JPH0612785B2 - パッケージ - Google Patents

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JPH0612785B2
JPH0612785B2 JP63169972A JP16997288A JPH0612785B2 JP H0612785 B2 JPH0612785 B2 JP H0612785B2 JP 63169972 A JP63169972 A JP 63169972A JP 16997288 A JP16997288 A JP 16997288A JP H0612785 B2 JPH0612785 B2 JP H0612785B2
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lip
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパッケージに関し、一層詳細には、半導体ウエ
ハ等を保管し、また、運搬するのに適したパッケージに
関する。
［発明の背景］ 従来技術に係るパッケージは、通常、第１図示すウエハ
の配列方向端部側から開成するように構成されている。
このように、端部側から開成することは端部側にあるウ
エハ圧縮力や引張力を作用する原因となり、しばしば、
上蓋が１あるいはそれ以上のウエハの面に対して摺接
し、これらを破損してしまう結果となる。さらに、従来
技術に係る大部分のパッケージは両端側から開け、側面
側から開成するものではないため、最端部にあるウエハ
を保持する歯部に対し弾性的な引張力を与え、ウエハに
張力が作用してしまう。
［発明の目的］ 本発明は従来技術に係るこれらの欠点を側面側から開け
るパッケージを提供することによって克服するものであ
る。
本発明の一般的な目的は、パッケージの両側部から開成
することが出来、例えば、半導体ウエハあるいはこれと
同様なものに対する弾性による張力を開放することが可
能なウエハ用パッケージを提供するにある。
さらに、本発明の目的は、半導体ウエハの保管または運
搬に適したウエハ用パッケージを提供することにある。
また、本発明の別の目的は。両側面から解錠して後、開
成することの出来る半導体ウエハの保管または運搬に適
したウエハ用パッケージを提供することにある。
さらに、本発明のまた別の目的は、さまざまなサイズの
ウエハ、すなわち、４インチ、６インチ、５インチ、３
インチ、８インチ等のウエハを収納可能なパッケージを
提供することにある。
さらにまた、本発明の目的は、半導体あるいは薄膜状の
プレートを担持する各種キャリアにも適用可能なパッケ
ージを提供することにある。
［目的を達成するための手段］ 前記の目的を達成するために、本発明は、本体部と、上
蓋部と、前記本体部に収納されると共に前記上蓋部が係
合するウエハキャリアとからなるパッケージであって、 前記本体部は、底面部と、前記底面部に一体的に形成さ
れた四つの側面部と、前記側面部から鉛直方向上方へと
延在する本体リップ部と、前記本体リップ部に連設され
且つ互いに対向するように二つの前記側面部に設けられ
るラッチ部と、前記ラッチ部の下方に設けられたグリッ
プリセスと、前記グリップリセスのさらに下方に設けら
れたハンドルリセスとを有し、前記底面部には前記ウエ
ハキャリアを保持する溝部と、積層される他のパッケー
ジの上蓋部と係合するための陥没凹部が形成され、 前記上蓋部は頂部と、前記頂部に一体的に形成された四
つの側面部と、前記側面部から鉛直方向下方へと延在す
る上蓋リップ部と、前記頂部の内側表面から突出形成さ
れた弾性力を有するウエハコンタクターと、前記上蓋リ
ップ部に連設され且つ互いに対向するように二つの前記
側面部に設けられるフック部とを含み、前記頂部は積層
される他のパッケージの底面部に設けられた陥没凹部と
嵌合するために膨出形成された位置決め部を有し、 前記本体部の底面部に形成された溝部に複数のウエハを
収装したウエハキャリアを係合させて位置決めし、次い
で上蓋部のリップ部と本体部のリップ部とあ係合する際
に、上蓋部のリップ部に連設されているフック部と本体
