JPS60193877A - 輸送用半導体ウエーハケース - Google Patents
輸送用半導体ウエーハケースInfo
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- JPS60193877A JPS60193877A JP59047796A JP4779684A JPS60193877A JP S60193877 A JPS60193877 A JP S60193877A JP 59047796 A JP59047796 A JP 59047796A JP 4779684 A JP4779684 A JP 4779684A JP S60193877 A JPS60193877 A JP S60193877A
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- Japan
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- wafer
- wafers
- basket
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ウェハーを汚染・損壊することなく安全
に輸送するためのウェハーケースに関する。
に輸送するためのウェハーケースに関する。
近年コンピユーターを始め各種゛嘔子装置等における集
積回路の利用の急増により、半導体ウェハーの需要の増
大が著しい。その結果ウェハーを大量に輸送する必要が
生じた。輸送にあたってはウェハーに対１−る十分な損
壊・汚染防止策をたてることを要ｒる。
積回路の利用の急増により、半導体ウェハーの需要の増
大が著しい。その結果ウェハーを大量に輸送する必要が
生じた。輸送にあたってはウェハーに対１−る十分な損
壊・汚染防止策をたてることを要ｒる。
従来使用されているウェハーケースでは輸送中にウェハ
ーの汚染・損壊のおそれが多く、またかごを自動機械に
組み合せるには不便なものが多かった。
ーの汚染・損壊のおそれが多く、またかごを自動機械に
組み合せるには不便なものが多かった。
本発明の目的は、取扱いが間車であるにもかかわらずウ
ェハーの輸送中の汚染・損壊の危険を少くし、かごを自
動機械に容易に組み合せることができる新規なウェハー
ケースを提供することである。
ェハーの輸送中の汚染・損壊の危険を少くし、かごを自
動機械に容易に組み合せることができる新規なウェハー
ケースを提供することである。
本発明によるウェハーケースは輸送中の半導体ウェハー
を汚染・損壊から保護するためのものであって、ウェハ
ーを担持するかごと、該かごと併用してクエへ−を保護
するおさえ板と、該かごと該おさえ板を包容する箱体と
蓋体を備え；該かごはウェハーを出し入れＮ” ’ｌ
ｌ’Ｑめの開放した頂部と、開放した底部と、ウェハー
をロー１後方向に隔置させる内方に対向した隔［リブを
備えた側壁と、Ｈ型削壁と、傾斜後壁をもち、該側壁は
自体を補強しかつウェハーを下から支持するため下方部
分が内側にわん曲し、該Ｈ型削壁は該かごの高さの中央
で左右の側壁を連結しかつその外面に割出しパーを固着
したフランジと左右縁に垂直の補強リブを佛え、該傾斜
後壁は上半部を欠きかごのＦ半部で左右の側壁を連結し
５、かつ後方に傾斜ｌ、；該おさえ板はかごに担持した
ウェハーを振動させないためのくし状弾性片と短冊状弾
性片をもち；該箱体は内面に補強リブと中央に凸部と外
面中央に凹部を有し、該凸部は補強リブの一部を利用し
てかごのＦ緑に度合固定し； 該蓋体は内面に弓状の張出し補強リブを備え、かつ外面
中央に凸部を有して上にかねる他のウェハーケースの１
）１体の外向中央の凹部と嵌合して該ケースを固定する
ことを特徴とする輸送用ウェハーケースである。
を汚染・損壊から保護するためのものであって、ウェハ
ーを担持するかごと、該かごと併用してクエへ−を保護
するおさえ板と、該かごと該おさえ板を包容する箱体と
蓋体を備え；該かごはウェハーを出し入れＮ” ’ｌ
ｌ’Ｑめの開放した頂部と、開放した底部と、ウェハー
