JPH0927110A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH0927110A JPH0927110A JP17221995A JP17221995A JPH0927110A JP H0927110 A JPH0927110 A JP H0927110A JP 17221995 A JP17221995 A JP 17221995A JP 17221995 A JP17221995 A JP 17221995A JP H0927110 A JPH0927110 A JP H0927110A
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- nitrogen
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 真空雰囲気中で、支持体上に物理蒸着法によ
り銅を含む下地層を形成し、当該下地層上にイオンアシ
スト物理蒸着法によりFe−N−O系膜等の鉄と窒素を含む
磁性層を形成する。 【効果】 高品質の磁気記録媒体がより高速に製造でき
る。
り銅を含む下地層を形成し、当該下地層上にイオンアシ
スト物理蒸着法によりFe−N−O系膜等の鉄と窒素を含む
磁性層を形成する。 【効果】 高品質の磁気記録媒体がより高速に製造でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体及びその
製造方法に関する。より詳しくは、鉄及び窒素を含む磁
性層を有する蒸着型の磁気記録媒体及びその製造方法に
関する。
製造方法に関する。より詳しくは、鉄及び窒素を含む磁
性層を有する蒸着型の磁気記録媒体及びその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真
空蒸着法を用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の
磁性層を非磁性支持体上に付着させる蒸着型テープとが
ある。
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で磁性金属を蒸着する真
空蒸着法を用いてバインダーを全く含まない金属薄膜の
磁性層を非磁性支持体上に付着させる蒸着型テープとが
ある。
【０００３】そして、近年の磁気記録は高密度記録化の
方向にあり、蒸着テープは、磁性層にバインダーを含ま
ないことから磁性材料の密度を高められるため、高密度
記録に有望であるとされている。
方向にあり、蒸着テープは、磁性層にバインダーを含ま
ないことから磁性材料の密度を高められるため、高密度
記録に有望であるとされている。
【０００４】ところで、真空蒸着法によって非磁性支持
体上に形成する磁性層用の磁性材料としては、従来で
は、Co系、Co−Ni系、Co−Cr系の強磁性合金が用いられ
ている。しかしながら、Co、Ni、Crは共に価格が高い上
に公害問題も有している。この点、Fe（金属鉄）は、価
格が安く公害の安全性においても問題はないが、高記録
密度に不可欠な保磁力が低く、また、耐蝕性が低いとい
う欠点があり、Co−Ni系、Co−Cr系及びFeに代わる磁性
層用材料が望まれている。
体上に形成する磁性層用の磁性材料としては、従来で
は、Co系、Co−Ni系、Co−Cr系の強磁性合金が用いられ
ている。しかしながら、Co、Ni、Crは共に価格が高い上
に公害問題も有している。この点、Fe（金属鉄）は、価
格が安く公害の安全性においても問題はないが、高記録
密度に不可欠な保磁力が低く、また、耐蝕性が低いとい
う欠点があり、Co−Ni系、Co−Cr系及びFeに代わる磁性
層用材料が望まれている。
【０００５】このような状況から、ベースを低価格で環
境汚染の心配のないFeとし、高い保磁力と耐蝕性を有す
る磁性層を形成するために、Feの蒸着中に酸素、窒素、
二酸化炭素等のガスやこれらの混合ガスをイオン化して
照射する、いわゆるイオンアシストによる蒸着法によ
り、Fe−N系、Fe−C系、Fe−N−O系、Fe−C−N−O 系等
の磁性膜を形成することが試みられている。
境汚染の心配のないFeとし、高い保磁力と耐蝕性を有す
る磁性層を形成するために、Feの蒸着中に酸素、窒素、
二酸化炭素等のガスやこれらの混合ガスをイオン化して
照射する、いわゆるイオンアシストによる蒸着法によ
り、Fe−N系、Fe−C系、Fe−N−O系、Fe−C−N−O 系等
の磁性膜を形成することが試みられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなFe−N系、Fe−C系、Fe−N−O系、Fe−C−N−O 系等
の磁性膜は所望の膜特性を得るためには成膜速度を遅く