部のリップ部に連設されているラッチ部とを夫々係合さ
せて前記上蓋部と本体部とを一体化すると共に前記上蓋
部のウエハコンタクターを弾性的にウエハキャリアのウ
エハに押圧させることにより前記ウエハキャリアを上蓋
部と本体部とにより固定し、前記ハンドルリセスからハ
ンドルを把持することにより該パッケージは搬送可能で
あり、一方、前記グリップリセスを介してフック部をラ
ッチ部から離脱させて前記上蓋部を本体部から離脱させ
ることを特徴とする。
また、本発明では、前記本体部のリップ部と上蓋部のリ
ップ部とが、該本体部と上蓋部とが係合した時、互いに
平滑なテープシール用平面を形成することを特徴とす
る。
また、本発明では、前記上蓋部にウエハコンタクターが
所定間隔離間して二列配設され、夫々のウエハコンタク
ターは一組の可撓性部材と、前記可撓性部材の間に配設
される薄板とからなることを特徴とする。
さらに、本発明は、一つのウエハコンタクターを形成す
る可撓性部材がその端部において互いに約90゜傾斜する
斜面を有することを特徴とする。
さらにまた、本発明は、上蓋歩にウエハキャリアに収装
されたウエハを確認するための覗き窓が設けられている
ことを特徴とする。
またさらに、本発明は、上蓋歩の頂部隅角部にその長手
方向に沿って補強用のエッジが設けられていることを特
徴とする。
［実施態様］ 第１図は本発明に係るパッケージ10の斜視図であり、こ
のパッケージ10はウエハキャリアに担持されるシリコン
ウエハを保管または搬送するのに用いられるものであ
る。当該パッケージ10は本体部12と上蓋部14とを含み、
その上蓋部14は前記本体部12に対して嵌合する。本体部
12の内部にはウエハキャリア16が収納可能であり、その
状態は第２図に示されている。
本体部12は側面部18、20、22および24と、これら側面部
18、20、22および24から連続しシールを巻回するのに適
し且つ夫々の間が丸みを有する角部を形成している平坦
面26a乃至26ｄを含む垂直部26と、第11図に示す補強部
材28a、30aが設けられたハンドル28、30と、側面部18に
おいてハンドル28の下方に位置するハンドルリセス32お
よび当該側面部18と対向する側面部22においてハンドル
30の下方に位置するハンドリセス34とを含む（第11図並
びに第13図参照）。
第２図および第９図に示すように、Ｕ字型のリップ部36
および38が垂直部26の平坦面26ａ乃至26ｄの上端縁に設
けられ、このＵ字型のリップ部36、38は対欧する上蓋部
14のリップ部と嵌合する。これについては後ほど詳細に
説明する。
第２図および第９図に示すように、本体部12にあって、
ラッチ側板40、42と該ラッチ側板40、42の下方に位置し
互いに内側への膨出したラッチ部41、43はＵ字型のリッ
プ部36と38の端部の間に設けられる。また、上蓋部14の
フック部を受容するためのグリップリセス44が平坦面26
ａにおいて前記ラッチ側板40の下方で且つハンドル28の
上方に画成されている。同様に、グリップリセス46が平
坦面26ｃにおいて、前記ラッチ側板42の下方で且つハン
ドル30の上方に画成されている。前記フック部について
は後述する。
グリップリセス44および46まはた前記上蓋部14のフック
部とラッチ部41とを分離する際に指を挿入し易いように
設計されている。一方、第９図並びに第11図において、
平坦な底部35は側面部18、20、22および24の夫々の下端
部の間に位置し、上蓋部14へと向いた長方形の陥没中央
部66を含む。
次に、上蓋部14の外側面は側面部48、50、52および54
と、本体部12のリップ部36および38に係合するＵ字形状
のリップ部55、56と、シールのためのテーピング用の平
坦面57ａ乃至57ｄおよびその四隅の丸みを帯びた角部を
有する垂直部57とを含む。この場合、本体部12の垂直部
26と上蓋部14の垂直部57が両者が一体化した際、同一平
面を形成するように厚みが選択されている。
係合板58は平坦面57ａの一部分としてＵ字型リップ部55
と56の端部の間に位置し、同様に対応する係合板60が平