をロー１後方向に隔置させる内方に対向した隔［リブを
備えた側壁と、Ｈ型削壁と、傾斜後壁をもち、該側壁は
自体を補強しかつウェハーを下から支持するため下方部
分が内側にわん曲し、該Ｈ型削壁は該かごの高さの中央
で左右の側壁を連結しかつその外面に割出しパーを固着
したフランジと左右縁に垂直の補強リブを佛え、該傾斜
後壁は上半部を欠きかごのＦ半部で左右の側壁を連結し
５、かつ後方に傾斜ｌ、；該おさえ板はかごに担持した
ウェハーを振動させないためのくし状弾性片と短冊状弾
性片をもち；該箱体は内面に補強リブと中央に凸部と外
面中央に凹部を有し、該凸部は補強リブの一部を利用し
てかごのＦ緑に度合固定し； 該蓋体は内面に弓状の張出し補強リブを備え、かつ外面
中央に凸部を有して上にかねる他のウェハーケースの１
）１体の外向中央の凹部と嵌合して該ケースを固定する
ことを特徴とする輸送用ウェハーケースである。
以下図面に従って本発明のウェハーケースの構成を詳細
Ｃ二説明１゛る。
Ｃ二説明１゛る。
ｗＩＩ１図（α）は本発明のウェハーケースな組立てた
際の正面図、同図（Ａｌは側面図を示す。
際の正面図、同図（Ａｌは側面図を示す。
該ウェハーケースはウェハーを担持するかごと、該かご
と併用してウェハーを外力による損壊からふせぐおさえ
板と、該かごとおさえ板を包囲してウェハーの汚染をふ
せぐ箱体と蓋体よりなる。
と併用してウェハーを外力による損壊からふせぐおさえ
板と、該かごとおさえ板を包囲してウェハーの汚染をふ
せぐ箱体と蓋体よりなる。
まず第２図、第３図、第４図を参照すると、かご１は全
体として直立した側壁５，６、開放頂部７、Ｈ型削壁８
、傾斜後壁９、開放底部１０を具備する。
体として直立した側壁５，６、開放頂部７、Ｈ型削壁８
、傾斜後壁９、開放底部１０を具備する。
側壁５，６は１８４図１ａｌ、 ＩＡＩより明らかなよ
うに、内側へわん曲した下方部分５．１．６．１を有し
、その内側表面はかご内部にウェハーを上方に支持する
面を提供する。その内側表面において側壁５は離隔した
内方へ突出する一連の隔置リブ５．２を具備し、該リブ
は他方の側壁６の内方へ突出する同じ隔置リブ６．２と
対応する。このリブは相互に十分に離隔し一連のウェハ
ーをその間に挿入するのを可能にしているので、ウェハ
ーは相互に接触することはない。隔成リブ５．２． ６
，２は全体として垂直下方へかつ内側へわん曲した側壁
の下方部分５．１，６．１上において同方向へ延びてい
る。
うに、内側へわん曲した下方部分５．１．６．１を有し
、その内側表面はかご内部にウェハーを上方に支持する
面を提供する。その内側表面において側壁５は離隔した
内方へ突出する一連の隔置リブ５．２を具備し、該リブ
は他方の側壁６の内方へ突出する同じ隔置リブ６．２と
対応する。このリブは相互に十分に離隔し一連のウェハ
ーをその間に挿入するのを可能にしているので、ウェハ
ーは相互に接触することはない。隔成リブ５．２． ６
，２は全体として垂直下方へかつ内側へわん曲した側壁
の下方部分５．１，６．１上において同方向へ延びてい
る。
第４図（α：に担持状態で１１とし２点鎖線で示したウ
ェハーは、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ点付近において均等に側壁内
側表面に接触し、外力を分散して安全に担持される。Ａ
、 Ｄ点はそれぞれ円形ウェハーの中心０とほぼ同じ高
さの点であり、Ｂ、Ｃ点はそれぞれＯより約４５°下方
の点である。ウェハーは検査、洗浄、乾燥等の処理を自
動機械で行われるため、ウェハーケースに担持する際正
確な位置関係を保持して固定されなければならない。し
かしウェハーケースに収納して輸送する際は、振動、衝
噌を受けても損壊しないためにある程度の遊びが必要で
ある。隣りあう隔置リブにより形成される溝の断面を第
４図ｔ’＋＋ ｌｄｌに拡大して示す。
ェハーは、Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ点付近において均等に側壁内
側表面に接触し、外力を分散して安全に担持される。Ａ