する必要があり、生産効率の面で不利であった。また、
通常、磁気記録媒体のベースフィルムとしてはPET(ポリ
エチレンテレフタレート) 等のプラスチックフィルムが
用いられるが、鉄−窒素系の磁性層はフィルムとの界面
における結着性が不充分となることがあり、フィルムを
加熱したりしてより安定な膜を形成することが行なわれ
ているが、そのような方法ではフィルムの耐久性等の面
から限界がある。
うなFe−N系、Fe−C系、Fe−N−O系、Fe−C−N−O 系等
の磁性膜は所望の膜特性を得るためには成膜速度を遅く
する必要があり、生産効率の面で不利であった。また、
通常、磁気記録媒体のベースフィルムとしてはPET(ポリ
エチレンテレフタレート) 等のプラスチックフィルムが
用いられるが、鉄−窒素系の磁性層はフィルムとの界面
における結着性が不充分となることがあり、フィルムを
加熱したりしてより安定な膜を形成することが行なわれ
ているが、そのような方法ではフィルムの耐久性等の面
から限界がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記のよ
うな状況に鑑み、より高性能の窒素−鉄系の磁性層を有
する磁気記録媒体を、より効率良く製造する方法を提供
すべく鋭意研究した結果、ベースフィルム上に銅を含む
化合物からなる下地層を形成し、その上に鉄−窒素系の
磁性層を形成することによりこの目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。
うな状況に鑑み、より高性能の窒素−鉄系の磁性層を有
する磁気記録媒体を、より効率良く製造する方法を提供
すべく鋭意研究した結果、ベースフィルム上に銅を含む
化合物からなる下地層を形成し、その上に鉄−窒素系の
磁性層を形成することによりこの目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】すなわち本発明は、支持体上に形成された
銅を含む下地層と、該下地層上に形成された鉄及び窒素
を含む磁性層とを有する磁気記録媒体を提供するもので
ある。かかる磁気記録媒体は、真空雰囲気中で物理蒸着
法により支持体上に銅を含む下地層を形成し、次いでイ
オンアシスト物理蒸着法により前記下地層上に鉄及び窒
素を含む磁性層を形成する工程を含むことを特徴とする
製造方法により製造される。
銅を含む下地層と、該下地層上に形成された鉄及び窒素
を含む磁性層とを有する磁気記録媒体を提供するもので
ある。かかる磁気記録媒体は、真空雰囲気中で物理蒸着
法により支持体上に銅を含む下地層を形成し、次いでイ
オンアシスト物理蒸着法により前記下地層上に鉄及び窒
素を含む磁性層を形成する工程を含むことを特徴とする
製造方法により製造される。
【０００９】本発明の磁気記録媒体の構造を示す略示図
を図１に示す。この磁気記録媒体は、支持体１と、該支
持体１上に物理蒸着法により形成された銅を含む下地層
２と、当該下地層２上にイオンアシスト物理蒸着法によ
り形成された鉄及び窒素を含む磁性層３とを有すること
をことを特徴とし、鉄−窒素系の磁性層がより速く成膜
される。その理由は、銅は支持体上への蒸着が容易であ
り、しかも銅の結晶構造が鉄−窒素系の化合物の結晶構
造と似ているため、単に支持体に磁性層を形成する場合
よりも、鉄−窒素系化合物の蒸気が付着しやすくなるた
めと考えられる。
を図１に示す。この磁気記録媒体は、支持体１と、該支
持体１上に物理蒸着法により形成された銅を含む下地層
２と、当該下地層２上にイオンアシスト物理蒸着法によ
り形成された鉄及び窒素を含む磁性層３とを有すること
をことを特徴とし、鉄−窒素系の磁性層がより速く成膜
される。その理由は、銅は支持体上への蒸着が容易であ
り、しかも銅の結晶構造が鉄−窒素系の化合物の結晶構
造と似ているため、単に支持体に磁性層を形成する場合
よりも、鉄−窒素系化合物の蒸気が付着しやすくなるた
めと考えられる。
【００１０】本発明の磁気記録媒体は、支持体上に形成
された下地層を有するものであるが、かかる下地層は銅
を必須として含む。具体的には、銅、銅化合物、銅合金
等を支持体上に蒸着させて下地層が形成される。銅化合
物としては、CuO 等が挙げられる。また、銅合金として
は、Cu−Al合金、Cu−Ni合金等が挙げられる。下地層の
厚さは50〜500 Åが好ましく、特に 150〜350 Åが好ま
しい。
された下地層を有するものであるが、かかる下地層は銅
を必須として含む。具体的には、銅、銅化合物、銅合金
等を支持体上に蒸着させて下地層が形成される。銅化合
物としては、CuO 等が挙げられる。また、銅合金として
は、Cu−Al合金、Cu−Ni合金等が挙げられる。下地層の
厚さは50〜500 Åが好ましく、特に 150〜350 Åが好ま
しい。
【００１１】本発明において、磁性層は、鉄を蒸着させ