坦面57ｃの一部分としてＵ字型のリップ部55と56の端部
の間に位置する。これらは、第３図に示されている。
また。上端部14は平坦な頂部62と隆起するように突出形
成された位置決め部64を含み、この位置決め部64は、第
13図に示すように、パッケージ10を構成する本体部12の
底部35に設けた陥没中央部66に対応した位置に設けられ
ており、当該パッケージ10を積み重ねた際に前記対応す
る没陥中央部66と共働してパッケージ若しくはそれと同
様なものと一致して重合可能である。また、薄い長方形
状の覗き窓68および70が前記位置決め部64に平行に隣接
して設けられている。この場合、パッケージ10は種々に
プラスチック、例えば、着色されたプラスチック、不透
明あるいは透明なプラスチックから射出生計されるもの
である。不透明まるいは透明なプラスチックが用いられ
る場合、長方形の窓68、70は当該パッケージ10の中身の
視認用窓として利用される。また、薄い長方形の窓68お
よび70に平坦且つ平坦な頂部62と側面部52、54の夫々の
間の角部には形状を保持すべく当該上蓋部14を補強する
ための凹んだ補強用エッジ72、74が形成されている。
第２図は当該パッケージ10を構成する本体部12内部にウ
エハキャリア16が収納されている状態を示す斜視図であ
り、この場合、第２図に示される参照符号は前述した構
成要素と同一の構成要素を示す。この第２図では、特
に、グリップリセス44の上部においてＵ字型のリップ部
36、38の端部の間に設けられるラッチ側板40の位置が示
されている。
第３図は上蓋部14の内部を示す斜視図である。フック部
76は係合板58の内側面に設けられている。前記フック部
76は補強部材としての三角形の夾片80ａ乃至80ｎが形成
された長手方向に延在する係合爪78を含む。前記係合板
58と対向する係合板60の内側面にも同様な構成要素から
なるフック部82が対称的に設けられている。フック部76
と82は係合板58、60自体の弾性的な性質を利用して本体
12の夫々ラッチ部41、43の下側に噛み合い、上蓋部14を
本体部12に対して強固に一体化させパッケージ10を形成
する。
可撓性の柔軟なウエハコンタクター84ａ乃至84ｎの列が
位置決め部64に隣接する平坦な頂部62の裏面から垂直に
立設される。第５図にも同様にウエハコンタクター84ａ
乃至84ｎの列が示されており、さらに、この場合、ウエ
ハコンタクター86ａ乃至86ｎが前記ウエハコンタクター
84ａ乃至84ｎの夫々に平行に上蓋部14の底部裏面から垂
直に立設されている構成が示されている。
第４図は当該パッケージ10を構成する上蓋部14の平面図
であり、この場合、参照符号は前述した構成要素に対応
している。長方形の窓68と70は細長い形状を呈し、当該
パッケージ10の材質に用いられる高分子材料に基づいて
透明、半透明または不透明に選択される。長方形の窓68
と70は当該パッケージ10の中身を視認するための覗き窓
として用いられ、その時は透明な材質から構成されるこ
とは謂うまでもない。
第５図は上蓋部14の内側底部を示す図であり、前述した
構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号が付され
ている。この場合、その材質としては透明なプラスチッ
クが用いられている。収納されるウエハの数を確認する
ための数値が付されたスケール94と96が長方形の窓68と
70の表面に描出されている。ウエハコンタクター84ａ乃
至84ｎと86ａ乃至86ｎの夫々の列は配置決め部64に隣接
して設けられる。これらウエハコンタクター84ａ乃至84
ｎおよび86ａ乃至86ｎの詳細については第６図、７図お
よび第８図に詳細に示す。
第６図はウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃
至86ｎを上方から見た拡大平面図である。同図におい
て、当該ウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃
至86ｎの外形はその基端の平坦な頂部62の裏面に向かっ
て次第に太くなっていくことが諒解されよう。