、 Ｄ点はそれぞれ円形ウェハーの中心０とほぼ同じ高
さの点であり、Ｂ、Ｃ点はそれぞれＯより約４５°下方
の点である。ウェハーは検査、洗浄、乾燥等の処理を自
動機械で行われるため、ウェハーケースに担持する際正
確な位置関係を保持して固定されなければならない。し
かしウェハーケースに収納して輸送する際は、振動、衝
噌を受けても損壊しないためにある程度の遊びが必要で
ある。隣りあう隔置リブにより形成される溝の断面を第
４図ｔ’＋＋ ｌｄｌに拡大して示す。
同図ＩＣ１は隔置リブの上方端付近の断面図であり、同
図１ｄｌは下方端付近の断面図である。図に示すように
Ｒ１＞ Ｒ２、Ｈｔ ＞Ｒ２であることを要する。
図１ｄｌは下方端付近の断面図である。図に示すように
Ｒ１＞ Ｒ２、Ｈｔ ＞Ｒ２であることを要する。
いまＲ２＝０．５ＭＬとすればウェハーの間縁部と隔置
リブの壁との間には０．２〜０．５期の余裕を生ずるか
ら前記の必要条件を満たす。またＲ１＝１ｍｍ、Ｈｌ
二］４ｍｍ、ｌ１ｚ＝５ｖｖｎ、ｐ＝４．７６ｒｒｍと
することにより隔置リブの壁は約４°の傾斜角をもつの
で、ウェハーは輸送中およびウェハーケースへ出し入れ
する時も隔置リブの壁と接触せず、その研摩面を汚染さ
れない。前記イ…斜角は４〜６°の範囲であればこの効
果を維持できる。
リブの壁との間には０．２〜０．５期の余裕を生ずるか
ら前記の必要条件を満たす。またＲ１＝１ｍｍ、Ｈｌ
二］４ｍｍ、ｌ１ｚ＝５ｖｖｎ、ｐ＝４．７６ｒｒｍと
することにより隔置リブの壁は約４°の傾斜角をもつの
で、ウェハーは輸送中およびウェハーケースへ出し入れ
する時も隔置リブの壁と接触せず、その研摩面を汚染さ
れない。前記イ…斜角は４〜６°の範囲であればこの効
果を維持できる。
内側へわん曲した側壁の下方部分５．１． ５．１は内
側へ延び、離隔して開放した壁５．３． ６．３に終結
し、該壁はかと１に開放底部１０を提供する。
側へ延び、離隔して開放した壁５．３． ６．３に終結
し、該壁はかと１に開放底部１０を提供する。
側壁の上方縁は、第４図（αｌ、 １．６１より明らか
なように、外方へ延びてさらに下方に下る前後方向フラ
ンジ！ｉ、４． ６．４を形成し、それらの上方縁にお
いて内方へ曲がらないように側壁をさらに補強している
。
なように、外方へ延びてさらに下方に下る前後方向フラ
ンジ！ｉ、４． ６．４を形成し、それらの上方縁にお
いて内方へ曲がらないように側壁をさらに補強している
。
かご１（１）Ｈ型…１壁８は、第３図鳳α）および第４
図（α：に示すように、上方とド方の一部を欠き、かご
の中央で左右に延在するフランジ８．１には割出しバー
８．２を固着して、かごをウエノ１−処理装置にセット
するときの位置決めに役立て、左右縁には垂直リブＱ、
３． ８．４を具備してかごを補強する。
図（α：に示すように、上方とド方の一部を欠き、かご
の中央で左右に延在するフランジ８．１には割出しバー
８．２を固着して、かごをウエノ１−処理装置にセット
するときの位置決めに役立て、左右縁には垂直リブＱ、
３． ８．４を具備してかごを補強する。
割出しパー８．２は第４図（α■および第５図に明らか
なように、Ｈ型削壁８の垂［９ブ８．３． ８．４のつ
くる平面に平行でかつ該表面かられずかに内方へ離隔し
ている。また垂直リブ８．３． ８．４の上部には係止
片Ｑ、ｓ、８．６がある。
なように、Ｈ型削壁８の垂［９ブ８．３． ８．４のつ
くる平面に平行でかつ該表面かられずかに内方へ離隔し
ている。また垂直リブ８．３． ８．４の上部には係止
片Ｑ、ｓ、８．６がある。
また第４図（Ａｌおよび第５図に明らかなようにかと１
の傾斜後壁９は上半部を欠き、かご内のウェハーを検知
しやすくし、かつ垂直方向に対し後に向って約６°傾斜
している。さらに左右の縁には垂直リブ９．３． ９．
４を具備してかごを補強し、該リプの上部には係止片９
．５． ９．６がある。また垂直リブ８・３． ８．４
．９．３．９．４の上部にはｌ’Ｆｆｆｉ８．７゜８．
８．９．７． ９．８を備え、これにハンドルをかけて
かごの移動に役立てる。
