JPS6116643Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6116643Y2 JPS6116643Y2 JP14205181U JP14205181U JPS6116643Y2 JP S6116643 Y2 JPS6116643 Y2 JP S6116643Y2 JP 14205181 U JP14205181 U JP 14205181U JP 14205181 U JP14205181 U JP 14205181U JP S6116643 Y2 JPS6116643 Y2 JP S6116643Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe mount
- hybrid integrated
- integrated circuit
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 40
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はレーザトリマ用プローブマウント保持
機構に関し、特に混成集積回路のレーザトリミン
グを行う際に混成集積回路を構成する部品（たと
えばトランジスタやダイオードなど）の大きさに
よりプローブの上昇及び下降位置を自在に変更す
ることのできるストツパ機構を具備しれレーザト
リマー用プローブマウント保持機構に関する。
機構に関し、特に混成集積回路のレーザトリミン
グを行う際に混成集積回路を構成する部品（たと
えばトランジスタやダイオードなど）の大きさに
よりプローブの上昇及び下降位置を自在に変更す
ることのできるストツパ機構を具備しれレーザト
リマー用プローブマウント保持機構に関する。
混成集積回路や抵抗モジール中の抵抗素子はセ
ラミツク基板などの絶縁物基板上に印刷もしくは
蒸気によつて形成される膜状物体で、通常は数十
ミクロン以下の膜厚である。混成集積回路を構成
する素子にはこの外トランジスタや積層形コンデ
ンサなどのように取付高さが数ミリメートルから
十数ミリメートルの高さになる部品も絶縁物基板
上に取付けられる。また、これらの部品を電気的
に接続させる導体パターンがあり、プローブを接
触させることのできる電極もこの導体パターンの
１部であることが多く、銀パラジユームなどの膜
状導体で、厚さは前述した抵抗体膜とほぼ等しい
厚みを有している。
ラミツク基板などの絶縁物基板上に印刷もしくは
蒸気によつて形成される膜状物体で、通常は数十
ミクロン以下の膜厚である。混成集積回路を構成
する素子にはこの外トランジスタや積層形コンデ
ンサなどのように取付高さが数ミリメートルから
十数ミリメートルの高さになる部品も絶縁物基板
上に取付けられる。また、これらの部品を電気的
に接続させる導体パターンがあり、プローブを接
触させることのできる電極もこの導体パターンの
１部であることが多く、銀パラジユームなどの膜
状導体で、厚さは前述した抵抗体膜とほぼ等しい
厚みを有している。
レーザトリミング装置は、通常Nd：YAGレー
ザ発振器と超音波Ｑスイツチからなるレーザ発振
器部、レーザ光線を任意の混成集積回路上の位置
に移動させるビームポジシヨン部、所望の特性値
を得るための計測器、混成集積回路と計測器の接
触を行うプローブ装置、混成集積回路のハンドリ
ング装置及びこれらをプログラム制御するコンピ
ユータ部などから構成される。
ザ発振器と超音波Ｑスイツチからなるレーザ発振
器部、レーザ光線を任意の混成集積回路上の位置
に移動させるビームポジシヨン部、所望の特性値
を得るための計測器、混成集積回路と計測器の接
触を行うプローブ装置、混成集積回路のハンドリ
ング装置及びこれらをプログラム制御するコンピ
ユータ部などから構成される。
上述したレーザトリミング装置でトリミングを
行う際、先ず混成集積回路とプローブ装置に付属
するプローブを接触させる必要がある。プローブ
の先端は混成集積回路上の電極に適度の針圧をも
つて接触する必要がある。電極と接触した状態で
はプローブの針先は混成集積回路上のトランジス
ターなどの部品より低い位置にある。トリミング
終了後に混成集積回路をハンドリング装置により
移動させるにはトランジスタなどの部品よりやや
高い位置までプローブを持ち上げてから移動する
必要がある。
行う際、先ず混成集積回路とプローブ装置に付属
するプローブを接触させる必要がある。プローブ
の先端は混成集積回路上の電極に適度の針圧をも
つて接触する必要がある。電極と接触した状態で
はプローブの針先は混成集積回路上のトランジス
ターなどの部品より低い位置にある。トリミング
終了後に混成集積回路をハンドリング装置により
移動させるにはトランジスタなどの部品よりやや
高い位置までプローブを持ち上げてから移動する
必要がある。
トリミングの処理能力向上をめざすにはプロー
ブの上昇位置と下降位置間をできるだけ短くする
ことが望ましい。
ブの上昇位置と下降位置間をできるだけ短くする
ことが望ましい。
この考案の目的は混成集積回路の形状に応じプ
ローブ上昇及び下降に要する時間を最小限にとど
めるようにプローブマウント保持機構部の上下停
止位置調節可能なストツパー機構を有するプロー