第７図はウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃
至86ｎの側面の典型的な例を示す図である。夫々のウエ
ハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃至86ｎは２つ
の可撓性部材100および102を含み、これら可撓性部材10
0および102は平坦な頂部62の裏面から垂直に延在し、こ
れらの間には薄板104が介装される。実質的に90゜の角
度をなすＶアングル106がウエハとの好適な接触状態を
確保するために薄板104の先端部107に形成される。この
Ｖアングル106においては、先端部107から連続する傾斜
面108、110が当該可撓性部材100および102の傾斜した表
面まで延在するように形成される。
第８図はウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃
至86ｎの第７図におけるVIII−VIII線断面図を示す。こ
の場合、ウエハコンタクター86ａ乃至86ｎの夫々の基端
から先端部に向かって断面形状が細くなっているのが明
瞭に示されている。これによって、当該Ｖアングル106
近辺におけるウエハコンタクター84ａ乃至84ｎ、86ａ乃
至86ｎの最大限の可撓性を確保しているのである。
第９図は当該パッケージ10を構成する本体部12の底面を
示す図である。当該本体部12の底部35には上蓋部14に設
けた位置決め部64に対応してその形状が長方形の窪みよ
りなる陥没中央部66が画成されている。この場合、支持
膨出部88および90が陥没中央部66とハンドルリセス32、
34を画成する側壁部32ａ、34ａの間に設けられ、ハンド
ルリセス32、34および陥没中央部66を補強している。
第10図は当該パッケージ10において、本体部12と上蓋部
14が嵌合する前の状態を示す断面図である。この場合、
断面は第１図におけるＸ−Ｘ線に沿って示されており、
対応する参照符号は前述した構成要素と同一の構成要素
を示す。
第11図は当該パッケージ10の断面図を示し、本体部12と
上蓋部14が互いに嵌合し合う前の状態を第１図における
XI−XI線に沿った断面図で示す。第９図におけるXIａ−
XIａ線に沿った断面は同様の断面に抽出される。
本発明に係るパッケージは基本的には以上のように構成
されるものであり、次にその作用並びに効果について説
明する。
第12図および第13図は本体部12内に装着されたウエハキ
ャリア16に複数のウエハ92ａ乃至92ｎが位置決めされ、
さらに、この本体部12に対して上蓋部14が嵌合した状態
を好適に示す図である。
第12図は第10図とは異なり、本体部12と上蓋部14が互い
に嵌合し合った時の断面図であり、特に、上蓋部14に設
けたフック部82が本体部12側のラッチ部43と係合し合っ
ている状態が示されている。
第13図は第11図に示した本体部12と上蓋部14の位置から
これらが互いに嵌合し合った状態の断面を示す図であ
る。フック部76、82は図に示すようにラッチ部41、43の
夫々に摩擦的に係合する。この時、ウエハキャリア16と
複数のウエハ92ａ乃至92ｎが、図示するように、当該パ
ッケージ10を構成する本体部12と上蓋部14内に収納保持
されることになる。すなわち、ウエハコンタクター84ａ
乃至84ｎおよび86ａ乃至86ｎの夫々はウエハ92ａ乃至92
ｎの夫々の周縁における所定の部位を軽く押圧し、当該
ウエハ92ａ乃至92ｎの夫々をウエハキャリア16に対して
着座させている。この結果、当該ウエハキャリア16にお
ける夫々のウエハ92ａ乃至92ｎの変位を最小限に抑制し
ている。さに、ウエハ92ａ乃至92ｎに対するウエハコン
タクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃至86ｎからの押圧力
は当該ウエハ92ａ乃至92ｎに介してウエハキャリア16に
伝わり、これによって、当該ウエハキャリア16は当該パ
ッケージ10の本体部12に固定される。
これらの図から、当該パッケージ10において上蓋部14と
