JPH06112043A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH06112043A JPH06112043A JP25627892A JP25627892A JPH06112043A JP H06112043 A JPH06112043 A JP H06112043A JP 25627892 A JP25627892 A JP 25627892A JP 25627892 A JP25627892 A JP 25627892A JP H06112043 A JPH06112043 A JP H06112043A
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
- purity
- magnetic recording
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】Ｃｏ、Ｃｒ、Ｎｉ等の高価で環境汚染問題を有
する金属を使用することなく、安価で磁気特性及び耐蝕
性に優れた磁性層を有する磁気記録媒体を製造すること
を目的とする。 【構成】純度９９．９５％以上のＦｅが７０〜９０ａｔ
％、Ｎが５〜１５ａｔ％、Ｏが５〜１５ａｔ％の組成比
を有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を非磁性支持体に
形成する。また、この磁気記録媒体を製造するに際し、
真空雰囲気中で、非磁性支持体に対して斜め方向から純
度９９．９５％以上のＦｅを蒸着させつつ、該蒸着面に
対してＮ2 とＯ2 の混合ガスからイオン銃により生成し
た窒素イオンと酸素イオンを照射し、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系の
強磁性薄膜を形成する。
する金属を使用することなく、安価で磁気特性及び耐蝕
性に優れた磁性層を有する磁気記録媒体を製造すること
を目的とする。 【構成】純度９９．９５％以上のＦｅが７０〜９０ａｔ
％、Ｎが５〜１５ａｔ％、Ｏが５〜１５ａｔ％の組成比
を有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を非磁性支持体に
形成する。また、この磁気記録媒体を製造するに際し、
真空雰囲気中で、非磁性支持体に対して斜め方向から純
度９９．９５％以上のＦｅを蒸着させつつ、該蒸着面に
対してＮ2 とＯ2 の混合ガスからイオン銃により生成し
た窒素イオンと酸素イオンを照射し、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系の
強磁性薄膜を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体及びその
製造方法に関する。
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真
空蒸着法を用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の
磁性層を非磁性支持体上に付着させる蒸着型テープとが
ある。
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真
空蒸着法を用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の
磁性層を非磁性支持体上に付着させる蒸着型テープとが
ある。
【０００３】そして、近年の磁気記録は高密度記録化の
方向にあり、蒸着テープは、磁性層にバインダーを含ま
ないことから磁性材料の密度を高められるため、高密度
記録に有望であるとされている。
方向にあり、蒸着テープは、磁性層にバインダーを含ま
ないことから磁性材料の密度を高められるため、高密度
記録に有望であるとされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、真空蒸着法
によって非磁性支持体上に形成する磁性層用の磁性材料
としては、従来では、Ｃｏ−Ｎｉ系やＣｏ−Ｃｒ系の磁
性合金が用いられている。しかしながら、Ｃｏ、Ｎｉ、
Ｃｒは共に価格が高い上に公害問題も有している。この
点、Ｆｅ（金属鉄）は、価格が安く公害の安全性におい
ても問題はないが、高記録密度に不可欠な保磁力が低
く、また、耐蝕性が低いという欠点があり、Ｃｏ−Ｎｉ
系、Ｃｏ−Ｃｒ系及びＦｅに代わる磁性層用材料が望ま
れている。
によって非磁性支持体上に形成する磁性層用の磁性材料
としては、従来では、Ｃｏ−Ｎｉ系やＣｏ−Ｃｒ系の磁
