ガイドロールにオン
オフさせる方式が望ましい。
数のガイドロール２００を使用して、基体１０２の走行
を行う。ほんはつめいは、このガイドロールのクリーニ
ングを行うものであり、そのクリーニングの方法につい
て、とくに限定は無いが、図３のようにクリーニング部
材を巻き付けたクリーニングロールを、装置外部からガ
イドロールに接触させて、さらに各クリーニングロール
を、駆動可能として回転させる方式が望ましい。さらに
望ましくは、図４のように、ミラクラーション（東レ
（株）製、微細繊維織布）やベンリーゼ（旭化成（株）
製、不織布）などのクリーニング部材を走行させること
が可能なクリーニング機構を、直接ガイドロールにオン
オフさせる方式が望ましい。
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。
をさらに詳細に説明する。
【0009】図１に示される構成の斜め蒸着装置を用いて、
厚さ７μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルムからなる非磁性基体１０２上に、強磁性金属薄膜
を形成した。平均の最小入射角θｍｉｎ．を５０度、る
つぼの湯面とドラム１０４の蒸着面の平均距離を約３０
０ｍｍ、蒸着部の幅を５００ｍｍとした。
厚さ７μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フ
ィルムからなる非磁性基体１０２上に、強磁性金属薄膜
を形成した。平均の最小入射角θｍｉｎ．を５０度、る
つぼの湯面とドラム１０４の蒸着面の平均距離を約３０
０ｍｍ、蒸着部の幅を５００ｍｍとした。
【0010】（実施例１）まず、真空槽内を排気し、槽内の
圧力を１０-5Ｔｏｒｒに保った。るつぼには、酸化マグ
ネシウム製のものを用い、電子銃のパワーは１２０ｋＷ
とした。ガス供給ノズルは幅方向長さで６００ｍｍであ
り、蒸着時に酸素主成分のガスを供給した。また、蒸着
時の目標膜厚は２００ｎｍとして蒸着を行った。
圧力を１０-5Ｔｏｒｒに保った。るつぼには、酸化マグ
ネシウム製のものを用い、電子銃のパワーは１２０ｋＷ
とした。ガス供給ノズルは幅方向長さで６００ｍｍであ
り、蒸着時に酸素主成分のガスを供給した。また、蒸着
時の目標膜厚は２００ｎｍとして蒸着を行った。
【0011】クリーニングの方法は、ミラクレーション（東
レ（株）製の微細繊維織布）を巻き付けたクリーニング
ロールを、装置外部からガイドロールに接触させて、さ
らに各クリーニングロールを駆動可能とし回転させた。
レ（株）製の微細繊維織布）を巻き付けたクリーニング
ロールを、装置外部からガイドロールに接触させて、さ
らに各クリーニングロールを駆動可能とし回転させた。
【0012】長尺のミラクレーション（東レ（株）製の微細
繊維織布）をガイドロールにバックアップロールを用い
て接触させて走行させた。
繊維織布）をガイドロールにバックアップロールを用い
て接触させて走行させた。
【0013】長尺のミラクレーション（東レ（株）製の微細
繊維織布）を蒸着用支持体のかわりに走行させた。 ガイドロールのクリーニング効果
繊維織布）を蒸着用支持体のかわりに走行させた。 ガイドロールのクリーニング効果
【0014】今まではバッチ毎に必要となるガイドロールの
清掃に２０分程度かかっており非効率的であった。また
清掃後に真空排気する際に発生する粉塵による汚れには
効果が無く熱負けやエラーレートの悪化が防げなかっ
た。
清掃に２０分程度かかっており非効率的であった。また
清掃後に真空排気する際に発生する粉塵による汚れには
効果が無く熱負けやエラーレートの悪化が防げなかっ
た。
【0015】特開平３−１７６８１６号公報ではガイドロー
ル回転の表面速度に対し相対的に遅い速度でクリーニン
グテープを走行させることにより、ガイドロール表面を
クリーニングすることが可能としている。しかし蒸着装
置のすべてのガイドロールにクリーニングテープを通紙
するなど作業が必須であること、排気後に発生する粉塵
が除去できないことなど不具合が多かった。
ル回転の表面速度に対し相対的に遅い速度でクリーニン
グテープを走行させることにより、ガイドロール表面を
クリーニングすることが可能としている。しかし蒸着装
置のすべてのガイドロールにクリーニングテープを通紙
するなど作業が必須であること、排気後に発生する粉塵
が除去できないことなど不具合が多かった。
【0016】これに対し本発明のガイドロールのクリーニン
グ装置を内蔵した装置では、クリーニング部材のオンオ
フを装置外部から操作可能とし、真空中での清掃が可能
かつとクリーニングロールを数回転させるだけで清掃が
完了するなど清掃時間に短縮することが可能となり生産
効率が大幅に向上した。
グ装置を内蔵した装置では、クリーニング部材のオンオ
フを装置外部から操作可能とし、真空中での清掃が可能
かつとクリーニングロールを数回転させるだけで清掃が
完了するなど清掃時間に短縮することが可能となり生産
効率が大幅に向上した。
【0017】また、蒸着時のフィルム裏面が清浄に保たれる
ことにより、熱負けの低減が可能となり、エラーレート
も今までは１×１０-4程度であったものが、３〜５×１
０-6程度へと格段に向上した。
ことにより、熱負けの低減が可能となり、エラーレート
も今までは１×１０-4程度であったものが、３〜５×１
０-6程度へと格段に向上した。
【0018】
【発明の効果】真空装置内にガイドロールのクリーニン
グ装置を内蔵し、バッチ毎に行う清掃作業を簡便に行い
生産効率を向上することが可能になった。
グ装置を内蔵し、バッチ毎に行う清掃作業を簡便に行い
生産効率を向上することが可能になった。
【図1】蒸着装置を説明するための模式図である。
【図2】蒸着装置のガイドロールレイアウトを示す模式
図である。
図である。
【図3】本発明のクリーニング方法を示す模式図であ
る。
る。
【図4】本発明の別のクリーニング方法を示す模式図で
ある。
ある。
１０１ 斜め蒸着装置（真空槽） １０２ 非磁性基体 １０３ 供給ロール １０４ 冷却ドラム １０５ るつぼ １５０ 溶湯 １０６ 電子銃 １０６Ｂ 電子ビーム １０７ 巻き取りロール １０８ 排気口 １１０ 真空槽 １９１ 遮蔽板（マスク） １９３ シャッター １９４ ガス導入口 ２００ ガイドロール
Claims (1)
- 【請求項1】ガイドロール等の走行機構を有する真空蒸
着装置において、真空中で装置内のガイドロールをクリ
ーニングすることを特徴とするクリーニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1790698A JPH11200045A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 蒸着装置のクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1790698A JPH11200045A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 蒸着装置のクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11200045A true JPH11200045A (ja) | 1999-07-27 |