の傾斜後壁９は上半部を欠き、かご内のウェハーを検知
しやすくし、かつ垂直方向に対し後に向って約６°傾斜
している。さらに左右の縁には垂直リブ９．３． ９．
４を具備してかごを補強し、該リプの上部には係止片９
．５． ９．６がある。また垂直リブ８・３． ８．４
．９．３．９．４の上部にはｌ’Ｆｆｆｉ８．７゜８．
８．９．７． ９．８を備え、これにハンドルをかけて
かごの移動に役立てる。
ウェハーケースのおさえ板２は、第３図（Ｃ１１ｍ示す
ように、内面にくし状弾性片２．１と短冊状弾性片２．
２を具備し、くし状弾性片は第４図（α：に示したウェ
ハー１１ ｏ、＞ Ｂ、 Ｆ点付近でウェハーに接触し
、外力を分散してウェハーの損壊をふせぐ。Ｅ。
ように、内面にくし状弾性片２．１と短冊状弾性片２．
２を具備し、くし状弾性片は第４図（α：に示したウェ
ハー１１ ｏ、＞ Ｂ、 Ｆ点付近でウェハーに接触し
、外力を分散してウェハーの損壊をふせぐ。Ｅ。
Ｆ点はそれぞれウェハーの中心Ｏより約４５°上方の点
である。
である。
また第６図１ａｌ、 ＩＡＩに拡大して示すように、く
し状弾性片の先端部２．３ならびにへこみ２．４に適当
な丸みをつけ、ウェハーを担持する際やわらかな接触を
しておさえ板材によってウェハーの表面を汚染する作用
を減少し、かつ振動によってウェハーがへこみをはずれ
るようなことはなく、ウェハーを正しい位置に固定する
。さらに短冊状弾性片２・２は上部よりウェハーをおさ
え、振動によりつエへ−が回転しても、第６図（副に示
すようにオリエンテーションフラット１１．１の端が該
弾性片にひっかかり、回転が止まってウェハーの損壊な
ふせぐ。
し状弾性片の先端部２．３ならびにへこみ２．４に適当
な丸みをつけ、ウェハーを担持する際やわらかな接触を
しておさえ板材によってウェハーの表面を汚染する作用
を減少し、かつ振動によってウェハーがへこみをはずれ
るようなことはなく、ウェハーを正しい位置に固定する
。さらに短冊状弾性片２・２は上部よりウェハーをおさ
え、振動によりつエへ−が回転しても、第６図（副に示
すようにオリエンテーションフラット１１．１の端が該
弾性片にひっかかり、回転が止まってウェハーの損壊な
ふせぐ。
また第２図（α１および＠４図＋（Ｚｌに明らかなよう
におさえ板の上面は一定広さにわたって上方に向った凸
部２．５を具備する。おさえ板２の前後に垂下している
側板２．６． ２．７は、かごのＨ型削壁の係止片８．
５． ８．６および傾斜後壁の係止片９．５．９．６の
助けをかりておさえ板の位置を確定する。ただしおさえ
板２はかごのＦに上向きに配置する構造〜をとってもよ
い。
におさえ板の上面は一定広さにわたって上方に向った凸
部２．５を具備する。おさえ板２の前後に垂下している
側板２．６． ２．７は、かごのＨ型削壁の係止片８．
５． ８．６および傾斜後壁の係止片９．５．９．６の
助けをかりておさえ板の位置を確定する。ただしおさえ
板２はかごのＦに上向きに配置する構造〜をとってもよ
い。
第３図ＩＡＩに示すように、箱体３は内面中央に凸部３
．１を有し、補強リブ３．２．３．３．３．４．３．５
を利用して、かごの下縁に嵌合してこれを固定する。ま
た傾斜後壁９と補強リブ８．４． ３．５と箱体の後壁
書−より形成されるポケットは、吸湿剤を収納してウェ
ハーを保護する。
．１を有し、補強リブ３．２．３．３．３．４．３．５
を利用して、かごの下縁に嵌合してこれを固定する。ま
た傾斜後壁９と補強リブ８．４． ３．５と箱体の後壁
書−より形成されるポケットは、吸湿剤を収納してウェ
ハーを保護する。
第２図ＩＡＩに明らかなように、蓋体４け内面中央に凹
部４．１を有し、かご１の上部に嵌合ｌ、たおさえ板２
の上方の凸部２．５と嵌合し、かご１とおさえ板２を固
定する。また蓋体４の内面の補暉リブ４、Ｌ ４．４＋
４−５ｅ ４．６＋ ４．７． ４．９． ４．１ｕ
。
部４．１を有し、かご１の上部に嵌合ｌ、たおさえ板２
の上方の凸部２．５と嵌合し、かご１とおさえ板２を固
定する。また蓋体４の内面の補暉リブ４、Ｌ ４．４＋
４−５ｅ ４．６＋ ４．７． ４．９． ４．１ｕ
。
４．１１は、第２図（Ａ、に示Ｔように、外縁が弓状の
曲線となって張出し、ガイドとなって蓋体をかごとおさ
え板を載置した箱体になめらかにかぶせることができる
。
曲線となって張出し、ガイドとなって蓋体をかごとおさ
え板を載置した箱体になめらかにかぶせることができる
。
また蓋体４の外面には一部に透明または半透明の窓４．
１２． ４．１３を備え、内部のウェハーの担持状態の
観察を容易にする。蓋体をすべて透明または半透明材で
構成するときはこの窓構造が不要であることはもちろん
である。また蓋体・箱体の外面の凹凸はゆるやかな曲面
で変化させ、ウェハーケースを収縮フィルムの外装袋に
収納して積み重ねても外装袋が破断するようなことはな
い。
１２． ４．１３を備え、内部のウェハーの担持状態の
観察を容易にする。蓋体をすべて透明または半透明材で
構成するときはこの窓構造が不要であることはもちろん
である。また蓋体・箱体の外面の凹凸はゆるやかな曲面
で変化させ、ウェハーケースを収縮フィルムの外装袋に
収納して積み重ねても外装袋が破断するようなことはな
い。
ウェハーケースの材質はプラスチック、たとえば弗＃権
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スナックには特性改善のため、たとえば導電性を付与Ｔ
るよう特殊添加剤を加えたり、力学物性改善のためのＦ
ＲＰ化を行ったり、また収納したウエハ−の汚染防止の
ため表面処理すなわちいわゆるコーティング技術を適用
することができる。
脂・ポリプロピレン・ポリエチレン等のポリオレフィン
、あるいはエチレンと酢酸ビニールの共重合体、および
それら樹脂の混合物が用いられる。これらの材質のプラ
スナックには特性改善のため、たとえば導電性を付与Ｔ
るよう特殊添加剤を加えたり、力学物性改善のためのＦ
ＲＰ化を行ったり、また収納したウエハ−の汚染防止の
ため表面処理すなわちいわゆるコーティング技術を適用
することができる。
以上述べたように、本発明のウェハーケースはかと１に
担持したウェハーをおさえ板２を利用して弾性的に固定
し、これを一体とし−て箱体旦、蓋体４で包容する二重
構造のため、牌下、圧迫等のつよい外力あるいは繰返す
振動を受けてもウェハーを損壊１−ることなく、かつウ
ェハーの表面の汚染を防ダ、高価なウェハーを安全に輸
送し、かつ自動機械に容易に組み合せることができ、今
伽の集積回路製造上欠くことのできないものである。
担持したウェハーをおさえ板２を利用して弾性的に固定
し、これを一体とし−て箱体旦、蓋体４で包容する二重
構造のため、牌下、圧迫等のつよい外力あるいは繰返す
振動を受けてもウェハーを損壊１−ることなく、かつウ
ェハーの表面の汚染を防ダ、高価なウェハーを安全に輸
送し、かつ自動機械に容易に組み合せることができ、今
伽の集積回路製造上欠くことのできないものである。
第１図（α１は組豆てたウェハーケースの正面図を、（
ｈｌは側面図を、＠２図（α１は蓋体な外したときの箱
体に載置したかごとおさえ板の斜視図を、１ｂ１は蓋体
の斜視図を、第３図（α）はかごの斜視図を、ＩＡＩは
箱体の斜視図を、ｔＣＩはおさえ板の斜視図を、第４図
（α）はおさえ板をつけたかごの正面図を、＜ｂ＋はお
さえ板をはずしたかごの背面図を、ｔＣＩは隔置リブの
上方端付近の拡大断面図を、ｔｄ＋は隔置リブの下方端
付近の拡大断面図を、′Ｉ＠５図は第４図（Ｉｎの八−
Ａ線にそった断面図を、第６図（α）は第３図ｔＣＩの
Ｂ−Ｈ線にそった断面図の左半分を、粥６図１ｈＩは第
６（α）のＸ方向からみたくし状弾性片の頭部をそれぞ
れ示す。 １・・・かご、 ２・・・おさえ板、 ２．１・・・くし状弾性片、 ２．２・・・短冊状弾性
片、２．３・・・先端部、 ２．４・・・へこみ、 ２
．５・・・凸部、２．６．２．７・・・側板、 ３・・
・箱体、 ３．１・・・凸部、３．２． ３．３． ３
．４． ３．５・・・補２強リブ、４・・・蓋体、 ４
．１・・・凹部、 ４．２． ４．３〜４．１０． ４．１１・・・補強リ
ブ、４、＋ ２． ４．１３・・・窓、 ５，６・・・
側壁、５．１，６．１・・・下方部分、 ５．２．６．
２・・・隔成リプ、５、：う、６．３・・・壁、 ５．
４．６．４・・・前後方向フランジ、７・・・開放頂部
、 ８・・・■（型削壁、８．１・・・フランジ、８．
２・・・割出しパー、８．３． ８．４・・・垂直リブ
、 ８．５． ８．６・・・係止片、８．７． ８．８
・・・満、 ９・・・傾斜後壁、９．３． ９．４・・
・垂直リブ、 ９．５． ９．６・・・係止片、９．７
． ９．８・・・溝、ｌＯ・・・開放底部、１１・・・
ウェハー、 １１．１・・・オリエンテーションフラット。 ｌ＆訂・出−人 信越半導体株式会社 第１図（０） 第１図（ｂ）
ｈｌは側面図を、＠２図（α１は蓋体な外したときの箱
体に載置したかごとおさえ板の斜視図を、１ｂ１は蓋体
の斜視図を、第３図（α）はかごの斜視図を、ＩＡＩは
箱体の斜視図を、ｔＣＩはおさえ板の斜視図を、第４図
（α）はおさえ板をつけたかごの正面図を、＜ｂ＋はお
さえ板をはずしたかごの背面図を、ｔＣＩは隔置リブの
上方端付近の拡大断面図を、ｔｄ＋は隔置リブの下方端
付近の拡大断面図を、′Ｉ＠５図は第４図（Ｉｎの八−
Ａ線にそった断面図を、第６図（α）は第３図ｔＣＩの
Ｂ−Ｈ線にそった断面図の左半分を、粥６図１ｈＩは第
６（α）のＸ方向からみたくし状弾性片の頭部をそれぞ
れ示す。 １・・・かご、 ２・・・おさえ板、 ２．１・・・くし状弾性片、 ２．２・・・短冊状弾性
片、２．３・・・先端部、 ２．４・・・へこみ、 ２
．５・・・凸部、２．６．２．７・・・側板、 ３・・
・箱体、 ３．１・・・凸部、３．２． ３．３． ３
．４． ３．５・・・補２強リブ、４・・・蓋体、 ４
．１・・・凹部、 ４．２． ４．３〜４．１０． ４．１１・・・補強リ
ブ、４、＋ ２． ４．１３・・・窓、 ５，６・・・
側壁、５．１，６．１・・・下方部分、 ５．２．６．
２・・・隔成リプ、５、：う、６．３・・・壁、 ５．
４．６．４・・・前後方向フランジ、７・・・開放頂部
、 ８・・・■（型削壁、８．１・・・フランジ、８．
２・・・割出しパー、８．３． ８．４・・・垂直リブ
、 ８．５． ８．６・・・係止片、８．７． ８．８
・・・満、 ９・・・傾斜後壁、９．３． ９．４・・
・垂直リブ、 ９．５． ９．６・・・係止片、９．７
． ９．８・・・溝、ｌＯ・・・開放底部、１１・・・
ウェハー、 １１．１・・・オリエンテーションフラット。 ｌ＆訂・出−人 信越半導体株式会社 第１図（０） 第１図（ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 輸送中の半導体ウェハーを汚染・損壊から保護す
るためのウェハーケースであって、ウェハーを担持する
かごと、該かごと併用してウェハーを保護するおさえ板
と、該かごと該おさえ板を包容する箱体と蓋体を備え； 該かごはウェハーを出し入れするための開放した頂部と
、開放した底部と、ウェハーを前後方向に隔置させる内
方に対向した隔置リプを備えた側壁と、Ｈ型側壁と、傾
斜後壁をもち、該側壁は自体を補強しかつウェハーを下
から支持するため下方部分が内側にわん曲し、該Ｈ型側
壁は該かごの品さの中央で左右の側壁を連結し、かつそ
の外面に割出しパーを固着したフランジと左右縁に垂直
の補強リブを備え、該傾斜後壁は上半部を欠きかごの下
半部で左右の側壁を連結しかつ後方に傾斜し； 該おさえ板はかごに担持したウェハーを振動させないた
めのくし状弾性片と短冊状弾性片をもち； 該箱体は内面に補強リブと中央に凸部と外面中央に凹部
を有し、該凸部は補強リブの一部を利用してかごの下縁
な嵌合固定し； 該蓋体は内面に弓状の張出し補強リブを備え、かつ外面
中央に凸部を有して上に重ねる他のウェハーケースの箱
体の外面中央の凹部と嵌合して該ケースを固定すること
を特徴とする輸送用ウェハーケース。 ２、該隔置リプの側壁内側表面よりの高さを、隔置リプ
の上方端付近においてＨｌ、ド方輸付近においてＲ２と
するとＨｓ ）Ｒ２であり、該隔置リプのほぼ半円形を
なす上縁断面のＲをＲ１、隣りあった隔置リプによって