性合金が用いられている。しかしながら、Ｃｏ、Ｎｉ、
Ｃｒは共に価格が高い上に公害問題も有している。この
点、Ｆｅ（金属鉄）は、価格が安く公害の安全性におい
ても問題はないが、高記録密度に不可欠な保磁力が低
く、また、耐蝕性が低いという欠点があり、Ｃｏ−Ｎｉ
系、Ｃｏ−Ｃｒ系及びＦｅに代わる磁性層用材料が望ま
れている。
【０００５】本発明は上記の事情に鑑みなされたもの
で、ベースとして低価格で環境汚染の心配のないＦｅを
とし、高い保磁力と耐蝕性を有する磁性層を有する磁気
記録媒体及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
で、ベースとして低価格で環境汚染の心配のないＦｅを
とし、高い保磁力と耐蝕性を有する磁性層を有する磁気
記録媒体及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】このため、本発
明の磁気記録媒体は、純度９９．９５％以上のＦｅが７
０〜９０ａｔ％、Ｎが５〜１５ａｔ％、Ｏが５〜１５ａ
ｔ％の組成比を有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を非
磁性支持体に形成した構成とした。また、上記磁気記録
媒体の製造方法として、真空雰囲気中で、非磁性支持体
に対して斜め方向から純度９９．９５％以上のＦｅを蒸
着させつつ、該蒸着面に対してＮ2 とＯ2 の混合ガスか
らイオン銃により生成した窒素イオンと酸素イオンを照
射し、非磁性支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を
形成するようにした。
明の磁気記録媒体は、純度９９．９５％以上のＦｅが７
０〜９０ａｔ％、Ｎが５〜１５ａｔ％、Ｏが５〜１５ａ
ｔ％の組成比を有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を非
磁性支持体に形成した構成とした。また、上記磁気記録
媒体の製造方法として、真空雰囲気中で、非磁性支持体
に対して斜め方向から純度９９．９５％以上のＦｅを蒸
着させつつ、該蒸着面に対してＮ2 とＯ2 の混合ガスか
らイオン銃により生成した窒素イオンと酸素イオンを照
射し、非磁性支持体上にＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を
形成するようにした。
【０００７】即ち、純度の高いＦｅを斜め蒸着法を用い
て非磁性支持体上に蒸着させつつ、Ｎ2 ガスとＯ2 ガス
の混合ガスをイオン銃によってイオン化して窒素イオン
と酸素イオンとを蒸着層に照射することにより、所定の
原子割合のＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性膜を非磁性支持体上
に形成する。このように、安価なＦｅをベースとしたＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性膜で磁性層を形成することによ
り、従来のＣｏ−Ｎｉ系やＣｏ−Ｃｒ系よりも安価で、
しかも、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ等の環境汚染物質を使用する
こともなく、また、Ｆｅのみに比べて高い保磁力と耐蝕
性に優れたものを提供でき、磁気記録媒体における近年
の高密度記録化に十分対応することができる。
て非磁性支持体上に蒸着させつつ、Ｎ2 ガスとＯ2 ガス
の混合ガスをイオン銃によってイオン化して窒素イオン
と酸素イオンとを蒸着層に照射することにより、所定の
原子割合のＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性膜を非磁性支持体上
に形成する。このように、安価なＦｅをベースとしたＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性膜で磁性層を形成することによ
り、従来のＣｏ−Ｎｉ系やＣｏ−Ｃｒ系よりも安価で、
しかも、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ等の環境汚染物質を使用する
こともなく、また、Ｆｅのみに比べて高い保磁力と耐蝕
性に優れたものを提供でき、磁気記録媒体における近年
の高密度記録化に十分対応することができる。
【０００８】ここで、Ｆｅに関しては、その純度が、９
９．９５％より低い場合には、十分な耐蝕性が得られな
い。これは、Ｆｅに含まれる不純物の影響と考えられ