ブマウント保持機構を提供するものである。
ローブ上昇及び下降に要する時間を最小限にとど
めるようにプローブマウント保持機構部の上下停
止位置調節可能なストツパー機構を有するプロー
ブマウント保持機構を提供するものである。
次にこの考案について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図はプローブ及びプローブマウントの下降
位置と混成集積回路の位置関係を示したものであ
る。第２図は本考案の一実施例を示す。
位置と混成集積回路の位置関係を示したものであ
る。第２図は本考案の一実施例を示す。
混成集積回路は載物台１８の上に搭載（固定）
され、ハンドリング装置によりプローブマウント
１１の下に置かれる。載物台１８の停止位置はプ
ローブ１４が電極１３に接触すべき位置であり、
コンピユータ制御のハンドリング装置により決め
られる。抵抗体１２をレーザトリミングする時は
プローブマウント１１が下降し、プローブ１４が
電極１３に接触し、抵抗値を測定できる状態にす
る。抵抗値調整が終了するとプローブマウント１
１を上昇さて、プローブ１４の先端が部品１５や
１７より高い位置まで来たとき停止させてからハ
ンドリング装置により混成集積回路を載物台１８
と一緒に移動させる。プローブマウント１１の上
昇又は下降の駆動源はパルスモモータ、直流モー
タや圧縮空気などが利用される。本考案の実施例
ではパルスモータ２９を使用している。パルスモ
ータ２９の回転運動を偏芯カムにより上下の直線
運動に変換し、プローブマウント１１を支える部
分がプローブマウント保持機構部である。
され、ハンドリング装置によりプローブマウント
１１の下に置かれる。載物台１８の停止位置はプ
ローブ１４が電極１３に接触すべき位置であり、
コンピユータ制御のハンドリング装置により決め
られる。抵抗体１２をレーザトリミングする時は
プローブマウント１１が下降し、プローブ１４が
電極１３に接触し、抵抗値を測定できる状態にす
る。抵抗値調整が終了するとプローブマウント１
１を上昇さて、プローブ１４の先端が部品１５や
１７より高い位置まで来たとき停止させてからハ
ンドリング装置により混成集積回路を載物台１８
と一緒に移動させる。プローブマウント１１の上
昇又は下降の駆動源はパルスモモータ、直流モー
タや圧縮空気などが利用される。本考案の実施例
ではパルスモータ２９を使用している。パルスモ
ータ２９の回転運動を偏芯カムにより上下の直線
運動に変換し、プローブマウント１１を支える部
分がプローブマウント保持機構部である。
プローブマウント保持機構部の上下動作は高速
にする必要があるため構成部品は極力軽量のもの
を、又摩擦を極力小さくする必要がある。本実施
例では摩擦を小さくするためクロスローラガイド
２８を使用している。１９及び２１は位置検出用
の電子部品でフオトインタラプタと呼ばれるもの
で、しやへい板２２あるいは２７がフオトインタ
ラプターをさえ切つた時に電気信号が得られパル
スモータが停止する。しやへい板２２と２７は常
にプローブマウント１１と同じ上下運動をする。
フオトインタラプター１９としやへい板２７がプ
ローブマウント１１の上昇位置決定用ストツパー
でフオトインタラプタ２１としやへい板２２が下
降位置決定用ストツパーである。
にする必要があるため構成部品は極力軽量のもの
を、又摩擦を極力小さくする必要がある。本実施
例では摩擦を小さくするためクロスローラガイド
２８を使用している。１９及び２１は位置検出用
の電子部品でフオトインタラプタと呼ばれるもの
で、しやへい板２２あるいは２７がフオトインタ
ラプターをさえ切つた時に電気信号が得られパル
スモータが停止する。しやへい板２２と２７は常
にプローブマウント１１と同じ上下運動をする。
フオトインタラプター１９としやへい板２７がプ
ローブマウント１１の上昇位置決定用ストツパー
でフオトインタラプタ２１としやへい板２２が下
降位置決定用ストツパーである。
本実施例ではフオトインタラプター１９及び２
１を固定とし、しやへい板２２及び２７のフオト
インタラプタに対する相対位置を変化させるよう
にしてプローブマウントの上昇及び下降位置を変
えようとするものである。つまみ２３及び２４を
回転するとラツクピニオン式の歯車を通してしや
へい板２２及び２７のフオトインタラプタに対す
る位置が変わり、プローブマウントの上昇位置あ
るいは下降位置を任意の位置に決めることが可能
となる。
１を固定とし、しやへい板２２及び２７のフオト
インタラプタに対する相対位置を変化させるよう
にしてプローブマウントの上昇及び下降位置を変
えようとするものである。つまみ２３及び２４を
回転するとラツクピニオン式の歯車を通してしや
へい板２２及び２７のフオトインタラプタに対す
る位置が変わり、プローブマウントの上昇位置あ
るいは下降位置を任意の位置に決めることが可能
となる。
第１図はプローブ及びプローブマウントの下降
位置と混成集積回路の位置関係を示した側面図、
第２図は本考案の一実施例を示した斜視図であ
る。 図において、１１……プローブ１４を固定する
ためのプローブマウントでプローブマウント保持
機構部に止めネジ１６により固定、１２，１３，
１５，１７……混成集積回路を構成する回路部品