ながら窒素イオンとその他適当なイオンを供給する、い
わゆるイオンアシスト蒸着法により形成される。具体的
には、Feを主体とするFe−N系、Fe−N−O系、Fe−C−N
−O系等の化合物等からなる磁性層が形成される。磁性
層の厚さは通常1500〜2000Å程度である。磁性層を形成
するイオンアシスト蒸着法は従来知られている方法によ
り行なうことができる。
ながら窒素イオンとその他適当なイオンを供給する、い
わゆるイオンアシスト蒸着法により形成される。具体的
には、Feを主体とするFe−N系、Fe−N−O系、Fe−C−N
−O系等の化合物等からなる磁性層が形成される。磁性
層の厚さは通常1500〜2000Å程度である。磁性層を形成
するイオンアシスト蒸着法は従来知られている方法によ
り行なうことができる。
【００１２】また、イオンアシスト蒸着の際のイオン源
となるガスは、窒素ガスを必須とし、酸素ガス、炭酸ガ
ス等が目的とする磁性層の組成に合わせて単独又は併用
して用いられる。その際、イオンの供給割合は、ガスの
種類、成膜速度、電子銃の出力等を考慮して決めればよ
い。
となるガスは、窒素ガスを必須とし、酸素ガス、炭酸ガ
ス等が目的とする磁性層の組成に合わせて単独又は併用
して用いられる。その際、イオンの供給割合は、ガスの
種類、成膜速度、電子銃の出力等を考慮して決めればよ
い。
【００１３】図２に本発明の磁気記録媒体の製造に使用
する斜め蒸着のための真空蒸着装置の一例を示す。図２
において、真空容器21内は、ターボポンプ22とロータリ
ポンプ23とで真空状態が維持されている。前記真空容器
21内には、巻出しロール24と巻取りロール25とが設けら
れ、巻出しロール24から巻出されて巻取りロール25に巻
取られる間で、PET （ポリエチレンテレフタレート）、
ポリイミドあるいはアラミド等で製造される支持体とし
てのフィルム26は、内部に冷却水が流れる平板状の冷却
板27に沿って走行して移動する。前記冷却板27には、冷
却水供給管28から冷却水が供給されて図示しない排水管
から排水されるようになっており、冷却水が外部の冷却
水タンクから循環供給される。また、前記冷却板27の下
方には、MgO 製のルツボ29が置かれ、この中に例えば純
度 99.95％のFeを入れ、このルツボ29内のFe面に対して
斜め上方の電子ビーム銃30から電子ビームを照射する。
これにより、Feを加熱気化させるようになっている。こ
のFeの蒸着の際に、ルツボ29からのFeの蒸気流のフィル
ム26に対する入射角αが所望の範囲になるように冷却板
27の傾斜を設定する。このような斜め蒸着法を採用する
ことにより、磁性層の磁気異方性によって磁気特性が向
上する。更に、フィルム26の蒸着面に対して垂直方向に
イオン銃31を配置し、該イオン銃31にN2とO2の混合ガス
を供給し窒素イオンと酸素イオンを生成して、フィルム
26にFeを蒸着させつつ、その蒸着面に前記窒素イオンと
酸素イオンを照射するようにしている。図中32は、その
フィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板であ
る。
する斜め蒸着のための真空蒸着装置の一例を示す。図２
において、真空容器21内は、ターボポンプ22とロータリ
ポンプ23とで真空状態が維持されている。前記真空容器
21内には、巻出しロール24と巻取りロール25とが設けら
れ、巻出しロール24から巻出されて巻取りロール25に巻
取られる間で、PET （ポリエチレンテレフタレート）、
ポリイミドあるいはアラミド等で製造される支持体とし
てのフィルム26は、内部に冷却水が流れる平板状の冷却
板27に沿って走行して移動する。前記冷却板27には、冷
却水供給管28から冷却水が供給されて図示しない排水管
から排水されるようになっており、冷却水が外部の冷却
水タンクから循環供給される。また、前記冷却板27の下
方には、MgO 製のルツボ29が置かれ、この中に例えば純
度 99.95％のFeを入れ、このルツボ29内のFe面に対して
斜め上方の電子ビーム銃30から電子ビームを照射する。
これにより、Feを加熱気化させるようになっている。こ
のFeの蒸着の際に、ルツボ29からのFeの蒸気流のフィル
ム26に対する入射角αが所望の範囲になるように冷却板
27の傾斜を設定する。このような斜め蒸着法を採用する
ことにより、磁性層の磁気異方性によって磁気特性が向
上する。更に、フィルム26の蒸着面に対して垂直方向に
イオン銃31を配置し、該イオン銃31にN2とO2の混合ガス
を供給し窒素イオンと酸素イオンを生成して、フィルム
26にFeを蒸着させつつ、その蒸着面に前記窒素イオンと
酸素イオンを照射するようにしている。図中32は、その
フィルム６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板であ