| JPH11200045A5 JPH11200045A5 (ja) | 2005-08-18 |
Family
ID=11956797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1790698A Pending JPH11200045A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 蒸着装置のクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11200045A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008065909A1 (en) * | 2006-11-28 | 2008-06-05 | Ulvac, Inc. | Winding vacuum film forming process and apparatus |
| JP2010168618A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ロール・ツー・ロール真空成膜装置による成膜方法及びそのロール清掃方法 |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP1790698A patent/JPH11200045A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008065909A1 (en) * | 2006-11-28 | 2008-06-05 | Ulvac, Inc. | Winding vacuum film forming process and apparatus |
| KR101044362B1 (ko) * | 2006-11-28 | 2011-06-29 | 가부시키가이샤 알박 | 권취식 진공성막방법 및 권취식 진공성막장치 |
| JP5061119B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2012-10-31 | 株式会社アルバック | 巻取式真空成膜装置の運転方法および巻取式真空成膜装置 |
| JP2010168618A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ロール・ツー・ロール真空成膜装置による成膜方法及びそのロール清掃方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20000076925A (ko) | 성막장치에 있어서의 기판유지구의 표면의 퇴적막의제거방법 및 성막장치 그리고 박막작성장치 | |
| JP4268234B2 (ja) | 情報記録ディスク用成膜装置 | |
| JPH0863746A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
| JPH11200045A (ja) | 蒸着装置のクリーニング方法 | |
| JP3555797B2 (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
| JPH0625839A (ja) | スパッタ装置及びカソード | |
| JPH11200047A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP4502159B2 (ja) | 情報記録ディスク用成膜装置 | |
| JPH11200011A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0257144B2 (ja) | ||
| JP2005320599A (ja) | カソード取付構造体、カソード取付構造体を用いた薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
| JP4820783B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JPH11193460A (ja) | 真空容器内の巻き取り装置 | |
| JPH0610117A (ja) | 薄膜形成方法、薄膜形成装置、レーザー光照射装置及びボンバード装置 | |
| JPH0463323A (ja) | 液晶配向処理法 | |
| JPS6020320A (ja) | 真空蒸着による磁気テ−プ製作装置 | |
| JPH11200023A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP3781154B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP3644624B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
| JPH11269645A (ja) | 化学的気相析出装置 | |
| JPH06111317A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH11335837A (ja) | 磁気媒体製造装置 | |
| JPS58166537A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP3106456B2 (ja) | 対向ターゲット式スパッタ方法及び対向ターゲット式スパッタ装置 | |
| JPS6134175A (ja) | スパツタリング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041217 Effective date: 20041217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20041217 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050204 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20050225 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20070724 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070726 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20071115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |