JPH0611908B2 - 耐食性被覆複合材料及びその製造方法 - Google Patents
耐食性被覆複合材料及びその製造方法Info
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- JPH0611908B2 JPH0611908B2 JP5812090A JP5812090A JPH0611908B2 JP H0611908 B2 JPH0611908 B2 JP H0611908B2 JP 5812090 A JP5812090 A JP 5812090A JP 5812090 A JP5812090 A JP 5812090A JP H0611908 B2 JPH0611908 B2 JP H0611908B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、耐食性被覆複合材料及びその製造方法に関す
る。
る。
［従来の技術及び課題］ Ｎｉ−Ｔａをベースとしたバルブメタル−鉄属金属のア
モルファス合金は、一般的な耐食性金属材料では腐食が
進行する沸騰濃塩酸又は沸騰濃硝酸のように腐食性の激
しい環境下でも比較的良好な耐食性を有することが特開
昭61-210143号公報に開示されている。
モルファス合金は、一般的な耐食性金属材料では腐食が
進行する沸騰濃塩酸又は沸騰濃硝酸のように腐食性の激
しい環境下でも比較的良好な耐食性を有することが特開
昭61-210143号公報に開示されている。
しかしながら、上述したアモルファス合金は通常、液体
急冷法により造られるため、その手法から薄帯、細線、
粉末等の形状に制約されるため、種々の形状での利用が
考えられる耐食材料としては必ずしも満足するものでは
なかった。
急冷法により造られるため、その手法から薄帯、細線、
粉末等の形状に制約されるため、種々の形状での利用が
考えられる耐食材料としては必ずしも満足するものでは
なかった。
一方、膜形成に再しては基材として通常、耐食性の優れ
た金属が使用されるが、膜自体に僅かなピンホールが存
在したり、微小なクラックが発生したりすると、該ピン
ホール等を通して腐食進行が生じ、特に基材と膜の界面
での腐食が急激に進行するアンダーマイニング現象等を
生じる。膜形成に一般的に採用されているマグネトロン
スパッタ法等では、耐食性を考えた場合、その界面部の
組織が不適当で、耐食性の優れた複合材料の製造するこ
とが困難である。
た金属が使用されるが、膜自体に僅かなピンホールが存
在したり、微小なクラックが発生したりすると、該ピン
ホール等を通して腐食進行が生じ、特に基材と膜の界面
での腐食が急激に進行するアンダーマイニング現象等を
生じる。膜形成に一般的に採用されているマグネトロン
スパッタ法等では、耐食性を考えた場合、その界面部の
組織が不適当で、耐食性の優れた複合材料の製造するこ
とが困難である。
以上の問題点から、より効率的な成膜、高品位の膜質の
確保、耐食性の優れた基材と膜の界面形成等が要望され
ている。
確保、耐食性の優れた基材と膜の界面形成等が要望され
ている。
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたも
ので、過酷な環境下で優れた耐食性を有する窒素含有
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜が被覆
された耐食性被覆複合材料、並びに該窒素含有（鉄属金
属−バルブメタル）アモルファス合金膜を効率よく成膜
し得る耐食性被覆複合材料の製造方法を提供しようとす
るものである。
ので、過酷な環境下で優れた耐食性を有する窒素含有
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜が被覆
された耐食性被覆複合材料、並びに該窒素含有（鉄属金
属−バルブメタル）アモルファス合金膜を効率よく成膜
し得る耐食性被覆複合材料の製造方法を提供しようとす
るものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明に係わる耐食性被覆複合材料は、金属基材の表面
に窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合
金膜を被覆してなるものである。
に窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合
金膜を被覆してなるものである。
上記金属基材は、耐食性の金属であればいかなるもので
よく、例えばＮｉ基合金、Ｔｉ基合金、ＳＵＳ等を用い
ることができる。
よく、例えばＮｉ基合金、Ｔｉ基合金、ＳＵＳ等を用い
ることができる。
上記鉄属金属としては、例えばＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等を挙
げることができる。
げることができる。
上記バルブメタルとしては、例えばＴａ、Ｔｉ、Ｚｒ、