る。
【００１４】また、本発明の磁気記録媒体の支持体の材
料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレートのようなポリエステル；ポリエチレン、
ポリプロピレン等のポリオレフィン; セルローストリア
セテート、セルロースジアセテート等のセルロース誘導
体；ポリカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；
芳香族ポリアミド等のプラスチック等が使用される。こ
れらの基材の厚さは３〜50μm 程度である。
料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ンナフタレートのようなポリエステル；ポリエチレン、
ポリプロピレン等のポリオレフィン; セルローストリア
セテート、セルロースジアセテート等のセルロース誘導
体；ポリカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；
芳香族ポリアミド等のプラスチック等が使用される。こ
れらの基材の厚さは３〜50μm 程度である。
【００１５】また、厚さ10〜100 Å程度の保護層、厚さ
２〜50Å程度の潤滑層、更にカーボンブラックを主成分
とする厚さ 0.2〜1.0 μm 程度のバックコート層等を設
けてもよい。これらの層を形成する原料は従来公知のも
のが適宜使用できる。また、バックコート層をアルミニ
ウム等の金属やその合金を蒸着させて形成することもで
きる。
２〜50Å程度の潤滑層、更にカーボンブラックを主成分
とする厚さ 0.2〜1.0 μm 程度のバックコート層等を設
けてもよい。これらの層を形成する原料は従来公知のも
のが適宜使用できる。また、バックコート層をアルミニ
ウム等の金属やその合金を蒸着させて形成することもで
きる。
【００１６】
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。
はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００１７】実施例１ (1) 磁気記録媒体の製造 PET フィルム上に、銅からなる厚さ100 Åの下地層を形
成し、該下地層上に厚さ1600ÅのFe−N−O系の磁性層を
形成し、更にバックコート層及び潤滑層を形成し、磁気
記録媒体を製造した。各層の形成条件等は以下の通りで
ある。 (a) 下地層 図３に示す蒸着装置に厚さ9.3 μｍのPET フィルム26を
装着し、フィルム26をキャンロール41上に走行させる。
走行速度は20ｍ／分であった。そして、酸化マグネシウ
ム製のルツボ42に純度99.9％程度の銅を入れ、出力５kW
で電子銃43を作動させて銅を蒸発させて、PET フィルム
26上に厚さ100 Åの銅下地層を形成した。 (b) 磁性層 次いで図２に示すイオンアシスト斜め蒸着装置に銅下地
層が形成されたPET フィルム26を装着し、フィルム26を
冷却板27上に走行させる。走行速度は１ｍ／分であっ
た。そして、酸化マグネシウム製のルツボ29に純度99.9
5 ％程度の鉄を入れ、出力５kWで電子銃30を作動させて
鉄を蒸発させ、PET フィルム26に鉄粒子を蒸着（入射角
α＝70°）させると共に、窒素ガス及び酸素ガスの混合
ガス（体積混合比＝２：１）をカウフマン型イオン銃31
に供給し、PET フィルム26の鉄蒸着面に向けて窒素イオ
ン及び酸素イオンを照射した。これによりFe−N−O系の
磁性層を形成した。 (c) バックコート層及び潤滑層 次いでPET フィルムの磁性層面とは反対の面に、平均粒
径40nmのカーボンブラックをウレタンプレポリマーと塩
化ビニル系樹脂とのバインダー樹脂中に分散させてなる
バックコート用の塗料をダイコーティング方式により、
乾燥膜厚0.5 μｍとなるように塗布し、乾燥してバック
コート層を形成した。その後パーフルオロポリエーテル
(FOMBLIN Z DOL、モンテカチーニ社製）をフッ素系不活
性液体（フロリナート FC-77、住友スリーエム株式会社
製）に0.05重量％となるように希釈、分散させた塗料を
ダイコーティング方式により、乾燥膜厚が20Åとなるよ
うに磁性層上に塗布し、105 ℃で乾燥させて潤滑層を形
成した。
成し、該下地層上に厚さ1600ÅのFe−N−O系の磁性層を
形成し、更にバックコート層及び潤滑層を形成し、磁気
記録媒体を製造した。各層の形成条件等は以下の通りで
ある。 (a) 下地層 図３に示す蒸着装置に厚さ9.3 μｍのPET フィルム26を
装着し、フィルム26をキャンロール41上に走行させる。
走行速度は20ｍ／分であった。そして、酸化マグネシウ