でそれぞれ抵抗体（膜状）、電極（膜状）、ダイオ
ード及びトランジスタ、１８……載物台、１９，
２１……位置検出用のフオトインタラプター、２
２，２７……しやへい板、２０……目盛板でプロ
ーブマウントの上昇あるいは下降位置の目安、２
３，２４……しやへい板２２及び２７を移動する
ためのつまみである。 パルスモータ２９からの回転運動はカム２５と
カムフオロワー２６を通じ上下直線運動に変換さ
れる。２８は直線クロスローラガイドである。
位置と混成集積回路の位置関係を示した側面図、
第２図は本考案の一実施例を示した斜視図であ
る。 図において、１１……プローブ１４を固定する
ためのプローブマウントでプローブマウント保持
機構部に止めネジ１６により固定、１２，１３，
１５，１７……混成集積回路を構成する回路部品
でそれぞれ抵抗体（膜状）、電極（膜状）、ダイオ
ード及びトランジスタ、１８……載物台、１９，
２１……位置検出用のフオトインタラプター、２
２，２７……しやへい板、２０……目盛板でプロ
ーブマウントの上昇あるいは下降位置の目安、２
３，２４……しやへい板２２及び２７を移動する
ためのつまみである。 パルスモータ２９からの回転運動はカム２５と
カムフオロワー２６を通じ上下直線運動に変換さ
れる。２８は直線クロスローラガイドである。
Claims (1)
- 混成集積回路の回路部品をレーザ交線により切
削し、所定の回路特性や回路定数を得ることを目
的としたレーザトリミング装置に使用されるプロ
ーブマウント保持機構において、プローブマウン
トの上昇位置と下降停止位置を自在に可変できる
ストツパー機構を有することを特徴とするレーザ
トリマ用プローブマウント保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14205181U JPS5846408U (ja) | 1981-09-25 | 1981-09-25 | レ−ザトリマ用プロ−ブマウント保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14205181U JPS5846408U (ja) | 1981-09-25 | 1981-09-25 | レ−ザトリマ用プロ−ブマウント保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5846408U JPS5846408U (ja) | 1983-03-29 |
| JPS6116643Y2 true JPS6116643Y2 (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=29935099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14205181U Granted JPS5846408U (ja) | 1981-09-25 | 1981-09-25 | レ−ザトリマ用プロ−ブマウント保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5846408U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7089342B2 (en) | 1993-02-10 | 2006-08-08 | Hitachi, Ltd. | Method enabling display unit to bi-directionally communicate with video source |
-
1981
- 1981-09-25 JP JP14205181U patent/JPS5846408U/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7089342B2 (en) | 1993-02-10 | 2006-08-08 | Hitachi, Ltd. | Method enabling display unit to bi-directionally communicate with video source |
| US7475181B2 (en) | 1993-02-10 | 2009-01-06 | Mondis Technology Ltd. | Display unit with processor and communication controller which communicates information to the processor |
| US7475180B2 (en) | 1993-02-10 | 2009-01-06 | Mondis Technology Ltd. | Display unit with communication controller and memory for storing identification number for identifying display unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5846408U (ja) | 1983-03-29 |
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