Ｎｂ等を挙げることができ、特にＴａ単独、又はＴａと
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂとを併用することが望ましい。この場
合、Ｔａの含有量を30at％以上にすることが望ましい。
Ｎｂ等を挙げることができ、特にＴａ単独、又はＴａと
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂとを併用することが望ましい。この場
合、Ｔａの含有量を30at％以上にすることが望ましい。
本発明に係わる耐食性被覆複合材料は、以下に示す方法
により製造される。
により製造される。
．金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上の
バルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含有（鉄属
金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆せし
め、耐食性被覆複合材料を製造する。
バルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含有（鉄属
金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆せし
め、耐食性被覆複合材料を製造する。
．金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上の
バルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を行
うイオンビームミキシング法により窒素含有（鉄属金属
−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆せしめ、耐
食性被覆複合材料を製造する。
バルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を行
うイオンビームミキシング法により窒素含有（鉄属金属
−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆せしめ、耐
食性被覆複合材料を製造する。
また、本発明に係わる別の耐食性被覆複合材料は表層に
鉄属金属及びバルブメタル少なくとも一方の金属相が形
成された金属基材表面に窒素含有（鉄属金属−バルブメ
タル）アモルファス合金膜を被覆してなるものである。
鉄属金属及びバルブメタル少なくとも一方の金属相が形
成された金属基材表面に窒素含有（鉄属金属−バルブメ
タル）アモルファス合金膜を被覆してなるものである。
本発明に係わる別の耐食性被覆複合材料は、以下に示す
方法により製造される。
方法により製造される。
．金属基材の表層に鉄属金属及びバルブメタルの少な
くとも一方をイオン注入して金属相を形成した後、該基
材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバルブメタ
ルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含有（鉄属金属−バル
ブメタル）アモルファス合金膜を被覆しせしめて耐食性
被覆複合材料を製造する。
くとも一方をイオン注入して金属相を形成した後、該基
材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバルブメタ
ルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含有（鉄属金属−バル
ブメタル）アモルファス合金膜を被覆しせしめて耐食性
被覆複合材料を製造する。
．金属基材の表層に鉄属金属及びバルブメタルの少な
くとも一方をイオン注入して金属相を形成した後、該基
材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバルブメタ
ルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を行うイオンビ
ームミキシング法により窒素含有（鉄属金属−バルブメ
タル）アモルファス合金膜を被覆せしめて耐食性被覆複
合材料を製造する。
くとも一方をイオン注入して金属相を形成した後、該基
材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバルブメタ
ルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を行うイオンビ
ームミキシング法により窒素含有（鉄属金属−バルブメ
タル）アモルファス合金膜を被覆せしめて耐食性被覆複
合材料を製造する。
上記〜の方法において鉄属金属とバルブメタルの蒸
着手段としては、例えばエレクトロンビームによる蒸着
法、鉄属金属やバルブメタルのターゲットを利用したイ
オンビームスパッタ蒸着法等が採用し得る。スパッタ蒸
着法の場合には、通常、Ａｒイオンビームが利用され
る。但し、窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）アモル
ファス合金膜を形成する関係からスパッタ率が低いが、
窒素イオンビームを利用することも条件によっては得策
である。
着手段としては、例えばエレクトロンビームによる蒸着
法、鉄属金属やバルブメタルのターゲットを利用したイ
オンビームスパッタ蒸着法等が採用し得る。スパッタ蒸
着法の場合には、通常、Ａｒイオンビームが利用され
る。但し、窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）アモル
ファス合金膜を形成する関係からスパッタ率が低いが、
窒素イオンビームを利用することも条件によっては得策
である。
［作用］ 本発明によれば、金属基材の表面に窒素含有（鉄属金属
−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆することに
よって、該アモルファス合金膜の緻密性と高耐食性によ
り過酷な環境下で優れた耐食性を有する複合材料を得る
ことができる。
−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆することに
よって、該アモルファス合金膜の緻密性と高耐食性によ
り過酷な環境下で優れた耐食性を有する複合材料を得る
ことができる。
また、金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上
のバルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着することによっ
て、緻密性と高耐食性の優れた窒素含有（鉄属金属−バ
ルブメタル）アモルファス合金膜を基材上に効率よく形
成でき、ひいては過酷な環境下で優れた耐食性を有する
複合材料を製造できる。
のバルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着することによっ
て、緻密性と高耐食性の優れた窒素含有（鉄属金属−バ
ルブメタル）アモルファス合金膜を基材上に効率よく形
成でき、ひいては過酷な環境下で優れた耐食性を有する
複合材料を製造できる。
更に、金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上
のバルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を
行うイオンビームミキシング法で成膜することによっ
て、イオンビームの加速電圧、電流、照射角度等を変え
ることにより形成される膜のスパッタ率を制御すること
ができ、ミキシングの程度もコントロールし易いため、
耐食性を高めるための膜の緻密化、最適な界面組織の形
成、基材に対する密着性の向上等を達成できる。しか
も、イオンビームとして窒素イオンビームを用いて成膜
することによって、効率よく窒素含有（鉄属金属−バル
ブメタル）アモルファス合金膜を形成できる。即ち、イ
オンビームとしてＡｒイオンを用いることによっても
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜の形成
が可能である。しかしながら、かかる方法では形成され
た膜がＡｒイオンビームによりスパッタされて相対的に
成膜速度が低下する。これに対し、窒素イオンビームを
用いると、Ａｒイオンを用いた時に比べて成膜された膜
がイオンスパッタにより基材表面から離脱する量を少な
くでき、その分成膜速度を速くできる。また、窒素含有
によりアモルファス化が進行するため、Ａｒイオンビー
ムの照射のようにＡｒの膜中への残留等を考慮する必要
がなく、容易に窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）ア
モルファス合金膜の形成できる。
のバルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を
行うイオンビームミキシング法で成膜することによっ
て、イオンビームの加速電圧、電流、照射角度等を変え
ることにより形成される膜のスパッタ率を制御すること
ができ、ミキシングの程度もコントロールし易いため、
耐食性を高めるための膜の緻密化、最適な界面組織の形
成、基材に対する密着性の向上等を達成できる。しか
も、イオンビームとして窒素イオンビームを用いて成膜
することによって、効率よく窒素含有（鉄属金属−バル
ブメタル）アモルファス合金膜を形成できる。即ち、イ
オンビームとしてＡｒイオンを用いることによっても
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜の形成
が可能である。しかしながら、かかる方法では形成され
た膜がＡｒイオンビームによりスパッタされて相対的に
成膜速度が低下する。これに対し、窒素イオンビームを
用いると、Ａｒイオンを用いた時に比べて成膜された膜
がイオンスパッタにより基材表面から離脱する量を少な
くでき、その分成膜速度を速くできる。また、窒素含有
によりアモルファス化が進行するため、Ａｒイオンビー
ムの照射のようにＡｒの膜中への残留等を考慮する必要
がなく、容易に窒素含有（鉄属金属−バルブメタル）ア
モルファス合金膜の形成できる。
一方、複合材料の基材としては耐食性の金属であるＮｉ
基合金、Ｔｉ基合金、ＳＵＳ材等が用いられる。これら
の材料からなる基材が組成的に成膜される組成成分を含
有しないか、含有量が少ない場合には該基材の表層に鉄
属金属及びバルブメタル少なくとも一方の金属相を形成
することによって、基材と窒素含有（鉄属金属−バルブ
メタル）アモルファス合金膜との成分の連続性が得ら
れ、基材に対する該アモルファス合金膜の密着性を向上
できると共に、それらの界面での耐食性を向上できる。
その結果、アモルファス合金膜に極少量のピンホールや
微小なクラック等が発生し、孔食反応の進行が心配され
るような条件下でも表層に形成された前記金属相による
界面組織の改質により、優れた耐食性を有する複合材料
を得ることができる。
基合金、Ｔｉ基合金、ＳＵＳ材等が用いられる。これら
の材料からなる基材が組成的に成膜される組成成分を含
有しないか、含有量が少ない場合には該基材の表層に鉄
属金属及びバルブメタル少なくとも一方の金属相を形成
することによって、基材と窒素含有（鉄属金属−バルブ
メタル）アモルファス合金膜との成分の連続性が得ら
れ、基材に対する該アモルファス合金膜の密着性を向上
できると共に、それらの界面での耐食性を向上できる。
その結果、アモルファス合金膜に極少量のピンホールや
微小なクラック等が発生し、孔食反応の進行が心配され
るような条件下でも表層に形成された前記金属相による
界面組織の改質により、優れた耐食性を有する複合材料
を得ることができる。
上記基材表層への金属相の形成は、鉄属金属及びバルブ
メタルの少なくとも一方のイオン注入方法で行なう。か
かるイオン注入方法は、前記金属相の濃度、分布等を任
意にコントロールすることが可能で、深さ方向への金属
相の傾斜構造形成も可能である。なお、基材の表層に形
成される金属層相は、アモルファス相であることが好ま
しいが、結晶質であっても効果が大きく、また窒素が含
有されていてもよい。従って、鉄属金属及びバルブメタ
ルの少なくとも一方のイオン注入後に既述した１種以上
の鉄属金属及び１種以上のバルブメタルの窒素雰囲気中
で蒸着やイオンミキシング法により窒素含有（鉄属金属
−バルブメタル）アモルファス合金膜を形成することに
よって、該アモルファス合金膜に極少量のピンホールや
微小なクラック等が発生し、孔食反応の進行が心配され
るような条件下でも表層に形成された金属相による界面
組織の改質により、優れた耐食性を有する複合材料を製
造できる。特に、鉄属金属及びバルブメタルの少なくと
も一方のイオン注入とイオンミキシング法による窒素含
有（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜の形
成との組み合わせにより密着性が優れ、より優れた耐食
性を有する複合材料を得ることができる。
メタルの少なくとも一方のイオン注入方法で行なう。か
かるイオン注入方法は、前記金属相の濃度、分布等を任
意にコントロールすることが可能で、深さ方向への金属
相の傾斜構造形成も可能である。なお、基材の表層に形
成される金属層相は、アモルファス相であることが好ま
しいが、結晶質であっても効果が大きく、また窒素が含
有されていてもよい。従って、鉄属金属及びバルブメタ
ルの少なくとも一方のイオン注入後に既述した１種以上
の鉄属金属及び１種以上のバルブメタルの窒素雰囲気中
で蒸着やイオンミキシング法により窒素含有（鉄属金属
−バルブメタル）アモルファス合金膜を形成することに
よって、該アモルファス合金膜に極少量のピンホールや
微小なクラック等が発生し、孔食反応の進行が心配され
るような条件下でも表層に形成された金属相による界面
組織の改質により、優れた耐食性を有する複合材料を製
造できる。特に、鉄属金属及びバルブメタルの少なくと
も一方のイオン注入とイオンミキシング法による窒素含
有（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜の形
成との組み合わせにより密着性が優れ、より優れた耐食
性を有する複合材料を得ることができる。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
実施例１〜３ まず、基材としての30×30×２mmの寸法の純鉄（ＳＰＨ
Ｃ）板を用意し、この片面を鏡面研磨し、超音波洗浄を
施し、乾燥したた後、イオン照射と蒸着機能を備えた真
空チャンバ内のホルダ上に設置した。つづいて、このチ
ャンバ内を５×10-6torrに真空引きした後、イオン源か
らＡｒイオンを加速電圧５ｋＶの条件で純鉄板の鏡面に
５分間照射して表面清浄化のための前処理を施した。
Ｃ）板を用意し、この片面を鏡面研磨し、超音波洗浄を
施し、乾燥したた後、イオン照射と蒸着機能を備えた真
空チャンバ内のホルダ上に設置した。つづいて、このチ
ャンバ内を５×10-6torrに真空引きした後、イオン源か
らＡｒイオンを加速電圧５ｋＶの条件で純鉄板の鏡面に
５分間照射して表面清浄化のための前処理を施した。
次いで、トリプルハース方式の電子ビーム蒸着法でＮ
ｉ、Ｔａ及びＮｂの金属をＮｉ−40at％Ｔａ、Ｎｉ−40
at％Ｎｂ及びＮｉ−20at％Ｎｂ−20at％Ｔａの組成にそ
れぞれなるように蒸着すると同時に、イオン源から窒素
イオンを引きだし、加速電圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡ
の条件でイオン照射してイオンビームミキシングを行な
うことにより各純鉄板に厚さ３μｍの３種の合金膜をそ
れぞれ形成して複合材料を製造した。
ｉ、Ｔａ及びＮｂの金属をＮｉ−40at％Ｔａ、Ｎｉ−40
at％Ｎｂ及びＮｉ−20at％Ｎｂ−20at％Ｔａの組成にそ
れぞれなるように蒸着すると同時に、イオン源から窒素
イオンを引きだし、加速電圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡ
の条件でイオン照射してイオンビームミキシングを行な
うことにより各純鉄板に厚さ３μｍの３種の合金膜をそ
れぞれ形成して複合材料を製造した。
実施例４ 実施例１と同様に純鉄板を前処理した後、１×10-4torr
の窒素雰囲気中でダブルハース方式の電子ビーム蒸着法
でＮｉ、Ｔａの金属を蒸着して純鉄板に厚さ３μｍの窒
素を含むＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材料を
製造した。
の窒素雰囲気中でダブルハース方式の電子ビーム蒸着法
でＮｉ、Ｔａの金属を蒸着して純鉄板に厚さ３μｍの窒
素を含むＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材料を
製造した。
比較例１ 実施例１と同様に純鉄板を前処理した後、ダブルハース
方式の電子ビーム蒸着法でＮｉ、Ｔａの金属をに蒸着す
ると同時に、イオン源からＡｒイオンを引き出し加速電
圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡの条件でイオン照射して純
鉄板に厚さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して
複合材料を製造した。
方式の電子ビーム蒸着法でＮｉ、Ｔａの金属をに蒸着す
ると同時に、イオン源からＡｒイオンを引き出し加速電
圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡの条件でイオン照射して純
鉄板に厚さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して
複合材料を製造した。
比較例２ 実施例１と同様に純鉄板を前処理した後、ホルダ上の純
鉄板を750℃に加熱した状態にてダブルハース方式の電
子ビーム蒸着法でＮｉ、Ｔａの金属をに蒸着すると同時
に、イオン源から窒素イオンを引き出し加速電圧20ｋ
Ｖ、イオン電流16ｍＡの条件でイオン照射して純鉄板に
厚さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材
料を製造した。
鉄板を750℃に加熱した状態にてダブルハース方式の電
子ビーム蒸着法でＮｉ、Ｔａの金属をに蒸着すると同時
に、イオン源から窒素イオンを引き出し加速電圧20ｋ
Ｖ、イオン電流16ｍＡの条件でイオン照射して純鉄板に
厚さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材
料を製造した。
本実施例１〜４及び比較例１、２の合金膜をＸ線回折等
でその結晶質を判定したところ、実施例１〜４、比較例
１の合金膜はいずれもアモルファスであったが、比較例
２の合金膜は結晶質であることが確認された。
でその結晶質を判定したところ、実施例１〜４、比較例
１の合金膜はいずれもアモルファスであったが、比較例
２の合金膜は結晶質であることが確認された。
また、本実施例１〜４及び比較例１、２の複合材料につ
いてフェロキシル試験（ピンホール試験JIS H8663の有
孔度試験；斑点率cm-2）を行った。
いてフェロキシル試験（ピンホール試験JIS H8663の有
孔度試験；斑点率cm-2）を行った。
その結果を下記第１表に示した。
実施例５〜20 実施例１と同様な前処理を施した30×30×２mmの寸法の
耐食性合金（SUS304L、Ｔｉ合金、ハステロイ）の基材
に下記第２表に示す条件で厚さ３μｍのアモルファス合
金膜を形成して16種の複合材料を製造した。なお、同第
２表中の蒸着条件＊１のスパッタ蒸着は加速電圧3ｋ
Ｖ、イオン電流1.5ＡのＡｒイオンをターゲットに照射