る。また、含有量が少な過ぎると、保磁力が低下する。
Ｎ（窒素）に関しては、含有量が５ａｔ％より少ない場
合には、保磁力と耐蝕性が低下する。
９．９５％より低い場合には、十分な耐蝕性が得られな
い。これは、Ｆｅに含まれる不純物の影響と考えられ
る。また、含有量が少な過ぎると、保磁力が低下する。
Ｎ（窒素）に関しては、含有量が５ａｔ％より少ない場
合には、保磁力と耐蝕性が低下する。
【０００９】Ｏ（酸素）に関しては、含有量が１５ａｔ
％より多い場合には、飽和磁束密度が低下し、５ａｔ％
より少ない場合には、保磁力と耐蝕性が低下する。
％より多い場合には、飽和磁束密度が低下し、５ａｔ％
より少ない場合には、保磁力と耐蝕性が低下する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。
図１は本発明の磁気記録媒体の製造に使用する斜め蒸着
のための真空蒸着装置の一例を示す概略構成図である。
図１において、真空容器１内は、ターボポンプ２とロー
タリポンプ３とで真空状態とする。前記真空容器１内に
は、巻出しロール４と巻取りロール５とが設けられ、巻
出しロール４から巻出されて巻取りロール５に巻取られ
る間で、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ポリ
イミド或いはアラミド等で製造される非磁性支持体とし
ての高分子のフィルム６は、内部に冷却水が流れる平板
状の冷却板７のに沿って走行して移動する。前記冷却板
７には、冷却水供給管８から冷却水が供給されて図示な
い排水管から排水されるようになっており、冷却水が外
部の冷却水タンクから循環供給される。
図１は本発明の磁気記録媒体の製造に使用する斜め蒸着
のための真空蒸着装置の一例を示す概略構成図である。
図１において、真空容器１内は、ターボポンプ２とロー
タリポンプ３とで真空状態とする。前記真空容器１内に
は、巻出しロール４と巻取りロール５とが設けられ、巻
出しロール４から巻出されて巻取りロール５に巻取られ
る間で、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ポリ
イミド或いはアラミド等で製造される非磁性支持体とし
ての高分子のフィルム６は、内部に冷却水が流れる平板
状の冷却板７のに沿って走行して移動する。前記冷却板
７には、冷却水供給管８から冷却水が供給されて図示な
い排水管から排水されるようになっており、冷却水が外
部の冷却水タンクから循環供給される。
【００１１】また、前記冷却板７の下方には、図１に示
すように、ＭｇＯ製のルツボ９が置かれ、この中に例え
ば純度９９．９５％のＦｅを入れ、このルツボ９中のＦ
ｅ面に対して斜め上方の電子ビーム銃10から電子ビーム
を照射する。これにより、Ｆｅを加熱気化させるように
なっている。このＦｅの蒸着の際に、図１に示すよう
に、ルツボ９からのＦｅの蒸気流のフィルム６に対する
入射角αが、本実施例では例えばフィルム６の法線方向
に対し６０°となるように、冷却板７の傾斜を設定して
ある。このような斜め蒸着法を採用することにより、磁
性層の磁気異方性によって磁気特性が向上する。
すように、ＭｇＯ製のルツボ９が置かれ、この中に例え
ば純度９９．９５％のＦｅを入れ、このルツボ９中のＦ
ｅ面に対して斜め上方の電子ビーム銃10から電子ビーム
を照射する。これにより、Ｆｅを加熱気化させるように
なっている。このＦｅの蒸着の際に、図１に示すよう
に、ルツボ９からのＦｅの蒸気流のフィルム６に対する
入射角αが、本実施例では例えばフィルム６の法線方向
に対し６０°となるように、冷却板７の傾斜を設定して
ある。このような斜め蒸着法を採用することにより、磁
性層の磁気異方性によって磁気特性が向上する。
【００１２】更に、フィルム６の蒸着面に対して垂直方
向にイオン銃11を配置し、該イオン銃11にＮ2 とＯ2 の
混合ガスを供給し窒素イオンと酸素イオンを生成して、
フィルム６にＦｅを蒸着させつつ、その蒸着面に前記窒
素イオンと酸素イオンを照射するようにしている。図中
12は、フィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板
である。
向にイオン銃11を配置し、該イオン銃11にＮ2 とＯ2 の
混合ガスを供給し窒素イオンと酸素イオンを生成して、
フィルム６にＦｅを蒸着させつつ、その蒸着面に前記窒
素イオンと酸素イオンを照射するようにしている。図中
12は、フィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板
である。