形成されたほぼ半円形をなす溝の底部断面のＲをＲ２と
するとＲ１＞Ｒ２であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のウェハーケース。 ３、削記隔ＦＲリブおよび溝において、Ｒ１＝ １ ｔ
ｔｕｎ。 Ｒ２＝０．５ｍｒｌ＋、Ｈ１＝ １４＋ＬＩｍ、 Ｒ２
＝ ５ｍｍ、ｐ＝４．７６朋であることを特徴とする特
許請求Ｑ範囲＠２ＪＪ１記載のウェハーケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59047796A JPS60193877A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 輸送用半導体ウエーハケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59047796A JPS60193877A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 輸送用半導体ウエーハケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193877A true JPS60193877A (ja) | 1985-10-02 |
| JPH0239867B2 JPH0239867B2 (ja) | 1990-09-07 |
Family
ID=12785329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59047796A Granted JPS60193877A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 輸送用半導体ウエーハケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193877A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436043A (en) * | 1987-07-07 | 1989-02-07 | Empak Inc | Package |
| JPH0220042A (ja) * | 1988-05-24 | 1990-01-23 | Empak Inc | 半導体用ウエハー若しくは基板用パッケージ |
| JPH0256444U (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52113881A (en) * | 1976-03-18 | 1977-09-24 | Fluoroware Inc | Siliconeewafer transporting container |
-
1984
- 1984-03-13 JP JP59047796A patent/JPS60193877A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52113881A (en) * | 1976-03-18 | 1977-09-24 | Fluoroware Inc | Siliconeewafer transporting container |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436043A (en) * | 1987-07-07 | 1989-02-07 | Empak Inc | Package |
| JPH0220042A (ja) * | 1988-05-24 | 1990-01-23 | Empak Inc | 半導体用ウエハー若しくは基板用パッケージ |
| JPH0256444U (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239867B2 (ja) | 1990-09-07 |
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