することによって行った。また、同第２表中の成分組成
＊２はTa-20at％Zr-10at％Ni-5at％Fe-(N)、成分組成
＊３はTa-25at％Ti-5at％Ni-5at％Fe-(N)、成分組成＊
４はTa-10at％Nb-5at％Ti-5at％Zr-10at％Ni-5at％Co-
(N)、である。
耐食性合金（SUS304L、Ｔｉ合金、ハステロイ）の基材
に下記第２表に示す条件で厚さ３μｍのアモルファス合
金膜を形成して16種の複合材料を製造した。なお、同第
２表中の蒸着条件＊１のスパッタ蒸着は加速電圧3ｋ
Ｖ、イオン電流1.5ＡのＡｒイオンをターゲットに照射
することによって行った。また、同第２表中の成分組成
＊２はTa-20at％Zr-10at％Ni-5at％Fe-(N)、成分組成
＊３はTa-25at％Ti-5at％Ni-5at％Fe-(N)、成分組成＊
４はTa-10at％Nb-5at％Ti-5at％Zr-10at％Ni-5at％Co-
(N)、である。
比較例３ 実施例１と同様な前処理を施した30×30×２mmの寸法の
SUS304L板にダブルハース方式の電子ビーム蒸着でＮ
ｉ、ＴａをＴａ−40at％Ｎｉの組成となるように蒸着す
ると同時にイオン源からＡｒイオンビームを引き出し、
加速電圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡで照射し、イオンビ
ームミキシング蒸着を行なうことにより前記SUS304L板
に厚さ３μｍのアモルファス合金膜を形成して複合材料
を製造した。
SUS304L板にダブルハース方式の電子ビーム蒸着でＮ
ｉ、ＴａをＴａ−40at％Ｎｉの組成となるように蒸着す
ると同時にイオン源からＡｒイオンビームを引き出し、
加速電圧20ｋＶ、イオン電流16ｍＡで照射し、イオンビ
ームミキシング蒸着を行なうことにより前記SUS304L板
に厚さ３μｍのアモルファス合金膜を形成して複合材料
を製造した。
比較例４ 実施例１と同様な前処理を施した30×30×２mmの寸法の
SUS304L板に市販のマグネトロンスパッタ装置により厚
さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材料
を製造した。この合金膜をＸ線及び電子線回析測定を行
ったところ、極微細な結晶の集合であることが確認され
た。
SUS304L板に市販のマグネトロンスパッタ装置により厚
さ３μｍのＮｉ−40at％Ｔａ合金膜を形成して複合材料
を製造した。この合金膜をＸ線及び電子線回析測定を行
ったところ、極微細な結晶の集合であることが確認され
た。
比較例５ 実施例１と同様な前処理を施した30×30×２mmの寸法の
SUS304L板に市販のマグネトロンスパッタ装置により厚
さ３μｍのＴａ−15at％Ｎｉ合金膜を形成して複合材料
を製造した。この合金膜をＸ線及び電子線回析測定を行
ったところ、合金微結晶とアモルファス相との混合相で
あることが確認された。
SUS304L板に市販のマグネトロンスパッタ装置により厚
さ３μｍのＴａ−15at％Ｎｉ合金膜を形成して複合材料
を製造した。この合金膜をＸ線及び電子線回析測定を行
ったところ、合金微結晶とアモルファス相との混合相で
あることが確認された。
比較例６ アルゴンアーク溶解法により調製したＴａ−15at％Ｎｉ
の組成の溶解合金をアルゴン雰囲気中で単ロール法を用
いて急冷凝固させて厚さ0.05mmの合金薄膜を製造した。
この合金薄膜をＸ線回析測定を行ったところ、結晶質で
あることが確認された。
の組成の溶解合金をアルゴン雰囲気中で単ロール法を用
いて急冷凝固させて厚さ0.05mmの合金薄膜を製造した。
この合金薄膜をＸ線回析測定を行ったところ、結晶質で
あることが確認された。
しかして、本実施例５〜20の複合材料及び比較例３〜６
の複合材料や合金薄膜を沸騰した。８規定の硝酸と0.2
ｇ／のＣｒ6+の溶液中に浸漬して腐蝕試験を行った。
その結果を実施例５〜20については同第２表に併記し、
比較例３〜６の複合材料や合金薄膜につては下記第３表
に示した。
の複合材料や合金薄膜を沸騰した。８規定の硝酸と0.2
ｇ／のＣｒ6+の溶液中に浸漬して腐蝕試験を行った。
その結果を実施例５〜20については同第２表に併記し、
比較例３〜６の複合材料や合金薄膜につては下記第３表
に示した。
［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば緻密な窒素含有（鉄
属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を基材に対
して密着性よく被覆され、過酷な腐蝕性環境下でも優れ
た耐食性を有し、かつ形状的な制約を受けない汎用性の
高い耐食性被覆複合材料、並びにかかる耐食性被覆複合
材料を簡単に製造し得る方法を提供できる。
属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を基材に対
して密着性よく被覆され、過酷な腐蝕性環境下でも優れ