【００１３】次に本実施例の真空蒸着装置を用いて製造
した磁気記録媒体の実施例について説明する。図１に示
す真空蒸着装置を用い、厚さ１０μｍ、幅１０cmのＰＥ
Ｔからなるフィルム６に、ＭｇＯ製で内容量が６０ccの
ルツボ９内に入れたＦｅを、電子ビーム銃10により加熱
気化させてその蒸気流を入射角α（６０°）で蒸着させ
つつ、その蒸着面に窒素イオンと酸素イオンをイオン銃
11により照射し、厚さ１０００Åの磁性層を形成した。
ここで、電子ビーム銃10の出力は３０kwとして、イオン
銃11として、ＥＣＲ（Electron Cyclotron Resonance)
イオン銃を使用し、その出力を４００ｗ、Ｎ2 ガスとＯ
2 ガスの混合ガスの供給量を、Ｎ2 ガスを３cc／分、Ｏ
2 ガス２cc／分とし、フィルム６の走行速度は２ｍ／分
とした。
した磁気記録媒体の実施例について説明する。図１に示
す真空蒸着装置を用い、厚さ１０μｍ、幅１０cmのＰＥ
Ｔからなるフィルム６に、ＭｇＯ製で内容量が６０ccの
ルツボ９内に入れたＦｅを、電子ビーム銃10により加熱
気化させてその蒸気流を入射角α（６０°）で蒸着させ
つつ、その蒸着面に窒素イオンと酸素イオンをイオン銃
11により照射し、厚さ１０００Åの磁性層を形成した。
ここで、電子ビーム銃10の出力は３０kwとして、イオン
銃11として、ＥＣＲ（Electron Cyclotron Resonance)
イオン銃を使用し、その出力を４００ｗ、Ｎ2 ガスとＯ
2 ガスの混合ガスの供給量を、Ｎ2 ガスを３cc／分、Ｏ
2 ガス２cc／分とし、フィルム６の走行速度は２ｍ／分
とした。
【００１４】そして、上記の製造条件の下で、Ｆｅの純
度とＦｅ−Ｎ−Ｏの組成比を色々変化させた、表１に示
すような実施例１〜５と比較例１〜５の磁性層を形成
し、それぞれの磁気特性及び耐蝕性を比較した。磁気特
性としては、保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）及び飽和磁束密度Ｂｓ
（Ｇ）を測定した。また、耐蝕性に関しては、２０℃の
ＮａＣｌの５％水溶液に１週間浸漬した時の飽和磁束密
度Ｂｓの減少率ΔＢｓを目安とした。
度とＦｅ−Ｎ−Ｏの組成比を色々変化させた、表１に示
すような実施例１〜５と比較例１〜５の磁性層を形成
し、それぞれの磁気特性及び耐蝕性を比較した。磁気特
性としては、保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）及び飽和磁束密度Ｂｓ
（Ｇ）を測定した。また、耐蝕性に関しては、２０℃の
ＮａＣｌの５％水溶液に１週間浸漬した時の飽和磁束密
度Ｂｓの減少率ΔＢｓを目安とした。
【００１５】ここで、前記保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）、飽和磁
束密度Ｂｓ（Ｇ）及び減少率ΔＢｓ（耐蝕性）の目標値
として、保磁力Ｈｃを１８００Ｏｅ、飽和磁束密度Ｂｓ
を４０００Ｇ及び減少率ΔＢｓを９％以下に設定した。
束密度Ｂｓ（Ｇ）及び減少率ΔＢｓ（耐蝕性）の目標値
として、保磁力Ｈｃを１８００Ｏｅ、飽和磁束密度Ｂｓ
を４０００Ｇ及び減少率ΔＢｓを９％以下に設定した。
【００１６】
【表１】
【００１７】表１から明らかなように、純度９９．９５
％以上のＦｅを７０〜９０ａｔ％、Ｎが５〜１５ａｔ
％、Ｏが５〜１５ａｔ％の範囲の組成比の本実施例の磁
性層では、保磁力、飽和磁束密度及び耐蝕性の点で十分
に満足した値を示し、磁気記録媒体の高記録密度化を図
る上で十分に優れた磁性層を得ることができる。一方、
Ｆｅの純度が９９．９５％より低い場合は、ΔＢｓが９
％を大きく越え、耐蝕性が低下することが判る。また、
Ｏが過剰の場合には、耐蝕性に関しては満足できる値を
示したが、飽和磁束密度Ｂｓが低下する。一方、Ｏが少
ない場合には、保磁力Ｈｃと耐蝕性が悪い。また、Ｎが
少ない場合には、やはり保磁力Ｈｃと耐蝕性の点で不十
分である。
％以上のＦｅを７０〜９０ａｔ％、Ｎが５〜１５ａｔ
％、Ｏが５〜１５ａｔ％の範囲の組成比の本実施例の磁
性層では、保磁力、飽和磁束密度及び耐蝕性の点で十分
に満足した値を示し、磁気記録媒体の高記録密度化を図
る上で十分に優れた磁性層を得ることができる。一方、
Ｆｅの純度が９９．９５％より低い場合は、ΔＢｓが９
％を大きく越え、耐蝕性が低下することが判る。また、
Ｏが過剰の場合には、耐蝕性に関しては満足できる値を
示したが、飽和磁束密度Ｂｓが低下する。一方、Ｏが少
ない場合には、保磁力Ｈｃと耐蝕性が悪い。また、Ｎが
少ない場合には、やはり保磁力Ｈｃと耐蝕性の点で不十