ム製のルツボ42に純度99.9％程度の銅を入れ、出力５kW
で電子銃43を作動させて銅を蒸発させて、PET フィルム
26上に厚さ100 Åの銅下地層を形成した。 (b) 磁性層 次いで図２に示すイオンアシスト斜め蒸着装置に銅下地
層が形成されたPET フィルム26を装着し、フィルム26を
冷却板27上に走行させる。走行速度は１ｍ／分であっ
た。そして、酸化マグネシウム製のルツボ29に純度99.9
5 ％程度の鉄を入れ、出力５kWで電子銃30を作動させて
鉄を蒸発させ、PET フィルム26に鉄粒子を蒸着（入射角
α＝70°）させると共に、窒素ガス及び酸素ガスの混合
ガス（体積混合比＝２：１）をカウフマン型イオン銃31
に供給し、PET フィルム26の鉄蒸着面に向けて窒素イオ
ン及び酸素イオンを照射した。これによりFe−N−O系の
磁性層を形成した。 (c) バックコート層及び潤滑層 次いでPET フィルムの磁性層面とは反対の面に、平均粒
径40nmのカーボンブラックをウレタンプレポリマーと塩
化ビニル系樹脂とのバインダー樹脂中に分散させてなる
バックコート用の塗料をダイコーティング方式により、
乾燥膜厚0.5 μｍとなるように塗布し、乾燥してバック
コート層を形成した。その後パーフルオロポリエーテル
(FOMBLIN Z DOL、モンテカチーニ社製）をフッ素系不活
性液体（フロリナート FC-77、住友スリーエム株式会社
製）に0.05重量％となるように希釈、分散させた塗料を
ダイコーティング方式により、乾燥膜厚が20Åとなるよ
うに磁性層上に塗布し、105 ℃で乾燥させて潤滑層を形
成した。
【００１８】(2) 磁気記録媒体の性能評価 上記により下地層、磁性層、潤滑層及びバックコート層
が形成されたPET フィルムを８mm幅に裁断し、ハイバン
ド８mmVCR 用カセットにローディングし、８mmビデオカ
セットを製造した。得られた８mmビデオカセットについ
て、以下の方法で、出力及びC/N を測定した。また、成
膜速度も併せて評価した。その結果を表１に示す。 ・出力及びC/N 特性 市販の８mmVTR を改造した装置に発振器からの信号を入
力し、記録ヘッドからテープに記録する。次に記録信号
を再生し、スペクトラムアナライザーを用いて周波数解
析を行なう。この時の記録周波数 fの出力 fout(dBm)と
(f−1)MHz のノイズレベルNo (dBm) との比[fout−No(d
B)] をC/N とする。
が形成されたPET フィルムを８mm幅に裁断し、ハイバン
ド８mmVCR 用カセットにローディングし、８mmビデオカ
セットを製造した。得られた８mmビデオカセットについ
て、以下の方法で、出力及びC/N を測定した。また、成
膜速度も併せて評価した。その結果を表１に示す。 ・出力及びC/N 特性 市販の８mmVTR を改造した装置に発振器からの信号を入
力し、記録ヘッドからテープに記録する。次に記録信号
を再生し、スペクトラムアナライザーを用いて周波数解
析を行なう。この時の記録周波数 fの出力 fout(dBm)と
(f−1)MHz のノイズレベルNo (dBm) との比[fout−No(d
B)] をC/N とする。
【００１９】実施例２ 実施例１における成膜条件を代えて、下地層の厚さが40
0 Åの８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の
評価を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
0 Åの８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の
評価を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
【００２０】比較例１ 実施例１において、下地層を形成せずに磁性層を形成し
て８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の評価
を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
て８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の評価
を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
【００２１】比較例２ 実施例１における成膜条件を代えて、下地層の厚さが30
Åの８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の評
価を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
Åの８mmカセットテープを製造し、実施例１と同様の評