た耐食性を有し、かつ形状的な制約を受けない汎用性の
高い耐食性被覆複合材料、並びにかかる耐食性被覆複合
材料を簡単に製造し得る方法を提供できる。
Claims (6)
- 【請求項１】金属基材の表面に窒素含有（鉄属金属−バ
ルブメタル）アモルファス合金膜を被覆してなる耐食性
被覆複合材料。 - 【請求項２】金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１
種以上のバルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含
有（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被
覆せしめることを特徴とする請求項１記載の耐食性被覆
複合材料の製造方法。 - 【請求項３】金属基材表面に１種以上の鉄属金属及び１
種以上のバルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン
照射を行うイオンビームミキシング法により窒素含有
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆
せしめることを特徴とする請求項１記載の耐食性被覆複
合材料の製造方法。 - 【請求項４】表層に鉄属金属及びバルブメタルの少なく
とも一方の金属相が形成された金属基材表面に窒素含有
（鉄属金属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆
してなる耐食性被覆複合材料。 - 【請求項５】金属基材の表層に鉄属金属及びバルブメタ
ルの少なくとも一方をイオン注入して金属相を形成した
後、該基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバ
ルブメタルを窒素雰囲気中で蒸着して窒素含有（鉄属金
属−バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆しせしめ
ることを特徴とする請求項４記載の耐食性被覆複合材料
の製造方法。 - 【請求項６】金属基材の表層に鉄属金属及びバルブメタ
ルの少なくとも一方をイオン注入して金属相を形成した
後、該基材表面に１種以上の鉄属金属及び１種以上のバ
ルブメタルを蒸着せしめと同時に窒素イオン照射を行う
イオンビームミキシング法により窒素含有（鉄属金属−
バルブメタル）アモルファス合金膜を被覆せしめること
を特徴とする請求項４記載の耐食性被覆複合材料の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5812090A JPH0611908B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 耐食性被覆複合材料及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5812090A JPH0611908B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 耐食性被覆複合材料及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03260058A JPH03260058A (ja) | 1991-11-20 |
| JPH0611908B2 true JPH0611908B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=13075117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5812090A Expired - Lifetime JPH0611908B2 (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 耐食性被覆複合材料及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611908B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2342438B (en) * | 1998-10-07 | 2003-01-15 | Daewoo Electronics Co Ltd | Front panel assembly for microwave oven and method for assembling the same |
-
1990
- 1990-03-12 JP JP5812090A patent/JPH0611908B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03260058A (ja) | 1991-11-20 |
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