分である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、所
定の組成比を有するＦｅ−Ｎ−Ｏの強磁性薄膜を磁性層
を斜め蒸着法を採用して形成することにより、優れた磁
気特性及び耐蝕性を有する安価な磁気記録媒体を得るこ
とができる。そして、従来のＣｏ、Ｃｒ、Ｎｉのような
環境汚染物質を使用しないので、環境保護の面でも極め
て有効である。
定の組成比を有するＦｅ−Ｎ−Ｏの強磁性薄膜を磁性層
を斜め蒸着法を採用して形成することにより、優れた磁
気特性及び耐蝕性を有する安価な磁気記録媒体を得るこ
とができる。そして、従来のＣｏ、Ｃｒ、Ｎｉのような
環境汚染物質を使用しないので、環境保護の面でも極め
て有効である。
【図１】本発明の磁気記録媒体の製造に使用する真空蒸
着装置の実施例を示す構成図
着装置の実施例を示す構成図
１ 真空容器 ２ ターボポンプ ３ ロータリポンプ ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６ フィルム ７ 冷却板 ９ ルツボ 10 電子ビーム銃 11 イオン銃
Claims (2)
- 【請求項１】純度９９．９５％以上のＦｅが７０〜９０
ａｔ％、Ｎが５〜１５ａｔ％、Ｏが５〜１５ａｔ％の組
成比を有するＦｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を非磁性支持
体に形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】請求項１に記載の強磁性薄膜を非磁性支持
体に形成するに際し、真空雰囲気中で、非磁性支持体に
対して斜め方向から純度９９．９５％以上のＦｅを蒸着
させつつ、該蒸着面に対してＮ2 とＯ2 の混合ガスから
イオン銃により生成した窒素イオンと酸素イオンを照射
し、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系の強磁性薄膜を形成することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25627892A JP2717611B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US08/112,142 US5538802A (en) | 1992-09-18 | 1993-08-26 | Magnetic recording medium and process for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25627892A JP2717611B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112043A true JPH06112043A (ja) | 1994-04-22 |
| JP2717611B2 JP2717611B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=17290432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25627892A Expired - Lifetime JP2717611B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2717611B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885724A (en) * | 1995-08-25 | 1999-03-23 | Kao Corporation | Magnetic recording medium |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25627892A patent/JP2717611B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885724A (en) * | 1995-08-25 | 1999-03-23 | Kao Corporation | Magnetic recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2717611B2 (ja) | 1998-02-18 |
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