価を行なった。但し走行速度は実施例１とは異なる。
【００２２】比較例３ ープを製造し、実施例１と同様の評価を行なった。但し
走行速度は実施例１とは異なる。
走行速度は実施例１とは異なる。
【００２３】
【表１】
【００２４】注） ＊ 出力、C/N は比較例１を基準（０dB）とした。 ** 成膜速度は比較例１の場合を１とする相対速度であ
る。
る。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、鉄−窒素系の磁性層を
有する蒸着型の磁気記録媒体の品質が向上し、しかも従
来に比べてより高速に製造することができる。
有する蒸着型の磁気記録媒体の品質が向上し、しかも従
来に比べてより高速に製造することができる。
【図１】 本発明の磁気記録媒体の構造を示す略示図
【図２】 本発明の磁気記録媒体を製造する装置の概略
図
図
【図３】 本発明の磁気記録媒体の下地層を形成する装
置の略図
置の略図
１ 支持体 ２ 銅を含む下地層 ３ 鉄及び窒素を含む磁性層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 克己 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 松尾 祐三 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 支持体上に形成された銅を含む下地層
と、該下地層上に形成された鉄及び窒素を含む磁性層と
を有する磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記磁性層がFe−N−O系化合物からなる
請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記磁性層がFexN系化合物からなる請求
項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 前記下地層が銅からなる請求項１〜３の
何れか１項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項５】 前記下地層の厚さが50〜500 Åである請
求項１〜４の何れか１項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項６】 真空雰囲気中で物理蒸着法により支持体
上に銅を含む下地層を形成し、次いでイオンアシスト物
理蒸着法により前記下地層上に鉄及び窒素を含む磁性層
を形成する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17221995A JPH0927110A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17221995A JPH0927110A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0927110A true JPH0927110A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=15937809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17221995A Pending JPH0927110A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0927110A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103046073A (zh) * | 2012-12-20 | 2013-04-17 | 桂林电子科技大学 | 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 |
-
1995
- 1995-07-07 JP JP17221995A patent/JPH0927110A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103046073A (zh) * | 2012-12-20 | 2013-04-17 | 桂林电子科技大学 | 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 |
| CN103046073B (zh) * | 2012-12-20 | 2016-04-06 | 桂林电子科技大学 | 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 |
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