本体部12との係合状態並びにウエハ92ａ乃至92ｎとウエ
ハキャリア16とが組み合う関係が諒解されよう。この場
合、特に、当該ウエハ92ａ乃至92ｎは、ウエハキャリア
16を構成する鉛直方向に延在す部材であり且つウエハの
夫々を互いに隔てる部材としての複数の分割歯17ａ乃至
17ｎの間に嵌挿され、この結果、夫々のウエハ92ａ乃至
92ｎがこれら分割歯17ａ乃至17ｎによって変位を規制さ
れている（第12図参照）。
ウエハキャリア16はウエハ92ａ乃至92ｎがセットされた
状態で本体部12の底部35に設置される。上蓋部14はウエ
ハ92ａ乃至92ｎを保持する当該ウエハキャリア16の上か
らかぶるように本体部12に対して位置決めされる。上蓋
部14のＵ字型のリップ部55および56が夫々本体部12のＵ
字型のリップ部36および38の外側に位置決めされている
状態が第12図および第１図に示されている。前記リップ
部55および56が夫々リップ部38および36に完全に係合す
るに先立ち、ウエハキャリア16内に保持されるウエハ92
ａ乃至92ｎに対してウエハコンタクター84ａ乃至84ｎお
よび86ａ乃至86ｎが夫々接触するに至り、係合板58と60
の夫々がラッチ側板40および42に当接して係合するに至
る。上蓋部14はウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび
86ａ乃至86ｎの弾発力を介しウエハ92ａ乃至92ｎに対し
て下方向に徐々に押圧する。この結果、第12図に示すよ
うに、ウエハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃至
86ｎは外方に指向して撓曲する。最終的に、上蓋部14の
フック部76および82がラッチ部41および43に係合し、上
蓋部14がウエハ92ａ乃至92ｎを覆う中心位置に位置決め
される。この場合、ウエハ92ａ乃至92ｎの上端縁はウエ
ハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃至86ｎ先端の
Ｖアングル106に受容されているため、当該夫々のウエ
ハ92ａ乃至92ｎはその上部において互いに横方向に一様
の間隔が保たれる。また、これらウエハ92ａ乃至92ｎは
その下方をウエハキャリア16に保持され、すなわち、ウ
エハキャリア16の分割歯17ａ乃至17ｎの間においてウエ
ハコンタクター84ａ乃至84ｎおよび86ａ乃至86ｎによっ
て和えられる弾性的な押圧力によって保持される。
一方、このような弾性作用によってウエハ92ａ乃至92ｎ
はウエハキャリア16に対して固定され、上蓋部14には反
力としての上方向の力が加わることになる。この結果、
フック部76、82とラッチ部41、43が互いに係合する状態
が解除されると、上蓋部14は本体部12からウエハコンタ
クター84ａ乃至84ｎ、86ａ乃至86ｎによる押圧力の反力
としての上方向の力によって容易に離間することにな
る。
この場合、ウエハキャリア16と上蓋部14は共に本体部12
のいずれか一方の端部と隣接してその端部を位置決めす
ることが出来る。
以上のように、上蓋部14のリップ部36、38が本体部12の
リップ部55、56とが嵌合し、さらに、上蓋部14のフック
部76、82が本体部12のラッチ部41、43に噛み合い、さら
にはウエハキャリア16と本体部12および上蓋部14が組み
合う相互関係が生じるのである。これらの関係は当該パ
ッケージ10が相乗的な嵌合のコンビネーションを構成し
ていることを意味する。従って、ウエハを運搬保管する
のに当該パッジ10を用い、その時、本体部12と上蓋部14
の周縁部をシールテープ等でテーピングすれば、当該パ
ッケージ10はウエハの運搬保管に確実な手段となり、内
部のウエハが汚染されることがない。
この場合、特にラッチ手段が平坦な形状を呈しているこ
とから、シールテープによるテーピングばかりかポリエ
ステル、ポリエチレン、マイラーフイルムによる収縮包
装に適し、密閉性の良好な且つ構造の強固な容器を提供
することを可能とするものである。また、容器のコスト
を軽減し、内部に保持されるウエハを完全な状態で保護
する。
ところで、第14図Ａ乃至Ｄは従来技術に係る一般的な構
成のパッケージ120と本発明に係るパッケージ10の簡略
図である。第14図ＣおよびＤでは同一の参照符号は前述
した構成要素と同一の構成要素を示している。
従来技術に係るパッケージ120は両端側に互いに係合し
あるロック手段を備えた上蓋122と本体124とを含む。こ
のようなパッケージ120にあっては、第14図Ａに示すよ
うに、一方の端部のロック手段を構成するフック部とラ
ッチ部からその係合を解除し上蓋122を上方向に開いた
場合、他端部のフック部とラッチ部が、第14図Ｂに示す
ように、不意に外れ、上蓋122が横方向にウエハに摺接
した際にウエハに対してその側面から過度の押圧力を与
える。このような不注意な上蓋122の取り扱いによって
ウエハが破損することがある。
これに対して、本発明に係るパッケージ10においてはフ
ック部とラッチ部とからなるロック手段を両側面に設け
ていることを特徴とするため、このような不注意な取り
扱いによるウエハの破損を防止するこが出来る。
すなわち、第14図Ｃに示すように、当該パッケージ10を
不注意に、両側面のロック手段の中、一方のロック手段
を開けた場合、他方のロック手段は依然係合している。
そして、第14図Ｄに示すように、さらに不注意にも上蓋
部14をウエハに対して摺接させてしまった場合、ウエハ
に対しては周縁の接線方向に力が作用するため、当該ウ
エハが破損するおそれを最小限にすることが出来る。
［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば、半導体ウエハを収納す
るパッケージの配列方向両側面から開けることが出来、
ウエハの弾性張力を均等に開放する。従って、ウエハに
対する破損を回避することが可能となる。また、ハンド
ルがロック部材の下方に設けられると共に、パッケージ
の上部には内部の視認のための窓が設けられている。し
かも、パッケージの内側にはリブを使っていないため、
洗浄にも都合がよく、しかも、剛性を大きく構成してい
る。さらに、パッケージの周縁部にはテーピングが可能
であり、シールあるいは密閉が出来る。密閉した時はグ
リップリセスに指を入れてロックを解除出来るように構
成している。パッケージはまた、顧客の名前を印刷出来
るような材質から構成される。さらに、パッケージは本
体部の底と上蓋部の頂部が互いに嵌合するように構成さ
れ、複数のパッケージを積み上げて保管することが出来
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るウエハ収納用パッケージの外観斜
視図、 第２図は当該パッケージを構成する本体部にウエハキャ
リアが装着された状態の斜視図、 第３図は当該パッケージを構成する上蓋部の内部の斜視
説明図、 第４図は当該上蓋部の平面図、 第５図は当該上蓋部の底面図、 第６図はウエハコンタクターの平面図、 第７図は当該ウエハコンタクターの側面図、 第８図は第７図における当該ウエハコンタクターのVIII
−VIII線断面説明図、 第９図は当該パッケージを構成する本体部の平面図、 第10図は当該本体部と上蓋部が一体化する前の状態を説
明する断面図、 第11図は当該本体部と上蓋が一体化する前の状態を説明
する断面図、 第12図は本体部と上蓋部が互いに嵌合し合った状態の断
面説明図、 第13図はウエハが内部に収容されて本体部と上蓋部が嵌
合し合った状態を示す断面図、 第14ａ乃至14ｄは本発明に係るパッケージおよび従来技
術に係るパッケージの簡略図、 第15図は当該パッケージを積み重ねた状態を説明する側
面図である。 10……パッケージ、12……本体部 14……上蓋部、16……ウエハキャリア 18、20、22、24……側部、26……垂直部 26ａ〜26ｄ……平坦面、28、30……ハンドル 36、38……リップ部、40、42……ラッチ側板 41、43……ラッチ部 44、46……グリップリセス、55、56……リップ部 57……垂直部、58、60……係合板 64……位置決め部、66……陥没中央部 68、70……窓、76、82……フック部 78……係合爪 84ａ〜84ｎ、86ａ〜86ｎ……ウエハコンタクター 92ａ〜92ｎ……ウエハ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】本体部と、上蓋部と、前記本体部に収納さ
    れると共に前記上蓋部が係合するウエハキャリアとから
    なるパッケージであって、 前記本体部は、底面部と、前記底面部に一体的に形成さ
    れた四つの側面部と、前記側面部から鉛直方向上方へと
    延在する本体リップ部と、前記本体リップ部に連設され
    且つ互いに対向するように二つの前記側面部に設けられ
    るラッチ部と、前記ラッチ部の下方に設けられたグリッ
    プリセスと、前記グリップリセスのさらに下方に設けら
    れたハンドルリセスとを有し、前記底面部には前記ウエ
    ハキャリアを保持する溝部と、積層される他のパッケー
    ジの上蓋部と係合するための陥没凹部が形成され、 前記上蓋部は頂部と、前記頂部と一体的に形成された四
    つの側面部と、前記側面部から鉛直方向下方へと延在す
    る上蓋リップ部と、前記頂部の内側表面から突出形成さ
    れた弾性力を有するウエハコンタクターと、前記上蓋リ
    ップ部に連接され且つ互いに対向するように二つの前記
    側面部に設けられるフック部とを含み、前記頂部は積層
    される他のパッケージの底面部に設けられた陥没凹部と
    嵌合するために膨出形成された位置決め部を有し、 前記本体部の底面部に形成された溝部に複数のウエハを
    収装したウエハキャリアを係合させて位置決めし、次い
    で上蓋部のリップ部と本体部のリップ部とが係合する際
    に、上蓋部のリップ部に連設されているフック部と本体
    部のリップ部に連設されているラッチ部とを夫々係合さ
    せて前記上蓋部と本体部とを一体化すると共に前記上蓋
    部のウエハコンタクターを弾性的にウエハキャリアのウ
    エハに押圧させることにより前記ウエハキャリアを上蓋
    部と本体部とにより固定し、前記ハンドルリセスからハ
    ンドルを把持することにより該パッケージ搬送可能であ
    り、一方、前記グリップリセスを介してフック部をラッ
    チ部から離脱させて前記上蓋部を本体部から離脱させる
    ことを特徴とするパッケージ。
  2. 【請求項２】請求項１記載のパッケージにおいて、前記
    本体部のリップ部と上蓋部のリップ部とは、該本体部と
    上蓋部とが係合した時、互いに平滑なテープシール用平
    面を形成することを特徴とするパッケージ。
  3. 【請求項３】請求項１または２記載のパッケージにおい
    て、前記上蓋部にはウエハコンタクターが所定間隔離間
    して二列配設され、夫々のウエハコンタクターは一組の
    可撓性部材と、前記可撓性部材の間に配設される薄板と
    からなることを特徴とするパッケージ。
  4. 【請求項４】請求項３記載のパッケージにおいて、一つ
    のウエハコンタクターを形成する可撓性部材はその端部
    において互いに約９０゜傾斜する斜面を有することを特
    徴とするパッケージ。
  5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載のパッケ
    ージにおいて、上蓋部にはウエハキャリアに収装された
    ウエハを確認するための覗き窓が設けられていることを
    特徴とするパッケージ。
  6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のパッケ
    ージにおいて、上蓋部の頂部隅角部には、その長手方向
    に沿って補強用のエッジが設けられていることを特徴と
    するパッケージ。
JP63169972A 1987-07-07 1988-07-06 パッケージ Expired - Lifetime JPH0612785B2 (ja)

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